不純物濃度の均一化とは？課題と対策・製品を解説

太陽電池製造業界では、シリコンウェーハのドーピング工程において、不純物の混入を極限まで抑えることが、太陽電池の効率と性能を左右する重要な要素です。ドーピング処理の均一性と再現性を高めるためには、高純度なアンモニア水が不可欠です。不純物が多いアンモニア水を使用すると、ドーピング効果のばらつきや、ウェーハ表面の品質劣化を引き起こし、最終的な製品の性能低下につながる可能性があります。当社のインド産Electronic Gradeアンモニア水は、RO＋DM処理による超純水製造プロセスを採用し、ppm〜ppbレベルでの不純物除去を実現。ドーピング工程における品質管理を徹底し、高性能な太陽電池製造をサポートします。

【活用シーン】
・シリコンウェーハのドーピング工程
・太陽電池セルの製造

【導入の効果】
・ドーピング処理の均一性向上
・太陽電池セルの性能向上
・歩留まりの改善

古河電子では、ヒ素化合物の合成・販売を行っております。

各種半導体ドーピング材、CIGS太陽電池用材料など、
数多くの化合物の合成実績がございます。

少量の合成も承っておりますので、お気軽にご相談ください。

【ヒ素化合物の合成・販売】
■販売可能
・O、S、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn　など
■合成実績有り、または検討可能（応相談）
・B、Si、P、Ti、V、Ga、Pd、Cd、In　など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、半導体製造工程で使用されるさまざまな材料を提供しております。

P型ドーパント材料のボロン、ガリウム、N型ドーパント材料の赤燐、
アンチモン等を主にご提供いたします。

また、半導体工程において使用されるCVD材料・イオン注入材料等も
取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【取扱品目】
■シリコンドープ材料
■イオン注入材料
■CVD・拡散材料
■その他（蒸着材料・MBE材料）

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。