top of page
半導体製造装置・材料

半導体製造装置・材料に関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。

ホーム

>

半導体製造装置・材料

>

膜厚均一性の確保とは？課題と対策・製品を解説

mushimegane.png

目的・課題で絞り込む

回路・パターン設計

消費電力削減の最適化
ノイズ耐性向上の検討
設計プロセスの自動化
歩留まり予測精度の向上
設計エラーの早期検出
設計データの検証時間短縮
次世代微細化技術への対応
複雑化する回路の管理
消費電力削減の最適化
ノイズ耐性向上の検討
設計プロセスの自動化

フォトマスク作成

製造コストの削減
欠陥の早期検出
パターンの高精度転写
描画時間の短縮
マスク寿命の延伸
異物混入の防止
新素材への対応
製造コストの削減
欠陥の早期検出
パターンの高精度転写

シリコンインゴット切断

切断歩留まりの最大化
材料の有効活用
切断時間の短縮
切断精度の向上
切断時のウェーハ損傷防止
切削液の再利用
プロセス自動化の推進
エネルギー消費の最適化
切断歩留まりの最大化
材料の有効活用
切断時間の短縮

ウェーハの研磨

次世代ウェーハへの対応
表面平坦度の均一化
ウェーハ厚みのばらつき低減
研磨後の表面欠陥の抑制
研磨時間の短縮
コスト効率の改善
プロセス安定性の確保
汚染物質の除去
次世代ウェーハへの対応
表面平坦度の均一化
ウェーハ厚みのばらつき低減

ウェーハ表面の酸化

酸化膜厚の均一化
リーク電流の抑制
製造時間の短縮
不純物混入の防止
膜質制御の精密化
熱処理プロセスの最適化
酸化膜厚の均一化
リーク電流の抑制
製造時間の短縮

薄膜形成

膜厚均一性の確保
成膜プロセスの効率化
異物混入の防止
膜の物理的特性の向上
成膜速度の向上
材料コストの最適化
新しい薄膜材料の適用
膜厚均一性の確保
成膜プロセスの効率化
異物混入の防止

フォトレジスト塗布

塗布膜厚の均一化
レジスト塗布ムラの抑制
塗布プロセスの高速化
レジストの消費量削減
異物混入の排除
レジストリサイクルの検討
膜厚制御の精密化
プロセス安定性の向上
塗布膜厚の均一化
レジスト塗布ムラの抑制
塗布プロセスの高速化

露光・現像

回路パターンの寸法均一化
露光時間短縮の実現
パターン欠陥の低減
焦点深度の最適化
露光位置精度の向上
プロセスの安定化
現像液の効率利用
次世代露光技術への対応
回路パターンの寸法均一化
露光時間短縮の実現
パターン欠陥の低減

エッチング

回路の垂直・水平方向の寸法制御
サイドウォール形状の改善
エッチング時間の短縮
ウェーハ損傷の防止
エッチング後の洗浄効率向上
プロセスガスの消費削減
ドライエッチングの精密制御
異方性エッチングの高精度化
回路の垂直・水平方向の寸法制御
サイドウォール形状の改善
エッチング時間の短縮

レジスト剥離・洗浄

レジスト剥離残渣の完全除去
洗浄時間の短縮
ウェーハ表面へのダメージ防止
洗浄液の再利用
不純物再付着の防止
洗浄プロセスの自動化
洗浄効率の最適化
レジスト剥離残渣の完全除去
洗浄時間の短縮
ウェーハ表面へのダメージ防止

イオン注入

不純物濃度の均一化
注入深さの精密制御
ウェーハへのダメージ低減
スループットの向上
注入プロセスの自動化
イオン注入装置の安定稼働
不純物濃度の均一化
注入深さの精密制御
ウェーハへのダメージ低減

平坦化

ウェーハ表面の超平坦化
層間膜の均一化
研磨プロセスの高精度化
平坦化プロセスの効率化
プロセス時間の短縮
欠陥発生の抑制
化学機械研磨プロセスの安定化
ウェーハ表面の超平坦化
層間膜の均一化
研磨プロセスの高精度化

電極形成

電極材料の密着性向上
接触抵抗の低減
配線パターンの高精度形成
配線間のショート防止
電極形成プロセスの効率化
金属汚染の防止
電極材料の密着性向上
接触抵抗の低減
配線パターンの高精度形成

ウェーハ検査

検査時間の短縮
不良品検出精度の向上
欠陥分類の自動化
検査データの統合管理
検査装置の安定稼働
AIを活用した検査効率化
検査時間の短縮
不良品検出精度の向上
欠陥分類の自動化

ダイシング

チップ切断精度の向上
切断時のチップの欠け・割れ防止
切断時間の短縮
刃の摩耗管理
切削液の効率利用
ダイシングプロセスの自動化
異物付着の防止
チップ切断精度の向上
切断時のチップの欠け・割れ防止
切断時間の短縮

ワイヤーボンディング

ワイヤー接続強度の向上
位置合わせ精度の精密化
ワイヤーの断線・接触不良防止
ボンディング時間の短縮
ボンディングコストの削減
プロセス自動化の推進
熱応力の最適化
ボンディングパッドの損傷防止
ワイヤー接続強度の向上
位置合わせ精度の精密化
ワイヤーの断線・接触不良防止

モールディング

樹脂の均一充填
気泡混入の防止
モールド時のチップへの応力緩和
反りの抑制
成形不良の低減
モールド樹脂の品質管理
樹脂の均一充填
気泡混入の防止
モールド時のチップへの応力緩和

