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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは？

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

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【太陽電池製造向け】SiO2(石英)リング

株式会社スパッタコア

太陽電池製造業界では、高品質な太陽電池セルの製造が求められます。特に、拡散工程における不純物の混入を防ぎ、効率的な拡散処理を行うことが重要です。不適切な材料の使用や管理は、太陽電池セルの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のSiO2(石英)リングは、高い純度と耐熱性により、拡散工程における最適な環境を提供し、高品質な太陽電池セルの製造をサポートします。【活用シーン】・太陽電池セルの拡散工程・高温環境下での使用・不純物の混入防止【導入の効果】・高品質な太陽電池セルの製造・歩留まりの向上・製品の信頼性向上

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【半導体クリーンルーム向け】負圧オートドレーン

株式会社テクネ計測

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な粒子や液体の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、ガスサンプリングラインや関連機器に蓄積する液体や液滴は、システムの誤作動や汚染の原因となり、歩留まりの低下を招く可能性があります。負圧オートドレーンは、これらの問題を解決するために設計されました。蓄積された液体を連続的に自動排出することで、クリーンルーム環境の清浄度を維持し、安定した製造プロセスをサポートします。【活用シーン】・クリーンルーム内のガスサンプリングライン・半導体製造装置の排液処理・プレフィルター、スプレースクラバー、リキッドトラップからの排水【導入の効果】・クリーンルーム環境の汚染リスクを低減・システムの信頼性向上とメンテナンス頻度の削減・製品品質の安定化と歩留まり向上

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【半導体向け】PERFREZ 高性能O-リング

株式会社誠和商会

半導体業界の真空シール用途では、高度な気密性と耐薬品性が求められます。真空環境下でのリークを防ぎ、製造プロセスの品質を維持するためには、Oリングの性能が重要です。特に、高温や腐食性のある化学物質にさらされる環境下では、Oリングの劣化が問題となります。PERFREZは、これらの課題に対応し、安定した性能を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置・真空チャンバー・薬液供給ライン【導入の効果】・真空リークの抑制・装置の稼働率向上・長期的なコスト削減

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【半導体製造向け】長野ドライルーブ株式会社

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体製造業界では、クリーンな環境下での精密部品の品質維持が重要です。微細な埃や異物の付着は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。長野ドライルーブ株式会社の機能性塗装は、これらの課題に対し、製品の付加価値を高め、品質向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での精密部品・半導体製造装置部品・異物混入を防ぎたい部品【導入の効果】・製品の信頼性向上・歩留まりの改善・コスト削減

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【電池業界向け】バキュームコンベア

Volkmann Japan(フォルクマンジャパン)株式会社

電池業界における電極材の供給では、粉体の飛散防止、閉塞の回避、そして正確な搬送が求められます。特に、高性能な電池製造においては、電極材の品質維持が重要となります。バキュームコンベアは、完全密閉構造により粉体の飛散リスクを低減し、詰まりにくい設計で安定した供給を実現します。省スペース設計と柔軟なレイアウトにより、既存の設備への組み込みも容易です。【活用シーン】・電池製造ラインでの電極材投入・研究開発施設での材料供給・製造工程への粉体供給【導入の効果】・粉体飛散による作業環境の改善・原料ロスと清掃コストの削減・生産効率の向上

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【半導体製造向け】防爆露点計TK-100TR-EX

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製造プロセスにおける微量な水分が製品の品質を大きく左右します。特に、クリーンルーム環境下でのガス中の水分管理は、歩留まりの向上、製品の信頼性確保のために不可欠です。水分は、半導体デバイスの性能劣化や腐食を引き起こす可能性があります。TK-100TR-EXは、爆発危険区域でのガス中水分計測を念頭に開発された静電容量式露点計であり、清浄度維持に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内のガス供給ライン・半導体製造プロセスの乾燥空気供給・特殊ガス供給ライン【導入の効果】・高精度な露点測定による品質管理の強化・製品の歩留まり向上・製造プロセスの安定化・コスト削減

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【半導体製造装置向け】A5052薄肉加工　φ60 t1.2

外山精機工業株式会社

半導体製造装置業界では、真空環境下での高い気密性と耐久性が求められます。特に、薄肉加工部品は、装置全体の軽量化と高精度な動作に不可欠です。不適切な加工は、真空漏れや部品の破損につながり、装置の性能を著しく低下させる可能性があります。当社の『A5052薄肉加工　φ60 t1.2』は、これらの課題に対応し、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・真空チャンバー部品・真空配管部品・半導体製造装置内部部品【導入の効果】・真空漏れのリスク低減・装置の軽量化・高精度な動作の実現・装置寿命の延長

