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半導体製造装置・材料

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異物付着の防止とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける異物付着の防止とは?

半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。

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【半導体クリーンルーム向け】イグス株式会社
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半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微粒子や異物の発生が厳しく制限されます。可動部品から発生する摩耗粉やグリースなどの汚染物質は、製品の品質を低下させるだけでなく、製造プロセスの効率を阻害する可能性があります。イグスのメンテナンスフリー樹脂製可動部品は、自己潤滑性があり、摩耗粉の発生を抑制することで、クリーンルーム環境の維持に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の搬送システム
・半導体製造装置の可動部
・クリーン環境下のロボットアーム

【導入の効果】
・クリーンルームの清浄度維持
・製品の品質向上
・メンテナンスコストの削減

【電子機器向け】パレット管理システムで製品追跡
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電子機器業界では、製品の追跡と在庫管理が重要です。特に、部品の紛失や誤出荷は、生産効率の低下や顧客からのクレームにつながる可能性があります。当社のパレット管理システムは、QRコードと端末を活用し、パレット単位での製品追跡を可能にします。これにより、在庫管理の精度向上と、誤出荷のリスクを低減します。

【活用シーン】
・電子機器製造工場での部品管理
・倉庫での製品保管と出荷管理
・修理品の追跡

【導入の効果】
・在庫管理の効率化
・誤出荷防止
・トレーサビリティの向上

【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置
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半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。
ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。
当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程
・クリーンルーム内での使用
・微細な部品への塗布

【導入の効果】
・異物混入による不良品の発生を抑制
・安定した製品品質の確保
・清掃作業の自動化による作業効率の向上
・ランニングコストの削減

【電子機器向け】危険物輸送サービス
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電子機器業界では、製品の品質を維持するために、部品の安全な輸送が不可欠です。特に、リチウムイオン電池などの危険物を扱う場合、適切な輸送方法と法規制への準拠が求められます。不適切な輸送は、事故や法的な問題を引き起こす可能性があります。当社の危険物輸送サービスは、IATA/IMDG規則に準拠し、安全かつ迅速な輸送を実現します。

【活用シーン】
・電子部品メーカーの工場への部品供給
・修理用部品の迅速な配送
・海外拠点への部品輸送

【導入の効果】
・危険物輸送に関するコンプライアンス遵守
・輸送中の事故リスクの低減
・部品供給の遅延防止

【半導体向け】オールステンレス エアリークテスター FLS
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半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質を大きく左右します。特に、リークテストにおいては、テスターからの金属粉や腐食生成物の発生が、清浄度を損なう要因となります。オールステンレス仕様の当製品は、これらの問題を解決し、高い清浄度を求められる半導体製造環境に最適です。

【活用シーン】
・クリーンルーム内でのリークテスト
・半導体製造装置の気密検査
・高精度なリーク検査が必要な工程

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【半導体製造業界向け】ダウンフローエボリューション(DFE)
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半導体製造工程においては、粉塵の発生が避けられず、作業環境の悪化や健康被害のリスクが課題となっています。また、粉塵による設備の故障や製品の品質低下も問題となります。
ダウンフローエボリューション(DFE)は、これらの課題に対し、より効果的な集塵性能とメンテナンス性の向上で応えます。

【活用シーン】
・金属研磨作業
・切削作業
・研削作業

【導入の効果】
・作業環境の改善
・設備保全コストの削減

【特長】
・フィルター負荷を低減したエアフロー技術
・払落し性能が大幅に向上したフィルタークリーニング
・効果的なパフォーマンスと簡単メンテナンスの新デザインフィルター

【当社の強み】
1915年創業のドナルドソンは、100年以上にわたり、フィルトレーションソリューションを提供してきました。日本国内に製造工場とテクニカルセンターを併設し、お客様のグローバル展開をサポートします。