​カテゴリで絞り込む

検査・測定装置
材料
自動化・ITソリューション
製造装置
関連技術
その他半導体製造装置・材料
nowloading.gif

薄膜形成における膜厚均一性の確保とは？

半導体製造において、微細な回路パターンを形成するために、基板上に極めて薄い膜を均一な厚さで形成する技術です。この膜厚の均一性は、半導体の性能や信頼性を左右する重要な要素となります。

各社の製品

絞り込み条件：

​▼チェックした製品のカタログをダウンロード

​一度にダウンロードできるカタログは20件までです。

【電池電極作製向け】試験室用ミキサーL5シリーズ

【電池電極作製向け】試験室用ミキサーL5シリーズ
シルバーソン ニッポン株式会社
電池業界における電極作製では、材料の均一な混合が製品の性能を左右する重要な要素です。 電極材料の分散が不十分な場合、電池の充放電効率の低下や寿命の短縮につながる可能性があります。 L5シリーズは、材料を均一に混合し、電極の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 * 電極スラリーの調製 * バインダーと活物質の混合 * 添加剤の分散 【導入の効果】 * 電極材料の均一な混合による電池性能の向上 * 再現性の高い電極作製プロセスの確立 * 研究開発におけるデータ収集と実生産へのフィードバック
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池電極向け】あわとり練太郎ARE-312

【電池電極向け】あわとり練太郎ARE-312
株式会社シンキー
電池業界では、電極材料の均一な混合と脱泡が、電池の性能を左右する重要な要素です。 電極材料に気泡が残ると、電池の容量低下や内部抵抗の増加を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。 ARE-312は、撹拌力と脱泡力を向上させ、電極材料の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電池電極材料の混合 ・スラリーの脱泡処理 ・研究開発における材料調整 【導入の効果】 ・電極材料の品質向上 ・電池性能の安定化 ・研究開発の効率化
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】コンテナ型冷却塔による精密冷却ソリューション

【半導体向け】コンテナ型冷却塔による精密冷却ソリューション
Aggreko Japan(アグレコジャパン)株式会社
半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高密度化が進む中で、発熱量の増加に対応できる、精密な冷却能力が求められます。冷却能力が不足すると、装置の誤作動や製品不良を引き起こす可能性があります。当社のコンテナ型冷却塔は、ISO規格20ftコンテナに収容されており、設置場所を選ばず、迅速な導入が可能です。パワフルな冷却性能で、半導体製造における精密冷却ニーズに応えます。 【活用シーン】 ・半導体製造工場 ・クリーンルーム ・データセンター 【導入の効果】 ・安定した温度管理による歩留まり向上 ・迅速な設置による早期の事業開始 ・省スペース化によるコスト削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【ロボティクス向け】高耐熱・低損失フレキシブル基板

【ロボティクス向け】高耐熱・低損失フレキシブル基板
山下マテリアル株式会社
ロボティクス業界では、ロボットアームやセンサーなど、可動部分の多いデバイスにおいて、高い柔軟性と耐久性が求められます。特に、狭いスペースでの配線や、繰り返しの動作に耐えうる信頼性が重要です。従来の基板では、可動部分の断線や、高温環境下での性能劣化が課題となることがあります。当社の高耐熱・低損失フレキシブル基板は、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ロボットアームの可動部 ・センサーデバイス ・狭小スペースでの配線 【導入の効果】 ・高い柔軟性と耐久性 ・過酷な環境下での安定動作 ・省スペース化
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】型彫放電加工による微細形状加工

【半導体向け】型彫放電加工による微細形状加工
株式会社萬代
半導体業界では、製品の小型化・高性能化に伴い、部品の微細加工が不可欠です。特に、複雑な三次元形状や斜め溝、中間部までの溝など、ワイヤーカット放電加工では対応が難しい形状の加工が求められます。これらの加工精度が製品の性能を左右するため、高い技術力が重要です。当社パートナーの型彫放電加工技術は、これらの課題に対応し、高品質な部品を提供します。 【活用シーン】 ・半導体製造における金型部品 ・電子部品の微細加工 ・精密機器部品の製造 【導入の効果】 ・高精度な微細形状の実現 ・短納期での部品供給 ・製品の品質向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【自動車センサー向け】タンタル(Ta)ターゲット

【自動車センサー向け】タンタル(Ta)ターゲット
株式会社スパッタコア
自動車業界のセンサー技術では、高い精度と耐久性が求められます。特に、過酷な環境下で使用されるセンサーにおいては、材料の信頼性が性能を左右します。タンタル(Ta)ターゲットは、これらの要求に応えるために開発されました。 【活用シーン】 ・車載用センサー ・自動運転システム ・安全運転支援システム 【導入の効果】 ・高感度センサーの実現 ・センサーの長寿命化 ・安定した性能の確保
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【ディスプレイ向け】真空・圧空成形

【ディスプレイ向け】真空・圧空成形
第一商工株式会社
ディスプレイ業界では、製品の保護とデザイン性が両立したカバーが求められます。特に、薄型化が進むディスプレイにおいては、軽量かつ強度のあるカバーが重要です。真空・圧空成形は、これらのニーズに応えることができます。 【活用シーン】 ・ディスプレイ筐体 ・各種カバー ・保護ケース 【導入の効果】 ・デザイン性の向上 ・軽量化 ・コスト削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電子材料向け】MSローラミル

【電子材料向け】MSローラミル
株式会社増野製作所
電子材料業界では、製品の高性能化に伴い、原料の微細化が求められています。特に、電子部品の製造においては、材料の均一な粒子径と高品質な粉砕が、製品の性能を左右する重要な要素となります。不適切な粉砕は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。MSローラミルは、粉砕、分級、空気輸送を組み合わせ、電子材料の微細化ニーズに対応します。 【活用シーン】 ・電子材料の微粉砕 ・粉体材料の乾燥と粉砕 【導入の効果】 ・幅広い範囲の微粉砕に対応 ・乾燥工程の削減 ・粉塵の発生を抑制
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池向け】小型インラインミキサー magic LAB

