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異物付着の防止とは？課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける異物付着の防止とは？

半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。

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【精密機器向け】ミナダン養生シート

酒井化学工業株式会社

精密機器業界では、輸送中や保管中の製品を外部からの衝撃や振動から保護することが重要です。製品の性能を維持し、不良品発生を防ぐためには、適切な緩衝材の選定が不可欠です。ミナダン養生シートは、軽くて丈夫な中空構造で、精密機器を傷から守り、輸送時の安全性を高めます。【活用シーン】・精密機器の梱包・輸送時の緩衝材・保管時の保護【導入の効果】・製品の破損リスクを軽減・コスト削減・作業効率向上

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【半導体製造業界向け】ダウンフローエボリューション（DFE）

日本ドナルドソン株式会社

半導体製造工程においては、粉塵の発生が避けられず、作業環境の悪化や健康被害のリスクが課題となっています。また、粉塵による設備の故障や製品の品質低下も問題となります。ダウンフローエボリューション（DFE）は、これらの課題に対し、より効果的な集塵性能とメンテナンス性の向上で応えます。【活用シーン】・金属研磨作業・切削作業・研削作業【導入の効果】・作業環境の改善・設備保全コストの削減【特長】・フィルター負荷を低減したエアフロー技術・払落し性能が大幅に向上したフィルタークリーニング・効果的なパフォーマンスと簡単メンテナンスの新デザインフィルター【当社の強み】 1915年創業のドナルドソンは、100年以上にわたり、フィルトレーションソリューションを提供してきました。日本国内に製造工場とテクニカルセンターを併設し、お客様のグローバル展開をサポートします。

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【半導体製造向け】ハイブリッドレーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体製造業界では、製品の品質管理とトレーサビリティの確保が重要です。特に、基板への正確なマーキングは、製造工程の追跡や製品の識別において不可欠です。CO2レーザでは印字が難しい金属基板へのマーキングは、課題の一つです。当社のハイブリッド（YVO4・Fiber）レーザマーカーは、アルミニウム基板（アルミ放熱基板）など、CO2レーザでは印字できない金属材料へのレーザ印字に最適です。【活用シーン】・アルミ基板への印字・基板表面のレーザクリーニング・実装済み樹脂コネクタへの発色印字【導入の効果】・金属基板への高精度な印字・トレーサビリティの向上・製造工程の効率化

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【半導体向け】基板印字用 UVレーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体業界では、ウェハのトレーサビリティを確保するため、高精度なID印字が求められます。特に、微細加工が進む中で、熱による基板へのダメージを抑えつつ、視認性の高い印字が重要です。従来のレーザマーカーでは、熱による基板への影響や印字の精度に課題がありました。当社のUVレーザマーカーは、これらの課題を解決します。【活用シーン】・ウェハID印字・基板へのシリアルナンバー印字・製造工程におけるトレーサビリティ管理【導入の効果】・熱ダメージを抑え、基板の品質を維持・極小文字や2次元コードの高精度印字・高密度実装基板への対応・安定した印字品質の実現

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【カメラ向け】小型部品専用リークテスト装置

株式会社ナック

カメラ業界では、製品の信頼性を確保するために、防塵性能が非常に重要です。特に、屋外で使用されるカメラにおいては、塵や埃の侵入を防ぎ、長期間にわたって正常な動作を保証することが求められます。リークテスト装置は、製品の気密性を高精度に検査し、防塵性能を向上させるために不可欠です。【活用シーン】・カメラ製造における防塵対策・防水・防塵性能評価・製品の品質管理【導入の効果】・製品の信頼性向上・不良品の削減・顧客満足度の向上

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【半導体向け】Pulse500 レーザークリーナー

オプティレーザーソリューションズ株式会社

半導体業界の微細加工においては、高品質な製品を製造するために、加工面の精密なクリーニングが不可欠です。特に、レーザー加工後の微細なパーティクルや異物の除去は、製品の歩留まりと信頼性を左右する重要な課題です。Pulse500レーザークリーナーは、500Wの高出力と空冷式設計により、これらの課題に対応します。【活用シーン】・レーザー加工後の異物除去・微細部品のクリーニング・精密な表面処理【導入の効果】・加工品質の向上・歩留まりの改善・製品の信頼性向上

