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AIを活用した検査効率化とは?課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査におけるAIを活用した検査効率化とは?
半導体製造におけるウェーハ検査工程において、人工知能(AI)技術を導入し、検査の精度向上、時間短縮、コスト削減を実現することです。これにより、不良品の早期発見と歩留まり向上を目指します。
各社の製品
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【半導体製造向け】127M CoaXPress 高解像度カメラ
【半導体向け】NuLMiL - 外観検査AI
【半導体向け】超高画素CoaXPressカメラ
試作開発サービス【ファームウェア/事例】
ウエーハチップ・ダイレベル自動外観検査装置『CIシリーズ』
『CIシリーズ』はベアチップ個片をトレイtoトレイで搬送や、ウエアtoトレイの搬送など(XPシリーズで対応)
高精細な外観検査を行い良品/不良品に分類する装置です。
標準搭載されたマルチアングル照明を使い、製品に現れる様々な欠陥モードを捉える照明条件が設定可能。
半導体ベアチップ製造メーカ様・受託メーカ様の出荷前検査に適した装置です。
対象製品例)パワーデバイス、IC、イメージセンサ、各種センサ 用ウエーハチップ
サンプル評価を承っております!
<CI8000>
■全6面検査モデル(表面、裏面、側面の全6面検査)
■最速 8000CPHの高処理能力
■高精細な検査を実現するステージを搭載
<CI200i>
■表裏面検査モデル
■表面検査をイントレイで実施することで、省スペース化
■製品への接触をミニマム化し、ダメージレス
■高精細の検査ステージを搭載
※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お問い合わせ下さい。
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