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【半導体製造向け】CDM-ESD

株式会社トーヨーコーポレーション

半導体製造業界では、製造工程における高温環境下での基板搬送や治具の耐久性が重要です。特に、熱による変形や化学薬品への耐性が、製品の品質と生産効率を左右します。CDM-ESDは、300℃以上の高温環境下でも高い性能を発揮し、優れた耐薬品性を備えています。これにより、半導体製造における基板搬送用パレットや治具として、安定した運用を可能にします。【活用シーン】・高温環境下での基板搬送・耐薬品性が求められる治具・寸法安定性が重要な治具【導入の効果】・高温環境下での高い耐久性・優れた耐薬品性による製品品質の向上・高い寸法安定性による歩留まり向上

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【電子材料向け】SAS型エアセパレータ

株式会社増野製作所

電子材料業界では、製品の品質を左右する不純物の除去、高純度化が求められます。特に、微細な粒子レベルでの異物混入は、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。SAS型エアセパレータは、循環旋回気流と遠心力で効率的に微粒子を分級し、高純度な電子材料の製造を支援します。【活用シーン】・電子材料製造における原料の分級・高純度化プロセスにおける異物除去・微粒子レベルでの品質管理【導入の効果】・高純度な電子材料の製造・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【電子材料向け】卓上インラインミキサー magic LAB

IKAジャパン株式会社

電子材料業界では、材料の均一な混合が製品の品質を左右します。特に、精密な配合が求められる材料においては、混合の均一性が重要です。不均一な混合は、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。IKA magic LABは、卓上ラボスケールでインライン混合を実現し、電子材料の研究開発を支援します。【活用シーン】・電子材料の混合研究・新しい配合の研究・少量多品種の材料開発【導入の効果】・均一な混合による製品品質の向上・スケールアップを見据えた研究開発・高価な原料の有効活用

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【半導体製造向け】SAIWシートメタル洗浄機

株式会社Eプラン

半導体製造業界では、製品の品質を左右するパーティクルの除去が重要です。微細なパーティクルは、製品の歩留まりを低下させ、不良品の発生につながる可能性があります。SAIWシートメタル洗浄機は、アルカリ電解水を使用し、金属板に付着したパーティクルや油汚れを効果的に除去します。これにより、次工程の品質向上に貢献し、歩留まりの改善に繋がります。【活用シーン】・半導体製造工程における金属部品の洗浄・パーティクルや油汚れの除去が必要な工程・品質管理を徹底したい工程【導入の効果】・パーティクル除去による品質向上・歩留まりの改善・洗浄剤コストの削減

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【半導体向け】U-TIGHTSEAL（U-タイトシール）

東洋興業株式会社

半導体製造業界では、高度な清浄度が求められ、微細なパーティクルの混入が製品の品質を大きく左右します。特に、真空環境や高圧環境下で使用されるガスケットは、高い気密性と耐久性が不可欠です。従来のガスケットでは、熱サイクルや圧力変動により気密性が損なわれることがあり、これが製品の歩留まり低下や装置の停止につながる可能性があります。 U-TIGHTSEALは、高い弾性復元力と幅広い材料選択肢により、これらの課題に対応し、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させます。【活用シーン】・クリーンルーム環境・真空チャンバー・高圧ガス配管・半導体製造装置【導入の効果】・高い気密性の維持・異物混入のリスク低減・装置の稼働率向上・製品の品質向上

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【半導体向け】高機能フィルターメディア『ボンメッシュ』

ニチダイフィルタ株式会社

半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、高純度なシリコンウェーハの製造や、微細加工技術においては、空気中の微粒子や液中の不純物を徹底的に除去し、清浄度を維持することが不可欠です。異物の混入は、デバイスの性能低下や短絡、断線といった致命的な欠陥を引き起こす可能性があります。高機能フィルターメディア『ボンメッシュ』は、半導体製造プロセスにおける清浄度管理の課題に応えるために開発されました。【活用シーン】・薬液製造ライン・薬液供給ライン・ガス供給ライン・各種製造装置【導入の効果】・異物混入による歩留まり低下を抑制・製品の品質向上・ランニングコストの削減・メンテナンス性の向上

