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半導体製造装置・材料

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異物付着の防止とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおける異物付着の防止とは?

半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。

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電子機器業界では、製品の品質を維持するために、部品の安全な輸送が不可欠です。特に、リチウムイオン電池などの危険物を扱う場合、適切な輸送方法と法規制への準拠が求められます。不適切な輸送は、事故や法的な問題を引き起こす可能性があります。当社の危険物輸送サービスは、IATA/IMDG規則に準拠し、安全かつ迅速な輸送を実現します。

【活用シーン】
・電子部品メーカーの工場への部品供給
・修理用部品の迅速な配送
・海外拠点への部品輸送

【導入の効果】
・危険物輸送に関するコンプライアンス遵守
・輸送中の事故リスクの低減
・部品供給の遅延防止

【電子機器向け】危険物輸送サービス

半導体製造装置業界では、高いクリーン度が求められ、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、接合部分からの発塵は、製造プロセスにおける重大な課題の一つです。Nバルブ チタンは、純チタン材を使用しており、高い耐食性とクリーン性を両立し、発塵のリスクを低減します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での使用
・高真空環境下での接合
・腐食性ガスにさらされる環境

【導入の効果】
・発塵量の抑制
・装置の長寿命化
・製品品質の向上

【半導体製造装置向け】Nバルブ チタン

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。
ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。
当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程
・クリーンルーム内での使用
・微細な部品への塗布

【導入の効果】
・異物混入による不良品の発生を抑制
・安定した製品品質の確保
・清掃作業の自動化による作業効率の向上
・ランニングコストの削減

【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置

半導体製造業界では、製品の品質管理とトレーサビリティの確保が重要です。特に、基板への正確なマーキングは、製造工程の追跡や製品の識別において不可欠です。CO2レーザでは印字が難しい金属基板へのマーキングは、課題の一つです。当社のハイブリッド(YVO4・Fiber)レーザマーカーは、アルミニウム基板(アルミ放熱基板)など、CO2レーザでは印字できない金属材料へのレーザ印字に最適です。

【活用シーン】
・アルミ基板への印字
・基板表面のレーザクリーニング
・実装済み樹脂コネクタへの発色印字

【導入の効果】
・金属基板への高精度な印字
・トレーサビリティの向上
・製造工程の効率化

【半導体製造向け】ハイブリッドレーザマーカー

半導体業界では、ウェハのトレーサビリティを確保するため、高精度なID印字が求められます。特に、微細加工が進む中で、熱による基板へのダメージを抑えつつ、視認性の高い印字が重要です。従来のレーザマーカーでは、熱による基板への影響や印字の精度に課題がありました。当社のUVレーザマーカーは、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・ウェハID印字
・基板へのシリアルナンバー印字
・製造工程におけるトレーサビリティ管理

【導入の効果】
・熱ダメージを抑え、基板の品質を維持
・極小文字や2次元コードの高精度印字
・高密度実装基板への対応
・安定した印字品質の実現

【半導体向け】基板印字用 UVレーザマーカー

電池材料の輸送・供給においては、粉塵の発生が問題となり、作業環境の悪化や製品不良のリスクを高めます。特に作業員の方の粉体の吸込みリスクは非常に重要視されています。
VOLKMANNバキュームコンベアは、密閉構造により発塵を抑制し、クリーンな環境を提供することで、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・電池材料(リチウム、ニッケル・コバルト・マンガン酸化物等)の製造工場での粉体輸送
・クリーンルーム内での粉体搬送
・粉塵爆発のリスクがある環境での粉体搬送

【導入の効果】
・作業環境の改善
・製品品質の向上
・生産効率の向上
・安全性の確保

【電池材料(特化物)向け】バキュームコンベア

データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。

【活用シーン】
・データセンターの換気口
・空調設備のフィルター

【導入の効果】
・メンテナンスコストの削減

【データセンター向け】異物混入防止フィルター

半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物の混入を極力避ける必要があります。特に、接合部分に使用するファスナーは、耐食性と異物発生の抑制が重要です。SUS316製ブラインドリベットは、これらの要求に応える製品です。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での機器の組み立て
・半導体製造装置のメンテナンス
・精密部品の固定

