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半導体製造装置・材料

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半導体製造装置・材料

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膜厚均一性の確保とは？課題と対策・製品を解説

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回路・パターン設計

消費電力削減の最適化
ノイズ耐性向上の検討
設計プロセスの自動化
歩留まり予測精度の向上
設計エラーの早期検出
設計データの検証時間短縮
次世代微細化技術への対応
複雑化する回路の管理
消費電力削減の最適化
ノイズ耐性向上の検討
設計プロセスの自動化

フォトマスク作成

製造コストの削減
欠陥の早期検出
パターンの高精度転写
描画時間の短縮
マスク寿命の延伸
異物混入の防止
新素材への対応
製造コストの削減
欠陥の早期検出
パターンの高精度転写

シリコンインゴット切断

切断歩留まりの最大化
材料の有効活用
切断時間の短縮
切断精度の向上
切断時のウェーハ損傷防止
切削液の再利用
プロセス自動化の推進
エネルギー消費の最適化
切断歩留まりの最大化
材料の有効活用
切断時間の短縮

ウェーハの研磨

次世代ウェーハへの対応
表面平坦度の均一化
ウェーハ厚みのばらつき低減
研磨後の表面欠陥の抑制
研磨時間の短縮
コスト効率の改善
プロセス安定性の確保
汚染物質の除去
次世代ウェーハへの対応
表面平坦度の均一化
ウェーハ厚みのばらつき低減

ウェーハ表面の酸化

酸化膜厚の均一化
リーク電流の抑制
製造時間の短縮
不純物混入の防止
膜質制御の精密化
熱処理プロセスの最適化
酸化膜厚の均一化
リーク電流の抑制
製造時間の短縮

薄膜形成

膜厚均一性の確保
成膜プロセスの効率化
異物混入の防止
膜の物理的特性の向上
成膜速度の向上
材料コストの最適化
新しい薄膜材料の適用
膜厚均一性の確保
成膜プロセスの効率化
異物混入の防止

フォトレジスト塗布

塗布膜厚の均一化
レジスト塗布ムラの抑制
塗布プロセスの高速化
レジストの消費量削減
異物混入の排除
レジストリサイクルの検討
膜厚制御の精密化
プロセス安定性の向上
塗布膜厚の均一化
レジスト塗布ムラの抑制
塗布プロセスの高速化

露光・現像

回路パターンの寸法均一化
露光時間短縮の実現
パターン欠陥の低減
焦点深度の最適化
露光位置精度の向上
プロセスの安定化
現像液の効率利用
次世代露光技術への対応
回路パターンの寸法均一化
露光時間短縮の実現
パターン欠陥の低減

エッチング

回路の垂直・水平方向の寸法制御
サイドウォール形状の改善
エッチング時間の短縮
ウェーハ損傷の防止
エッチング後の洗浄効率向上
プロセスガスの消費削減
ドライエッチングの精密制御
異方性エッチングの高精度化
回路の垂直・水平方向の寸法制御
サイドウォール形状の改善
エッチング時間の短縮

レジスト剥離・洗浄

レジスト剥離残渣の完全除去
洗浄時間の短縮
ウェーハ表面へのダメージ防止
洗浄液の再利用
不純物再付着の防止
洗浄プロセスの自動化
洗浄効率の最適化
レジスト剥離残渣の完全除去
洗浄時間の短縮
ウェーハ表面へのダメージ防止

イオン注入

不純物濃度の均一化
注入深さの精密制御
ウェーハへのダメージ低減
スループットの向上
注入プロセスの自動化
イオン注入装置の安定稼働
不純物濃度の均一化
注入深さの精密制御
ウェーハへのダメージ低減

平坦化

ウェーハ表面の超平坦化
層間膜の均一化
研磨プロセスの高精度化
平坦化プロセスの効率化
プロセス時間の短縮
欠陥発生の抑制
化学機械研磨プロセスの安定化
ウェーハ表面の超平坦化
層間膜の均一化
研磨プロセスの高精度化

電極形成

電極材料の密着性向上
接触抵抗の低減
配線パターンの高精度形成
配線間のショート防止
電極形成プロセスの効率化
金属汚染の防止
電極材料の密着性向上
接触抵抗の低減
配線パターンの高精度形成

ウェーハ検査

検査時間の短縮
不良品検出精度の向上
欠陥分類の自動化
検査データの統合管理
検査装置の安定稼働
AIを活用した検査効率化
検査時間の短縮
不良品検出精度の向上
欠陥分類の自動化

ダイシング

チップ切断精度の向上
切断時のチップの欠け・割れ防止
切断時間の短縮
刃の摩耗管理
切削液の効率利用
ダイシングプロセスの自動化
異物付着の防止
チップ切断精度の向上
切断時のチップの欠け・割れ防止
切断時間の短縮

ワイヤーボンディング

ワイヤー接続強度の向上
位置合わせ精度の精密化
ワイヤーの断線・接触不良防止
ボンディング時間の短縮
ボンディングコストの削減
プロセス自動化の推進
熱応力の最適化
ボンディングパッドの損傷防止
ワイヤー接続強度の向上
位置合わせ精度の精密化
ワイヤーの断線・接触不良防止

モールディング

樹脂の均一充填
気泡混入の防止
モールド時のチップへの応力緩和
反りの抑制
成形不良の低減
モールド樹脂の品質管理
樹脂の均一充填
気泡混入の防止
モールド時のチップへの応力緩和

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検査・測定装置
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その他半導体製造装置・材料
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薄膜形成における膜厚均一性の確保とは？

