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半導体製造装置・材料

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異物混入の防止とは?課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは?

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

各社の製品

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【半導体製造装置向け】鋳物~アルマイト一括管理
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アルマイトは、耐食性や耐摩耗性を向上させるだけでなく、クリーン性を高める上でも重要です。
適切なアルマイト処理は、装置内部の異物発生を抑制し、製品の品質維持に貢献します。

弊社は群馬県伊勢崎市に、100%子会社の富商アルマイトを保有し、一般アルマイト、硬質アルマイトを行います。

弊社は過去、鋳物メーカーさん保有の自社の設備に合わせた大きさの木型製造に誘導され、割高な木型費用を請求されました。
また木型製造後に公差対応不可と通告、そのため設計変更を余儀なくされ、御客様に御迷惑をおかけした経験から、

鋳物製造には、製品に合わせた「最適な木型の大きさ」と「最適な設備を保有する鋳物メーカー」を、弊社と協力関係の
木型メーカーさんと相談して製造します。

また富商アルマイトは、3000×1500×800の槽を2槽保有し、大型製品のアルマイトにも対応致します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の筐体
・真空チャンバー部品
・クリーンルーム内使用部品

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品の信頼性向上
・長期的な安定稼働の実現

【半導体向け】高機能フィルターメディア『ボンメッシュ』
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半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、高純度なシリコンウェーハの製造や、微細加工技術においては、空気中の微粒子や液中の不純物を徹底的に除去し、清浄度を維持することが不可欠です。異物の混入は、デバイスの性能低下や短絡、断線といった致命的な欠陥を引き起こす可能性があります。高機能フィルターメディア『ボンメッシュ』は、半導体製造プロセスにおける清浄度管理の課題に応えるために開発されました。

【活用シーン】
・薬液製造ライン
・薬液供給ライン
・ガス供給ライン
・各種製造装置

【導入の効果】
・異物混入による歩留まり低下を抑制
・製品の品質向上
・ランニングコストの削減
・メンテナンス性の向上

【電子材料向け】SAS型エアセパレータ
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電子材料業界では、製品の品質を左右する不純物の除去、高純度化が求められます。特に、微細な粒子レベルでの異物混入は、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。SAS型エアセパレータは、循環旋回気流と遠心力で効率的に微粒子を分級し、高純度な電子材料の製造を支援します。

【活用シーン】
・電子材料製造における原料の分級
・高純度化プロセスにおける異物除去
・微粒子レベルでの品質管理

【導入の効果】
・高純度な電子材料の製造
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【電子材料向け】MSローラミル
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電子材料業界では、製品の高性能化に伴い、原料の微細化が求められています。特に、電子部品の製造においては、材料の均一な粒子径と高品質な粉砕が、製品の性能を左右する重要な要素となります。不適切な粉砕は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。MSローラミルは、粉砕、分級、空気輸送を組み合わせ、電子材料の微細化ニーズに対応します。

【活用シーン】
・電子材料の微粉砕
・粉体材料の乾燥と粉砕

【導入の効果】
・幅広い範囲の微粉砕に対応
・乾燥工程の削減
・粉塵の発生を抑制

【半導体製造向け】大型板材アルマイト処理
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半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度が非常に重要です。
微細な異物の混入は、製品の歩留まりを低下させ、性能に悪影響を及ぼす可能性があります。
特に、製造プロセスで使用される部材の表面処理は、清浄度を維持する上で重要な要素となります。

アルマイトは、素地と一体化し剥がれる心配がありません。
これにより、清浄度を高く保ち、高品質な製品製造をサポートします。

1250×2500のサイズまで、一般アルマイト、硬質アルマイト、両方とも対応可能です。
【活用シーン】
・半導体製造装置部品
・クリーンルーム内使用部品
・高精度が求められる部品

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品の歩留まり向上
・高い清浄度の維持

【半導体製造向け】耐摩耗性に優れる硬質アルマイト
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 微細な粒子や異物の混入を防ぐために、耐摩耗性に優れた表面処理、硬質アルマイトを
試してみませんか?
 摩耗によって発生する粉塵は、製品の品質を低下させる可能性があります。
 当社の耐摩耗性に優れる硬質アルマイトは、クリーンな環境での使用に適しており、製品の長寿命化に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の搬送部品
・半導体製造装置の部品
・精密機器の筐体

【導入の効果】
・耐摩耗性の向上による製品寿命の延長
・異物混入リスクの低減
・メンテナンスコストの削減

【ディスプレイ向け】アサヒコート AC601/AC602
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ディスプレイ業界では、高い視認性を確保するために、表面の傷つき防止と透明度の維持が重要です。特に、屋外で使用されるディスプレイや、頻繁に触れるタッチパネルディスプレイにおいては、表面の保護性能が製品寿命を左右します。傷や汚れは、表示品質を低下させ、製品の価値を損なう可能性があります。アサヒコート AC601/AC602は、透明で硬いガラスのような被膜を形成し、ディスプレイの表面を保護します。耐候性、撥水性、耐薬品性、耐熱性、防汚性に優れ、クリアな表示を長期間維持します。