【半導体製造向け】搬送レール用プレート加工
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半導体製造業界では、製品の品質を左右する微細な塵や埃の混入を防ぐため、高い清浄度が求められます。搬送システムに使用される部品においては、特にプラスチック部品の加工におけるバリの発生抑制が重要です。当社の搬送レール用プレート加工は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の搬送システム
・クリーンルーム内の部品搬送
・精密機器の組み立てライン

【導入の効果】
・クリーンルーム環境の清浄度維持
・製品への異物混入リスクの低減
・歩留まり向上によるコスト削減

【精密機器向け】ミナダン養生シート
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精密機器業界では、輸送中や保管中の製品を外部からの衝撃や振動から保護することが重要です。製品の性能を維持し、不良品発生を防ぐためには、適切な緩衝材の選定が不可欠です。ミナダン養生シートは、軽くて丈夫な中空構造で、精密機器を傷から守り、輸送時の安全性を高めます。

【活用シーン】
・精密機器の梱包
・輸送時の緩衝材
・保管時の保護

【導入の効果】
・製品の破損リスクを軽減
・コスト削減
・作業効率向上

【電子部品向け】次世代型ハイパワークーラントシステム
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電子部品業界では、製品の小型化に伴い、切粉の除去がますます重要になっています。切粉が残存すると、製品の精度低下や故障の原因となる可能性があります。Aeroforceは、低圧ポンプのままで、切粉を効率的に除去し、製品の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・マシニングセンターでの電子部品加工
・旋盤加工による電子部品製造
・小型部品の精密加工

【導入の効果】
・切粉による不良品の削減
・加工精度の向上
・作業効率の改善

【電池業界向け】高粘度スラリー対応ろ過装置
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電池業界では、製品の性能を安定させるために、製造プロセスにおける異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、電極材料やセパレータなどの製造工程では、スラリー中の微細な異物が電池の性能劣化や短寿命化を引き起こす可能性があります。当社の『W-CELL フィルター装置』は、高粘度スラリーでも安定したろ過を実現し、電池製造における粒度調整・異物除去に貢献します。

【活用シーン】
・電極材料スラリーのろ過
・セパレータ製造工程での異物除去
・電池材料の分級ろ過

【導入の効果】
・電池の性能安定化
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【電子業界向け】安全教育の自動化
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電子業界では、製造現場における安全管理が非常に重要です。特に、外国人技能実習生が増加する中で、言語の壁は安全教育における大きな課題となっています。専門用語や複雑な作業手順が理解されず、事故につながるリスクも高まります。LinkBrain 10は、実習生の母国語で安全衛生ルールを理解できる10分間のアニメーションを提供し、教育の質を均一化します。通訳コストを削減しながら、安全意識の向上と事故リスクの低減を実現します。

【活用シーン】
・電子部品製造工場
・半導体製造工場
・電子機器組み立て工場

【導入の効果】
・安全教育の質の向上
・事故リスクの低減
・教育コストの削減
・実習生の早期戦力化

【半導体製造向け】外観部品
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半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、クリーンな環境下での製造が求められます。特に、外観部品においては、微細な異物の付着や傷が、製品の性能に影響を与える可能性があります。当社の外観部品は、厳しい外観検査に耐え、クリーンな環境下での使用に適しています。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での使用
・半導体製造装置への組み込み
・外観品質が重要視される製品

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・顧客からの信頼獲得

【液晶ディスプレイ向け】搬送レール用プレート加工事例
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液晶ディスプレイ業界では、製品の薄型化と高品質化が求められています。搬送システムに使用される部品には、微細な塵や埃の混入を防ぎ、高い清浄度を維持することが重要です。特に、プラスチック部品の加工においては、バリの発生を抑制する技術が、歩留まり向上に不可欠です。当社の搬送レール用プレート加工事例は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。

【活用シーン】
・液晶ディスプレイ製造ラインの搬送システム
・クリーンルーム内での部品搬送
・薄型ディスプレイの組み立てライン

【導入の効果】
・クリーンルーム環境の清浄度維持
・製品への異物混入リスクの低減
・歩留まり向上によるコスト削減

【電子機器向け】コンプレッサー内フィルター(ショートタイプ)
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電子機器業界では、基板の信頼性と長寿命化が重要です。基板は、埃や異物の混入によって誤作動や故障を引き起こす可能性があります。特にコンプレッサー周辺の環境では、微細な塵埃が基板に付着しやすく、問題となるケースがあります。当社のコンプレッサー内フィルターは、これらの課題に対応し基板を保護します。