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【半導体向け】FEP/PFA被覆O-リング

株式会社エム・オー・テック

半導体製造業界では、薬液や洗浄液への高い耐性が求められます。これらの薬品は、O-リングなどのシール材を劣化させ、リークや汚染を引き起こす可能性があります。FEP/PFA被覆O-リングは、フッ素系樹脂で被覆されているため、優れた耐薬品性を発揮し、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させます。【活用シーン】・薬液を使用する装置・洗浄工程・クリーンルーム環境【導入の効果】・薬液による劣化を抑制・リークや汚染のリスクを低減・装置の稼働率向上

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【半導体ウェーハ向け】超耐熱シリコンゴムシート

会津ゴム工業株式会社

半導体業界では、ウェーハ製造における高温環境下での耐久性が求められます。特に、熱処理工程や研磨工程においては、高い耐熱性と安定した性能が重要です。不適切な材料の使用は、ウェーハの品質低下や製造効率の悪化につながる可能性があります。当社の超耐熱シリコンゴムシートは、300℃の耐熱性を持ち、ウェーハ製造工程をサポートします。【活用シーン】・ウェーハ搬送用治具・高温環境下での緩衝材・研磨工程での保護材【導入の効果】・300℃の耐熱性により、高温環境下での使用が可能・RoHS対応品で、環境負荷を低減・カット対応により、用途に合わせた形状で提供可能

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【半導体製造向け】Micra Gold フィルター

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微細な異物の混入を防ぐことが重要です。特に、クリーンルーム環境下での製造プロセスにおいては、圧縮空気やガス中の微粒子が製品の歩留まりを低下させる可能性があります。Micra Gold フィルターは、これらの課題に対し、最小0.01μmの粒子を除去することで、高品質な半導体製造をサポートします。【活用シーン】 * クリーンルーム内の圧縮空気ライン * 真空ポンプ排気ライン * ガス分析装置の前段【導入の効果】 * 製品の歩留まり向上 * 品質の安定化 * 装置の長寿命化

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【電子機器向け】小型自動ふき取り装置

東西商事株式会社

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を高めるために、精密な接着剤塗布が求められます。特に、小型化が進む電子部品においては、ディスペンサーやノズルの詰まりや汚れが、製品の性能に直接影響を与える可能性があります。手作業での清掃は、時間と手間がかかり、作業効率を低下させるだけでなく、清掃の精度にもばらつきが生じる可能性があります。当社の小型自動ふき取り装置は、ディスペンサーやノズルの清掃を自動化し、製造ラインの効率化と製品品質の向上に貢献します。【活用シーン】・電子機器製造ラインでの接着剤塗布工程・精密部品への接着剤塗布・クリーンルーム内での使用【導入の効果】・製造ラインの稼働率向上・製品の品質安定化・作業時間の短縮・人件費の削減

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【電子材料向け】MSジェットスクリーン

株式会社増野製作所

電子材料業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な粒子を扱う電子材料においては、異物の混入は製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。MSジェットスクリーンは、原料粉を空気搬送により本体内部の網へ通過させ、網目（μｍ）によって篩上と篩下にそれぞれ分級することで、高精度な分離を実現します。【活用シーン】・電子材料製造における異物除去・微細粒子の分級・高純度化【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【半導体向け】ボールバルブ NA1T シリーズ

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を左右する高純度ガスや液体の厳密な流量制御が求められます。特に、微細な粒子や不純物の混入は、製造プロセスに深刻な影響を与え、歩留まりの低下や製品不良を引き起こす可能性があります。ボールバルブは、配管内の水・空気・ガス等の流れを止めたり流したりするという重要な役割を担っており、高純度環境下での信頼性の高い制御が不可欠です。ボールバルブ NA1T シリーズは、ローコストでありながら、高純度環境に対応する材質を採用し、半導体製造プロセスにおける品質維持に貢献します。【活用シーン】・高純度ガス供給ライン・薬液供給ライン・クリーンルーム内配管【導入の効果】・異物混入リスクの低減・プロセスの安定化・コスト削減

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【半導体向け】セラミック溶射、各種表面処理

日本セラテック株式会社

半導体製造業界では、ウェーハや基板の搬送において、微細な傷や異物の付着を防ぎ、高い精度を維持することが求められます。特に、パスラインローラーの摩耗や異物混入は、製品の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社セラミック溶射パスラインローラーは、高耐久性と平滑性を両立し、半導体製造における搬送工程の課題解決に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・基板搬送・クリーンルーム内での搬送【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・メンテナンスコストの削減