【導入の効果】
・高い耐食性による製品の長寿命化
・異物発生の抑制による品質向上
・クリーン環境での使用に適した材質

【半導体製造向け】SUS316製ブラインドリベット

【エアーブローで瞬時に完全水切り!その場で完全乾燥】
電子機器業界、特に基板洗浄においては、徹底的な水切りと乾燥が製品の品質と信頼性を左右します。
基板に残った水分は、腐食や絶縁不良を引き起こし、製品寿命を縮める原因となります。
従来の乾燥工程は時間とコストがかかり、生産効率を低下させる要因となっていました。

当製品『エアースクリューノズル』は、独自の特許技術により、エアーブローだけで基板を完全に水切り・その場で完全乾燥させることが可能。
これにより、乾燥工程にかかる時間、コスト、人員を削減し、生産ライン全体の効率化を実現します。

【活用シーン】
・基板洗浄後の水切り工程
・電子部品製造における精密洗浄後の乾燥
・クリーンルーム内での乾燥工程(クラス100対応)

【導入の効果】
・乾燥工程の完全省略による時間短縮
・乾燥設備、ランニングコスト、人員コストの削減
・生産ライン全体の効率化
・製品品質の向上

【電子機器向け】100%水切りできるエアーノズル

【エアーブローで瞬時に完全水切り!その場で完全乾燥】
電子機器業界、特に基板洗浄においては、徹底的な水切りと乾燥が製品の品質と信頼性を左右します。
基板に残った水分は、腐食や絶縁不良を引き起こし、製品寿命を縮める原因となります。
従来の乾燥工程は時間とコストがかかり、生産効率を低下させる要因となっていました。

当製品『エアースクリューノズル』は、独自の特許技術により、エアーブローだけで基板を完全に水切り・その場で完全乾燥させることが可能。
これにより、乾燥工程にかかる時間、コスト、人員を削減し、生産ライン全体の効率化を実現します。

【活用シーン】
・基板洗浄後の水切り工程
・電子部品製造における精密洗浄後の乾燥
・クリーンルーム内での乾燥工程(クラス100対応)

【導入の効果】
・乾燥工程の完全省略による時間短縮
・乾燥設備、ランニングコスト、人員コストの削減
・生産ライン全体の効率化
・製品品質の向上

【電子機器向け】100%水切りできるエアーノズル

『キャンオープナー』は、気密封止されたLDパッケージ等の内蔵素子の
評価を目的として、CANのみ切断し分解する機器です。

切断方式は定圧加圧方式のため、切削屑、バリの発生もなく、
これにより内部の素子を汚染させたり、傷付けることなく
パッケージを切断・分解できます。

【特長】
■切削屑、バリの発生がない
■内部の素子を汚染させたり、傷付けることなくパッケージを切断・分解

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

CAN分解機器『キャンオープナー』

当カタログは、電子部品、精密部品、光学レンズ等の精密自動洗浄装置の
設計・製作・販売、超音波発振器、振動子の開発・設計・製作・販売等を
行っている新サン電子株式会社の超音波応用機器を掲載している総合カタログ
です。

超音波発振器の「サンソニック」シリーズをはじめ、
「ハイソニック」シリーズや、「メガヘルツ」シリーズ、
「超音波測振電子」、「オーバーフロータイプ卓上洗浄槽」等の
超音波応用機器製品を多彩に掲載しております。

【掲載内容】
■超音波応用機器
■会社概要

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

新サン電子株式会社 超音波応用機器 総合カタログ

当カタログは、ミライアル株式会社が取り扱うウエハ出荷容器などの
半導体関連製品を掲載した総合カタログです。

長年培った高機能プラスチックの精密成形/加工技術をもとに、
主に半導体業界において製品展開を行っております。
お客様の用途に合わせた製品選定に、お役立てください。

【掲載製品】
■FOSB
■FOUP
■カセット
■ボックス
■出荷容器
■ハンドル
■その他

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

半導体関連製品 総合カタログ

当社では、車やモバイル機器に使用される半導体の搬送及びベーキングに
適した『半導体搬送トレイ』を提供しております。

導電複合材のペレット製造・販売から金型製作、射出成形、検査、出荷まで
国内外でワンストップで供給します。

まずはお気軽にお問い合わせください。

【サービス】
■導電性複合材
■金型製作
■トレイ成形
■リユーストレイ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体搬送トレイ