【電池向け】小型インラインミキサー magic LAB
IKAジャパン株式会社
電池業界では、高性能な電池を開発するために、スラリーの均一な混合が求められます。特に、電極材料の分散性が電池の性能を左右するため、スラリーの品質が重要です。不適切な混合は、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。IKA magic LABは、インライン式による均一な混合・分散を卓上ラボスケールで実現し、電池スラリーの研究開発をサポートします。 【活用シーン】 ・電池材料（正極材、負極材、電解液など）のスラリー調製 ・ラボスケールでのスラリー混合条件の検討 ・少量しか使用できない高価な原料の研究 【導入の効果】 ・スラリーの均一性向上による電池性能の向上 ・スケールアップを見据えた研究開発の効率化 ・材料の有効活用によるコスト削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【情報通信向け】金属射出成形（ＭＩＭ）

【情報通信向け】金属射出成形（ＭＩＭ）
第一商工株式会社
情報通信業界、特に光ファイバー部品においては、高い精度と耐久性が求められます。光ファイバー部品は、光信号の伝送を担うため、わずかな寸法のずれや表面の粗さが、信号の減衰や接続不良を引き起こす可能性があります。金属射出成形（ＭＩＭ）は、これらの課題に対し、高い寸法精度と優れた表面処理によって、高品質な光ファイバー部品の製造を可能にします。第一商工のＭＩＭは、お客様の製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光ファイバーコネクタ ・光トランシーバー部品 ・光通信モジュール 【導入の効果】 ・高い寸法精度による製品品質の向上 ・表面処理による光信号伝送効率の改善 ・少量多品種への対応による柔軟な生産体制の構築
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【ウェアラブル向け】ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察

【ウェアラブル向け】ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察
アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社
ウェアラブルデバイス業界では、製品の柔軟性と耐久性が求められます。特に、日常的な使用や外部からの衝撃にさらされるデバイスにおいては、コーティングの性能が製品寿命を左右する重要な要素となります。コーティングの剥離や損傷は、デバイスの機能不全を引き起こす可能性があります。ナノビアのインデンターを用いた試験は、ウェアラブルデバイスのコーティングの接着強度や耐摩耗性を評価し、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・柔軟性のある基材へのコーティング評価 ・ウェアラブルデバイスの曲げ試験 ・ポリマーコーティングの耐久性評価 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・製品の信頼性向上 ・製品の長寿命化
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体薄膜向け】インド産 五酸化ニオブ（Nb₂O₅）

【半導体薄膜向け】インド産 五酸化ニオブ（Nb₂O₅）
興和株式会社
半導体薄膜業界では、デバイスの高性能化に伴い、薄膜材料の品質が重要視されています。特に、光学特性の制御は、デバイスの動作効率や信頼性に大きく影響します。薄膜の均一性、屈折率の精密な制御が求められ、不純物の混入は性能劣化につながる可能性があります。当社のインド産 五酸化ニオブ（Nb₂O₅）は、高純度99.99%を実現し、光学特性に優れ、薄膜の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学薄膜 ・半導体デバイス ・光学フィルター 【導入の効果】 ・高透明度と高屈折率の実現 ・デバイスの高性能化 ・歩留まり向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】ふっ素樹脂特性表

【半導体向け】ふっ素樹脂特性表
有限会社飯田製作所
半導体業界では、製品の信頼性と性能を維持するために、絶縁材料の選定が非常に重要です。特に、高周波、高温環境下で使用される半導体部品においては、優れた絶縁性と耐熱性を持つ材料が求められます。不適切な絶縁材料は、リーク電流の増加や絶縁破壊を引き起こし、製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。当社のふっ素樹脂特性表は、絶縁性に優れたふっ素樹脂の特性を詳細に解説し、最適な材料選定をサポートします。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける絶縁部品の選定 ・高周波回路基板の絶縁材料選定 ・高温環境下で使用される半導体部品の絶縁対策 【導入の効果】 ・最適な絶縁材料の選定による製品の信頼性向上 ・製品の性能維持と長寿命化 ・絶縁不良による故障リスクの低減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【ケーブル向け】焼成カオリン HSシリーズ

【ケーブル向け】焼成カオリン HSシリーズ
伸工貿易株式会社
ケーブル業界において、絶縁材料の性能は製品の安全性と信頼性を左右する重要な要素です。特に、電線やケーブルは、電気を通す際に高い絶縁性が求められ、外部からの影響（温度変化、湿気、物理的衝撃など）から内部の導体を保護する必要があります。絶縁性能が低いと、漏電や短絡を引き起こし、重大な事故につながる可能性があります。焼成カオリン HSシリーズは、優れた絶縁性と耐熱性を付与することで、ケーブルの安全性を高めることに貢献します。 【活用シーン】 ・電線 ・ケーブル ・絶縁チューブ 【導入の効果】 ・高い絶縁性能の付与 ・耐熱性の向上 ・コスト削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【自動運転向け】半導体製造装置用部品

【自動運転向け】半導体製造装置用部品
株式会社タイトウトレーディング
自動運転技術が進化する中、自動車業界では、高度な制御システムを支える半導体製造装置の信頼性が重要になっています。 特に、センサーや制御ユニットの性能を左右する半導体部品の製造においては、高い精度と耐久性が求められます。 不具合は、自動運転システムの誤作動や安全性の低下につながる可能性があります。 TAITOHの半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、自動運転システムの信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・自動運転システムのセンサー製造 ・制御ユニットの製造 ・車載用電子部品の製造 【導入の効果】 ・部品の安定供給による製造効率の向上 ・高品質な部品によるシステムの信頼性向上 ・コストと品質のバランスの実現
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池製造向け】イートップ／サンフロー