半導体製造において、微細な回路パターンを形成するために、基板上に極めて薄い膜を均一な厚さで形成する技術です。この膜厚の均一性は、半導体の性能や信頼性を左右する重要な要素となります。

各社の製品

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【半導体製造向け】拡散接合　精密加工

【半導体製造向け】拡散接合　精密加工
株式会社型システム
半導体製造業界では、製品の小型化と高性能化に伴い、精密部品の冷却効率や微細流路の精度が重要視されています。拡散接合技術は、これらの課題に対し、高い接合精度と耐久性を提供し、製品の信頼性向上に貢献します。拡散接合と微細加工を組み合わせることで、半導体製造における高精度な部品製作を可能にします。 【活用シーン】 ・半導体製造における冷却部品の製作 ・マイクロ流路の製作 ・高精度を求められる部品の製作 【導入の効果】 ・製品の冷却効率向上 ・製品の小型化、高性能化への貢献 ・高い接合精度による製品信頼性の向上
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【半導体製造向け】ジェットクーラ

【半導体製造向け】ジェットクーラ
日本精器株式会社
半導体製造業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、精密な冷却が求められる工程においては、温度ムラや急激な温度変化が、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。ジェットクーラは、可動部分がなく、冷媒や電気を使用しないため、安定した冷風供給を実現し、精密冷却のニーズに応えます。 【活用シーン】 ・半導体製造装置の局所冷却 ・電子部品の冷却 ・検査工程での温度管理 【導入の効果】 ・スポット冷却による温度管理精度の向上 ・電気代削減によるコストダウン ・長寿命設計によるメンテナンス頻度の低減
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【電池製造向け】PLBF：高精度供給ポンプ

【電池製造向け】PLBF：高精度供給ポンプ
株式会社タクミナ
電池製造業界、特に電極塗布工程においては、塗工液の品質が電池性能を大きく左右します。均一な膜厚形成、金属コンタミの排除、液質変化の抑制が求められます。不適切な供給は、電池の性能低下や品質問題を引き起こす可能性があります。タクミナのPLBFは、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 * 電極材の塗布 * 高粘度・高圧の塗工液供給 * 二次電池製造工程 【導入の効果】 * 均一な膜厚形成による電池性能向上 * 金属コンタミによる品質低下を防止 * 液質変化を防ぎ、安定した塗工品質を維持
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【電池向け】スケールアップ　分散機2000シリーズ

【電池向け】スケールアップ　分散機2000シリーズ
IKAジャパン株式会社
電池業界では、高性能な電池を製造するために、電極材料の均一な分散が求められます。特に、電極材料の粒子径や分散状態が、電池の性能に大きく影響します。不均一な分散は、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。IKA スケールアップ　分散機2000シリーズは、卓上機から生産機まで同一の粉砕機構を採用しており、研究開発から生産へのスケールアップを容易にします。ローターステーターシステムにより、電池材料の最適な分散を実現し、電池の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電池材料（スラリー）の調製 ・電極合材の分散 ・研究開発から量産へのスケールアップ 【導入の効果】 ・均一な分散による電池性能の向上 ・スケールアップの容易さ ・多様な材料への対応
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【半導体向け】アルカリ液対応 TSPポンプ BSモデル

【半導体向け】アルカリ液対応 TSPポンプ BSモデル
株式会社タカトテクニカ
半導体業界では、製造プロセスにおける薬液の正確な供給が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、アルカリ性の薬液は腐食性が高く、使用するポンプには高い耐薬品性が求められます。また、微量な薬液を正確に注入できる能力も不可欠です。当社のアルカリ液対応 TSPポンプ BSモデルは、耐腐食性に優れた材質を使用し、正確な薬液供給を実現することで、半導体製造における課題解決に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における薬液供給 ・薬液の微量定量注入が必要な場面 ・アルカリ性薬品を取り扱う場面 【導入の効果】 ・薬液供給の精度向上 ・製品品質の安定化 ・ランニングコストの削減
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【電池製造向け】超音波ふるいによる高品質電池粉末の粒度制御

【電池製造向け】超音波ふるいによる高品質電池粉末の粒度制御
ユーシー・ジャパン株式会社
電池製造業界では、電池の性能を左右する電池粉末の粒度制御が重要です。粒度分布の偏りは、電池の充放電効率の低下や寿命の短縮につながる可能性があります。特に、電極材料の均一な分散と適切な粒径の確保は、高性能な電池製造に不可欠です。Artech超音波ふるい機は、50µm以下のハイメッシュ乾式分級を容易にし、電池品質の向上と作業時間の効率化を実現します。 【活用シーン】 ・電池材料（正極材、負極材）の分級 ・粒度分布の均一化による電池性能向上 ・既存の振動ふるい機への後付け 【導入の効果】 ・高品質な電池粉末の製造 ・作業時間の短縮 ・メッシュの目詰まり防止によるメンテナンス性の向上
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【半導体製造向け】熱電対センサー

【半導体製造向け】熱電対センサー
石川産業株式会社
半導体製造業界では、製造プロセスの品質管理において、正確な温度測定が不可欠です。特に、高温での処理や精密な温度制御が求められる工程では、温度測定の精度が製品の歩留まりや品質に大きく影響します。熱電対センサーは、極低温から超高温まで幅広い温度範囲に対応し、多様な形状と素材で、半導体製造現場の様々なニーズに応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程 ・高温焼成炉 ・真空蒸着装置 ・各種プロセスチャンバー 【導入の効果】 ・正確な温度測定による品質向上 ・プロセスの安定化 ・歩留まりの改善 ・多様な形状と素材による柔軟な対応
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【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ