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【半導体向け】オールステンレスエアリークテスター FLS

株式会社フクダ

半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質を大きく左右します。特に、リークテストにおいては、テスターからの金属粉や腐食生成物の発生が、清浄度を損なう要因となります。オールステンレス仕様の当製品は、これらの問題を解決し、高い清浄度を求められる半導体製造環境に最適です。【活用シーン】・クリーンルーム内でのリークテスト・半導体製造装置の気密検査・高精度なリーク検査が必要な工程【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【電池業界向け】高粘度スラリー対応ろ過装置

株式会社荒井鉄工所

電池業界では、製品の性能を安定させるために、製造プロセスにおける異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、電極材料やセパレータなどの製造工程では、スラリー中の微細な異物が電池の性能劣化や短寿命化を引き起こす可能性があります。当社の『W-CELL フィルター装置』は、高粘度スラリーでも安定したろ過を実現し、電池製造における粒度調整・異物除去に貢献します。【活用シーン】・電極材料スラリーのろ過・セパレータ製造工程での異物除去・電池材料の分級ろ過【導入の効果】・電池の性能安定化・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【電子部品向け】次世代型ハイパワークーラントシステム

ツールドインターナショナル株式会社

電子部品業界では、製品の小型化に伴い、切粉の除去がますます重要になっています。切粉が残存すると、製品の精度低下や故障の原因となる可能性があります。Aeroforceは、低圧ポンプのままで、切粉を効率的に除去し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・マシニングセンターでの電子部品加工・旋盤加工による電子部品製造・小型部品の精密加工【導入の効果】・切粉による不良品の削減・加工精度の向上・作業効率の改善

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【電子部品向け】ジャイロフラットスクリーン

株式会社増野製作所

電子部品業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な部品や材料を扱う工程においては、異物の混入は製品の不良や性能低下に直結する深刻な問題です。ジャイロフラットスクリーンは、精密な篩分けにより、異物混入リスクを低減し、高品質な電子部品製造をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造における材料の異物除去・微細部品の選別・製造工程における品質管理【導入の効果】・異物混入による不良品の発生率を低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【電子部品向け】搬送レール用プレート加工事例

イワタグループ

電子部品業界では、製品の小型化が進み、精密な搬送が求められます。特に、狭いスペースでの部品の移動や、デリケートな部品の取り扱いにおいては、搬送用プレートの精度が重要になります。搬送時のわずかなズレや異物の混入は、製品の品質を損なう可能性があります。当社の搬送レール用プレート加工事例は、全数安定して公差を出すためのムラのない前加工とバリレス加工により、小型電子部品の搬送における課題を解決します。【活用シーン】・小型電子部品の搬送・精密機器への部品供給・狭いスペースでの部品移動【導入の効果】・搬送時の部品の損傷防止・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【半導体向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微量粉体の正確な供給が求められます。特に、高精度なプロセスにおいては、異物混入は歩留まりを大きく低下させる要因となります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造により異物混入リスクを低減し、微量粉体の精密な供給を実現します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける微量粉体の供給・クリーンルーム環境下での粉体ハンドリング・高精度な計量が必要な工程【導入の効果】・異物混入リスクの低減による歩留まり向上・高精度な供給による製品品質の安定化・洗浄性の向上によるメンテナンス性の向上当社は、粉粒体の貯蔵・供給・計量・輸送及びその周辺機器の設計、製作・販売までの一切を行っています。粉の扱い実績は46年以上です。お客様に最高の粉体ハンドリング技術を提供します。

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【半導体製造向け】EL補助潤滑モジュール

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、クリーンな環境が不可欠です。特に、リニアガイドウェイからの潤滑油の飛散は、製品への汚染を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、リニアガイドウェイが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーンな環境を維持します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・半導体製造装置・クリーンルーム環境・リニアガイドウェイの潤滑【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品への汚染リスク低減・メンテナンス周期の延長

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【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置

東西商事株式会社

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程・クリーンルーム内での使用・微細な部品への塗布【導入の効果】・異物混入による不良品の発生を抑制・安定した製品品質の確保・清掃作業の自動化による作業効率の向上・ランニングコストの削減