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【半導体向け】高薬品耐性アイソレーター用グローブ

株式会社イトー

半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物混入や汚染を徹底的に防ぐ必要があります。特に、薬品や有機溶剤を使用する作業においては、グローブの耐薬品性と作業性が重要です。不適切なグローブの使用は、製品の品質低下や作業者の安全リスクを高める可能性があります。当社のアイソレーター用CSM・ブチルグローブは、高い薬品耐性と作業性を両立し、クリーン環境での作業効率と安全性を向上させます。【活用シーン】 * 半導体製造工程 * クリーンルーム内での作業 * 薬品を使用する作業【導入の効果】 * 製品の品質向上 * 作業者の安全確保 * 作業効率の向上

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【半導体クリーンルーム向け】PFAスリーブ

株式会社ハギテック

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微粒子や化学物質による汚染が製品の品質を大きく左右します。特に、配線保護に使用する部材は、清浄度を維持し、アウトガスを抑制することが重要です。PFAスリーブは、耐薬品性、耐熱性、防炎性に優れており、クリーンルーム環境下での使用に最適です。PFAモノフィラメントから編組されており、高い清浄度を保ちながら、配線を保護します。【活用シーン】・クリーンルーム内の配線保護・半導体製造装置内のケーブル保護・化学薬品を使用する環境でのケーブル保護【導入の効果】・クリーンルーム環境の維持・製品の品質向上・ケーブルの保護と長寿命化

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【半導体向け】TEKHNEPort40-LDPTによる清浄度管理

株式会社テクネ計測

半導体業界では、製造プロセスにおける清浄度の維持が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、微細な水分は製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。TEKHNEPort 40-LDPTは、高精度な露点測定により、製造環境の水分量を正確に把握し、清浄度管理を支援します。持ち運び可能で、現場での測定に最適です。【活用シーン】・クリーンルーム内の露点測定・製造プロセスにおける配管内の露点測定・品質管理部門での測定【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・製造プロセスの最適化

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【電子部品向け】ラジカル洗浄ユニット

株式会社プレテック　静岡製作所

電子部品業界の表面処理工程では、微細な有機物や金属汚染の除去が、製品の品質と信頼性を左右します。特に、高密度化が進む電子部品においては、コンタミを徹底的に除去し、高品質な表面処理を行うことが重要です。ラジカル洗浄ユニットは、高効率なOHラジカル生成により、これらの課題に対応します。【活用シーン】・フォトレジスト除去・金属膜酸化防止・有機・金属汚染除去【導入の効果】・洗浄効率の向上・環境負荷の低減・製品品質の向上

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半導体向け｜ドライアイスブラスト洗浄

株式会社東洋ユニオン

半導体業界では、製造工程における微細な異物の除去が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な課題です。特に、精密な電子部品や基板の洗浄においては、残留物のないクリーンな洗浄が求められます。従来の洗浄方法では、洗浄剤の残留や部品の損傷といった問題が発生する可能性があります。当社のドライアイスブラスト洗浄は、瞬時に気化するドライアイスを使用することで、2次汚染を発生させることなく、精密部品を傷つけずに洗浄できます。【活用シーン】・半導体製造装置の部品洗浄・電子基板の異物除去・精密金型の洗浄【導入の効果】・洗浄後の回収作業が不要になり、作業効率が向上・被洗浄物の分解・組立工程を削減・有害物質の排出を抑制し、環境負荷を低減

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【電子材料精製向け】粉体コンテナシステム

赤武エンジニアリング株式会社

電子材料業界の精製工程では、材料の純度を保ちながら、効率的に粉体をハンドリングすることが求められます。異物混入やコンタミネーションを防ぎ、正確な計量と排出を行うことが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。当社の粉体コンテナシステムは、これらの課題に対応し、電子材料の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子材料の精製工程における粉体の貯留、搬送、計量、排出・ロット管理によるトレーサビリティの確保・自動化による省人化と作業環境の改善【導入の効果】・異物混入リスクの低減による製品品質の向上・計量精度の向上による歩留まりの改善・作業効率の向上と作業者の負担軽減