【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ
株式会社タクミナ
半導体業界では、高品質な製品を製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工技術においては、薬液の純度と供給精度が製品の性能を左右します。不適切な薬液供給は、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社製品は、高精度な薬液供給を実現し、半導体製造における課題を解決します。 【活用シーン】 ・薬液注入 ・長距離配管・高揚程移送 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・製造コストの削減
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【ディスプレイ向け】CNTスラリー研究 卓上インライン分散機

【ディスプレイ向け】CNTスラリー研究 卓上インライン分散機
IKAジャパン株式会社
ディスプレイ業界では、高画質化を実現するために、CNT（カーボンナノチューブ）などのナノ材料の均一な分散が求められます。特に、ディスプレイの表示性能を左右するCNT分散においては、凝集のない均一な分散が不可欠です。不適切な分散は、表示ムラや輝度低下を引き起こす可能性があります。当社のCNTスラリー研究 卓上インライン分散機は、CNTのスラリー化や分散プロセスを研究開発し、ディスプレイの高画質化に貢献します。 【活用シーン】 ・高画質ディスプレイの開発 ・CNT分散技術の研究 ・インクジェット印刷技術の研究 【導入の効果】 ・CNT分散の均一性向上 ・ディスプレイの表示性能向上 ・研究開発の効率化
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【電池業界向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】シールドユニット

【電池業界向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】シールドユニット
シルバーソン ニッポン株式会社
電池業界では、スラリーの均一な混合が製品の性能を左右します。 特に、安全性と品質が重要視されるため、無菌環境下での作業が求められます。 不適切な混合は、電池の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。 当社の試験室用ミキサー シールドユニットは、 無菌環境下でのスラリー混合を可能にし、安全性を確保します。 【活用シーン】 ・電池材料のスラリー混合 ・研究開発における少量混合 ・品質管理におけるサンプル調製 【導入の効果】 ・無菌環境下での安全な作業 ・均一な混合による品質向上 ・材料の無駄を削減
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【エレクトロニクス向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット

【エレクトロニクス向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット
株式会社スパッタコア
エレクトロニクス業界のスパッタ用途では、高品質な薄膜形成が求められます。特に、半導体デバイスや電子部品の製造においては、ターゲット材の純度や均一性が製品の性能を左右します。ジルコニウム(Zr)ターゲットは、耐食性や耐熱性に優れ、様々な電子部品の製造に利用されています。当社のジルコニウム(Zr)ターゲットは、高品質な薄膜形成を可能にし、お客様の製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造 ・電子部品製造 ・薄膜形成 【導入の効果】 ・高品質な薄膜形成 ・製品の信頼性向上 ・スパッタリング効率の向上
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【電子材料向け】卓上型分散機 magic PLANT

【電子材料向け】卓上型分散機 magic PLANT
IKAジャパン株式会社
電子材料業界における薄膜化プロセスでは、材料の均一な分散と精密な混合が、薄膜の品質を左右する重要な要素となります。特に、薄膜の性能を最大限に引き出すためには、材料の凝集を防ぎ、微細な粒子を均一に分散させることが不可欠です。magic PLANTは、真空、加圧、温調といった機能を備え、材料の状態を最適に保ちながら、均一な分散を実現します。これにより、薄膜の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子材料の研究開発 ・薄膜材料の試作 ・材料の分散・混合プロセス 【導入の効果】 ・薄膜の均一性向上 ・材料の無駄を削減 ・研究開発期間の短縮
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【電池業界向け】Volkmannランプブレーカー

【電池業界向け】Volkmannランプブレーカー
Volkmann Japan(フォルクマン ジャパン)株式会社
電池材料は凝集しやすい傾向が有り、次工程の歩留まりを発生する事が見られます。Volkmannランプブレーカーは、これらの凝集塊を効率的に解砕し、材料の均一性を高めることで、生産工程の工場に貢献します。 【導入の効果】 ・材料の均一化による反応効率の向上 ・生産の安定化 ・歩留まりの向上
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【電子部品向け】BSフローカップ K2354

【電子部品向け】BSフローカップ K2354
エルコメーター株式会社
電子部品業界では製品の信頼性を確保するため、接着剤の適切な粘度管理が重要です。 接着剤の粘度管理は、部品の接合強度や耐久性に直接影響し、製品の品質を左右します。 粘度が高すぎると塗布不良や気泡混入の原因となり、低すぎると接着剤の垂れや漏れを引き起こす可能性があります。 BSフローカップ『K2354』は英国規格に準拠した粘度測定ツールとして接着剤の流動性を簡便に評価し、 品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・電子部品製造における接着剤の品質管理 ・接着剤の粘度測定による工程管理 ・接着剤メーカーの研究開発 【導入の効果】 ・接着剤の粘度を正確に測定し、品質の安定化に貢献 ・不良品の削減と歩留まり向上 ・品質管理基準の標準化と効率化
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【自動車センサー向け】台湾産 酸化タングステン（BTO）

【自動車センサー向け】台湾産 酸化タングステン（BTO）
興和株式会社
自動車業界では、安全性の向上と環境負荷の低減が求められており、そのために高度なセンサー技術が不可欠です。特に、排ガスセンサーや温度センサーなど、高精度な測定が求められる分野では、センサー材料の性能が重要になります。酸化タングステン（ブルー）（BTO）は、その優れた特性により、これらのセンサーの性能向上に貢献します。 【活用シーン】 * 排ガスセンサー * 温度センサー * 各種ガスセンサー 【導入の効果】 * 高感度・高精度なセンサーの実現 * センサーの耐久性向上 * 環境性能の向上
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【自動車センサー向け】タンタル(Ta)ターゲット

