洗浄液の再利用とは？課題と対策・製品を解説

半導体業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。クーラントや洗浄液の腐敗は、微粒子の発生や異物混入を引き起こし、清浄度を低下させる可能性があります。ナノブースターは、水溶性クーラントの腐敗を抑制し、洗浄液の浸透性を高めることで、清浄度維持に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置のクーラント ・洗浄工程における洗浄液 【導入の効果】 ・クーラントの長寿命化 ・洗浄性の向上 ・清浄度の維持

～高性能はいいな。でも、手が届かないと思っている方へ～ ＭＴＫのＷｅｔ処理装置は、わずかな隙間でも設置できるコンパクト設計でありながら、わずかな薬液・純水で洗浄できる高性能な洗浄装置です。 【特徴】 ・パーティクル数が極めて少ない（ウエハ表面上） ・純水・薬液の使用量が少ない ※純水…0.5 リッタ（１枚当り）、薬液…20 リッタ（１日当り） ・コンパクトな装置サイズ 〈処理本体〉 幅1100mm/ 奥行800mm/ 高さ1900mm 〈薬液供給本体〉 幅500mm/ 奥行800mm/ 高さ1800mm ・驚きの低価格 ～詳細はカタログダウンロードもしくはお問い合わせください～

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 【特長】 ■省フットプリント　60%削減（当社比TWPmと比較） ■1チャンバー完結 ■薬液の裏面廻り込み防止（特許） ■液・ミストの飛散、再付着防止 ※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 【特長】 ■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減 ■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上) ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

当社では、薬液不使用の為、一般的な規模の排水処理設備が不要な 『スピン洗浄装置』を取り扱っております。 化学火傷などの皮膚刺激が無い為、作業環境が改善。 また、洗浄性・すすぎ性が高い為、純水使用量を低減可能です。 【特長】 ■排水処理負荷低減 ■作業環境改善 ■純水使用量低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、1500件を超える多くの実績と長年にわたるアフターサービスの 中で数多くの経験を積んできました『薬液供給システム』を得意としております。 これまでの経験はノウハウとして蓄積し、常にシステム開発、 アフターサービスにフィードバックされ、薬液の特性に合わせた信頼性の 高いシステムを提供しています。 【取扱品目】 ■薬液自動供給システム ■CMPスラリー供給設備 ■CMPスラリー希釈・調合設備 ■現像液希釈設備 ■フッ酸希釈設備　など ※詳細についてはお問合せください。

『FILSTAR』は消耗品フィルターを使わず、水の流れだけで高精度ろ過が出来るフィルターです。 【このようなご要望をお持ちですか？】 ■メッキ剥離物の目詰まり削減 →FILSTARは目詰まりしないフィルターのため、面倒なフィルター交換作業がなくなります ■研磨時の排水処理における環境負荷低減 →FILSTARは10μｍの微粒子は98％以上回収・除去する高精度フィルターのため、 　排水をろ過して、処理に環境負荷・産業廃棄物コストのかかる状態を改善します 　 ■産業廃棄物の削減 →消耗品となる産業用フィルターは、使い終わると産業廃棄物となります。 　FILSTARは一度導入すると長く使用可能な製品のため、 【導入メリット】 ■メッキ剥離槽中の剥離物を回収し、有価物として売却 ■定期的な消耗品フィルターの購入費ゼロ、交換費ゼロ、廃棄費がゼロ ■高精度ろ過で廃水量を減らし、節水対策

『小型溶剤回収装置　CA-100シリーズ』は、 廃溶剤の排出量が月2ton以下の処理に適した溶剤回収装置です。 また、回収対象溶剤の沸点が凡そ250℃以下であれば「非防爆エリア」、「防爆エリア」問わず設置、溶剤回収が可能です。 本製品は有機溶剤を使用しているモノづくり企業で幅広く活用されております。 【特長】 ・接液部は全てSUS304製 ・複雑な操作は無くボタン一つで簡単に操作可能 ・堅牢でメンテナンスも容易な為、長期にわたって使用が可能 ・一斗缶ごと廃液を投入、処理が可能 ・真空減圧タイプ、防爆タイプもラインアップ ・使用環境に応じたカスタムオーダーメイド可能

