化学機械研磨プロセスの安定化とは？課題と対策・製品を解説

半導体業界では、製造プロセスにおける薬品への耐性が求められます。特に、高純度な薬品を使用する工程では、コーティングの劣化や剥離が、製品の品質低下や製造効率の悪化につながる可能性があります。アドロンコーティングは、耐薬品性に優れ、半導体製造プロセスにおける様々な課題を解決します。 【活用シーン】 ・薬品タンク ・ウェハー搬送用治具 ・各種配管 【導入の効果】 ・薬品への高い耐性 ・製品の品質安定化 ・製造コスト削減

『CIPクラッドパイプ』は、真空溶解・ガスアトマイズ法により 製造された高品質の粉末を熱間押出して製造されています。 HIP、遠心鋳造、溶射、肉盛溶接に比べ、微細な炭化物が均一に分散されており、 より硬く耐磨耗性に優れています。 また、HIP、遠心鋳造、溶射、肉盛技術では、製造不可能な長尺細径管の 製造も可能です。 【特長】 ■耐磨耗性が極めて高く、恒久対策に好適 ■錆によるベレットへの着色がない ■高クローム鋼の配管に比べ、軽量であるため、取付作業が容易 ■熱間ベンド加工により、様々な角度に曲げ加工が可能 ■曲げ加工による内面ステライト合金へのクラックがない ■外径がステンレス鋼のため、フランジ、アースラグの溶接が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

有限会社ファーストダックは、研磨機・CMPマシンに付着したスラリー（研磨材）の洗浄剤、洗浄方法を提供している会社です。 当社が行った、スラリーアームの洗浄前と洗浄後をご紹介しています。 今なら資料を無料進呈中！ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。