【自動車センサー向け】タンタル(Ta)ターゲット
株式会社スパッタコア
自動車業界のセンサー技術では、高い精度と耐久性が求められます。特に、過酷な環境下で使用されるセンサーにおいては、材料の信頼性が性能を左右します。タンタル(Ta)ターゲットは、これらの要求に応えるために開発されました。 【活用シーン】 ・車載用センサー ・自動運転システム ・安全運転支援システム 【導入の効果】 ・高感度センサーの実現 ・センサーの長寿命化 ・安定した性能の確保
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【電池材料向け】SAS型エアセパレータ

【電池材料向け】SAS型エアセパレータ
株式会社増野製作所
電池材料業界では、製品の性能を左右する粒度調整が重要です。電極材料の均一な粒子径は、電池の容量や充放電速度に影響を与えます。不適切な粒度調整は、電池の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。SAS型エアセパレータは、循環旋回気流と遠心力で効率的に分級を行い、電池材料の粒度調整に貢献します。 【活用シーン】 ・リチウムイオン電池正極材の分級 ・リチウムイオン電池負極材の分級 ・その他電池材料の粒度調整 【導入の効果】 ・均一な粒子径の実現 ・電池性能の向上 ・歩留まりの改善
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【家電向け】シリコンコートグラスファイバー グレードC

【家電向け】シリコンコートグラスファイバー グレードC
株式会社ハギテック
家電業界では、製品の安全性と耐久性を確保するために、電線やケーブルの絶縁が重要です。特に、高温環境や振動にさらされる家電製品においては、絶縁性能の高い保護材が求められます。絶縁不良は、感電や火災の原因となる可能性があります。当社のシリコンコートグラスファイバー グレードCは、耐熱220℃、絶縁スリーブ、耐放射線、グラスファイバーチューブ、シリコン被覆といった特長があり、家電製品のリード線保護に最適です。 【活用シーン】 ・家電製品内部の配線 ・モーターコイルの絶縁 ・変圧器リード線の絶縁 【導入の効果】 ・高い絶縁性能による安全性の向上 ・耐熱性による製品寿命の延長 ・耐放射線性による信頼性の向上
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【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定

【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定
株式会社サンコウ電子研究所
電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、コーティングの正確な膜厚測定が不可欠です。特に、基板や筐体などのコーティングは、製品の性能や耐久性に大きく影響します。膜厚が不適切だと、絶縁不良や腐食、性能劣化を引き起こす可能性があります。クイントソニックTは、非破壊で最大8層までの膜厚を測定し、電子機器の品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・電子部品のコーティング厚測定 ・基板の絶縁膜厚測定 ・筐体の塗装膜厚測定 【導入の効果】 ・非破壊測定による検査時間の短縮 ・多層膜厚の同時測定による効率化 ・測定データのEXCEL出力とレポート作成による記録管理の簡素化
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【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム

【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム
中西商事株式会社
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、高純度ガスの安全な輸送が不可欠です。特に、微細な異物の混入やガスの漏洩は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。当社の二重管システムは、内管と外管の二重構造により、万が一のガス漏れのリスクを低減し、高純度ガスの品質を維持します。また、特殊脂性サポートやフッ素樹脂の使用により、高い安全性と信頼性を実現します。ぜひ、ご検討ください。 【活用シーン】 ・半導体製造工場 ・クリーンルーム内ガス供給ライン ・高純度ガス供給が必要な研究施設 【導入の効果】 ・高純度ガスの品質維持 ・ガス漏れリスクの低減 ・安全性の向上
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【電子部品向け】誘導発熱ジャケットロール

【電子部品向け】誘導発熱ジャケットロール
トクデン株式会社
電子部品業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、乾燥工程における温度管理が重要です。温度ムラは、部品の特性に影響を与え、製品の性能を低下させる可能性があります。当社の誘導発熱ジャケットロールは、1℃以下の均一なロール表面温度を実現し、高品質な乾燥をサポートします。さらに、最大60%の省エネを実現し、ランニングコストを削減します。 【活用シーン】 * 電子部品の乾燥工程 * コーティング工程 【導入の効果】 * 高品質な電子部品の製造 * 省エネによるコスト削減 * 温度管理の安定化
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【ケーブル向け】焼成カオリン HSシリーズ

【ケーブル向け】焼成カオリン HSシリーズ
伸工貿易株式会社
ケーブル業界において、絶縁材料の性能は製品の安全性と信頼性を左右する重要な要素です。特に、電線やケーブルは、電気を通す際に高い絶縁性が求められ、外部からの影響（温度変化、湿気、物理的衝撃など）から内部の導体を保護する必要があります。絶縁性能が低いと、漏電や短絡を引き起こし、重大な事故につながる可能性があります。焼成カオリン HSシリーズは、優れた絶縁性と耐熱性を付与することで、ケーブルの安全性を高めることに貢献します。 【活用シーン】 ・電線 ・ケーブル ・絶縁チューブ 【導入の効果】 ・高い絶縁性能の付与 ・耐熱性の向上 ・コスト削減
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【電子部品向け】低メタル・低パーティクル化ソリューション

【電子部品向け】低メタル・低パーティクル化ソリューション
福井キヤノンマテリアル株式会社
電子部品業界では、製品の高機能化に伴い、半導体材料の品質が重要になっています。特に、金属不純物やパーティクルの混入は、製品の性能劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。当社製品は、半導体材料製造における吸着剤およびフィルター技術により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける金属不純物除去 ・半導体材料のパーティクル低減 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・信頼性の高い製品の提供
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【電子機器向け】タンタル(Ta)ターゲット