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【半導体向け】高純度ハフニウム(Hf)ターゲット

株式会社スパッタコア

半導体業界では、デバイスの高性能化に伴い、薄膜の品質が重要視されています。特に、Hf（ハフニウム）ターゲットを用いた薄膜形成においては、ターゲット材の純度と均一性が、薄膜の特性を大きく左右します。不純物の混入や結晶粒径のばらつきは、薄膜の信頼性低下につながる可能性があります。当社の高純度Hfターゲットは、高品質な薄膜形成をサポートします。【活用シーン】・半導体製造における薄膜形成・スパッタリングによるHf薄膜の作製・高性能デバイス製造【導入の効果】・高品質な薄膜の実現・デバイス性能の向上・歩留まりの改善

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【電子部品向け】RO純水製造装置スキッド型

株式会社トップウォーターシステムズ

電子部品業界の精密製造においては、洗浄、めっき、その他製造工程において、不純物のない高純度な水が不可欠です。不純物が混入すると、製品の品質低下や歩留まりの悪化を招く可能性があります。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースでも高純度のRO純水を供給し、電子部品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・精密電子部品の洗浄工程・半導体製造における薬液調整・電子部品製造工場の冷却水【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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メタル炉｜半導体部品の気密封止・ろう付け・高真空熱処理向け

株式会社サーモニックENG

半導体部品では、長期信頼性を確保するため、封止工程における気密性や酸化・汚染の抑制が重要です。特に、セラミックスと金属の封止、ろう付け、アニール、焼成では、炉内の清浄性や真空・雰囲気制御が品質に影響します。弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、清浄な高純度雰囲気での熱処理に適しています。また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、半導体部品の気密封止、ろう付け、酸化防止、アニールに対応可能です。 ■ 半導体部品の気密封止条件を検討したい ■ セラミックスと金属の接合・封止品質を安定させたい ■ 酸化や汚染を抑えた高純度雰囲気で処理したい ■ 高真空、N2、Ar、H2雰囲気で熱処理したい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない

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【半導体製造向け】外観部品

株式会社ニチベイパーツ

半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、クリーンな環境下での製造が求められます。特に、外観部品においては、微細な異物の付着や傷が、製品の性能に影響を与える可能性があります。当社の外観部品は、厳しい外観検査に耐え、クリーンな環境下での使用に適しています。【活用シーン】・クリーンルーム内での使用・半導体製造装置への組み込み・外観品質が重要視される製品【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【電子部品向け】ジャイロフラットスクリーン

株式会社増野製作所

電子部品業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な部品や材料を扱う工程においては、異物の混入は製品の不良や性能低下に直結する深刻な問題です。ジャイロフラットスクリーンは、精密な篩分けにより、異物混入リスクを低減し、高品質な電子部品製造をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造における材料の異物除去・微細部品の選別・製造工程における品質管理【導入の効果】・異物混入による不良品の発生率を低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【半導体製造向け】KNF N96シリーズ真空・コンプレッサー

株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン

半導体製造業界では、製造プロセスにおける真空搬送が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、デリケートな半導体ウェーハや部材を扱う際には、正確な圧力制御とリーク対策が不可欠です。不適切な真空環境は、製品の汚染や性能劣化を引き起こす可能性があります。KNF N96シリーズは、これらの課題に対応するために設計されました。【活用シーン】・真空搬送システム・真空チャンバー・ガス供給システム【導入の効果】・ウエットなガス、凝縮ガスの移送が可能・大気開放することなく、減圧状態または陽圧状態からの再起動が可能・リークタイト設計により、真空度の維持に貢献

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【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム

中西商事株式会社

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、高純度ガスの安全な輸送が不可欠です。特に、微細な異物の混入やガスの漏洩は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。当社の二重管システムは、内管と外管の二重構造により、万が一のガス漏れのリスクを低減し、高純度ガスの品質を維持します。また、特殊脂性サポートやフッ素樹脂の使用により、高い安全性と信頼性を実現します。ぜひ、ご検討ください。【活用シーン】・半導体製造工場・クリーンルーム内ガス供給ライン・高純度ガス供給が必要な研究施設【導入の効果】・高純度ガスの品質維持・ガス漏れリスクの低減・安全性の向上

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【半導体製造向け】ブローバックプレフィルター

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。微粒子や粉体は、デバイスの性能を低下させ、不良品発生の原因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガス中の粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動クリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおけるガス供給ライン・クリーンルーム内のサンプリングポイント・分析装置へのガス供給【導入の効果】・清浄度の高いガス供給による製品品質の向上・メンテナンスコストの削減・システムの安定稼働