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【半導体クリーンルーム向け】イグス株式会社

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微粒子や異物の発生が厳しく制限されます。可動部品から発生する摩耗粉やグリースなどの汚染物質は、製品の品質を低下させるだけでなく、製造プロセスの効率を阻害する可能性があります。イグスのメンテナンスフリー樹脂製可動部品は、自己潤滑性があり、摩耗粉の発生を抑制することで、クリーンルーム環境の維持に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の搬送システム・半導体製造装置の可動部・クリーン環境下のロボットアーム【導入の効果】・クリーンルームの清浄度維持・製品の品質向上・メンテナンスコストの削減

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【半導体製造装置向け】Nバルブチタン

ニッセンファスニング株式会社

半導体製造装置業界では、高いクリーン度が求められ、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、接合部分からの発塵は、製造プロセスにおける重大な課題の一つです。Nバルブチタンは、純チタン材を使用しており、高い耐食性とクリーン性を両立し、発塵のリスクを低減します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での使用・高真空環境下での接合・腐食性ガスにさらされる環境【導入の効果】・発塵量の抑制・装置の長寿命化・製品品質の向上

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【液晶ディスプレイ向け】搬送レール用プレート加工事例

イワタグループ

液晶ディスプレイ業界では、製品の薄型化と高品質化が求められています。搬送システムに使用される部品には、微細な塵や埃の混入を防ぎ、高い清浄度を維持することが重要です。特に、プラスチック部品の加工においては、バリの発生を抑制する技術が、歩留まり向上に不可欠です。当社の搬送レール用プレート加工事例は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。【活用シーン】・液晶ディスプレイ製造ラインの搬送システム・クリーンルーム内での部品搬送・薄型ディスプレイの組み立てライン【導入の効果】・クリーンルーム環境の清浄度維持・製品への異物混入リスクの低減・歩留まり向上によるコスト削減

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飛散防止安全シールド【半導体製造向け】

株式会社アキツ

半導体製造業界のクリーン環境では、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。配管からの危険流体の漏れは、クリーンルーム内の環境を汚染し、製品の歩留まりを低下させる可能性があります。特に、化学薬品や高温の流体は、作業者の安全を脅かすだけでなく、高価な製造装置を損傷させるリスクも伴います。安全カバー『飛散防止安全シールド』は、これらの危険な流体の漏れや飛散を一時的に封じ込め、クリーン環境を維持し、事故を未然に防ぎます。【活用シーン】・クリーンルーム内の配管・半導体製造装置周辺・化学薬品を使用する工程【導入の効果】・クリーン環境の維持・作業者の安全確保・設備保全コストの削減

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【電子機器向け】危険物輸送サービス

ケイラインロジスティックス株式会社

電子機器業界では、製品の品質を維持するために、部品の安全な輸送が不可欠です。特に、リチウムイオン電池などの危険物を扱う場合、適切な輸送方法と法規制への準拠が求められます。不適切な輸送は、事故や法的な問題を引き起こす可能性があります。当社の危険物輸送サービスは、IATA/IMDG規則に準拠し、安全かつ迅速な輸送を実現します。【活用シーン】・電子部品メーカーの工場への部品供給・修理用部品の迅速な配送・海外拠点への部品輸送【導入の効果】・危険物輸送に関するコンプライアンス遵守・輸送中の事故リスクの低減・部品供給の遅延防止

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【電子部品向け】回転式エアーナイフによる基板除塵

ティックコーポレーション株式会社

電子部品業界では、基板の品質を確保するために、製造工程における異物混入の防止が重要です。特に、基板上の微細な埃は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。従来のエアブローでは、埃を完全に除去することが難しい場合があり、作業効率の低下を招くこともあります。ソニック社製回転式エアーナイフは、エアーナイフを回転させることで、基板の複雑な形状にも対応し、埃を効果的に除去します。【活用シーン】・電子基板製造工程での除塵・実装前の基板清掃・電子部品組み立てラインでの異物除去【導入の効果】・基板の品質向上・不良品の削減・作業効率の改善