【電子機器向け】タンタル(Ta)ターゲット
株式会社スパッタコア
電子機器業界において、コンデンサは製品の小型化と高性能化を両立するために重要な役割を担っています。特に、高い信頼性と長寿命が求められるコンデンサにおいては、高品質な材料の選定が不可欠です。タンタル(Ta)ターゲットは、このようなニーズに応えるために開発されました。 【活用シーン】 ・コンデンサ製造 ・電子デバイス製造 【導入の効果】 ・コンデンサの性能向上 ・製品の信頼性向上 ・薄膜堆積効率の向上
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【産業機械向け】防湿コーティング処理による電子基板の腐食防止

【産業機械向け】防湿コーティング処理による電子基板の腐食防止
大和エレテック．株式会社
産業機械業界では、過酷な環境下での使用に耐えうる電子機器の耐久性が求められます。特に、湿度や結露の影響を受けやすい環境下では、電子基板の腐食が製品の故障や性能低下を引き起こす大きな要因となります。当社の防湿コーティング処理は、電子基板を湿気から保護し、腐食による影響を抑制することで、産業機械の信頼性と長寿命化に貢献します。 【活用シーン】 ・屋外で使用される産業機械 ・温度変化の激しい環境で使用される産業機械 ・湿度の高い環境で使用される産業機械 【導入の効果】 ・電子基板の腐食を防止し、製品寿命を延長 ・製品の信頼性向上 ・メンテナンスコストの削減
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【防衛向け】絶縁材打ち抜き加工(PET/PI/PC/PP)

【防衛向け】絶縁材打ち抜き加工(PET/PI/PC/PP)
株式会社五輪パッキング
防衛産業においては、電子機器の信頼性と耐久性が極めて重要です。過酷な環境下での使用に耐えうる製品が求められ、絶縁材の選定もその性能を左右する重要な要素となります。絶縁材の劣化は、電子機器の誤作動や機能停止につながり、重大な事態を引き起こす可能性があります。当社の絶縁材加工は、PET、PI、PCなどの材料を用い、耐久性と信頼性を高めるための最適なソリューションを提供します。 【活用シーン】 ・軍事用電子機器 ・航空宇宙機器 ・通信機器 【導入の効果】 ・過酷な環境下での電子機器の保護 ・製品寿命の延長 ・高い信頼性の確保
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【半導体成膜向け】真空チャンバー

【半導体成膜向け】真空チャンバー
東洋ステンレス化工株式会社
半導体業界の成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成のために、真空環境の維持が不可欠です。真空チャンバーのリークや不純物の混入は、成膜の品質を著しく低下させる可能性があります。当社真空チャンバーは、高い気密性と清浄度を追求し、安定した成膜プロセスをサポートします。 【活用シーン】 ・PVD、CVD、ALDなどの成膜プロセス ・スパッタリング、蒸着などの真空プロセス 【導入の効果】 ・高品質な薄膜形成の実現 ・歩留まり向上 ・プロセスの安定化
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【半導体向け】真空用・クリーンルーム用膨張シール セフィリア

【半導体向け】真空用・クリーンルーム用膨張シール セフィリア
テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
半導体製造業界では、真空環境下での精密なプロセスが製品の品質を左右します。特に、真空封止は、コンタミネーションを防ぎ、高精度な製造を支える上で不可欠です。シール性能のわずかな劣化が、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社の膨張シールは、真空0.133Paから高圧まで、-50℃から+250℃の温度範囲に対応し、半導体製造における厳しい環境下での真空封止を強力にサポートします。 【活用シーン】 * クリーンルームドアシール * 半導体製造装置のパネルシール * 真空搬送システム 【導入の効果】 * 高いシール性による真空度の維持 * コンタミネーションのリスク低減 * 装置の安定稼働と製品品質の向上
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【半導体製造向け】カスタム対応特殊高圧電源

【半導体製造向け】カスタム対応特殊高圧電源
株式会社理経
半導体製造における成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成のために、高精度な電源制御が求められます。特に、均一な膜厚と高い再現性を実現するためには、電源の安定性が重要です。不適切な電源は、膜質の低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のカスタム対応特殊高圧電源は、成膜プロセスに最適な仕様で、1台から対応可能です。 【活用シーン】 ・スパッタリング ・CVD（化学気相成長） ・ALD（原子層堆積） 【導入の効果】 ・成膜プロセスの最適化 ・膜質の向上 ・歩留まりの改善
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【家電向け】半導体製造装置用部品

【家電向け】半導体製造装置用部品
株式会社タイトウトレーディング
家電業界では、製品の高機能化に伴い、半導体部品の品質と信頼性がますます重要になっています。 特に、省電力化や小型化が進む中で、半導体製造装置の精度が製品の性能を左右します。 装置部品の品質が低いと、製品の故障や性能低下につながる可能性があります。 当社半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、家電製品の高機能化を支えます。 【活用シーン】 ・高機能家電製品の製造 ・省電力・小型化を実現する半導体製造 ・耐久性・信頼性が求められる家電製品 【導入の効果】 ・半導体製造装置の安定稼働 ・高品質な半導体部品の製造 ・家電製品の性能向上
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【半導体プロセス制御向け】熱電対素線

【半導体プロセス制御向け】熱電対素線
株式会社エクセル
半導体製造プロセスにおける温度管理は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高温環境下での正確な温度測定は、ウェーハの処理や成膜工程において不可欠です。温度管理が不適切だと、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。当社の熱電対素線は、このような課題に対し、信頼性の高い温度測定ソリューションを提供します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置の温度制御 ・ウェーハプロセスにおける温度監視 ・高温炉、真空炉での温度測定 【導入の効果】 ・正確な温度管理による歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・装置の安定稼働
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【スマートフォン向け】JSコート