『プローブカードコンテナ(ケース)』は、当社が独自開発した、高価な
プローブカードを安全に収納・搬送・保管するための製品です。

コンテナが開いている状態でも落下防止機構でカードの落下を防ぎ、
ボールキャスターつきで収納ラックからコンテナの出し入れも容易。

これまでジュラルミン製が主流だったカードコンテナを
ブロー樹脂製にすることで、大幅な軽量化と耐衝撃性の向上を図るとともに
大幅なコストダウンを実現しました。

【特長】
■低価格で軽量
■耐衝撃性と静電対応
■簡単で安全に

※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【独自開発】プローブカードコンテナ(プローブカードケース)

当社では、半導体設備の一部であるポリカーボネート製のカバー
(のぞき窓)などを製造しています。

多くの製作実績と長年に渡る技術の蓄積より、様々なお客様のニーズに
お応えする加工を実施し納品させていただいております。

また、PEEK樹脂(ポリエーテルエーテルケトン)など静電気が
帯電しにくい素材を使用した半導体関連部品の製造も行っております。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【製作品実例】
■先端ブッシュ

※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。

半導体関連製品 製造サービス

『ワンエアーポット AP19』は、DIP用基板搬送パレットに付着した
フラックスを専用洗浄液により除去する事を目的としたパレット洗浄機です。

電気を使用せず一般圧搾空気(通常はコンプレッサーによる)で稼働。
その為、電気部品が組み込まれておらず機器のスパーク等による発火の
恐れがありません。

また、電気特有の電圧及び周波数を気にする事なく海外での使用にも有効です。

【特長】
■エアー1本でフル稼働(0.5~0.7MPaのエアー使用)
■圧搾空気で稼働
■二方噴射方式を採用
■大流量コントロールタイマーを搭載
■電気を使用しないデメリットを解消

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

圧搾空気稼働型パレット洗浄機『ワンエアーポット AP19』

当社では、導電性セラミックを取り扱っております。

アルミナを主成分として静電気対策用から金属並みの伝導性があるものなど
バリエーションがあり、使用用途として、チャンバー内の静電気対策や、
帯電したシリコンウエハを搬送するロボットハンドなどがあります。

その他、窒化アルミや、設備の移転からチャンバー部品までお客様の
ニーズに合わせて改造も可能な半導体装置部品にも対応。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■10-1から101の導電性アルミナ、放電加工対応可能
■MΩからGΩまで体積抵抗率をお客様要望に合わせて制作可能
■アルミナ99.5%以上のセラミックなので真空環境にも対応
■最大寸法は500×500×15Tまで制作可能

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

導電性セラミック

当社で取り扱っている「ウエハーシッパー」についてご紹介いたします。

6インチ・8インチ・12インチリング運搬用。樹脂成形のため軽量です。
小量ロットよりご注文お受けしております。

ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。

【材質】
■PS(ポリスチレン)
■PP(ポリプロピレン)

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ウエハーシッパー

『PT150/200/300』は、極薄ウェハーから標準ウェハーまでウェハーを
ベルヌーイ・エンドイフェクターで非接触自動搬送しコインスタック(横置き)
梱包、開梱する装置です。

コインスタック(横置き)式出荷ボックス、キャリア(FOUP、カセット)間の
詰め替えが自動で行えます。

メーカーを問わず、多種コインスタック(横置き)梱包ボックス、インサート
(ウェハー間の保護紙、フィルムなど)に対応します。

【特長】
■薄型ウェハー対応
■メーカーを問わず、多種コインスタック(横置き)梱包ボックス、
 インサートに対応
■グラインダー、分析計、欠陥検査装置へのコインスタックローダー、
 アンローダーとしての仕様も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

コインスタック梱包・開梱装置『PT150/200/300』

洗浄に不可欠なヒーターやタイマーはもとより、スイープ発振やディガス機能に加え、新開発ブースト機能を付属した卓上型超音波洗浄ユニット。
卓上タイプながら、大きな洗浄物にも対応可能なモデル!