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【半導体向け】アドロン(r)コーティングですべり性向上

株式会社フロロコート

半導体製造業界では、クリーンな環境が不可欠であり、部品の摩擦による微粒子の発生は、製品の品質を損なう大きな要因となります。特に、精密な動きが求められる装置においては、部品のすべり性が重要であり、摩擦を低減することで、微粒子の発生を抑制し、製品の歩留まり向上に貢献します。アドロン(r)コーティングは、このような課題に対し、すべり性を向上させることで、クリーンな環境を維持し、半導体製造の品質向上をサポートします。【活用シーン】・半導体製造装置の摺動部品・クリーンルーム内での搬送機構・精密機器の可動部分【導入の効果】・微粒子発生の抑制・製品の歩留まり向上・装置の長寿命化

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【半導体製造向け】SUS316製ブラインドリベット

ニッセンファスニング株式会社

半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物の混入を極力避ける必要があります。特に、接合部分に使用するファスナーは、耐食性と異物発生の抑制が重要です。SUS316製ブラインドリベットは、これらの要求に応える製品です。【活用シーン】・クリーンルーム内での機器の組み立て・半導体製造装置のメンテナンス・精密部品の固定【導入の効果】・高い耐食性による製品の長寿命化・異物発生の抑制による品質向上・クリーン環境での使用に適した材質

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【半導体向け】Magrevリニア搬送システム

株式会社イトー

半導体業界では、製造工程の効率化とクリーン環境の維持が不可欠です。高速搬送は、生産性の向上に直結し、高品質な製品を安定的に供給するために重要です。従来の搬送システムでは、摩耗粉やオイルによる汚染のリスクがありましたが、Magrevリニア搬送システムは、非接触搬送により、これらの問題を解決します。【活用シーン】・クリーンルーム内での高速搬送・ウェーハ、基板、部品の搬送・組み立て工程における高速搬送【導入の効果】・タクトタイムの短縮・クリーン環境の維持・レイアウト変更への柔軟な対応・製品品質の向上

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【データセンター向け】異物混入防止フィルター

エイ・ジェイ・テックス株式会社

データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。【活用シーン】・データセンターの換気口・空調設備のフィルター【導入の効果】・メンテナンスコストの削減

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【電子・精密部品向け】圧縮空気清浄度測定

株式会社分析センター

電子・精密部品業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造環境における微細な汚染物質の管理が不可欠です。特に、圧縮空気は製品の製造工程で直接または間接的に使用されることが多く、その清浄度が製品の性能に大きく影響します。異物混入は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社では、JIS B 8392等の規格に基づき、圧縮空気の清浄度測定・評価を行い、お客様の品質管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造工場・クリーンルーム内での精密部品製造・圧縮空気を利用する各種製造工程【導入の効果】・製品表面への汚染物質付着リスクの低減・製造工程における不良品の削減・製品の品質向上と信頼性確保

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【電池材料(特化物)向け】バキュームコンベア

Volkmann Japan(フォルクマンジャパン)株式会社

電池材料の輸送・供給においては、粉塵の発生が問題となり、作業環境の悪化や製品不良のリスクを高めます。特に作業員の方の粉体の吸込みリスクは非常に重要視されています。 VOLKMANNバキュームコンベアは、密閉構造により発塵を抑制し、クリーンな環境を提供することで、これらの課題を解決します。【活用シーン】・電池材料(リチウム、ニッケル・コバルト・マンガン酸化物等)の製造工場での粉体輸送・クリーンルーム内での粉体搬送・粉塵爆発のリスクがある環境での粉体搬送【導入の効果】・作業環境の改善・製品品質の向上・生産効率の向上・安全性の確保

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【半導体製造向け】耐摩耗性に優れる硬質アルマイト

富商

微細な粒子や異物の混入を防ぐために、耐摩耗性に優れた表面処理、硬質アルマイトを試してみませんか？　摩耗によって発生する粉塵は、製品の品質を低下させる可能性があります。　当社の耐摩耗性に優れる硬質アルマイトは、クリーンな環境での使用に適しており、製品の長寿命化に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の搬送部品・半導体製造装置の部品・精密機器の筐体【導入の効果】・耐摩耗性の向上による製品寿命の延長・異物混入リスクの低減・メンテナンスコストの削減