【電池製造向け】イートップ／サンフロー
赤武エンジニアリング株式会社
電池製造業界では、材料の品質と製造プロセスの精度が製品の性能を左右します。特に、電池の充填工程においては、活物質やその他の粉体材料の正確な供給が不可欠です。供給量のわずかな誤差が、電池の容量や寿命に影響を与える可能性があります。イートップ／サンフローは、顆粒状で流動性のある粉体をマスの中から全量排出することで、高い定量供給精度を実現し、電池製造における品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・電池材料（活物質など）の充填工程 ・粉体材料の定量供給が必要な工程 【導入の効果】 ・高い定量供給精度による品質向上 ・粉体材料の無駄を削減 ・安定した製造プロセスの実現
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体薄膜向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット

【半導体薄膜向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット
株式会社スパッタコア
半導体業界において、薄膜形成はデバイスの性能を左右する重要な工程です。ジルコニウム(Zr)ターゲットは、高い純度と均一な膜質が求められます。特に、薄膜の密着性や耐食性は、製品の信頼性を大きく左右するため、高品質なターゲット材の選定が不可欠です。当社のジルコニウム(Zr)ターゲットは、高い純度と厳格な品質管理により、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・スパッタリングによる薄膜形成 ・半導体デバイス製造 ・高品質な薄膜が必要な研究開発 【導入の効果】 ・高品質な薄膜形成によるデバイス性能向上 ・歩留まりの向上 ・信頼性の高い製品の提供
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電子部品向け】高純度五酸化ニオブ（Nb₂O₅）

【電子部品向け】高純度五酸化ニオブ（Nb₂O₅）
興和株式会社
電子部品業界において、コンデンサは製品の小型化、高性能化に不可欠な要素です。誘電体材料の品質は、コンデンサの性能を左右する重要な要素であり、高純度な五酸化ニオブ（Nb₂O₅）が求められます。当社のブラジル産五酸化ニオブ（Nb₂O₅）は、コンデンサの誘電特性を向上させ、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・コンデンサ製造 ・誘電体材料 【導入の効果】 ・コンデンサの性能向上 ・製品の信頼性向上 ・安定供給による生産効率の向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】グラファイトボルト・ナット

【半導体製造向け】グラファイトボルト・ナット
東京炭素工業株式会社
半導体製造業界では、高温環境下での部材固定が求められます。特に、熱膨張や収縮の影響を受けやすい部材においては、安定した固定力と耐熱性が重要です。従来の金属製ボルト・ナットでは、高温下での強度劣化や酸化による腐食が問題となる場合があります。グラファイトボルト・ナットは、優れた耐熱性を持ち、高温環境下でも安定した性能を発揮します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置内の炉壁固定 ・高温環境下でのトレー固定 ・その他、高温環境下での部品固定 【導入の効果】 ・高温環境下での安定した固定力の確保 ・部材の長寿命化 ・装置の稼働率向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【家電向け】高機能『耐熱フィルム』

【家電向け】高機能『耐熱フィルム』
株式会社ニチベイパーツ
家電業界では、製品の小型化・軽量化が常に求められています。特に、限られたスペースに多くの機能を詰め込むためには、部品の薄型化が不可欠です。高機能電子機器においては、高温環境下での動作も考慮する必要があり、耐熱性の高い部品が求められます。当社の高機能『耐熱フィルム』は、薄膜化を実現し、高機能電子機器の薄型化・軽量化に貢献します。 【活用シーン】 ・薄型テレビ ・スマートフォン ・ウェアラブルデバイス 【導入の効果】 ・製品の小型化・軽量化 ・高温環境下での安定した動作 ・製品設計の自由度向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】薄膜回路基板で高性能化

【半導体向け】薄膜回路基板で高性能化
シチズンファインデバイス株式会社
半導体業界では、デバイスの高性能化に伴い、放熱性や高密度実装が可能な基板が求められています。特に、レーザーダイオードやLEDなどの実装においては、微細回路パターンと高い熱伝導率が重要です。不適切な基板は、デバイスの性能低下や寿命短縮につながる可能性があります。当社の薄膜回路基板は、成膜・薄膜加工技術を応用し、高精度な微細回路パターンと優れた熱伝導率を実現します。 【活用シーン】 レーザーダイオード（LD）実装基板 発光ダイオード（LED）実装基板 フォトダイオード（PD）実装基板 光通信（FTTｘ・データセンター・モバイル基地局） 【導入の効果】 デバイスの高性能化に貢献 高い信頼性を実現 製品の小型化・高密度実装に貢献
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電子材料向け】撹拌機とステンレスタンクを一貫対応！

【電子材料向け】撹拌機とステンレスタンクを一貫対応！
ユニコントロールズ株式会社
電子材料業界では、製品の品質を左右する材料の均一な混合が求められます。特に、配合比率の正確性や異物混入の防止が重要です。不適切な混合は、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社撹拌機とステンレスタンクは、液体のノウハウを活かし、電子材料の特性に合わせた最適な混合ソリューションを提供します。 【活用シーン】 ・電子材料の精密混合 ・研究開発における少量混合 ・製造ラインでの材料混合 【導入の効果】 ・材料の均一な混合を実現 ・品質の安定化 ・歩留まりの向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】極細同軸ケーブル

