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AIを活用した検査効率化とは?課題と対策・製品を解説

ウェーハ検査におけるAIを活用した検査効率化とは?
半導体製造におけるウェーハ検査工程において、人工知能(AI)技術を導入し、検査の精度向上、時間短縮、コスト削減を実現することです。これにより、不良品の早期発見と歩留まり向上を目指します。
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【半導体向け】NuLMiL - AI外観検査
【半導体製造向け】127M CoaXPress 高解像度カメラ
【半導体向け】超高画素CoaXPressカメラ
【半導体製造向け】協働ロボットアーム搭載型AGV
半導体ウェハー製造業界では、微細化・高集積化が進むウェハーの取り扱いにおいて、高い精度と安全性が求められます。特に、クリーンルーム内での搬送や、デリケートなウェハーへのダメージを防ぐための繊細な操作は、製造プロセスの歩留まりに直結する重要な課題です。人手不足の解消や、生産性向上のためには、これらの課題に対応できる自動搬送ソリューションが不可欠となります。
協働ロボットアーム搭載型AGV「ΣoneRobo」は、これらの課題に対し、柔軟かつ高精度な搬送ソリューションを提供いたします 。
【活用シーン】
・クリーンルーム内でのウェハー搬送
・製造ライン間の自動搬送
・検査装置へのウェハー供給・排出
・レイアウト変更への柔軟な対応
【導入の効果】
・ウェハー搬送の自動化による生産性向上
・人手不足の解消と作業員の負担軽減
・デリケートなウェハーへのダメージリスク低減
・製造プロセスの安定化と品質向上
・工場レイアウト変更への迅速な対応
ZIA ISP AIカメラシステムに最適な小型IP
ウエーハチップ・ダイレベル自動外観検査装置『CIシリーズ』
『CIシリーズ』はベアチップ個片をトレイtoトレイで搬送や、ウエアtoトレイの搬送など(XPシリーズで対応)
高精細な外観検査を行い良品/不良品に分類する装置です。
標準搭載されたマルチアングル照明を使い、製品に現れる様々な欠陥モードを捉える照明条件が設定可能。
半導体ベアチップ製造メーカ様・受託メーカ様の出荷前検査に適した装置です。
対象製品例)パワーデバイス、IC、イメージセンサ、各種センサ用ウエーハチップ
サンプル評価を承っております!
<CI8000>
■全6面検査モデル(表面、裏面、側面の全6面検査)
■最速 8000CPHの高処理能力
■高精細な検査を実現するステージを搭載
<CI200i>
■表裏面検査モデル
■表面検査をイントレイで実施することで、省スペース化
■製品への接触をミニマム化し、ダメージレス
■高精細の検査ステージを搭載
※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お問い合わせ下さい。
試作開発サービス【ファームウェア/事例】
hakaru.aiの活躍 はいかに!? 導入現場レポート
SPI はんだ印刷検査装置『PIシリーズ3D SPI』
SPI はんだ印刷検査装置『PIシリーズ3D SPI』は、はんだ量を超高精度で、簡単に測定することが
できる検査ソリューションです。
特許技術であるZリファレンステクノロジーは、超広角3D画角で何百という参照をキャプチャし、
少量のはんだ測定も高精度で検査測定可能です。
また、オンラインとオフラインの両方で工程のリアルタイム監視も可能です。
自動プログラミングにより基板を1枚スキャンするだけで、
正確な検査プログラミングが可能となるため、オペレーターの経験値にかかわらず高品質の検査を実現します。
少量多品種の検査を行うEMS事業者様へぴったりな検査装置です。
【特長】
■55×350mmの超広角3D画角で、数百のリファレンスをキャプチャ
■自動プログラミングSPIにより、作業者の経験値に依存せずに高品質な検査が可能
■独自の反り補正機能により、生産現場において誤判定のない正確な測定を行う
■MY700と連携し、PIの検査結果に基づくリペア機能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Ci3-6100H110.W7P32/BT/4G
プログラム作成ツール ePM-SPI











