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半導体製造装置・材料

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ダイシングプロセスの自動化とは?課題と対策・製品を解説

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ダイシングにおけるダイシングプロセスの自動化とは?

半導体製造におけるダイシングプロセスは、ウェハーを個々のチップに切り出す重要な工程です。このプロセスの自動化は、生産効率の向上、品質の安定化、コスト削減、そして作業員の負担軽減を目指すものです。自動化により、人為的なミスを最小限に抑え、高度な精度と再現性を実現します。

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【半導体製造向け】東京モートロニクス株式会社

【半導体製造向け】東京モートロニクス株式会社
半導体製造業界の工程管理では、高い精度と信頼性が求められます。特に、製造プロセスの自動化や効率化において、アクチュエータの正確な動作が重要です。不良品の発生を抑制し、生産効率を向上させるためには、アクチュエータの性能が不可欠です。東京モートロニクス株式会社のアクチュエータは、お客様の工程管理における課題解決をサポートします。 【活用シーン】 * 半導体製造装置における精密な位置決め * ウェーハ搬送システムの制御 * 各種検査工程での正確な動作 【導入の効果】 * 工程の精度向上 * 生産性の向上 * 製品品質の安定化

【半導体向け】刻印作業の改善・効率化をサポートするご提案

【半導体向け】刻印作業の改善・効率化をサポートするご提案
半導体業界におけるロット管理では、製品のトレーサビリティ確保のため、正確かつ永続的な刻印が求められます。特に、微細な部品やデリケートな素材への刻印においては、ワークの損傷を防ぎつつ、鮮明な情報を印字することが重要です。また、生産ラインの効率化や自動化も、品質管理と生産性向上の鍵となります。テクノマーク刻印機は、これらの課題に対し、刻印機の選定、導入支援、そして導入後の課題解決まで、トータルでサポートいたします。 【活用シーン】 ・微細な半導体部品へのロット番号、シリアル番号の刻印 ・デリケートな素材への非破壊での刻印 ・生産ラインへの自動刻印システムの構築 ・ワイヤレス操作による作業効率の向上 【導入の効果】 ・製品のトレーサビリティ向上 ・刻印ミスの削減と品質管理の強化 ・生産ラインの自動化による省人化・効率化 ・多様なワーク形状や素材への対応力向上 詳しくはカタログをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

【エネルギー業界向け】半導体ピックアップ

【エネルギー業界向け】半導体ピックアップ
エネルギー業界では、高性能な半導体デバイスの安定供給と、製造プロセスの効率化が求められます。特に、エネルギー変換効率の向上や、デバイスの小型化・高密度化は、技術革新の鍵となります。これらの要求に応えるためには、半導体製造における精密なハンドリング技術が不可欠です。当社の半導体ピックアップは、自動機によるインクマーク認識やマップ認識に対応し、多様なウェハサイズやチップサイズを扱えることで、製造プロセスの効率化と歩留まり向上に貢献します。 【導入の効果】 ・製造プロセスの自動化による効率向上 ・多様な製品サイズへの対応による柔軟性向上 ・精密なハンドリングによる品質維持

【半導体向け】ドットマーカーMarkinBOX MB2015T

【半導体向け】ドットマーカーMarkinBOX MB2015T
半導体業界では、ウェーハのトレーサビリティを確保するために、正確で永続的な識別が求められます。製造プロセスにおける品質管理と、製品の追跡可能性を向上させるためには、ウェーハへの正確なマーキングが不可欠です。MarkinBOX MB2015Tは、200mm×150mmの広い打刻エリアにより、多くの情報を一度に打刻できます。複数個のウェーハを効率的に配列し、生産性を向上させることが可能です。卓上だけでなく、ポータブルにも、オートメーションにも対応し、多様な製造環境に適応します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程におけるロット番号、製造日の打刻 ・品質管理のための識別情報付与 ・トレーサビリティ確保のための個体識別 【導入の効果】 ・打刻エリアの拡大による情報量の増加 ・ポータブル性による柔軟な対応 ・オートメーション化による生産効率の向上

【半導体製造装置向け】技能伝承・自走化仕組みづくり支援サービス

【半導体製造装置向け】技能伝承・自走化仕組みづくり支援サービス
半導体製造装置業界では、製品の小型化・高密度化に伴い、熟練工による微細な実装作業の正確な継承が求められます。特に、目視や手作業による高度な技術は属人化しやすく、若手への教育が担当者任せになると習得度にバラつきが生じ、品質の安定化を阻害する要因となります。本サービスは、重要技能の選定から暗黙知の可視化、動画を活用した標準化、そして指導者の育成までを一貫して支援し、現場が自律的に技能を磨き続けられる仕組みを構築します。 【活用シーン】 ・微細実装作業の教育動画化による習得プロセスの効率化 ・熟練工の退職に伴う技術喪失の防止 ・若手作業者の教育における習得度のバラつき解消 ・属人化している微細実装手順の標準化 【導入の効果】 ・熟練工の暗黙知が動画等で形式知化され、教育が標準化 ・若手が自ら判断・実践できるレベルまで技能を習得 ・社内指導者の育成により、自社内で継続的な教育が可能 ・技能レベルの可視化により、計画的な人材育成を実現

