半導体製造装置・材料に関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。
異物付着の防止とは？課題と対策・製品を解説
目的・課題で絞り込む
カテゴリで絞り込む
検査・測定装置 |
材料 |
自動化・ITソリューション |
製造装置 |
関連技術 |
その他半導体製造装置・材料 |
ダイシングにおける異物付着の防止とは？
各社の製品
絞り込み条件：
▼チェックした製品のカタログをダウンロード
一度にダウンロードできるカタログは20件までです。
【電子機器向け】危険物輸送サービス
【半導体クリーンルーム向け】イグス株式会社
【半導体製造向け】搬送レール用プレート加工
【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置
【精密機器向け】ミナダン養生シート
【電子部品向け】ジャイロフラットスクリーン
【半導体製造向け】飛散防止安全シールド
【電子機器向け】Magrev(磁気浮上)リニア搬送システム
【半導体製造向け】SUS316製ブラインドリベット
【半導体向け】Pulse500 レーザークリーナー
【電子・精密部品向け】圧縮空気清浄度測定
【半導体製造向け】高耐久ＰＥスパイラル型チューブ
【半導体向け】Magrevリニア搬送システム
【半導体製造向け】耐摩耗性に優れる硬質アルマイト
【電子業界向け】安全教育の自動化
【半導体製造向け】EL補助潤滑モジュール
【電子部品向け】回転式エアーナイフによる基板除塵
【電子機器向け】コンプレッサー内フィルター（ショートタイプ）
【半導体製造向け】ハイブリッドレーザマーカー
【半導体製造向け】外観部品
【半導体製造装置向け】Nバルブ チタン
【データセンター向け】異物混入防止フィルター
【電子部品向け】次世代型ハイパワークーラントシステム
【半導体向け】オールステンレス エアリークテスター FLS
【電子部品向け】搬送レール用プレート加工事例
【電子機器向け】パレット管理システムで製品追跡
【半導体製造業界向け】ダウンフローエボリューション（DFE）
【半導体製造向け】長野ドライルーブ株式会社
【半導体向け】基板印字用 UVレーザマーカー
【半導体クリーンルーム向け】搬送レール用プレート加工事例
【電池材料(特化物)向け】バキュームコンベア
【電子材料向け】MSジェットスクリーン
【電池業界向け】高粘度スラリー対応ろ過装置
【半導体向け】アドロン(r)コーティングですべり性向上
【電子機器向け】100％水切りできるエアーノズル
【電池材料向け】MSジェットスクリーン
【電子機器向け】100％水切りできるエアーノズル
【カメラ向け】小型部品専用リークテスト装置
【液晶ディスプレイ向け】搬送レール用プレート加工事例
【半導体向け】タッチレスバルブフィーダ
【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】
【半導体製造向け】ハンディ打刻式刻印機による工程管理
重量物位置決め微調整紙『すべるんペーパー（無塵紙タイプ）』
電気抵抗率測定モジュール Sensingeye741
【導電性樹脂成形例】半導体静電破壊対策
【サンプル差し上げます！】メンティップ工業用綿棒 Ｐ752Ｄ
真空・吸着パッド VUシリーズ / VMECA
半導体搬送トレイ
【半導体業界の方必見！】パイプエンド式真空フレキシブルホース
トレイ清掃装置『 ハリケーン』
お探しの製品は見つかりませんでした。
1 / 2
ダイシングにおける異物付着の防止
ダイシングにおける異物付着の防止とは？
半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチッ プ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。
課題
切断屑の飛散と再付着
ダイシング時に発生する微細な切断屑が、装置内やクリーンルーム内に飛散し、再びチップ表面に付着する。
装置・治具からの異物混入
ダイシングブレード、チャック、搬送機構などの装置部品や、ウェハー固定用テープ、治具などから剥離・摩耗した異物が混入する。
環境からの異物持ち込み
クリーンルーム内の空気中の微粒子、作業者の衣服や手指に付着した異物、搬入される材料などに含まれる異物が持ち込まれる。
洗浄・乾燥工程での残留
ダイシング後の洗浄工程で異物が十分に除去されず、乾燥工程で水分と共に再付着したり、乾燥時に静電気で異物を引き寄せたりする。
対策
切断屑の効率的な除去
ダイシングブレード周辺への集塵・吸引システムの強化や、切断液の適切な管理により、切断屑の飛散を最小限に抑え、速やかに除去する。
装置・治具の清浄化と材質選定
ダイシング装置の定期的な清掃・メンテナンス、摩耗しにくい材質の部品採用、ウェハー固定用テープの低発塵化などを実施する。
クリーンルーム環境の維持管理
高性能フィルターの導入、定期的な清掃、作業手順の遵守、静電気対策などを徹底し、外部からの異物混入リスクを低減する。
高度な洗浄・乾燥技術の適用
超音波洗浄や特殊洗浄液の使用、イオンブロワーによる静電気除去、温風・冷風乾燥の最適化などにより、異物の残留を防ぐ。
対策に役立つ製品例
高性能集塵・吸引装置
ダイシングブレード周辺の切断屑をピンポイントで吸引し、飛散を効果的に抑制することで、異物の再付着リスクを低減する。
低発塵性ウェハー固定テープ
ダイシング時の剥離や摩耗による異物発生を極限まで抑え、ウェハーへの異物付着を防止する。
静電気除去装置（イオンブロワー）
洗浄・乾燥工程で発生する静電気を除去し、空気中の微粒子や切断屑がチップに引き寄せられるのを防ぐ。
特殊洗浄液・洗浄装置
微細な切断屑や油分などを効果的に除去し、洗浄後の異物残留を最小限に抑える。
⭐今週のピックアップ
読み込み中