【活用シーン】
・電子機器製造工場
・精密機器のメンテナンス
・基板実装工程

【導入の効果】
・基板の保護による製品寿命の向上
・故障率の低減
・メンテナンスコストの削減

【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】
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半導体製造業界では、高度なクリーン環境が求められ、微細な塵や油分が製品の品質に大きな影響を与えます。特に、ボールねじの潤滑油は、その落下による汚染源となり、歩留まりの低下や装置の故障につながる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、ボールねじが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーン環境を維持します。

【活用シーン】
・半導体製造装置
・クリーンルーム内での使用
・ボールねじの潤滑が必要な箇所

【導入の効果】
・クリーン環境の維持
・製品品質の向上
・メンテナンスサイクルの延長

【カメラ向け】小型部品専用リークテスト装置
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カメラ業界では、製品の信頼性を確保するために、防塵性能が非常に重要です。特に、屋外で使用されるカメラにおいては、塵や埃の侵入を防ぎ、長期間にわたって正常な動作を保証することが求められます。リークテスト装置は、製品の気密性を高精度に検査し、防塵性能を向上させるために不可欠です。

【活用シーン】
・カメラ製造における防塵対策
・防水・防塵性能評価
・製品の品質管理

【導入の効果】
・製品の信頼性向上
・不良品の削減
・顧客満足度の向上

【データセンター向け】異物混入防止フィルター
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データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。

【活用シーン】
・データセンターの換気口
・空調設備のフィルター

【導入の効果】
・メンテナンスコストの削減

【半導体製造向け】EL補助潤滑モジュール
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半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、クリーンな環境が不可欠です。特に、リニアガイドウェイからの潤滑油の飛散は、製品への汚染を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、リニアガイドウェイが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーンな環境を維持します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造装置
・クリーンルーム環境
・リニアガイドウェイの潤滑

【導入の効果】
・クリーン環境の維持
・製品への汚染リスク低減
・メンテナンス周期の延長

【電子機器向け】100%水切りできるエアーノズル
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【エアーブローで瞬時に完全水切り!その場で完全乾燥】
電子機器業界、特に基板洗浄においては、徹底的な水切りと乾燥が製品の品質と信頼性を左右します。
基板に残った水分は、腐食や絶縁不良を引き起こし、製品寿命を縮める原因となります。
従来の乾燥工程は時間とコストがかかり、生産効率を低下させる要因となっていました。

当製品『エアースクリューノズル』は、独自の特許技術により、エアーブローだけで基板を完全に水切り・その場で完全乾燥させることが可能。
これにより、乾燥工程にかかる時間、コスト、人員を削減し、生産ライン全体の効率化を実現します。

【活用シーン】
・基板洗浄後の水切り工程
・電子部品製造における精密洗浄後の乾燥
・クリーンルーム内での乾燥工程(クラス100対応)

【導入の効果】
・乾燥工程の完全省略による時間短縮
・乾燥設備、ランニングコスト、人員コストの削減
・生産ライン全体の効率化
・製品品質の向上

【半導体製造向け】SUS316製ブラインドリベット
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半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物の混入を極力避ける必要があります。特に、接合部分に使用するファスナーは、耐食性と異物発生の抑制が重要です。SUS316製ブラインドリベットは、これらの要求に応える製品です。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での機器の組み立て
・半導体製造装置のメンテナンス
・精密部品の固定