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【電子機器向け】100％水切りできるエアーノズル

ピュアトラスト株式会社

【エアーブローで瞬時に完全水切り！その場で完全乾燥】電子機器業界、特に基板洗浄においては、徹底的な水切りと乾燥が製品の品質と信頼性を左右します。基板に残った水分は、腐食や絶縁不良を引き起こし、製品寿命を縮める原因となります。従来の乾燥工程は時間とコストがかかり、生産効率を低下させる要因となっていました。当製品『エアースクリューノズル』は、独自の特許技術により、エアーブローだけで基板を完全に水切り・その場で完全乾燥させることが可能。これにより、乾燥工程にかかる時間、コスト、人員を削減し、生産ライン全体の効率化を実現します。【活用シーン】・基板洗浄後の水切り工程・電子部品製造における精密洗浄後の乾燥・クリーンルーム内での乾燥工程（クラス100対応）【導入の効果】・乾燥工程の完全省略による時間短縮・乾燥設備、ランニングコスト、人員コストの削減・生産ライン全体の効率化・製品品質の向上

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【電子機器向け】コンプレッサー内フィルター（ショートタイプ）

株式会社バンテック

電子機器業界では、基板の信頼性と長寿命化が重要です。基板は、埃や異物の混入によって誤作動や故障を引き起こす可能性があります。特にコンプレッサー周辺の環境では、微細な塵埃が基板に付着しやすく、問題となるケースがあります。当社のコンプレッサー内フィルターは、これらの課題に対応し基板を保護します。【活用シーン】・電子機器製造工場・精密機器のメンテナンス・基板実装工程【導入の効果】・基板の保護による製品寿命の向上・故障率の低減・メンテナンスコストの削減

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【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高度なクリーン環境が求められ、微細な塵や油分が製品の品質に大きな影響を与えます。特に、ボールねじの潤滑油は、その落下による汚染源となり、歩留まりの低下や装置の故障につながる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、ボールねじが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーン環境を維持します。【活用シーン】・半導体製造装置・クリーンルーム内での使用・ボールねじの潤滑が必要な箇所【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品品質の向上・メンテナンスサイクルの延長

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【半導体製造向け】長野ドライルーブ株式会社

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体製造業界では、クリーンな環境下での精密部品の品質維持が重要です。微細な埃や異物の付着は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。長野ドライルーブ株式会社の機能性塗装は、これらの課題に対し、製品の付加価値を高め、品質向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での精密部品・半導体製造装置部品・異物混入を防ぎたい部品【導入の効果】・製品の信頼性向上・歩留まりの改善・コスト削減

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【電子機器向け】パレット管理システムで製品追跡

株式会社サノテック

電子機器業界では、製品の追跡と在庫管理が重要です。特に、部品の紛失や誤出荷は、生産効率の低下や顧客からのクレームにつながる可能性があります。当社のパレット管理システムは、QRコードと端末を活用し、パレット単位での製品追跡を可能にします。これにより、在庫管理の精度向上と、誤出荷のリスクを低減します。【活用シーン】・電子機器製造工場での部品管理・倉庫での製品保管と出荷管理・修理品の追跡【導入の効果】・在庫管理の効率化・誤出荷防止・トレーサビリティの向上

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【電池材料向け】MSジェットスクリーン

株式会社増野製作所

電池材料業界では、製品の品質と安全性を確保するために、原料粉からの異物除去が不可欠です。異物が混入すると、電池の性能低下や短絡、発火といった重大な問題を引き起こす可能性があります。MSジェットスクリーンは、原料粉を空気搬送により本体内部の網へ通過させ、網目（μｍ）によって篩上と篩下にそれぞれ分級することで、異物除去を実現します。【活用シーン】・電池材料製造工程における異物除去・原料粉の品質管理【導入の効果】・異物混入による製品不良の削減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【半導体クリーンルーム向け】搬送レール用プレート加工事例

イワタグループ

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な塵や埃の混入が製品の品質を大きく左右します。搬送システムに使用される部品には、高い清浄度が求められ、特にプラスチック部品の加工においては、バリの発生を抑制する技術が重要です。当社の搬送レール用プレート加工事例は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置の搬送システム・クリーンルーム内の部品搬送・精密機器の組み立てライン【導入の効果】・クリーンルーム環境の清浄度維持・製品への異物混入リスクの低減・歩留まり向上によるコスト削減