液晶パネルの洗浄で、エレメントレス・フィルター「FILSTAR」を 導入した事例をご紹介いたします。 液晶パネル洗浄時のガラス粉混入排水を未処理のまま 全排出・廃棄(環境負荷・産廃コスト大)。 当製品にて、ガラス粉を分離・分級後に排水することでの 環境負荷を低減・産廃コストを低減できます。 【事例概要】 ■課題 ・一般的フィルター使用では、エレメントの購入・交換・廃棄による 　ランニングコストが発生 ■結果 ・当製品にはエレメントが存在しないため、低コストにて環境対策を達成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社は、半導体チップ製造プロセス（ウェットエッチング・レジスト剝離・洗浄）装置の製造メーカーです。 スループット最大600wphの「BATCHSPRAY Clean Autoload」や タンクシステムによるケミカル循環方式を採用した「BATCHSPRAY Solvent Autoload」 など様々な製品を取り扱っております。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【Siconnex(サイコネックス)が選ばれる理由】 ■BATCHSPRAY技術に100％フォーカス ■水・排気・化学品を大幅に削減 ■コスト効率が高く、環境保全に対応したプロセス ■充実したサポート体制(サービス、パーツ、プロセス) ■無償の年次装置点検、トレーニング、電話サポート、及び初年度定期 　メンテナンス等のパートナーシップアプローチ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『大型溶剤回収装置　CA-800シリーズ』は、 廃溶剤の排出量が月1ton以上の処理に適した溶剤回収装置です。 また、回収対象溶剤の沸点が凡そ250℃以下であれば「非防爆エリア」、「防爆エリア」問わず設置、溶剤回収が可能です。 本製品は有機溶剤を使用しているモノづくり企業で幅広く活用されております。 【特長】 ・接液部は全てSUS304製 ・加熱源はヒートパイプ又は、スチームで選択可能 ・複雑な操作は無くボタン一つで簡単に操作可能 ・堅牢でメンテナンスも容易な為、長期にわたって使用が可能 ・ドラム缶又は、貯蔵タンクから自動で給排液が可能 ・使用環境に応じたカスタムオーダーメイド可能 ・運転状況の遠隔監視可能　※オプション ※詳しくはPDFをご覧いただくかお問い合わせください。

『SJ-A-E 型』は、カチオン樹脂とアニオン樹脂を1つの塔に充填した 混床式の純水装置です。 薬注速度や薬注濃度の最適化により、従来比で再生排水量が約 2割低減、 再生時間が約半分。 純水の採水(原水中のイオン除去)を続けていくと、イオン交換樹脂が 飽和し交換能力が低下しますので一定時間採水を行った後は、薬品により イオン交換樹脂を再生する必要があります。本装置は、この再生操作を 自動で行うことができます。 【特長】 ■カチオン樹脂とアニオン樹脂を1つの塔に充填した混床式 ■高い純度の純水を得られる ■再生排水量を大幅低減、短時間再生 ■オプション品が豊富 ■現地工事が容易で短時間で据付完了 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『PURMS＋Y』は、ドライフィルムレジストが溶解しないため、 剥離片をフィルターで回収し易い、中性タイプのレジスト剥離液です。 液のライフが長いので、メンテナンス時間を削減可能。 また、再生使用ができ、ゼロエミッションプロセスができます。 【特長】 ■リンス排水は生化学処理が可能 ■蒸気圧が低く、吸湿性が弱いので処理液の回収率が高い ■下地の金属にダメージを与えない　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。

『FCV33FD』は、PVDF製タテ取付汎用型の小型フロートスイッチです。 当社の主力であるステンレス製では測定が不可能な酸性、アルカリ性と いった液体の液位管理にご使用頂けます。 耐熱性と耐薬品性に優れ、耐熱Max.120℃、測定対象液比重0.85です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■低価格帯での量産型樹脂製小型フロートスイッチ ■製品材質はPP、ポリスルホン、PVDFといったものを揃え、様々な 液体に対応 ■耐熱温度は80℃から120℃対応の製品を用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。