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【半導体向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微量粉体の正確な供給が求められます。特に、高精度なプロセスにおいては、異物混入は歩留まりを大きく低下させる要因となります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造により異物混入リスクを低減し、微量粉体の精密な供給を実現します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける微量粉体の供給・クリーンルーム環境下での粉体ハンドリング・高精度な計量が必要な工程【導入の効果】・異物混入リスクの低減による歩留まり向上・高精度な供給による製品品質の安定化・洗浄性の向上によるメンテナンス性の向上当社は、粉粒体の貯蔵・供給・計量・輸送及びその周辺機器の設計、製作・販売までの一切を行っています。粉の扱い実績は46年以上です。お客様に最高の粉体ハンドリング技術を提供します。

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【電子機器向け】フラットジェットスプレーノズル

ティックコーポレーション株式会社

電子機器業界では、製品の性能を維持するために、冷却が重要な課題です。特に、高密度実装が進む中で、熱対策は製品寿命を左右する重要な要素となっています。冷却性能が低いと、部品の故障や性能劣化につながる可能性があります。レヒラーのフラットジェットノズルは、均一な液体の散布と強力なジェット圧により、電子機器の効率的な冷却を実現します。【活用シーン】・電子基板の冷却・半導体製造工程での冷却・各種電子部品の冷却・エッチング【導入の効果】・均一な冷却による製品寿命の向上・高い冷却効率による性能維持・幅広いラインナップによる多様なニーズへの対応

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【半導体向け】コンプレッサー内フィルター（ショートタイプ）

株式会社バンテック

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微粒子の混入防止が極めて重要です。コンプレッサーから供給される圧縮空気中の微粒子は、製品の歩留まりを低下させる大きな要因となります。当社のコンプレッサー内フィルターは、これらの課題に対し、高い濾過性能で微粒子を効果的に除去し、製造プロセスの安定化に貢献します。【活用シーン】・半導体製造装置・クリーンルーム内の空気清浄・精密機器への空気供給【導入の効果】・製品の歩留まり向上・装置の安定稼働・品質管理コストの削減

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【半導体向け】MAGPICKERによる微粒子除去

株式会社サノテック

半導体製造工程では、微粒子の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、ケミカル材料を使用する工程では、配管内の微粒子が堆積し、配管詰まりを引き起こすことで、生産効率の低下や修繕費用の増加につながる可能性があります。MAGPICKERは、配管の上流で使用することで、カス・端材に含まれる磁性体と共に非磁性体も同時に約30パーセント回収することが確認されており、配管詰まりや沈殿層清掃頻度の軽減に貢献します。【活用シーン】・ケミカル材料製造工程・配管詰まりによる生産停止のリスクを低減したい場合・配管清掃や交換にかかる費用を削減したい場合【導入の効果】・配管清掃費用、修繕費の軽減・生産効率の向上・製品品質の安定化

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【電子材料向け】ダマなし混合機によるコーティング

IKAジャパン株式会社

電子材料業界のコーティング工程では、均一な塗布と材料の無駄をなくすことが求められます。特に、薄膜形成や精密な材料配合が求められる場合、材料の混合ムラやダマは、製品の品質を大きく左右する可能性があります。MHD2000インラインミキサーは、粉体と液体を1パスで連続的に混合、分散することで、これらの課題に対応します。【活用シーン】・電子材料のコーティング・高粘度スラリーの製造・均一な混合が求められる工程【導入の効果】・混合時間の短縮・材料ロスを削減・製品品質の向上

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【半導体製造向け】インライン水硬度計

エンバイロ・ビジョン株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスにおける超純水の水質管理が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、超純水中の微量な硬度成分は、製品の性能低下や製造装置のトラブルを引き起こす可能性があります。インライン水硬度計「テストマートECO＆2000」は、超純水の硬度をリアルタイムで監視し、水質管理の最適化を可能にします。正確な硬度測定により、薬注量の最適化、コスト削減にも貢献します。【活用シーン】・超純水製造プロセスにおける水質管理・イオン交換樹脂やRO膜の性能評価・製造装置の保護【導入の効果】・超純水の水質を安定化・製造プロセスの効率化・コスト削減