【活用シーン】
・スマートフォン、タブレット
・カーナビゲーション
・デジタルサイネージ
・屋外ディスプレイ

【導入の効果】
・傷つき防止による製品寿命の延長
・高い透明度による表示品質の維持
・防汚性によるメンテナンス性の向上

【ディスプレイ向け】ラジカル洗浄ユニット
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ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する異物除去が重要です。特に、微細な異物が混入すると、表示不良や製品寿命の低下につながる可能性があります。当社のラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、ディスプレイ製造工程における異物除去を強力にサポートします。

【活用シーン】
・ディスプレイ製造工程での異物除去
・フォトレジスト残渣の除去
・金属汚染の抑制

【導入の効果】
・高純度洗浄による品質向上
・省スペース化によるコスト削減
・環境負荷低減

【半導体クリーンルーム向け】イグス株式会社
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半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微粒子や異物の発生が厳しく制限されます。可動部品から発生する摩耗粉やグリースなどの汚染物質は、製品の品質を低下させるだけでなく、製造プロセスの効率を阻害する可能性があります。イグスのメンテナンスフリー樹脂製可動部品は、自己潤滑性があり、摩耗粉の発生を抑制することで、クリーンルーム環境の維持に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の搬送システム
・半導体製造装置の可動部
・クリーン環境下のロボットアーム

【導入の効果】
・クリーンルームの清浄度維持
・製品の品質向上
・メンテナンスコストの削減

【液晶製造向け】PERFREZ 高性能O-リング
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液晶製造業界のクリーン環境では、異物混入を防ぎ、高いシール性が求められます。特に、製造プロセスで使用される化学薬品や高温環境下でのOリングの劣化は、製品の品質低下や製造ラインの停止につながる可能性があります。PERFREZは、耐薬品性、耐熱性に優れ、クリーン環境下での長期的な安定稼働に貢献します。

【活用シーン】
・液晶製造装置
・クリーンルーム内でのシール用途
・薬液供給ライン

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・長期的な安定稼働の実現
・製品品質の向上

【半導体クリーン環境向け】Grace-TRAP
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半導体製造のクリーン環境では、コンプレッサーから発生するドレンの適切な管理が求められます。ドレンは、製品の品質を損なうだけでなく、設備の腐食や故障の原因にもなり得ます。特に、微細な部品を扱う半導体製造においては、ドレンの混入は致命的な問題を引き起こす可能性があります。Grace-TRAPは、現場の運転条件に合わせて排出スケジュールを最適化することで、これらの問題を解決します。無駄なドレン排出を削減し、クリーン環境を維持します。

【活用シーン】
・半導体製造工場
・クリーンルーム
・精密機器製造

【導入の効果】
・クリーン環境の維持
・製品品質の向上
・設備の長寿命化
・エネルギーコストの削減

【電子部品向け】高純度Hfターゲット
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電子部品業界において、誘電体膜の性能は製品の信頼性を左右する重要な要素です。特に、小型化が進む中で、薄膜の均一性、高純度、内部欠陥の無さが求められます。Hfターゲットは、これらの要求に応えることで、電子部品の性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・誘電体膜の形成
・コンデンサ、メモリデバイス
・薄膜トランジスタ

【導入の効果】
・高純度による誘電特性の向上
・均一な膜厚による性能安定化
・内部欠陥の排除による信頼性向上

【ウェアラブル向け】ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察
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ウェアラブルデバイス業界では、製品の柔軟性と耐久性が求められます。特に、日常的な使用や外部からの衝撃にさらされるデバイスにおいては、コーティングの性能が製品寿命を左右する重要な要素となります。コーティングの剥離や損傷は、デバイスの機能不全を引き起こす可能性があります。ナノビアのインデンターを用いた試験は、ウェアラブルデバイスのコーティングの接着強度や耐摩耗性を評価し、製品の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・柔軟性のある基材へのコーティング評価
・ウェアラブルデバイスの曲げ試験
・ポリマーコーティングの耐久性評価

【導入の効果】
・製品の品質向上
・製品の信頼性向上
・製品の長寿命化

【半導体クリーンルーム向け】スライドクリーンシェルフ
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半導体製造業界のクリーンルームでは、微細な塵や埃の混入を防ぐことが極めて重要です。製品の品質を左右するだけでなく、歩留まりにも大きく影響します。そのため、クリーンルーム内の保管設備には、高い清浄度と耐久性が求められます。当社のスライドクリーンシェルフは、オールステンレス製で、サビの発生を抑制し、高い清浄度を維持します。また、スライド式で限られたスペースを有効活用し、作業効率の向上にも貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造工場のクリーンルーム
・クリーンルーム内での部品、材料、製品の保管
・洗浄が必要な環境での使用

【導入の効果】
・クリーンルーム内のスペースを有効活用
・高い清浄度を維持し、製品の品質向上に貢献
・耐久性に優れ、長期間の使用が可能

【半導体向け】真空用・クリーンルーム用膨張シール セフィリア
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半導体製造業界では、真空環境下での精密なプロセスが製品の品質を左右します。特に、真空封止は、コンタミネーションを防ぎ、高精度な製造を支える上で不可欠です。シール性能のわずかな劣化が、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社の膨張シールは、真空0.133Paから高圧まで、-50℃から+250℃の温度範囲に対応し、半導体製造における厳しい環境下での真空封止を強力にサポートします。