〜特徴〜
●スイープ発振で、ムラの無い洗浄が可能
●ディガス機能で槽内脱気を行い、超音波のロスを防ぎ、
 均一で効率的な洗浄
●ブースト機能で強力洗浄を実現し、パワーの強い超音波発振を実現
●ヒーター、タイマー機能搭載により、残り時間が分かります
●用途に合わせて選べる豊富なラインナップと、充実したアクセサリ
●材質はステンレス(SUS304)


※詳細はカタログを『ダウンロード』して下さい。
※価格やその他ご質問は、下記資料請求フォームより
 お問合せ下さい。

卓上超音波洗浄器 (SW SERIES)

繊維が抜け落ちない様、当社独自の製造方法で長繊維を巻きつけて製造しています。

一般綿棒の綿球(綿球径4~5ミリ)よりも小さい綿球(綿球径2.9ミリ)ですので小さな穴や細かい部分の清掃に適しています。

【サンプル差し上げます!】メンティップ工業用綿棒 P752D

当製品は、強磁性体同士の高精度選別を可能にした磁選システムです。

コンベヤと弱磁選ユニットの組み合わせで、1段~任意の段数に拡張可能。

0.01~0.07テスラの複数の異なる弱い均一磁場を利用して、磁化率が
異なる多成分の強磁性体同士を同時に選別することができます。

【特長】
■1段~任意の段数に拡張できる
■目的に応じて、磁力選別の条件は自在に調整可能
■電子素子の他、様々なシーンに応用できる
■均一磁場を形成させるための精密な高さ調整が可能
■適度に整粒された強磁性体を含んだ混合物は、定量供給フィーダーに
 よってベルトコンベアに供給

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

多段弱磁力磁選機

当社では、トレイ清掃装置『ハリケーン』を取り扱っております。

『ハリケーン』は、半導体製品を収納するトレイをエアブローで清掃する
トレイ清掃装置です。

トレイは、複数枚を重ねて供給でき、1枚ずつ自動的に取り出して清掃します。
清掃済みのトレイは、供給したときと同じように重ねて格納できます。

【特長】
■装置内部循環式のエアブローでトレイを清掃
■トレイは複数枚を重ねて供給できる
■清掃済みのトレイは重ねて格納
■トレイ厚みは都度検討対応可能
■特殊仕様にも対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

トレイ清掃装置『ハリケーン』

小口径ウェハーを搬送するケースです。
素材はPP 25枚収納です。

2"4" ウェハシッピングボックス

VMECAの真空パッド「VUシリーズ」は、ユニバーサルタイプの吸着パッドです。

■ VUシリーズの特長
-平板、またはなだらかな曲面のワークの移送
-少し窪んでいるワークの移送
-表面の滑らかな、または少し曲がっているワークの移送

【アプリケーション】
小型部品、半導体チップ、包装材、段ボール、板金 ほか


※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。


真空・吸着パッド VUシリーズ / VMECA

『ロールクラッシャーシリーズ』は、半導体部品(チップ・モールド・
ダイオード・ウェーハ)や、小型電子部品を対象とした専用破砕機です。

製造・物流現場で不要となった規格外品の機能破壊による情報保護や
貴金属回収を目的としたリサイクルで活躍。

強靭な2軸破砕ロールを通過させる事で、すり潰すように破砕をします。

【特長】
■R-CL 型
・シンプル&堅牢な設計で確実にワークを破砕
・どなたでも簡単に使用出来る
■RCL-N 型
・ロールクリアランスの調整が電動式のため、確実な調整と破砕作業が可能
・高周波焼入れ&耐摩耗性に優れた表面超硬溶射を標準採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

小型電子部品専用 破砕機『ロールクラッシャーシリーズ』

半導体静電破壊対策での導電性樹脂成形例をご紹介します。

半導体やカメラモジュールなど電子部品向けで長年の実績がある導電耐熱
リールや、基盤、フレームラック用の導電性スライドラックプレート、
シリコンウエハー用の透明導電性キャリアーなどがございます。

ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。

【導電性樹脂成形例】
■導電耐熱リール
■導電性スライドラックプレート
■透明導電性キャリアー
■導電性高耐熱レーザー素子検査ジグ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【導電性樹脂成形例】半導体静電破壊対策

パイプエンド式真空フレキシブルホース『NK-2300PT』は、
両端パイプエンド構造で、くい込み継手と接続できます。

配管誤差(変位吸収)が調整でき、
振動緩和やモーション対応が可能です。

世界最小クラスの直径3mmフレキシブルホースで、
高品質・低価格・短納期で対応できます。
※長さ・数量によって納期が異なります。

【仕様】
適用チューブ:CLT(超柔軟)
口径:3.18〜12.7mm
長さ:100mm〜3M
※長さについてはご相談下さい。
適用流体:ガス・水・空気
※ステンレスを腐蝕させない流体に限る。
使用温度:-196〜300℃
使用圧力:FV〜0.1MPa
※許容リーク量1.33×10-10Pa ㎥/Sec以下