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【半導体製造向け】ガルバニ式低価格酸素濃度計

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム内の環境管理が重要です。特に、酸素濃度は、製品の酸化や劣化に影響を与えるため、厳密な管理が求められます。不適切な酸素濃度管理は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。Model 201LC/2001LCは、ppmレベルおよびパーセントレベルでの酸素濃度測定が可能であり、クリーンルームの酸素濃度管理に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の酸素濃度監視・製造プロセスにおける酸素濃度のモニタリング・ガス供給ラインの酸素濃度測定【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【半導体向け】露点温度計測サービス

株式会社分析センター

半導体業界の品質管理において、圧縮空気中の水分量は製品の品質を左右する重要な要素です。微細な回路や精密な部品は、わずかな水分によっても腐食や性能劣化を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。露点温度計測サービスは、圧縮空気中の水分濃度を正確に測定し、品質管理における課題解決を支援します。【活用シーン】・半導体製造工程におけるクリーンルーム内の圧縮空気管理・製造装置への供給エアの品質管理・品質管理部門での定期的な測定【導入の効果】・圧縮空気の品質維持による製品歩留まりの向上・設備トラブルの未然防止によるコスト削減・品質管理体制の強化

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【半導体製造向け】高難燃・低発煙樹脂コンパウンド

三菱ガス化学ネクスト株式会社

半導体製造業界のクリーン環境では、火災リスクを最小限に抑えることが重要です。万が一の火災発生時、燃焼による煙の発生は、製造プロセスへの影響や、作業員の安全を脅かす可能性があります。高難燃性と低発煙性を両立した当社の「CP-01」「CP-02」は、これらの課題に対応します。【活用シーン】・クリーンルーム内設備・半導体製造装置・その他、発煙が問題となる箇所【導入の効果】・火災時の煙の発生量を抑制し、避難時間を確保・製造プロセスへの影響を最小化・作業員の安全性を向上

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【半導体向け】カラム精製による高純度試薬の精製

福井キヤノンマテリアル株式会社

半導体業界では、製造プロセスにおける不純物の混入は、製品の性能低下や歩留まりの悪化に直結します。特に、高純度試薬は、半導体デバイスの品質を左右する重要な要素であり、その精製技術が求められます。蒸留では困難な物質でも、カラム精製を用いることで効率的に高純度化が可能です。福井キヤノンマテリアルのカラム精製は、研究開発から量産まで対応し、お客様のニーズに応えます。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける高純度試薬の精製・熱に弱い物質や沸点の近い物質の精製・研究開発段階での少量精製から量産対応【導入の効果】・高純度試薬の安定供給による半導体デバイスの品質向上・歩留まりの改善・多様な物質への対応による研究開発の加速

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【電池向け】高純度塩化リチウム（LiCl）

興和株式会社

電池業界では、高性能化と安全性の両立が求められています。特に、電解質の品質は電池の性能を左右する重要な要素です。不純物の混入は、電池の寿命短縮や性能低下につながる可能性があります。当社の高純度塩化リチウム（LiCl）は、硫化物系固体電解質のイオン電導度向上を目的に開発され、電池の高性能化に貢献します。【活用シーン】・次世代電池の電解質添加材・硫化物系固体電解質のイオン電導度向上【導入の効果】・電池の性能向上・安定的な生産供給体制・不純物管理の徹底

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【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高度なクリーン環境が求められ、微細な塵や油分が製品の品質に大きな影響を与えます。特に、ボールねじの潤滑油は、その落下による汚染源となり、歩留まりの低下や装置の故障につながる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、ボールねじが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーン環境を維持します。【活用シーン】・半導体製造装置・クリーンルーム内での使用・ボールねじの潤滑が必要な箇所【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品品質の向上・メンテナンスサイクルの延長

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【半導体製造向け】塗るだけフッ素コーティング剤

株式会社フロロテクノロジー

半導体製造業界では、クリーンルーム環境の維持が非常に重要です。微細な塵や埃が製品の品質を著しく低下させる可能性があるため、徹底した防汚対策が求められます。また、製造プロセスにおける湿気や薬品の影響も、製品の信頼性を損なう要因となります。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、防汚性、撥水性、防湿性を付与することで、クリーンルーム環境を維持し、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の設備や部品の防汚対策・半導体製造装置の撥水・防湿保護・ウェハー搬送用治具の汚れ防止【導入の効果】・異物付着による不良率の低減・装置メンテナンス頻度の削減・製品の品質向上