【半導体製造向け】極細同軸ケーブル
株式会社フジクラ　　
半導体製造業界では、製造装置の小型化と高密度化が進み、内部配線の信頼性が重要視されています。特に、高周波信号の伝送や可動部分への配線においては、ケーブルの性能が製品の品質を左右します。当社の極細同軸ケーブルは、高い屈曲性と柔軟性を備え、省スペース配線に貢献することで、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置内部の配線 ・高周波信号伝送が必要な箇所 ・可動部分への配線 【導入の効果】 ・装置の小型化、高密度化に貢献 ・高い信頼性を実現 ・配線作業性の向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】電気ヒーターユニット

【半導体製造向け】電気ヒーターユニット
株式会社京都電熱
半導体製造業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの製造や各種コーティング工程においては、温度の均一性と精密な制御が求められます。温度管理が不十分な場合、ウェーハの反りやクラックの発生、コーティングの均一性の低下など、様々な問題が生じる可能性があります。当社の電気ヒーターユニットは、シーズヒーターを応用し、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程 ・各種コーティング工程 ・クリーンルーム内の温度管理 【導入の効果】 ・精密な温度制御による製品品質の向上 ・温度ムラを抑制し歩留まりを改善 ・多様な形状設計により、設置場所への柔軟な対応
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電子機器向け】真空・圧空成形

【電子機器向け】真空・圧空成形
第一商工株式会社
電子機器業界では、製品の保護とデザイン性が求められます。カバーは、外部からの衝撃や環境要因から内部の精密機器を守る重要な役割を果たします。特に、軽量化とデザインの自由度が高いカバーは、製品の競争力を高める上で不可欠です。真空・圧空成形は、これらのニーズに応える最適なソリューションです。 【活用シーン】 ・電子機器の筐体 ・各種カバー ・薄型・軽量化を実現したい製品 【導入の効果】 ・低コストでのカバー製作 ・短納期での製品供給 ・デザインの自由度向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】FEP/PFA被覆 熱電対モールド形

【半導体製造向け】FEP/PFA被覆 熱電対モールド形
株式会社岡崎製作所
半導体製造業界では、製造プロセスの品質管理において、正確な温度管理が不可欠です。特に、高温環境や精密な温度制御が求められる工程では、温度測定の精度が製品の歩留まりや品質に大きく影響します。従来の温度センサーでは、設置スペースの制約や絶縁性の問題から、適切な温度測定が難しい場合がありました。当社の【FEP/PFA被覆】熱電対モールド形は、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 * 半導体製造装置内の温度測定 * クリーンルーム内での温度監視 * 高温環境下での温度計測 * 電気的絶縁が必要な箇所での温度測定 【導入の効果】 * 狭いスペースでも正確な温度測定が可能 * 製品の品質向上と歩留まりの改善に貢献 * 高い絶縁性により、安全な温度測定を実現 * 耐食性に優れ、長期間安定した計測が可能
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【ディスプレイ向け】低金属化サービス

【ディスプレイ向け】低金属化サービス
株式会社ナード研究所
ディスプレイ業界では、高画質化を実現するために、材料の純度、特に金属不純物の低減が重要です。金属不純物は、表示のムラや輝度低下を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。当社の低金属化サービスは、レジスト材料や有機EL材料に含まれる金属成分をppm～ppbレベルまで低減し、ディスプレイの高画質化に貢献します。 【活用シーン】 ・有機ELディスプレイ ・液晶ディスプレイ ・その他高画質ディスプレイ 【導入の効果】 ・表示品質の向上 ・製品の信頼性向上 ・歩留まりの改善
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【通信インフラ向け】高機能『耐熱フィルム』

【通信インフラ向け】高機能『耐熱フィルム』
株式会社ニチベイパーツ
通信インフラ業界では、データ伝送量の増加に伴い、高速化と信頼性の向上が求められています。特に、高温環境下での安定した動作が不可欠です。高機能『耐熱フィルム』は、耐熱性に優れ、高温プロセスにも対応することで、通信機器の信頼性を高め、高速化に貢献します。 【活用シーン】 ・基地局 ・データセンター ・高速通信モジュール 【導入の効果】 ・通信機器の小型化・軽量化 ・高温環境下での安定動作 ・製品寿命の向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電子部品向け】アドロンコーティングによる絶縁性の向上

【電子部品向け】アドロンコーティングによる絶縁性の向上
株式会社フロロコート
電子部品業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、絶縁性能の確保が重要な課題となっています。部品間の短絡やリーク電流の発生は、製品の信頼性を大きく損なうため、高い絶縁性を実現するコーティング技術が求められています。アドロンコーティングは、優れた絶縁性を付与し、電子部品の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子回路基板 ・コネクタ ・センサー ・半導体デバイス 【導入の効果】 ・絶縁性の向上による製品の信頼性向上 ・耐熱性、耐薬品性の向上 ・製品寿命の延長
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池材料向け】SAS型エアセパレータ

【電池材料向け】SAS型エアセパレータ
株式会社増野製作所
電池材料業界では、製品の性能を左右する粒度調整が重要です。電極材料の均一な粒子径は、電池の容量や充放電速度に影響を与えます。不適切な粒度調整は、電池の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。SAS型エアセパレータは、循環旋回気流と遠心力で効率的に分級を行い、電池材料の粒度調整に貢献します。 【活用シーン】 ・リチウムイオン電池正極材の分級 ・リチウムイオン電池負極材の分級 ・その他電池材料の粒度調整 【導入の効果】 ・均一な粒子径の実現 ・電池性能の向上 ・歩留まりの改善
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【自動運転向け】ファウンドリサービス