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【半導体製造向け】搬送レール用プレート加工

イワタグループ

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微細な塵や埃の混入を防ぐため、高い清浄度が求められます。搬送システムに使用される部品においては、特にプラスチック部品の加工におけるバリの発生抑制が重要です。当社の搬送レール用プレート加工は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置の搬送システム・クリーンルーム内の部品搬送・精密機器の組み立てライン【導入の効果】・クリーンルーム環境の清浄度維持・製品への異物混入リスクの低減・歩留まり向上によるコスト削減

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【電子機器向け】100％水切りできるエアーノズル

株式会社バリューイノベーションジャパン

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【半導体製造向け】ハンディ打刻式刻印機による工程管理

株式会社IZUSHI

半導体製造業界の工程管理では、部品の正確な識別と追跡が重要です。製造プロセスにおける部品の誤認や追跡不能は、品質問題や生産性の低下につながる可能性があります。この課題に対し、当社のハンディ打刻式刻印機は、金属部品への英数字刻印を容易にし、工程管理の効率化を支援します。【活用シーン】・半導体製造工程における部品の識別・トレーサビリティ管理の強化・製造現場での部品管理【導入の効果】・部品の識別精度向上・工程管理の効率化・トレーサビリティの強化

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【半導体製造向け】外観部品

株式会社ニチベイパーツ

半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、クリーンな環境下での製造が求められます。特に、外観部品においては、微細な異物の付着や傷が、製品の性能に影響を与える可能性があります。当社の外観部品は、厳しい外観検査に耐え、クリーンな環境下での使用に適しています。【活用シーン】・クリーンルーム内での使用・半導体製造装置への組み込み・外観品質が重要視される製品【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【電子業界向け】安全教育の自動化

株式会社LinkStudio

電子業界では、製造現場における安全管理が非常に重要です。特に、外国人技能実習生が増加する中で、言語の壁は安全教育における大きな課題となっています。専門用語や複雑な作業手順が理解されず、事故につながるリスクも高まります。LinkBrain 10は、実習生の母国語で安全衛生ルールを理解できる10分間のアニメーションを提供し、教育の質を均一化します。通訳コストを削減しながら、安全意識の向上と事故リスクの低減を実現します。【活用シーン】・電子部品製造工場・半導体製造工場・電子機器組み立て工場【導入の効果】・安全教育の質の向上・事故リスクの低減・教育コストの削減・実習生の早期戦力化

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【電子機器向け】Magrev(磁気浮上)リニア搬送システム

株式会社イトー

電子機器の精密組立業界では、製品の品質と生産効率の向上が常に求められています。特に、小型化・高密度化が進む中で、部品の正確な搬送とクリーンな環境維持が重要です。従来の搬送システムでは、ベルトやチェーンによる摩耗粉の発生や、レイアウトの制限が課題となっていました。Maglev式リニア搬送システムは、非接触搬送によりこれらの課題を解決し、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】 * 精密電子部品の組立工程 * クリーンルーム内での搬送 * レイアウト変更が多い生産ライン【導入の効果】 * 摩耗粉の発生を抑制し、製品の品質向上 * レイアウトの自由度向上による生産効率アップ * 静音化による作業環境の改善

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【自動運転向け】ピックアップ

藤田グループ

自動運転システムを搭載した自動車業界では、高度な安全性と信頼性が求められます。自動運転に不可欠な半導体チップは、高性能かつ高品質であることが重要です。チップの製造プロセスにおけるピックアップ工程は、チップの品質を左右する重要な工程です。当社の『ピックアップ』は、インクマーク認識やマップ認識により、正確なチップの取り出しを実現します。これにより、自動運転システムの信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・自動運転ECU ・先進運転支援システム・車載用センサー【導入の効果】・チップの損傷リスクを低減・高品質なチップ供給によるシステムの信頼性向上・歩留まりの向上

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【半導体製造向け】高耐久ＰＥスパイラル型チューブ

株式会社ハギテック

半導体製造業界のクリーン環境では、配線やケーブルの保護が重要です。微細な塵や埃の混入は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。また、製造プロセスにおける可動部の配線保護は、高い耐久性と耐摩耗性が求められます。当社の高耐久ＰＥスパイラル型チューブは、これらの課題に対応します。【活用シーン】・クリーンルーム内の配線保護・半導体製造装置の可動部・搬送ラインのケーブル保護【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品の品質向上・配線・ケーブルの長寿命化