【スマートフォン向け】JSコート
千代田交易株式会社
スマートフォン業界では、画面の傷つきやすさが課題となっています。日常的な使用による擦り傷は、製品の外観を損なうだけでなく、画面の見やすさも低下させます。JSコートは、このような課題に対し、耐傷性、防汚性、撥水性を付与することで、スマートフォンの画面を保護します。JSコートを適用することで、画面の美しさを長く保ち、製品の価値を高めることが期待できます。 【活用シーン】 ・スマートフォンの画面 ・タッチパネル ・保護ガラス 【導入の効果】 ・画面の傷つきを抑制 ・指紋や汚れの付着を軽減 ・画面の視認性向上
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【データセンター向け】グラファイトシート

【データセンター向け】グラファイトシート
株式会社ニチベイパーツ
データセンターでは、サーバーの高密度化に伴い、冷却効率の向上が重要な課題となっています。過度な発熱は、サーバーの性能低下や故障につながり、運用コストの増加にもつながります。グラファイトシートは、高い熱伝導率により、効率的な熱拡散を実現し、サーバーの安定稼働に貢献します。 【活用シーン】 ・サーバーラック内の熱対策 ・CPU、GPUなどの発熱源の冷却 ・データセンター全体の省エネ化 【導入の効果】 ・サーバーの性能維持 ・故障リスクの低減 ・運用コストの削減
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管状炉｜電池電極向け

管状炉｜電池電極向け
株式会社サーモニックENG
電池業界、特に電極製造においては、焼成プロセスにおける品質管理が重要です。電極材料の均一性や特性を最適化するためには、焼成中の温度、圧力、ガス流量などの詳細なデータ取得が不可欠です。焼成前後の結果だけでは、プロセスの最適化が難しく、不良品の発生や性能のばらつきにつながる可能性があります。当社の管状炉は、焼成中の詳細なデータを取得し、プロセスの可視化を実現することで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・電極材料の研究開発 ・電極製造プロセスの最適化 ・品質管理の向上 【導入の効果】 ・焼成プロセスの最適化による品質向上 ・不良品率の低減 ・研究開発の効率化
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【電子機器向け】真空・圧空成形

【電子機器向け】真空・圧空成形
第一商工株式会社
電子機器業界では、製品の保護とデザイン性が求められます。カバーは、外部からの衝撃や環境要因から内部の精密機器を守る重要な役割を果たします。特に、軽量化とデザインの自由度が高いカバーは、製品の競争力を高める上で不可欠です。真空・圧空成形は、これらのニーズに応える最適なソリューションです。 【活用シーン】 ・電子機器の筐体 ・各種カバー ・薄型・軽量化を実現したい製品 【導入の効果】 ・低コストでのカバー製作 ・短納期での製品供給 ・デザインの自由度向上
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【電子材料向け】メカニカルシール撹拌機 KZF-Mシリーズ

【電子材料向け】メカニカルシール撹拌機 KZF-Mシリーズ
ユニコントロールズ株式会社
電子材料業界では、材料の品質を維持するために、コンタミネーションを最小限に抑え、均一な混合が求められます。特に、精密な電子部品製造においては、材料のわずかな異物混入や混合ムラが、製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。メカニカルシール撹拌機 KZF-Mシリーズは、シャフトとシールの摺動面をなくすことでコンタミ発生を抑制し、高品質な材料混合を可能にします。 【活用シーン】 ・高純度材料の撹拌 ・加圧環境下での撹拌 【導入の効果】 ・コンタミのリスクを低減 ・材料の品質向上 ・製品の歩留まり向上
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【半導体 薄膜形成向け】スターラー付き温調ステージ

【半導体 薄膜形成向け】スターラー付き温調ステージ
日本ブロアー株式会社
半導体業界における薄膜形成プロセスでは、均一な膜厚と高品質な薄膜を得るために、温度管理が非常に重要です。特に、反応液の温度制御は、薄膜の結晶性や組成に大きな影響を与え、製品の性能を左右します。温度が不均一であったり、制御が不安定な場合、薄膜の品質が低下し、歩留まりの悪化につながる可能性があります。スターラー付き温調ステージは、温度を精密に制御しながら、液体の撹拌を可能にし、薄膜形成プロセスの品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・薄膜形成における反応液の温度制御 ・前駆体溶液の撹拌と温度管理 ・成膜プロセスの最適化 【導入の効果】 ・薄膜の均一性向上 ・成膜プロセスの再現性向上 ・歩留まりの改善
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【半導体製造向け】薬液プロセスの自動化に低脈動・超高分解能ポンプ

【半導体製造向け】薬液プロセスの自動化に低脈動・超高分解能ポンプ
テカンジャパン株式会社
半導体製造のさらなる微細化・高集積化において、製品品質と歩留まりを左右するのは薬液ハンドリングの極限的な精度です。特に、わずかな流量変動が致命的な欠陥につながる次世代プロセスにおいて、従来の送液システムでは対応しきれない課題が表面化しています。 Cavro Centris Pumpは、業界最高水準の分解能（最大192,000ステップ）により、微細化が進む各工程でこれまでにない安定性を提供します。 【活用シーン】 ・フォトレジストの精密滴下（リソグラフィ） ・ナノインプリント用樹脂の供給 ・スリットダイコーティングの流量制御（薄膜形成） ・無電解メッキ液の自動調整 ・電気メッキ（ECP）の添加剤管理 ・薬液のインラインブレンディング ・CMP（化学機械研磨）工程でのスラリー・添加剤の精密供給 【導入の効果】 Centris Pumpは、吐出量のわずかなバラつきや脈動による塗布ムラを解消し、歩留まりの劇的な向上に貢献します。装置への組み込みを前提としたコンパクトな設計は、既存装置のアップグレードや次世代装置の開発において、設計の自由度を最大限に高めます。
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【半導体向け】顕微分光膜厚計 OPTM series