【自動運転向け】ファウンドリサービス
シチズンファインデバイス株式会社
自動運転技術が進化する中、自動車業界では、高精度なセンサーやディスプレイが不可欠です。これらのデバイスには、小型化、高精細化、高い信頼性が求められます。ファウンドリサービスは、これらのニーズに応えるべく、液晶マイクロディスプレイの生産受託を通じて、自動運転システムの性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・車載ディスプレイ ・LiDAR ・ヘッドアップディスプレイ 【導入の効果】 ・高精度なデバイスの提供 ・小型化・軽量化の実現 ・カスタム仕様への柔軟な対応
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池向け】MHD2000 インラインミキサー

【電池向け】MHD2000 インラインミキサー
IKAジャパン株式会社
電池業界では、電極材料のスラリー混合において、均一性と生産効率が求められます。特に、電極の性能を左右するスラリーの品質は、粒子の分散性や混合の均一性が重要です。混合が不十分な場合、電池の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。MHD2000インラインミキサーは、粉体と液体を1パスで連続的に混合、分散できる装置です。短時間で大量のスラリー製造に適しており、高粘度スラリーにも対応できます。 【活用シーン】 ・リチウムイオン電池、全固体電池、その他の次世代電池 ・電極合材（活物質、導電助剤、バインダーなど）のスラリー製造 ・電解液添加 【導入の効果】 ・均一なスラリー混合による電池性能の向上 ・生産時間の短縮と生産性の向上 ・材料ロスを削減し、コスト削減に貢献 ・スケールアップが容易
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【光ファイバー向け】ブラジル産 五酸化タンタル

【光ファイバー向け】ブラジル産 五酸化タンタル
興和株式会社
光ファイバー業界では、高品質な光伝送を実現するために、屈折率を精密に制御できる材料が求められます。特に、長距離通信や高速データ通信においては、光ファイバーの損失を最小限に抑え、安定した伝送性能を維持することが重要です。不適切な材料選定は、信号の減衰や歪みを引き起こし、通信品質を低下させる可能性があります。本製品は、光ファイバー製造における添加剤として利用され、屈折率の調整や光学的特性の改善に貢献します。 【活用シーン】 ・光ファイバー製造 ・光通信システムの部品 【導入の効果】 ・光ファイバーの性能向上 ・通信品質の安定化 ・長期安定供給の実現
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ

【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ
株式会社タクミナ
半導体業界では、高品質な製品を製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工技術においては、薬液の純度と供給精度が製品の性能を左右します。不適切な薬液供給は、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社製品は、高精度な薬液供給を実現し、半導体製造における課題を解決します。 【活用シーン】 ・薬液注入 ・長距離配管・高揚程移送 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・製造コストの削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【ディスプレイ向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット

【ディスプレイ向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット
株式会社スパッタコア
ディスプレイ業界における成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成が求められます。特に、ディスプレイの表示性能を左右する薄膜の均一性や密着性は重要です。ジルコニウム(Zr)ターゲットは、これらの要求に応えるための材料です。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造におけるスパッタリング成膜 ・高品質な薄膜形成が必要な場面 【導入の効果】 ・高品質な薄膜形成によるディスプレイ性能の向上 ・安定した成膜プロセスの実現
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー

【半導体製造向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー
日本ブロアー株式会社
半導体製造業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、精密な電子部品や高密度実装された基板においては、局所的な温度上昇が性能劣化や故障の原因となる可能性があります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、半導体デバイスや基板に直接取り付けて冷却することで、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置内の温度管理 ・電子部品の冷却 ・基板の局所冷却 【導入の効果】 ・製品の信頼性向上 ・歩留まりの改善 ・製造プロセスの安定化
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【海洋環境向け】防湿コーティング処理による電子基板の腐食防止

【海洋環境向け】防湿コーティング処理による電子基板の腐食防止
大和エレテック．株式会社
海洋環境で使用される電子機器は、高い湿度や塩分による腐食のリスクに常にさらされています。この環境下では、電子基板の腐食が製品の故障や性能低下を引き起こす大きな要因となります。当社の防湿コーティング処理は、基板への吸湿を効果的に防ぎ、腐食から電子基板を保護します。これにより、製品の信頼性向上と長寿命化に貢献します。 【活用シーン】 * 海洋観測機器 * 船舶搭載電子機器 * 水中ドローン * 沿岸部設置の通信機器 【導入の効果】 * 製品の故障率低減 * メンテナンスコスト削減 * 製品寿命の延長 * 過酷な環境下での安定した動作の確保
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】キャパシタ搭載 電圧/周波数安定化電源

【半導体製造向け】キャパシタ搭載 電圧/周波数安定化電源
日本蓄電器工業株式会社
半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な変動が製品の歩留まりに大きく影響します。特に、製造装置への電力供給は、電圧や周波数のわずかな変動や瞬停によって、装置の誤作動やデータの損失を引き起こし、歩留まりの低下につながる可能性があります。当社のキャパシタ搭載 電圧/周波数安定化電源は、電圧や周波数の安定供給を実現し、瞬停時のバックアップにも対応することで、半導体製造における歩留まり改善に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置への電源供給 ・クリーンルーム内の精密機器への電源供給 ・検査装置への安定電源供給 【導入の効果】 ・歩留まりの向上 ・製造プロセスの安定化 ・装置のダウンタイム削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】高温対応ダイヤフラムバルブ

【半導体向け】高温対応ダイヤフラムバルブ
株式会社キッツエスシーティー
半導体製造における薬液供給では、高い純度と温度管理が求められます。特に、薬液の劣化や異物混入は、製品の品質に深刻な影響を与える可能性があります。また、高温環境下での使用は、バルブの耐久性や信頼性を大きく左右します。高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』は、これらの課題に対応し、安定した薬液供給を実現します。 【活用シーン】 ・薬液供給ライン ・材料容器への供給 ・高温環境下での使用 【導入の効果】 ・シート交換によるメンテナンス性の向上 ・高温環境下での安定した性能 ・高い製品純度の維持
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【家電向け】COOL BLACK