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【半導体向け】電解超音波洗浄機クリピカエース

ソマックス株式会社

半導体業界では、製造工程における微細な異物の混入が、製品の性能や信頼性に大きな影響を与えます。特に、微細な金型部品や金属部品の洗浄は、高品質な製品を製造する上で不可欠です。腐食性のガス焼け、樹脂付着物、ゴム付着物、酸化物被膜、薄錆など、従来の洗浄方法では落としきれなかった汚れを、クリピカエースは電気分解の力で除去します。これにより、製品の歩留まり向上、不良品の削減に貢献します。【活用シーン】・半導体製造工程における金型部品の洗浄・微細金属部品の洗浄・精密部品のメンテナンス【導入の効果】・洗浄時間の短縮・メンテナンス回数の削減・成形機の稼働率向上・製品品質の向上

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木目まで不良にしない検査へ―Gemini eye

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

木板や住宅建材の外観検査では、木目や色味の違いは良品として残したい一方で、表面キズや汚れは見逃せません。木目まで不良として拾ってしまうと、確認工数や手直し判断が増えてしまいます。『Gemini eye』は、良品を学習し、“いつもと違う”箇所を検出する外観検査AIです。少量の良品データから検討でき、不良品を大量に集める必要はありません。木板のキズなど、自然な個体差がある対象でも、良品の範囲を保ちながら外観不良を検出します。異常箇所はヒートマップで表示され、どこを不良と判断したかを現場で確認可能。判定結果は画像・数値・グラフで見られ、検査基準の共有や品質確認の説明にも役立ちます。未知不良の検出に加え、既知不良の種類別表示にも対応可能。撮像機器の選定から検査装置まで相談でき、目視検査のばらつき低減や自動化を検討できます。【特長】 ■木目・色味のばらつきに対応 ■表面キズ・汚れなどを検出 ■異常箇所をヒートマップ表示 ■撮像機器・検査装置まで提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【電子材料向け】MSジェットスクリーン

株式会社増野製作所

電子材料業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な粒子を扱う電子材料においては、異物の混入は製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。MSジェットスクリーンは、原料粉を空気搬送により本体内部の網へ通過させ、網目（μｍ）によって篩上と篩下にそれぞれ分級することで、高精度な分離を実現します。【活用シーン】・電子材料製造における異物除去・微細粒子の分級・高純度化【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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電気抵抗率測定モジュール　Sensingeye741

テクノ・モリオカ株式会社

薄型コンパクトサイズの電気抵抗率測定モジュールです。【特徴】 ○水質と水温の両方をアナログ出力 ○デジタル温度補償方式 ○幅36mmと薄型コンパクトサイズ ○本体はDINレール取り付けで、制御盤内設置に最適詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【分析事例】ウェハの粘着シート成分の分析

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

半導体デバイスの製造工程では、ダイシング用テープなど様々な粘着シートが使用されます。粘着シートは異物・汚染の原因となることがあります。そこで、本事例ではTOF-SIMS・SWA-GC/MSを用いて複合的に評価した結果をご紹介します。TOF-SIMSでは、粘着シート各材料の定性を行うことで、異物・汚染がどの粘着シートに起因するのか、また粘着シートのどの層に起因するのか同定が可能です。またSWA-GC/MSでは、どの粘着シートがもっとも汚染が少ないかを定量的に確認することができます。

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卓上超音波洗浄器　（SW　SERIES）

日本アレックス株式会社

洗浄に不可欠なヒーターやタイマーはもとより、スイープ発振やディガス機能に加え、新開発ブースト機能を付属した卓上型超音波洗浄ユニット。卓上タイプながら、大きな洗浄物にも対応可能なモデル！〜特徴〜 ●スイープ発振で、ムラの無い洗浄が可能 ●ディガス機能で槽内脱気を行い、超音波のロスを防ぎ、　均一で効率的な洗浄 ●ブースト機能で強力洗浄を実現し、パワーの強い超音波発振を実現 ●ヒーター、タイマー機能搭載により、残り時間が分かります ●用途に合わせて選べる豊富なラインナップと、充実したアクセサリ ●材質はステンレス（ＳＵＳ３０４） ※詳細はカタログを『ダウンロード』して下さい。 ※価格やその他ご質問は、下記資料請求フォームより　お問合せ下さい。