【半導体向け】顕微分光膜厚計 OPTM series
大塚電子株式会社
半導体業界では、製品の品質と性能を維持するために、ウェーハ上の薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかな差異が製品の歩留まりや性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と、3μmからの微小領域測定を実現し、半導体製造における膜厚測定の課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハの膜厚測定 ・各種フィルムの膜厚測定 ・光学材料のコーティング膜厚測定 【導入の効果】 ・高精度な膜厚測定による歩留まり向上 ・高速測定による生産性の向上 ・非破壊・非接触測定による製品への影響軽減
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【電池電極向け】あわとり練太郎ARE-312

【電池電極向け】あわとり練太郎ARE-312
株式会社シンキー
電池業界では、電極材料の均一な混合と脱泡が、電池の性能を左右する重要な要素です。 電極材料に気泡が残ると、電池の容量低下や内部抵抗の増加を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。 ARE-312は、撹拌力と脱泡力を向上させ、電極材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電池電極材料の混合 ・スラリーの脱泡処理 ・研究開発における材料調整 【導入の効果】 ・電極材料の品質向上 ・電池性能の安定化 ・研究開発の効率化
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【半導体成膜管理向け】SM-100 series

【半導体成膜管理向け】SM-100 series
大塚電子株式会社
半導体業界の成膜管理においては、高品質な製品を安定的に製造するために、膜厚の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜の成膜プロセスにおいては、膜厚のわずかな差異が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のばらつきや精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。SM-100 seriesは、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能で、基材を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における成膜プロセスの品質管理 ・研究開発における薄膜材料の評価 ・製造現場での迅速な膜厚測定 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・不良品の削減
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【半導体製造向け】高機能『耐熱フィルム』

【半導体製造向け】高機能『耐熱フィルム』
株式会社ニチベイパーツ
半導体製造業界では、歩留まりの向上が重要な課題です。特に、高温プロセスにおける部材の信頼性が、歩留まりを左右する大きな要因となります。耐熱性の低い部材は、製造プロセス中に変形や劣化を起こし、不良品の発生につながる可能性があります。当社の高機能『耐熱フィルム』は、優れた耐熱性により、高温プロセスにおける部材の安定性を確保し、歩留まり向上に貢献します。 【活用シーン】 ・高温環境下での半導体製造プロセス ・電子部品の薄膜化 ・高密度実装 【導入の効果】 ・歩留まりの向上 ・製品の信頼性向上 ・薄型・軽量化の実現
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【電池向け】小型インラインミキサー magic LAB

【電池向け】小型インラインミキサー magic LAB
IKAジャパン株式会社
電池業界では、高性能な電池を開発するために、スラリーの均一な混合が求められます。特に、電極材料の分散性が電池の性能を左右するため、スラリーの品質が重要です。不適切な混合は、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。IKA magic LABは、インライン式による均一な混合・分散を卓上ラボスケールで実現し、電池スラリーの研究開発をサポートします。 【活用シーン】 ・電池材料（正極材、負極材、電解液など）のスラリー調製 ・ラボスケールでのスラリー混合条件の検討 ・少量しか使用できない高価な原料の研究 【導入の効果】 ・スラリーの均一性向上による電池性能の向上 ・スケールアップを見据えた研究開発の効率化 ・材料の有効活用によるコスト削減
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【半導体製造向け】カートリッジヒーター

【半導体製造向け】カートリッジヒーター
株式会社京都電熱
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、温度管理が非常に重要です。特に、精密な温度制御が求められる工程においては、加熱ムラや温度の不安定さが、製品の品質に直接影響を及ぼす可能性があります。当社のカートリッジヒーターは、Φ3.1～Φ30までの外径サイズに対応し、精密な温度管理を実現します。バランス巻きや熱電対内蔵型も対応可能です。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・精密金型加熱 ・各種実験装置 【導入の効果】 ・精密な温度制御による品質向上 ・多様なサイズへの対応 ・高い耐久性
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【電子機器向け】コーティング材料

【電子機器向け】コーティング材料
株式会社コバヤシ
電子機器業界では、製品の小型化と高機能化が進む中、絶縁性能の確保が重要な課題となっています。特に、電子部品の保護や基板の絶縁は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。従来の絶縁方法では、コストや作業性の問題、または十分な性能が得られないケースがありました。当社のコーティング材料は、これらの課題を解決し、電子機器の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品の絶縁 ・基板の絶縁 ・筐体の保護 【導入の効果】 ・絶縁性能の向上 ・製品の信頼性向上 ・コスト削減
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【半導体成膜向け】グラファイトヒーター

【半導体成膜向け】グラファイトヒーター
東京炭素工業株式会社
半導体業界の成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成のために、精密な温度管理が不可欠です。特に、高温環境下での均一な温度分布と、高い耐久性が求められます。不適切な温度管理は、薄膜の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のグラファイト加工事例である高温炉・真空炉用ヒーター（エレメント）は、電気エネルギーを熱に変換し、炉内の温度を上昇させることで、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・CVD（化学気相成長） ・PVD（物理蒸着） ・ALD（原子層堆積） 【導入の効果】 ・均一な温度分布による高品質な成膜 ・高い耐久性による安定した稼働 ・オーダーメイド対応による最適なサイズと形状
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【電子材料向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】インラインモデル