【家電向け】COOL BLACK
レジノカラー工業株式会社
家電業界では、製品の小型化と高性能化が進む中で、放熱対策が重要な課題となっています。特に、太陽光や熱源にさらされる家電製品においては、内部温度の上昇が製品の寿命や性能に影響を与える可能性があります。COOL BLACKは、赤外線反射特性により、太陽光による温度上昇を抑制し、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・屋外設置型の家電製品 ・太陽光が当たる場所に設置される家電製品 ・高温になる可能性のある家電製品 【導入の効果】 ・製品の温度上昇を抑制 ・製品の耐久性向上 ・製品の性能維持
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池業界向け】タッチレスバルブフィーダ

【電池業界向け】タッチレスバルブフィーダ
赤武エンジニアリング株式会社
電池業界における精密混合においては、材料の純度と均一性が製品の性能を左右します。特に、異物混入は電池の性能低下や短絡を引き起こす可能性があります。また、混合材料の付着や残留は、品質管理上の課題となります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造と容易な洗浄性により、異物混入リスクを低減し、高品質な混合を実現します。 【活用シーン】 ・電池材料の混合 ・電極材の供給 ・活物質の計量 【導入の効果】 ・異物混入リスクの低減 ・製品品質の向上 ・清掃性の向上 ・効率的な品種切替 ・幅広い流量制御 ・高精度な計量
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造装置向け】精密部品の調達ならお任せください！

【半導体製造装置向け】精密部品の調達ならお任せください！
阪奈工業株式会社
半導体製造装置の分野やクリーンルーム対応においては、微細な異物混入を防ぎ、高い精度と信頼性が求められる部品の調達が重要となります。特に、装置の安定稼働と製品の品質維持には、清浄度の高い環境下での精密な加工と、厳格な品質管理が不可欠です。不適切な部品調達や品質管理は、装置のダウンタイム増加や歩留まり低下につながる可能性があります。当社は、多様な材質・形状の精密部品を、1個から量産までワンストップで調達し、お客様の課題解決をサポートします。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内での使用部品 ・高精度が求められる半導体製造装置向け部品 ・多様な材質、形状の部品調達 【導入の効果】 ・コスト抑制の可能性 ・小ロットでの対応 ・技術的な相談への対応 ・品質トラブルの低減 ・納期遅延リスクの軽減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム

【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム
中西商事株式会社
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、高純度ガスの安全な輸送が不可欠です。特に、微細な異物の混入やガスの漏洩は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。当社の二重管システムは、内管と外管の二重構造により、万が一のガス漏れのリスクを低減し、高純度ガスの品質を維持します。また、特殊脂性サポートやフッ素樹脂の使用により、高い安全性と信頼性を実現します。ぜひ、ご検討ください。 【活用シーン】 ・半導体製造工場 ・クリーンルーム内ガス供給ライン ・高純度ガス供給が必要な研究施設 【導入の効果】 ・高純度ガスの品質維持 ・ガス漏れリスクの低減 ・安全性の向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電子機器向け】コーティング材料

【電子機器向け】コーティング材料
株式会社コバヤシ
電子機器業界では、製品の小型化と高機能化が進む中、絶縁性能の確保が重要な課題となっています。特に、電子部品の保護や基板の絶縁は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。従来の絶縁方法では、コストや作業性の問題、または十分な性能が得られないケースがありました。当社のコーティング材料は、これらの課題を解決し、電子機器の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品の絶縁 ・基板の絶縁 ・筐体の保護 【導入の効果】 ・絶縁性能の向上 ・製品の信頼性向上 ・コスト削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

多工程・多層貼りも対応｜通信向け軟質素材の複合精密加工

多工程・多層貼りも対応｜通信向け軟質素材の複合精密加工
株式会社五輪パッキング
通信業界における高速伝送システムでは、信号の安定性と信頼性が非常に重要です。特に、高周波信号を扱う部品においては、電磁波干渉や熱による影響を最小限に抑える必要があります。これらの課題を解決するためには、精密な部品加工技術と、各層の機能を組み合わせた多層構造が不可欠です。当社の「多工程・多層貼りの複合精密部品加工」は、これらのニーズに応えるために開発されました。 【活用シーン】 * 高速通信機器 * 光ファイバー通信 * データセンター 【導入の効果】 * 信号品質の向上 * 小型化・軽量化 * コスト削減
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体製造向け】薬液プロセスの自動化に低脈動・超高分解能ポンプ

【半導体製造向け】薬液プロセスの自動化に低脈動・超高分解能ポンプ
テカンジャパン株式会社
半導体製造のさらなる微細化・高集積化において、製品品質と歩留まりを左右するのは薬液ハンドリングの極限的な精度です。特に、わずかな流量変動が致命的な欠陥につながる次世代プロセスにおいて、従来の送液システムでは対応しきれない課題が表面化しています。 Cavro Centris Pumpは、業界最高水準の分解能（最大192,000ステップ）により、微細化が進む各工程でこれまでにない安定性を提供します。 【活用シーン】 ・フォトレジストの精密滴下（リソグラフィ） ・ナノインプリント用樹脂の供給 ・スリットダイコーティングの流量制御（薄膜形成） ・無電解メッキ液の自動調整 ・電気メッキ（ECP）の添加剤管理 ・薬液のインラインブレンディング ・CMP（化学機械研磨）工程でのスラリー・添加剤の精密供給 【導入の効果】 Centris Pumpは、吐出量のわずかなバラつきや脈動による塗布ムラを解消し、歩留まりの劇的な向上に貢献します。装置への組み込みを前提としたコンパクトな設計は、既存装置のアップグレードや次世代装置の開発において、設計の自由度を最大限に高めます。
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】カラム精製による高純度試薬の精製

