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切削液の再利用とは？課題と対策・製品を解説
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シリコンインゴット切断における切削液の再利用とは？
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半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。切削油の腐敗やべたつきは、微細な部品への汚染を引き起こし、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。アルファクールNVシリーズは、耐腐敗性の向上により、清浄度を維持し、安定した製造プロセスをサポートします。
【活用シーン】
・半導体製造における切削・研削工程
・クリーンルーム内での使用
・精密部品加工
【導入の効果】
・腐敗臭や油煙の抑制による作業環境の改善
・製品へのべたつきを抑制し、清浄度を向上
・切削油の交換頻度を減らし、廃棄コストを削減
本製品は、2”4”ウェハーを梱包輸送するためのケースです。
高純度ポリプロピレン（PP）を使用しており、積み重ねることが可能。
25枚収納することが出来ます。
ウェハー径50.8mm（2"）を収納できる「TLS-080118－A」と、
ウェハー径100mm（4”）を収納できる「TLS-080119-A」をライン
アップしています。
【特長】
■材質は高純度PP
■収納枚数25枚
■ウェハーのサイズに合わせて選べる
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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シリコンインゴット切断における切削液の再利用
シリコンインゴット切断における切削液の再利用とは？
シリコンインゴット切断工程で発生す る切削液を、ろ過・精製し、再び切断工程で使用すること。これにより、切削液の使用量削減、廃棄物量の低減、コスト削減を目指す。
課題
切削液の汚染
シリコン粒子や金属粉、添加剤などが混入し、切削性能の低下や装置の摩耗を引き起こす。
処理コストの増大
汚染された切削液の廃棄には、専門的な処理が必要となり、コストがかかる。
品質維持の困難さ
再利用する切削液の品質が安定せず、シリコンウェハーの切断精度に影響を与える可能性がある。
法規制への対応
切削液に含まれる成分によっては、環境規制や安全基準への適合が求められる。
対策
高度なろ過・分離技術
微細な粒子や不純物を効率的に除去し、切削液を清浄な状態に戻す。
成分分析と調整
切削液の成分を定期的に分析し、必要に応じて添加剤を補充・調整して性能を維持する。
自動化された処理システム
切削液の回収、ろ過、分析、再供給までを自動化し、人的ミスを減らし効率を高める。
環境負荷低減型切削液の採用
生分解性や低毒性の切削液を選択し、処理の負担を軽減する。
対策に役立つ製品例
精密ろ過システム
ナノレベルのフィルター技術により、微細なシリコン粒子や金属粉を効果的に除去し、切削液の清浄度を劇的に向上させる。
オンライン成分分析装置
切削液のpH、濃度、不純物レベルなどをリアルタイムで測定し、最適な添加剤注入や交換時期の判断を支援する。
自動切削液管理システム
切削液の回収、ろ過、分析、補充プロセスを統合管理し、オペレーションの効率化と品質の安定化を実現する。
高性能分離膜
特殊な素材と構造を持つ分離膜が、切削液中の油分や微細な固形物を効率的に分離し、再利用可能な状態へと導く。