【導入の効果】
・高い耐食性による製品の長寿命化
・異物発生の抑制による品質向上
・クリーン環境での使用に適した材質

【半導体クリーンルーム向け】搬送レール用プレート加工事例
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半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な塵や埃の混入が製品の品質を大きく左右します。搬送システムに使用される部品には、高い清浄度が求められ、特にプラスチック部品の加工においては、バリの発生を抑制する技術が重要です。当社の搬送レール用プレート加工事例は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の搬送システム
・クリーンルーム内の部品搬送
・精密機器の組み立てライン

【導入の効果】
・クリーンルーム環境の清浄度維持
・製品への異物混入リスクの低減
・歩留まり向上によるコスト削減

【半導体向け】アドロン(r)コーティングですべり性向上
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半導体製造業界では、クリーンな環境が不可欠であり、部品の摩擦による微粒子の発生は、製品の品質を損なう大きな要因となります。特に、精密な動きが求められる装置においては、部品のすべり性が重要であり、摩擦を低減することで、微粒子の発生を抑制し、製品の歩留まり向上に貢献します。アドロン(r)コーティングは、このような課題に対し、すべり性を向上させることで、クリーンな環境を維持し、半導体製造の品質向上をサポートします。

【活用シーン】
・半導体製造装置の摺動部品
・クリーンルーム内での搬送機構
・精密機器の可動部分

【導入の効果】
・微粒子発生の抑制
・製品の歩留まり向上
・装置の長寿命化

【半導体製造向け】ハイブリッドレーザマーカー
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半導体製造業界では、製品の品質管理とトレーサビリティの確保が重要です。特に、基板への正確なマーキングは、製造工程の追跡や製品の識別において不可欠です。CO2レーザでは印字が難しい金属基板へのマーキングは、課題の一つです。当社のハイブリッド(YVO4・Fiber)レーザマーカーは、アルミニウム基板(アルミ放熱基板)など、CO2レーザでは印字できない金属材料へのレーザ印字に最適です。

【活用シーン】
・アルミ基板への印字
・基板表面のレーザクリーニング
・実装済み樹脂コネクタへの発色印字

【導入の効果】
・金属基板への高精度な印字
・トレーサビリティの向上
・製造工程の効率化

【半導体製造装置向け】Nバルブ チタン
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半導体製造装置業界では、高いクリーン度が求められ、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、接合部分からの発塵は、製造プロセスにおける重大な課題の一つです。Nバルブ チタンは、純チタン材を使用しており、高い耐食性とクリーン性を両立し、発塵のリスクを低減します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での使用
・高真空環境下での接合
・腐食性ガスにさらされる環境

【導入の効果】
・発塵量の抑制
・装置の長寿命化
・製品品質の向上

【半導体向け】Pulse500 レーザークリーナー
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半導体業界の微細加工においては、高品質な製品を製造するために、加工面の精密なクリーニングが不可欠です。特に、レーザー加工後の微細なパーティクルや異物の除去は、製品の歩留まりと信頼性を左右する重要な課題です。Pulse500レーザークリーナーは、500Wの高出力と空冷式設計により、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・レーザー加工後の異物除去
・微細部品のクリーニング
・精密な表面処理

【導入の効果】
・加工品質の向上
・歩留まりの改善
・製品の信頼性向上

【電池材料(特化物)向け】バキュームコンベア
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電池材料の輸送・供給においては、粉塵の発生が問題となり、作業環境の悪化や製品不良のリスクを高めます。特に作業員の方の粉体の吸込みリスクは非常に重要視されています。
VOLKMANNバキュームコンベアは、密閉構造により発塵を抑制し、クリーンな環境を提供することで、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・電池材料(リチウム、ニッケル・コバルト・マンガン酸化物等)の製造工場での粉体輸送
・クリーンルーム内での粉体搬送
・粉塵爆発のリスクがある環境での粉体搬送

【導入の効果】
・作業環境の改善
・製品品質の向上
・生産効率の向上
・安全性の確保

【電子部品向け】搬送レール用プレート加工事例
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電子部品業界では、製品の小型化が進み、精密な搬送が求められます。特に、狭いスペースでの部品の移動や、デリケートな部品の取り扱いにおいては、搬送用プレートの精度が重要になります。搬送時のわずかなズレや異物の混入は、製品の品質を損なう可能性があります。当社の搬送レール用プレート加工事例は、全数安定して公差を出すためのムラのない前加工とバリレス加工により、小型電子部品の搬送における課題を解決します。