【半導体向け】カラム精製による高純度試薬の精製
福井キヤノンマテリアル株式会社
半導体業界では、製造プロセスにおける不純物の混入は、製品の性能低下や歩留まりの悪化に直結します。特に、高純度試薬は、半導体デバイスの品質を左右する重要な要素であり、その精製技術が求められます。蒸留では困難な物質でも、カラム精製を用いることで効率的に高純度化が可能です。福井キヤノンマテリアルのカラム精製は、研究開発から量産まで対応し、お客様のニーズに応えます。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける高純度試薬の精製 ・熱に弱い物質や沸点の近い物質の精製 ・研究開発段階での少量精製から量産対応 【導入の効果】 ・高純度試薬の安定供給による半導体デバイスの品質向上 ・歩留まりの改善 ・多様な物質への対応による研究開発の加速
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【IT開発向け】長窯株式会社

【IT開発向け】長窯株式会社
NPO諏訪圏ものづくり推進機構
IT開発業界では、電子部品の小型化と高性能化が進み、それらを支える材料の信頼性が重要視されています。特に、高温環境や高周波特性が求められる電子部品においては、ガラス焼結体を用いた電子部品の安定した性能が不可欠です。不適切な材料選定は、製品の故障や性能劣化につながる可能性があります。長窯株式会社の硝子焼結体は、お客様の製品を支える「優れた脇役」として、開発を支援します。 【活用シーン】 ・電子部品の開発 ・高周波デバイスの開発 ・高温環境下での利用を想定した電子部品の開発 【導入の効果】 ・電子部品の信頼性向上 ・製品の高性能化 ・長期的な製品の安定性確保
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【半導体向け】高温炉・真空炉用グラファイトトレー

【半導体向け】高温炉・真空炉用グラファイトトレー
東京炭素工業株式会社
半導体業界では、ウェーハの品質を維持するために、高温環境下での正確な搬送が求められます。特に、熱処理工程においては、ウェーハを均一に加熱し、歪みを防ぐことが重要です。不適切なトレーの使用は、ウェーハの破損や性能劣化につながる可能性があります。当社のグラファイトトレーは、耐熱性、耐薬品性に優れたグラファイト素材を使用し、ウェーハを安全に搬送します。 【活用シーン】 ・高温炉内でのウェーハ搬送 ・真空炉内でのウェーハ搬送 ・熱処理工程におけるウェーハの保持 【導入の効果】 ・ウェーハの破損リスクを低減 ・熱処理工程の効率化 ・製品の品質向上
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

【電池向け】高純度塩化リチウム（LiCl）

【電池向け】高純度塩化リチウム（LiCl）
興和株式会社
電池業界では、高性能化と安全性の両立が求められています。特に、電解質の品質は電池の性能を左右する重要な要素です。不純物の混入は、電池の寿命短縮や性能低下につながる可能性があります。当社の高純度塩化リチウム（LiCl）は、硫化物系固体電解質のイオン電導度向上を目的に開発され、電池の高性能化に貢献します。 【活用シーン】 ・次世代電池の電解質添加材 ・硫化物系固体電解質のイオン電導度向上 【導入の効果】 ・電池の性能向上 ・安定的な生産供給体制 ・不純物管理の徹底
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ
nowloading.gif

​お探しの製品は見つかりませんでした。

1 / 11

薄膜形成における膜厚均一性の確保

薄膜形成における膜厚均一性の確保とは？

半導体製造において、微細な回路パターンを形成するために、基板上に極めて薄い膜を均一な厚さで形成する技術です。この膜厚の均一性は、半導体の性能や信頼性を左右する重要な要素となります。

​課題

成膜プロセスのばらつき

成膜装置内の温度、圧力、ガス流量などの制御が不十分だと、基板上の場所によって膜厚にばらつきが生じます。

材料供給の不均一性

成膜材料の供給が均一でない場合、特に広範囲の基板全体で膜厚のムラが発生しやすくなります。

基板表面の状態

基板表面の微細な凹凸や異物付着は、膜の成長に影響を与え、膜厚の不均一を引き起こす原因となります。

装置設計の限界

既存の成膜装置では、物理的な制約から、基板全体に完全に均一な膜を形成することが困難な場合があります。

​対策

プロセスパラメータの最適化

温度、圧力、ガス流量などの成膜条件を精密に制御し、ばらつきを最小限に抑えることで、均一な膜厚を実現します。

材料供給システムの改良

成膜材料を均一かつ安定的に供給できるシステムを導入・改善し、広範囲での膜厚ムラを抑制します。

基板前処理の徹底

基板表面を清浄化し、平坦性を高めることで、膜の均一な成長を促進します。

先進的な成膜技術の採用

原子層堆積（ALD）などの、より精密な膜厚制御が可能な成膜技術を導入します。

​対策に役立つ製品例

高精度プロセス制御システム

成膜装置内の微細な環境変化をリアルタイムで検知・補正し、プロセスパラメータの安定性を高めることで、膜厚の均一性を向上させます。

均一材料供給ユニット

成膜材料を基板全体に均等に分散させて供給する機構を備え、材料供給の不均一性に起因する膜厚ムラを低減します。

基板表面クリーニング装置

基板表面の微細な汚れや異物を効果的に除去し、平坦で均一な膜形成を可能にします。

次世代成膜チャンバー

革新的なガス分配機構や温度制御技術を搭載し、基板全体で極めて高い膜厚均一性を実現する成膜装置です。

⭐今週のピックアップ

noimage_l.gif

読み込み中

ikkatsu_maru_flat_shadow.png
bottom of page