【産業用ロボット向け】リード線プリカット機カットマンスタンダード

【産業用ロボット向け】リード線プリカット機カットマンスタンダード
産業用ロボットを活用した自動化が進む中、電子部品のリード線カット工程の効率化が求められています。手作業によるリード線カットは、作業時間や人件費がかかるだけでなく、寸法のばらつきによる品質への影響も懸念されます。カットマンは、リード線を一定寸法に正確にカットすることで、これらの課題を解決し、自動化ラインへのスムーズな組み込みを可能にします。 【活用シーン】 ・ロボットによる基板実装工程 ・電子部品のリード線カット作業の自動化 ・品質管理部門での精度向上 【導入の効果】 ・リード線カットの精度向上 ・作業時間の短縮 ・不良品の削減 ・品質の安定化

【お見積無料】半導体ロボットの修理・メンテナンス サービス

【お見積無料】半導体ロボットの修理・メンテナンス サービス
長年の経験と技術力をもつ当社では、「装置部品メンテナンスの故障などの修理サービス」を提供しています。 「装置メーカーのサポート期間が終了してしまった」 「保守期限は残っているが部品が製造中止になってしまった」 「故障箇所がわからない」「修理できるか見てもらいたい」など、 まだまだ装置を使用し続けたいお客さまのお手伝い致します。 お気軽にご相談ください! 【特長】 ■サポート終了品でもOK ■故障箇所不明でもOK ■修理できなかった場合も無料 ☆無料見積をご希望の方は、下記の「修理依頼書」をご記入いただき、送付ください☆ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

ウェーハカセットチェンジャー『PCT2022』

ウェーハカセットチェンジャー『PCT2022』
『PCT2022』は、所定のカセットに収納された200mm・300mm用 ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるウェーハカセット チェンジャーです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセット。 各カセットは作業者がステージに供給します。 ご用命の際は当社へお気軽にご相談ください。 【装置仕様(抜粋)】 ■ダイシングフレーム ・サイズ200mm/300mm ・厚さ:1.22±0.08mm ■キャリア ・標準カセット(6枚入カセット・13枚入カセット) ・フレーム収納ピッチ(15mm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

石英ガラスウエハ移載装置

石英�ガラスウエハ移載装置
本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1~ステージ2の キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。 タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。 ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。 【各部仕様(抜粋)】 ■ステージ1(ローダー) ・装置正面左側ステージ ・対応キャリア:オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)  FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚) ・センサ機能:カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

8インチウエハボックス搬送ロボット『OW8』

8インチウエハボックス搬送ロボット『OW8』
『OW8』は、半導体FabにおけるSMIF PODフローの難題をワンストップで 解決する8インチウエハボックス搬送ロボットです。 レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション技術に基づいて、 室内±の繰り返し位置決め精度を実現し、各種設備と効果的にドッキング。 配置が容易で、複数協同作業でき、自主開発したYOUIFleet分散型知能 スケジューリングシステムに合わせ、顧客がロボットの大規模複数管理を 実現させます。 【特長】 ■8インチウエハボックス搬送 ■最大限の安全保護 ■8時間連続運転 ■レーザーSLAMのハイブリッド位置決めナビゲーション技術 ■配置が容易で、複数協同作業に対応 ■クリンルーム対応、低振動、帯電防止、半導体工場用に設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体製造装置 請負組立サービス

半導体製造装置 請負組立サービス
株式会社アドバンスで行っている、半導体製造装置の請負組立について、 ご紹介します。 精密な組立で高性能装置を実現。顧客の要求に応じた柔軟な生産体制での 対応が可能です。 その他、半導体製造装置の生産技術支援や、半導体製造装置組立の 生産性向上支援、取扱マニュアル作成等の請負事務作業も行っています。 【事業内容】 ■半導体製造装置の請負組立 ■半導体製造装置の生産技術支援 ■半導体製造装置組立の生産性向上支援 ■請負事務作業 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

FDD変換ユニット

FDD変換ユニット
8インチFDDの制御信号を受け、3.5インチFD上にデータを読書きするFDD変換ユニットです。半導体製造装置,液晶製造装置,その他制御装置などで使用されている生産・製造終了で入手困難になった8インチFDDの置き換えに最適です。

【半導体】生産ラインに使われる半導体関連製品 CANTOPS

【半導体】生産ラインに使われる半導体関連製品 CANTOPS
CanTops(キャンタップス)は、半導体製造・搬送分野に特化した通信・センシングソリューションメーカーです。 SEMI-E84/E23対応のPIO、RFIDリーダー、FOUPセンサー、IoTソリューションなど、半導体製造現場の自動化・安定稼働を支える製品を提供しています。 特に、世界初のRF/IRハイブリッドE84 PIOを開発し、厳しいノイズ環境でも安定したㅡ無線通信を実現しています。 また、RFIDリーダー「LM 24」では、1台で4チャンネルを対応するため、コスト削減や小スペース化が可能です。 世界的に豊富な現場実績と高い技術力を活かし、お客様の設備に合わせた高信頼性・高効率なソリューションを提供しています。