【活用シーン】
・小型電子部品の搬送
・精密機器への部品供給
・狭いスペースでの部品移動

【導入の効果】
・搬送時の部品の損傷防止
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【半導体向け】基板印字用 UVレーザマーカー
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半導体業界では、ウェハのトレーサビリティを確保するため、高精度なID印字が求められます。特に、微細加工が進む中で、熱による基板へのダメージを抑えつつ、視認性の高い印字が重要です。従来のレーザマーカーでは、熱による基板への影響や印字の精度に課題がありました。当社のUVレーザマーカーは、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・ウェハID印字
・基板へのシリアルナンバー印字
・製造工程におけるトレーサビリティ管理

【導入の効果】
・熱ダメージを抑え、基板の品質を維持
・極小文字や2次元コードの高精度印字
・高密度実装基板への対応
・安定した印字品質の実現

【半導体製造向け】高耐久PEスパイラル型チューブ
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半導体製造業界のクリーン環境では、配線やケーブルの保護が重要です。微細な塵や埃の混入は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。また、製造プロセスにおける可動部の配線保護は、高い耐久性と耐摩耗性が求められます。当社の高耐久PEスパイラル型チューブは、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の配線保護
・半導体製造装置の可動部
・搬送ラインのケーブル保護

【導入の効果】
・クリーン環境の維持
・製品の品質向上
・配線・ケーブルの長寿命化

【電子機器向け】100%水切りできるエアーノズル
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【エアーブローで瞬時に完全水切り!その場で完全乾燥】
電子機器業界、特に基板洗浄においては、徹底的な水切りと乾燥が製品の品質と信頼性を左右します。
基板に残った水分は、腐食や絶縁不良を引き起こし、製品寿命を縮める原因となります。
従来の乾燥工程は時間とコストがかかり、生産効率を低下させる要因となっていました。

当製品『エアースクリューノズル』は、独自の特許技術により、エアーブローだけで基板を完全に水切り・その場で完全乾燥させることが可能。
これにより、乾燥工程にかかる時間、コスト、人員を削減し、生産ライン全体の効率化を実現します。

【活用シーン】
・基板洗浄後の水切り工程
・電子部品製造における精密洗浄後の乾燥
・クリーンルーム内での乾燥工程(クラス100対応)

【導入の効果】
・乾燥工程の完全省略による時間短縮
・乾燥設備、ランニングコスト、人員コストの削減
・生産ライン全体の効率化
・製品品質の向上

【電子・精密部品向け】圧縮空気清浄度測定
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電子・精密部品業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造環境における微細な汚染物質の管理が不可欠です。特に、圧縮空気は製品の製造工程で直接または間接的に使用されることが多く、その清浄度が製品の性能に大きく影響します。異物混入は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社では、JIS B 8392等の規格に基づき、圧縮空気の清浄度測定・評価を行い、お客様の品質管理をサポートします。

【活用シーン】
・電子部品製造工場
・クリーンルーム内での精密部品製造
・圧縮空気を利用する各種製造工程

【導入の効果】
・製品表面への汚染物質付着リスクの低減
・製造工程における不良品の削減
・製品の品質向上と信頼性確保

【半導体製造向け】長野ドライルーブ株式会社
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半導体製造業界では、クリーンな環境下での精密部品の品質維持が重要です。微細な埃や異物の付着は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。長野ドライルーブ株式会社の機能性塗装は、これらの課題に対し、製品の付加価値を高め、品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での精密部品
・半導体製造装置部品
・異物混入を防ぎたい部品

【導入の効果】
・製品の信頼性向上
・歩留まりの改善
・コスト削減

多段弱磁力磁選機
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当製品は、強磁性体同士の高精度選別を可能にした磁選システムです。