【電子材料向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】インラインモデル
シルバーソン ニッポン株式会社
電子材料業界のコーティング工程では、均一な混合が製品の品質を左右します。 特に、微粒子を含む材料や粘度の高い材料を扱う場合、混合の均一性が課題となります。 不均一な混合は、コーティングの性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。 インライン型ミキサー L5シリーズは、ラボスケールでのインライン混合を可能にし、 コーティング材料の均一な混合を実現します。 研究開発から生産工程へのスケールアップをスムーズにサポートします。 【活用シーン】 ・電子材料のコーティング ・塗料、インク、接着剤などの混合 ・研究開発におけるインライン混合のシミュレーション 【導入の効果】 ・均一な混合によるコーティング品質の向上 ・スケールアップ時の工程分析の効率化 ・材料の無駄を削減
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【電池向け】ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプ

【電池向け】ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプ
ユニコントロールズ株式会社
電池業界では、電解液の正確な供給が製品の性能と安全性を左右します。特に、電解液の粘度変化や供給量のばらつきは、電池の性能低下や寿命短縮につながる可能性があります。ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプは、これらの課題に対応し、安定した電解液供給を実現します。 【活用シーン】 ・電池製造ラインでの電解液充填 ・研究開発における電解液の微量供給 【導入の効果】 ・電解液供給量の精度向上による製品品質の安定化 ・メンテナンス性の向上による作業効率の改善 ・吐出量の調整機能による多様なニーズへの対応
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【電池電極作製向け】常温粉砕機（ミキサーミル）

【電池電極作製向け】常温粉砕機（ミキサーミル）
西進商事株式会社
電池業界では、電極材料の均一な粉砕と混合が、電池の性能を左右する重要な要素です。特に、電極の耐久性や充放電効率を高めるためには、材料の粒子径を精密に制御し、均一に混合する必要があります。不均一な粉砕や混合は、電池の性能低下や寿命短縮につながる可能性があります。Cole-Parmer社 常温粉砕機（ミキサーミル）は、粉砕用ボールとサンプルを容器に入れ、高速回転させることで、電極材料を均一に粉砕・混合します。これにより、高品質な電極作製をサポートします。 【活用シーン】 ・リチウムイオン電池、燃料電池の電極材料の粉砕 ・電極材料の混合 ・XRF用サンプルの前処理 【導入の効果】 ・電極材料の粒子径制御による電池性能向上 ・均一な混合による電池の耐久性向上 ・XRF分析の前処理時間の短縮
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【半導体薄膜向け】ニッケル(Ni)ターゲット

【半導体薄膜向け】ニッケル(Ni)ターゲット
株式会社スパッタコア
半導体業界において、薄膜はデバイスの性能を左右する重要な要素です。薄膜の品質は、ターゲット材の純度、緻密性、均一性に大きく影響を受けます。不純物の混入や密度ムラは、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のニッケル(Ni)ターゲットは、高純度かつ緻密性に優れており、高品質な薄膜形成を可能にします。 【活用シーン】 ・半導体製造における薄膜形成 ・スパッタリングによる金属膜形成 ・NiCr、NiTi、NiCu、NiCuTi合金薄膜形成 【導入の効果】 ・高品質な薄膜の実現 ・デバイス性能の向上 ・歩留まりの改善
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薄膜形成における膜厚均一性の確保

薄膜形成における膜厚均一性の確保とは？

半導体製造において、微細な回路パターンを形成するために、基板上に極めて薄い膜を均一な厚さで形成する技術です。この膜厚の均一性は、半導体の性能や信頼性を左右する重要な要素となります。

​課題

成膜プロセスのばらつき

成膜装置内の温度、圧力、ガス流量などの制御が不十分だと、基板上の場所によって膜厚にばらつきが生じます。

材料供給の不均一性

成膜材料の供給が均一でない場合、特に広範囲の基板全体で膜厚のムラが発生しやすくなります。

基板表面の状態

基板表面の微細な凹凸や異物付着は、膜の成長に影響を与え、膜厚の不均一を引き起こす原因となります。

装置設計の限界

既存の成膜装置では、物理的な制約から、基板全体に完全に均一な膜を形成することが困難な場合があります。

​対策

プロセスパラメータの最適化

温度、圧力、ガス流量などの成膜条件を精密に制御し、ばらつきを最小限に抑えることで、均一な膜厚を実現します。

材料供給システムの改良

成膜材料を均一かつ安定的に供給できるシステムを導入・改善し、広範囲での膜厚ムラを抑制します。

基板前処理の徹底

基板表面を清浄化し、平坦性を高めることで、膜の均一な成長を促進します。

先進的な成膜技術の採用

原子層堆積（ALD）などの、より精密な膜厚制御が可能な成膜技術を導入します。

​対策に役立つ製品例

高精度プロセス制御システム

成膜装置内の微細な環境変化をリアルタイムで検知・補正し、プロセスパラメータの安定性を高めることで、膜厚の均一性を向上させます。

均一材料供給ユニット

成膜材料を基板全体に均等に分散させて供給する機構を備え、材料供給の不均一性に起因する膜厚ムラを低減します。

基板表面クリーニング装置

基板表面の微細な汚れや異物を効果的に除去し、平坦で均一な膜形成を可能にします。

次世代成膜チャンバー

革新的なガス分配機構や温度制御技術を搭載し、基板全体で極めて高い膜厚均一性を実現する成膜装置です。

⭐今週のピックアップ

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