アクリル系粘着テープがくっつかないツメ

アクリル系粘着テープがくっつかないツメ
こちらのゴム製品メーカー様では、製品包装時、アクリル系粘着テープを 使用し封止めを行っている機械装置があります。この機械装置では、 ツメと呼ばれる部品で粘着テープを掴んで貼り付ける動作をさせています。 これまでは粘着テープがツメ表面にくっついてしまい、正確に貼り付けを 行うことができませんでした。 そこで当社にご相談があり、「トシカルS TS-1800」を採用。コーティング後は 粘着テープの付着がなくなり、生産性の向上に大きく貢献しました。 【概要】 ■お客様:ゴム製品メーカー様 ■対象:製品包装工程 ■施工:トシカルS TS-1800 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

チップ・メディアセパレーター

チップ・メディアセパレーター
株式会社産機で取り扱う『チップ・メディアセパレーター』をご紹介します。 従来のバレル研磨後の選別は、振動ふるい方式又は磁性式が一般的でした。 当製品は、当社独自の振動方式を採用。小型チップ・メディア(バレル)を 短時間で選別することができます(乾燥後のワーク専用)。 ワークサイズが1005~3216の場合は、別システムでの対応が可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。 【サイズ別実績選別能力】 ■チップサイズ:0603 ■数:5g ■メディアサイズ:50g  ⇒処理時間:20分以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

製造搬送装置・検査装置 開発サービス

製造搬送装置・検査装置 開発サービス
当社では、各種製造搬送装置・検査装置の開発・製造を承っております。 当社の製品は、すべて日本の自社工場で製造。各製品は、日本国内はもとより 世界(アメリカ、ヨーロッパ、アジア)でも導入されており、製造ラインに 合わせたカスタイマイズ、業務の効率化、高い安全性、そして誰でも簡単に 操作ができる再現性が評価されております。 お客様の現在の状況をお聞かせいただき、場合によってお客様の工場へ伺い、 現場に好適な製品・仕様をご提案いたしますので、ご要望の際はお気軽に お問い合わせください。 【当社の強み】 ■各種製造搬送装置・検査装置の開発に特化 ■オリジナル製品を設計から一貫生産 ■1993年創業の豊富な実績と技術力 ■納品後にも安心のアフターフォロー体制 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ウエハ搬送装置

ウエハ搬送装置
当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。 (検査装置側との通信が必要になります) また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■繰り返し性の高い駆動系の高信頼性で搬送可能 ■装置側の様々なステージに搬送を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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ダイシングにおけるダイシングプロセスの自動化

ダイシングにおけるダイシングプロセスの自動化とは?

半導体製造におけるダイシングプロセスは、ウェハーを個々のチップに切り出す重要な工程です。このプロセスの自動化は、生産効率の向上、品質の安定化、コスト削減、そして作業員の負担軽減を目指すものです。自動化により、人為的なミスを最小限に抑え、高度な精度と再現性を実現します。

​課題

熟練工への依存と人材不足

ダイシングは高度な技術と経験を要するため、熟練工の確保が困難であり、属人的なスキルに依存する傾向があります。

品質のばらつきと歩留まり低下

手作業や半自動化では、切断位置のずれ、チッピング(欠け)、ブレードの摩耗などが品質のばらつきや歩留まり低下の原因となります。

生産性の限界とコスト増

手作業での工程は時間がかかり、生産能力に限界があります。また、不良品の発生は再加工や廃棄によるコスト増につながります。

作業環境の課題

ダイシング工程では、微細な粉塵が発生しやすく、作業員の健康や安全への配慮が必要です。また、精密な作業には集中力が必要で、疲労によるミスも懸念されます。

​対策

高度自動化システムの導入

AIや画像認識技術を活用し、ウェハーの位置決め、ブレードの選択、切断条件の最適化などを自動で行うシステムを導入します。

インライン検査とフィードバック制御

ダイシング中にリアルタイムで品質を検査し、異常を検知した場合は自動でプロセスを調整または停止させる仕組みを構築します。

モジュール化と標準化

ダイシング装置や周辺機器をモジュール化し、標準化することで、柔軟なライン構築とメンテナンスの効率化を図ります。

遠隔監視とデータ管理

装置の状態や生産データを遠隔で監視・管理し、異常の早期発見や生産計画の最適化、過去データの分析による改善につなげます。

​対策に役立つ製品例

全自動ウェハー切断装置

画像認識による高精度な位置決めと、AIによる最適な切断条件設定により、人為的なミスを排除し、安定した品質でチップを切り出します。

インライン品質モニタリングシステム

ダイシング中に発生するチッピングや切断幅のずれをリアルタイムで検出し、不良品の発生を未然に防ぎ、歩留まりを向上させます。

ブレード自動交換システム

ブレードの摩耗度を検知し、自動で交換することで、切断品質の低下を防ぎ、装置の稼働率を最大化します。

生産管理・予知保全ソフトウェア

装置の稼働状況やメンテナンス時期を管理し、予期せぬ故障を防ぎます。また、生産データを分析し、プロセスの改善提案を行います。

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