コンベヤと弱磁選ユニットの組み合わせで、1段~任意の段数に拡張可能。

0.01~0.07テスラの複数の異なる弱い均一磁場を利用して、磁化率が
異なる多成分の強磁性体同士を同時に選別することができます。

【特長】
■1段~任意の段数に拡張できる
■目的に応じて、磁力選別の条件は自在に調整可能
■電子素子の他、様々なシーンに応用できる
■均一磁場を形成させるための精密な高さ調整が可能
■適度に整粒された強磁性体を含んだ混合物は、定量供給フィーダーに
 よってベルトコンベアに供給

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高真空・耐熱グリースLOGENEST LAMBDA TKM-03
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高温環境下にて、優れた耐熱性能を示します。
また、真空環境下でも、優れた低アウトガス性能を示します。

実績ございます。
詳細情報はお気軽にお問い合わせください。

トレイ清掃装置『ハリケーン』
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当社では、トレイ清掃装置『ハリケーン』を取り扱っております。

『ハリケーン』は、半導体製品を収納するトレイをエアブローで清掃する
トレイ清掃装置です。

トレイは、複数枚を重ねて供給でき、1枚ずつ自動的に取り出して清掃します。
清掃済みのトレイは、供給したときと同じように重ねて格納できます。

【特長】
■装置内部循環式のエアブローでトレイを清掃
■トレイは複数枚を重ねて供給できる
■清掃済みのトレイは重ねて格納
■トレイ厚みは都度検討対応可能
■特殊仕様にも対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空・吸着パッド VUシリーズ / VMECA
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VMECAの真空パッド「VUシリーズ」は、ユニバーサルタイプの吸着パッドです。

■ VUシリーズの特長
-平板、またはなだらかな曲面のワークの移送
-少し窪んでいるワークの移送
-表面の滑らかな、または少し曲がっているワークの移送

【アプリケーション】
小型部品、半導体チップ、包装材、段ボール、板金 ほか


※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。


重量物位置決め微調整紙『すべるんペーパー(無塵紙タイプ)』
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『すべるんペーパー』は、
大型機械などの重量物を設置する際に重ねて敷くことで、
前後左右自在に、スーっと滑らせることができ、
細かい位置調整を簡単に行うことができる重量物位置決め微調整紙(スライディングペーパー)です。

クリーンルーム用の無塵紙タイプです。

一般的に"滑る=危険"ですが、工夫すれば"滑る=便利"になります。
安全を第一に注意してお使いください。

【特長】
■微調整重量は10トン未満
■微調整範囲は100mm以内

※接地面が凹凸な場合、うまく滑らないことがあります。
(鉄板などを敷き、平らにして使用してください)
 長い距離移動には適しません。
 重量物の下に敷くため、ジャッキ等が必要となります。

コインスタック梱包・開梱装置『PT150/200/300』
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『PT150/200/300』は、極薄ウェハーから標準ウェハーまでウェハーを
ベルヌーイ・エンドイフェクターで非接触自動搬送しコインスタック(横置き)
梱包、開梱する装置です。

コインスタック(横置き)式出荷ボックス、キャリア(FOUP、カセット)間の
詰め替えが自動で行えます。

メーカーを問わず、多種コインスタック(横置き)梱包ボックス、インサート
(ウェハー間の保護紙、フィルムなど)に対応します。

【特長】
■薄型ウェハー対応
■メーカーを問わず、多種コインスタック(横置き)梱包ボックス、
 インサートに対応
■グラインダー、分析計、欠陥検査装置へのコインスタックローダー、
 アンローダーとしての仕様も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体関連製品 総合カタログ
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当カタログは、ミライアル株式会社が取り扱うウエハ出荷容器などの
半導体関連製品を掲載した総合カタログです。

長年培った高機能プラスチックの精密成形/加工技術をもとに、
主に半導体業界において製品展開を行っております。
お客様の用途に合わせた製品選定に、お役立てください。