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【半導体製造向け】TKZH008　電子冷却式ドライヤーユニット

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスにおける微量な水分管理が重要です。特に、炉内雰囲気ガス中の水分は、製品の歩留まりや信頼性に悪影響を及ぼす可能性があります。TKZH008電子冷却式ドライヤーユニットは、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、製造プロセスにおける品質向上に貢献します。【活用シーン】・半導体製造工程における炉内雰囲気ガスの精密乾燥・露点管理が必要なガス供給ライン・クリーンルーム内での使用【導入の効果】・製品の歩留まり向上・製品の信頼性向上・製造コストの削減

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【半導体向け】プラント設備を止めない漏洩補修

富士ファーマナイト株式会社

半導体製造業界の環境では、配管やバルブからの漏洩については、設備の停止を招き、生産効率を低下させるリスクがあります。富士ファーマナイトの漏洩補修技術は、プラントを停止することなく漏洩を封止し、稼働を維持します。【活用シーン】・クリーンルーム内の配管からの漏洩・半導体製造装置周辺のバルブからの漏洩・薬液配管からの漏洩【導入の効果】・プラント停止による生産ロスの回避・製品品質の安定化

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【電子材料向け】オクトマット

赤武エンジニアリング株式会社

電子材料業界では、製品の品質を左右する粉体の計量精度が重要です。特に、高純度な材料を扱う場合、コンタミネーションを防ぎ、正確な計量を行うことが求められます。従来のフレコンバッグからの粉体取り出し方法では、粉塵の発生や計量時の誤差が生じやすく、作業環境の悪化や製品不良のリスクがありました。オクトマットは、フレコンバッグ上部から直接粉粒体を取り出すことで、これらの課題を解決します。【活用シーン】・電子材料製造における原料の精密計量・クリーンルーム内での粉体供給・粉塵対策が必要な環境での作業【導入の効果】・計量精度の向上・作業環境の改善・製品品質の安定化・作業効率の向上

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

製造装置内部やクリーンルーム環境から発生する微細なパーティクルは、目視では確認が難しく、その発生源を特定し除去することが極めて困難です。

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

薄膜形成に使用される高純度ガスや原料に微量の不純物が混入すると、それが異物として堆積し、欠陥の原因となります。純度を維持する管理が重要です。

装置・治具からのアウトガスの影響

製造装置の構成部品や治具から放出されるガス成分（アウトガス）が、真空中で反応したり、パーティクルを生成したりする可能性があります。

オペレーション時の人的要因による汚染

装置のメンテナンスやウェハ搬送時など、人の作業が介在する場面で、衣服や皮膚、持ち物などから異物が持ち込まれるリスクが存在します。

対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

リアルタイムで微細パーティクルを検出し、自動的に除去するシステムを導入することで、発生源の早期発見と対策が可能になります。

超高純度ガス・原料供給システムの構築

厳格な品質管理のもと、不純物を極限まで排除したガス・原料を供給するシステムを構築し、プロセスへの異物混入を根本から防ぎます。

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

装置部品や治具に低アウトガス特性を持つ材料を採用し、真空度を常に最適に保つことで、アウトガスによる汚染を最小限に抑えます。

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

クリーンルーム内の清浄度を維持し、作業員の教育・訓練を徹底することで、人的要因による異物混入のリスクを低減します。

対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

プロセスガスやクリーンルーム内の空気を高精度にろ過し、微細なパーティクルを除去することで、異物混入のリスクを大幅に低減します。

超高純度ガス供給システム

原料となるガスを極限まで精製し、不純物を徹底的に排除した状態でプロセスに供給することで、原料由来の異物混入を防ぎます。

低アウトガス性真空チャンバー

真空チャンバーの内壁や部品にアウトガス発生の少ない素材を使用し、真空環境の清浄度を維持することで、装置内部からの汚染を防ぎます。

自動搬送・検査ロボット

ウェハの搬送や装置へのセットアップを自動化し、人の介入を最小限にすることで、作業時の人的汚染リスクを排除します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

薄膜形成における異物混入の防止とは？

各社の製品

薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

​課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

装置・治具からのアウトガスの影響

オペレーション時の人的要因による汚染

​対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

超高純度ガス・原料供給システムの構築

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

​対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

超高純度ガス供給システム

低アウトガス性真空チャンバー

自動搬送・検査ロボット

課題

対策

対策に役立つ製品例