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圧搾空気稼働型パレット洗浄機『ワンエアーポット AP19』

株式会社太伽

『ワンエアーポット AP19』は、DIP用基板搬送パレットに付着したフラックスを専用洗浄液により除去する事を目的としたパレット洗浄機です。電気を使用せず一般圧搾空気(通常はコンプレッサーによる)で稼働。その為、電気部品が組み込まれておらず機器のスパーク等による発火の恐れがありません。また、電気特有の電圧及び周波数を気にする事なく海外での使用にも有効です。【特長】 ■エアー1本でフル稼働(0.5～0.7MPaのエアー使用) ■圧搾空気で稼働 ■二方噴射方式を採用 ■大流量コントロールタイマーを搭載 ■電気を使用しないデメリットを解消 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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【サンプル差し上げます！】メンティップ工業用綿棒　Ｐ752Ｄ

日本綿棒株式会社

繊維が抜け落ちない様、当社独自の製造方法で長繊維を巻きつけて製造しています。一般綿棒の綿球（綿球径4～5ミリ）よりも小さい綿球（綿球径2.9ミリ）ですので小さな穴や細かい部分の清掃に適しています。

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ダイシングにおける異物付着の防止

ダイシングにおける異物付着の防止とは？

課題

切断屑の飛散と再付着

ダイシング時に発生する微細な切断屑が、装置内やクリーンルーム内に飛散し、再びチップ表面に付着する。

装置・治具からの異物混入

ダイシングブレード、チャック、搬送機構などの装置部品や、ウェハー固定用テープ、治具などから剥離・摩耗した異物が混入する。

環境からの異物持ち込み

クリーンルーム内の空気中の微粒子、作業者の衣服や手指に付着した異物、搬入される材料などに含まれる異物が持ち込まれる。

洗浄・乾燥工程での残留

ダイシング後の洗浄工程で異物が十分に除去されず、乾燥工程で水分と共に再付着したり、乾燥時に静電気で異物を引き寄せたりする。

対策

切断屑の効率的な除去

ダイシングブレード周辺への集塵・吸引システムの強化や、切断液の適切な管理により、切断屑の飛散を最小限に抑え、速やかに除去する。

装置・治具の清浄化と材質選定

ダイシング装置の定期的な清掃・メンテナンス、摩耗しにくい材質の部品採用、ウェハー固定用テープの低発塵化などを実施する。

クリーンルーム環境の維持管理

高性能フィルターの導入、定期的な清掃、作業手順の遵守、静電気対策などを徹底し、外部からの異物混入リスクを低減する。

高度な洗浄・乾燥技術の適用

超音波洗浄や特殊洗浄液の使用、イオンブロワーによる静電気除去、温風・冷風乾燥の最適化などにより、異物の残留を防ぐ。

対策に役立つ製品例

高性能集塵・吸引装置

ダイシングブレード周辺の切断屑をピンポイントで吸引し、飛散を効果的に抑制することで、異物の再付着リスクを低減する。

低発塵性ウェハー固定テープ

ダイシング時の剥離や摩耗による異物発生を極限まで抑え、ウェハーへの異物付着を防止する。

静電気除去装置（イオンブロワー）

洗浄・乾燥工程で発生する静電気を除去し、空気中の微粒子や切断屑がチップに引き寄せられるのを防ぐ。

特殊洗浄液・洗浄装置

微細な切断屑や油分などを効果的に除去し、洗浄後の異物残留を最小限に抑える。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物付着の防止とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

ダイシングにおける異物付着の防止とは？

各社の製品

ダイシングにおける異物付着の防止

ダイシングにおける異物付着の防止とは？

​課題

切断屑の飛散と再付着

装置・治具からの異物混入

環境からの異物持ち込み

洗浄・乾燥工程での残留

​対策

切断屑の効率的な除去

装置・治具の清浄化と材質選定

クリーンルーム環境の維持管理

高度な洗浄・乾燥技術の適用

​対策に役立つ製品例

高性能集塵・吸引装置

低発塵性ウェハー固定テープ

静電気除去装置（イオンブロワー）

特殊洗浄液・洗浄装置

課題

対策

対策に役立つ製品例