【掲載製品】
■FOSB
■FOUP
■カセット
■ボックス
■出荷容器
■ハンドル
■その他

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

電気抵抗率測定モジュール Sensingeye741
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薄型コンパクトサイズの電気抵抗率測定モジュールです。

【特徴】
○水質と水温の両方をアナログ出力
○デジタル温度補償方式
○幅36mmと薄型コンパクトサイズ
○本体はDINレール取り付けで、制御盤内設置に最適

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ウエハーシッパー
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当社で取り扱っている「ウエハーシッパー」についてご紹介いたします。

6インチ・8インチ・12インチリング運搬用。樹脂成形のため軽量です。
小量ロットよりご注文お受けしております。

ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。

【材質】
■PS(ポリスチレン)
■PP(ポリプロピレン)

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

反射型高機能フォトセンサ
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日本アレフでは、これまで難しかったワークの検出も可能にした
反射型高機能フォトセンサを開発しております。

外乱光に強い自社製開発素子を採用により屋外設置機器でも安定した
検出で、ホコリや汚れに強い自動自己補正機能などお客様のニーズに
合わせたカスタマイズやバージョンアップも可能。

お困りの課題解決にお役立てください。

【特長】
■検出距離1mm~25mm
■外乱光に強い光変調方式20,000lx(実力値)
■並置したセンサの影響を受けない
■外乱光に強い自社製開発素子を採用
■屋外設置機器でも安定した検出

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

卓上超音波洗浄器 (SW SERIES)
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洗浄に不可欠なヒーターやタイマーはもとより、スイープ発振やディガス機能に加え、新開発ブースト機能を付属した卓上型超音波洗浄ユニット。
卓上タイプながら、大きな洗浄物にも対応可能なモデル!

〜特徴〜
●スイープ発振で、ムラの無い洗浄が可能
●ディガス機能で槽内脱気を行い、超音波のロスを防ぎ、
 均一で効率的な洗浄
●ブースト機能で強力洗浄を実現し、パワーの強い超音波発振を実現
●ヒーター、タイマー機能搭載により、残り時間が分かります
●用途に合わせて選べる豊富なラインナップと、充実したアクセサリ
●材質はステンレス(SUS304)


※詳細はカタログを『ダウンロード』して下さい。
※価格やその他ご質問は、下記資料請求フォームより
 お問合せ下さい。

【独自開発】プローブカードコンテナ(プローブカードケース)
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『プローブカードコンテナ(ケース)』は、当社が独自開発した、高価な
プローブカードを安全に収納・搬送・保管するための製品です。

コンテナが開いている状態でも落下防止機構でカードの落下を防ぎ、
ボールキャスターつきで収納ラックからコンテナの出し入れも容易。

これまでジュラルミン製が主流だったカードコンテナを
ブロー樹脂製にすることで、大幅な軽量化と耐衝撃性の向上を図るとともに
大幅なコストダウンを実現しました。

【特長】
■低価格で軽量
■耐衝撃性と静電対応
■簡単で安全に

※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【半導体業界の方必見!】パイプエンド式真空フレキシブルホース
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パイプエンド式真空フレキシブルホース『NK-2300PT』は、
両端パイプエンド構造で、くい込み継手と接続できます。

配管誤差(変位吸収)が調整でき、
振動緩和やモーション対応が可能です。

世界最小クラスの直径3mmフレキシブルホースで、
高品質・低価格・短納期で対応できます。
※長さ・数量によって納期が異なります。

【仕様】
適用チューブ:CLT(超柔軟)
口径:3.18〜12.7mm
長さ:100mm〜3M
※長さについてはご相談下さい。
適用流体:ガス・水・空気
※ステンレスを腐蝕させない流体に限る。
使用温度:-196〜300℃
使用圧力:FV〜0.1MPa
※許容リーク量1.33×10-10Pa ㎥/Sec以下

2"4" ウェハシッピングボックス
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小口径ウェハーを搬送するケースです。
素材はPP 25枚収納です。

