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異物付着の防止とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける異物付着の防止とは?
半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。
各社の製品
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【電子機器向け】パレット管理システムで製品追跡
【半導体製造装置向け】Nバルブ チタン
【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】
【電子機器向け】コンプレッサー内フィルター(ショートタイプ)
【精密機器向け】ミナダン養生シート
【電子機器向け】危険物輸送サービス
【半導体向け】電解超音波洗浄機クリピカエース
【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。
ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。
当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。
【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程
・クリーンルーム内での使用
・微細な部品への塗布
【導入の効果】
・異物混入による不良品の発生を抑制
・安定した製品品質の確保
・清掃作業の自動化による作業効率の向上
・ランニングコストの削減
【半導体向け】Pulse500 レーザークリーナー
【半導体製造向け】EL補助潤滑モジュール
【半導体クリーンルーム向け】搬送レール用プレート加工事例
【半導体向け】アドロン(r)コーティングですべり性向上
【電池業界向け】高粘度スラリー対応ろ過装置
【液晶ディスプレイ向け】搬送レール用プレート加工事例
液晶ディスプレイ業界では、製品の薄型化と高品質化が求められています。搬送システムに使用される部品には、微細な塵や埃の混入を防ぎ、高い清浄度を維持することが重要です。特に、プラスチック部品の加工においては、バリの発生を抑制する技術が、歩留まり向上に不可欠です。当社の搬送レール用プレート加工事例は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。
【活用シーン】
・液晶ディスプレイ製造ラインの搬送システム
・クリーンルーム内での部品搬送
・薄型ディスプレイの組み立てライン
【導入の効果】
・クリーンルーム環境の清浄度維持
・製品への異物混入リスクの低減
・歩留まり向上によるコスト削減
【半導体向け】オールステンレス エアリークテスター FLS
【半導体製造向け】高耐久PEスパイラル型チューブ
【電子機器向け】Magrev(磁気浮上)リニア搬送システム
電子機器の精密組立業界では、製品の品質と生産効率の向上が常に求められています。特に、小型化・高密度化が進む中で、部品の正確な搬送とクリーンな環境維持が重要です。従来の搬送システムでは、ベルトやチェーンによる摩耗粉の発生や、レイアウトの制限が課題となっていました。Maglev式リニア搬送システムは、非接触搬送によりこれらの課題を解決し、生産性の向上に貢献します。
【活用シーン】
* 精密電子部品の組立工程
* クリーンルーム内での搬送
* レイアウト変更が多い生産ライン
【導入の効果】
* 摩耗粉の発生を抑制し、製品の品質向上
* レイアウトの自由度向上による生産効率アップ
* 静音化による作業環境の改善
【半導体製造向け】搬送レール用プレート加工


