【半導体業界の方必見!】パイプエンド式真空フレキシブルホース

日本アレフでは、これまで難しかったワークの検出も可能にした
反射型高機能フォトセンサを開発しております。

外乱光に強い自社製開発素子を採用により屋外設置機器でも安定した
検出で、ホコリや汚れに強い自動自己補正機能などお客様のニーズに
合わせたカスタマイズやバージョンアップも可能。

お困りの課題解決にお役立てください。

【特長】
■検出距離1mm~25mm
■外乱光に強い光変調方式20,000lx(実力値)
■並置したセンサの影響を受けない
■外乱光に強い自社製開発素子を採用
■屋外設置機器でも安定した検出

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

反射型高機能フォトセンサ

特長
●ブレード/カットソー冷却水に混合するだけの簡便な取り扱い
●毒性、腐食性が無く生分解性物質の為、排水が容易
●完全水溶性でカット後のリンスで完全洗浄 残渣ゼロ

ダイシング添加剤

『すべるんペーパー』は、
大型機械などの重量物を設置する際に重ねて敷くことで、
前後左右自在に、スーっと滑らせることができ、
細かい位置調整を簡単に行うことができる重量物位置決め微調整紙(スライディングペーパー)です。

クリーンルーム用の無塵紙タイプです。

一般的に"滑る=危険"ですが、工夫すれば"滑る=便利"になります。
安全を第一に注意してお使いください。

【特長】
■微調整重量は10トン未満
■微調整範囲は100mm以内

※接地面が凹凸な場合、うまく滑らないことがあります。
(鉄板などを敷き、平らにして使用してください)
 長い距離移動には適しません。
 重量物の下に敷くため、ジャッキ等が必要となります。

重量物位置決め微調整紙『すべるんペーパー(無塵紙タイプ)』

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ダイシングにおける異物付着の防止

ダイシングにおける異物付着の防止とは?

半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに切断します。この際、切断屑や周辺環境からの異物がチップ表面に付着すると、歩留まり低下や製品不良の原因となります。ダイシングの異物付着防止とは、これらの異物の発生を抑制し、付着を防ぐための技術や対策全般を指します。目的は、高信頼性・高品質な半導体チップの安定供給を実現することです。

課題

切断屑の飛散と再付着

ダイシング時に発生する微細な切断屑が、装置内やクリーンルーム内に飛散し、再びチップ表面に付着する。

装置・治具からの異物混入

ダイシングブレード、チャック、搬送機構などの装置部品や、ウェハー固定用テープ、治具などから剥離・摩耗した異物が混入する。

環境からの異物持ち込み

クリーンルーム内の空気中の微粒子、作業者の衣服や手指に付着した異物、搬入される材料などに含まれる異物が持ち込まれる。

洗浄・乾燥工程での残留

ダイシング後の洗浄工程で異物が十分に除去されず、乾燥工程で水分と共に再付着したり、乾燥時に静電気で異物を引き寄せたりする。

​対策

切断屑の効率的な除去

ダイシングブレード周辺への集塵・吸引システムの強化や、切断液の適切な管理により、切断屑の飛散を最小限に抑え、速やかに除去する。

装置・治具の清浄化と材質選定

ダイシング装置の定期的な清掃・メンテナンス、摩耗しにくい材質の部品採用、ウェハー固定用テープの低発塵化などを実施する。

クリーンルーム環境の維持管理

高性能フィルターの導入、定期的な清掃、作業手順の遵守、静電気対策などを徹底し、外部からの異物混入リスクを低減する。

高度な洗浄・乾燥技術の適用

超音波洗浄や特殊洗浄液の使用、イオンブロワーによる静電気除去、温風・冷風乾燥の最適化などにより、異物の残留を防ぐ。

​対策に役立つ製品例

高性能集塵・吸引装置

ダイシングブレード周辺の切断屑をピンポイントで吸引し、飛散を効果的に抑制することで、異物の再付着リスクを低減する。

低発塵性ウェハー固定テープ

ダイシング時の剥離や摩耗による異物発生を極限まで抑え、ウェハーへの異物付着を防止する。

静電気除去装置(イオンブロワー)

洗浄・乾燥工程で発生する静電気を除去し、空気中の微粒子や切断屑がチップに引き寄せられるのを防ぐ。

特殊洗浄液・洗浄装置

微細な切断屑や油分などを効果的に除去し、洗浄後の異物残留を最小限に抑える。

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