CAN分解機器『キャンオープナー』
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『キャンオープナー』は、気密封止されたLDパッケージ等の内蔵素子の
評価を目的として、CANのみ切断し分解する機器です。

切断方式は定圧加圧方式のため、切削屑、バリの発生もなく、
これにより内部の素子を汚染させたり、傷付けることなく
パッケージを切断・分解できます。

【特長】
■切削屑、バリの発生がない
■内部の素子を汚染させたり、傷付けることなくパッケージを切断・分解

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

新サン電子株式会社 超音波応用機器 総合カタログ
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当カタログは、電子部品、精密部品、光学レンズ等の精密自動洗浄装置の
設計・製作・販売、超音波発振器、振動子の開発・設計・製作・販売等を
行っている新サン電子株式会社の超音波応用機器を掲載している総合カタログ
です。

超音波発振器の「サンソニック」シリーズをはじめ、
「ハイソニック」シリーズや、「メガヘルツ」シリーズ、
「超音波測振電子」、「オーバーフロータイプ卓上洗浄槽」等の
超音波応用機器製品を多彩に掲載しております。

【掲載内容】
■超音波応用機器
■会社概要

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【サンプル差し上げます!】メンティップ工業用綿棒 P752D
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繊維が抜け落ちない様、当社独自の製造方法で長繊維を巻きつけて製造しています。

一般綿棒の綿球(綿球径4~5ミリ)よりも小さい綿球(綿球径2.9ミリ)ですので小さな穴や細かい部分の清掃に適しています。

ダイシング添加剤
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特長
●ブレード/カットソー冷却水に混合するだけの簡便な取り扱い
●毒性、腐食性が無く生分解性物質の為、排水が容易
●完全水溶性でカット後のリンスで完全洗浄 残渣ゼロ

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ダイシングにおける異物付着の防止

ダイシングにおける異物付着の防止とは?

半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。

​課題

切断屑の飛散と再付着

ダイシング時に発生する微細な切断屑が、装置内やクリーンルーム内に飛散し、再びチップ表面に付着する。

装置・治具からの異物混入

ダイシングブレード、チャック、搬送機構などの装置部品や、ウェハー固定用テープ、治具などから剥離・摩耗した異物が混入する。

環境からの異物持ち込み

クリーンルーム内の空気中の微粒子、作業者の衣服や手指に付着した異物、搬入される材料などに含まれる異物が持ち込まれる。

洗浄・乾燥工程での残留

ダイシング後の洗浄工程で異物が十分に除去されず、乾燥工程で水分と共に再付着したり、乾燥時に静電気で異物を引き寄せたりする。

​対策

切断屑の効率的な除去

ダイシングブレード周辺への集塵・吸引システムの強化や、切断液の適切な管理により、切断屑の飛散を最小限に抑え、速やかに除去する。

装置・治具の清浄化と材質選定

ダイシング装置の定期的な清掃・メンテナンス、摩耗しにくい材質の部品採用、ウェハー固定用テープの低発塵化などを実施する。

クリーンルーム環境の維持管理

高性能フィルターの導入、定期的な清掃、作業手順の遵守、静電気対策などを徹底し、外部からの異物混入リスクを低減する。

高度な洗浄・乾燥技術の適用

超音波洗浄や特殊洗浄液の使用、イオンブロワーによる静電気除去、温風・冷風乾燥の最適化などにより、異物の残留を防ぐ。

​対策に役立つ製品例

高性能集塵・吸引装置

ダイシングブレード周辺の切断屑をピンポイントで吸引し、飛散を効果的に抑制することで、異物の再付着リスクを低減する。

低発塵性ウェハー固定テープ

ダイシング時の剥離や摩耗による異物発生を極限まで抑え、ウェハーへの異物付着を防止する。

静電気除去装置(イオンブロワー)

洗浄・乾燥工程で発生する静電気を除去し、空気中の微粒子や切断屑がチップに引き寄せられるのを防ぐ。

特殊洗浄液・洗浄装置

微細な切断屑や油分などを効果的に除去し、洗浄後の異物残留を最小限に抑える。

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