【活用シーン】
* クリーンルームドアシール
* 半導体製造装置のパネルシール
* 真空搬送システム

【導入の効果】
* 高いシール性による真空度の維持
* コンタミネーションのリスク低減
* 装置の安定稼働と製品品質の向上

【半導体薄膜向け】インド産 五酸化ニオブ(Nb₂O₅)
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半導体薄膜業界では、デバイスの高性能化に伴い、薄膜材料の品質が重要視されています。特に、光学特性の制御は、デバイスの動作効率や信頼性に大きく影響します。薄膜の均一性、屈折率の精密な制御が求められ、不純物の混入は性能劣化につながる可能性があります。当社のインド産 五酸化ニオブ(Nb₂O₅)は、高純度99.99%を実現し、光学特性に優れ、薄膜の性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・光学薄膜
・半導体デバイス
・光学フィルター

【導入の効果】
・高透明度と高屈折率の実現
・デバイスの高性能化
・歩留まり向上

【半導体製造向け】液体サンプルの自動採取マイクロポンプ
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半導体製造業界では、製品の品質を左右する液体の純度管理が非常に重要です。微量な不純物の混入が、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のマイクロポンプは、キャリブレーションが不要で、高精度な液体サンプル採取を実現し、製造プロセスにおける液体の純度維持をサポートします。

【活用シーン】
・品質検査工程でのサンプル採取
・半導体製造ラインでの薬液供給
・ウェハー洗浄液の供給

【導入の効果】
・液体の純度を維持し、製品の品質向上に貢献
・歩留まりの改善
・安定した製造プロセスの実現

【半導体向け】高分子式露点計 TE-660TR
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半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度管理が非常に重要です。特に、製造プロセスにおける微量な水分は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。高分子式露点計 TE-660TRは、-60 ℃dpまでの低露点範囲を測定し、高精度な水分管理を実現することで、半導体製造における品質向上に貢献します。

【活用シーン】
* クリーンルーム内の露点管理
* 製造プロセスにおける乾燥空気の露点監視
* 半導体製造装置への組み込み

【導入の効果】
* 製品の歩留まり向上
* 品質管理の効率化
* 製造コストの削減

【半導体向け】超高純度昇華精製装置
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半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、半導体材料の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体材料の精製
・有機EL材料の精製
・高機能材料の開発

【導入の効果】
・材料純度の向上による製品歩留まりの改善
・高品質材料の安定供給による製品性能の向上
・材料コストの削減

【電池製造向け】MBW573 鏡面冷却式露点計
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電池製造業界では、製品の品質と安全性を確保するために、製造プロセスにおける水分管理が非常に重要です。特に、リチウムイオン電池などの高性能電池においては、わずかな水分でも電池の性能劣化や、最悪の場合、発火の原因となる可能性があります。MBW573は、高精度な露点測定により、製造プロセスにおける水分量を正確に把握し、品質管理に貢献します。

【活用シーン】
・電池材料の乾燥工程
・電池セルの封止工程
・製造環境の湿度管理

【導入の効果】
・電池の品質向上
・製品の安全性向上
・歩留まりの改善

【通信業界向け】改正RoHS指令対応天板付きワゴン
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通信業界では、製品の品質と安全性を確保するために、RoHS指令への準拠が不可欠です。特に、電子部品の製造や修理においては、有害物質の混入を防ぎ、迅速な作業が求められます。当社の改正RoHS指令対応天板付きワゴンは、RoHS指令に対応した天板を使用しており、作業効率を向上させることで、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・電子部品の組み立て、検査作業
・修理、メンテナンス作業
・研究開発

【導入の効果】
・RoHS指令対応によるコンプライアンス強化
・作業スペースの有効活用
・作業効率の向上

詳しくは、資料をダウンロードしてご確認ください。

【半導体製造向け】ブローバックプレフィルター
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半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。微粒子や粉体は、デバイスの性能を低下させ、不良品発生の原因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガス中の粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動クリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。

【活用シーン】
・半導体製造プロセスにおけるガス供給ライン
・クリーンルーム内のサンプリングポイント
・分析装置へのガス供給

【導入の効果】
・清浄度の高いガス供給による製品品質の向上
・メンテナンスコストの削減
・システムの安定稼働

【電子部品向け】T600 クリーンルーム内搬送ロボット
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電子部品業界のクリーンルーム内では、製品の品質を維持するために、異物混入や汚染を徹底的に排除する必要があります。搬送作業においては、人の出入りを最小限に抑え、クリーン度を保つことが重要です。T600は、クリーンルーム内での搬送作業を自動化し、人の手を介さずに部品や材料を運搬することで、クリーン環境を維持し、製品の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子部品製造工場のクリーンルーム内での部品搬送
・半導体製造工場でのウェーハ搬送
・精密機器製造工場での部品搬送

【導入の効果】
・クリーンルーム内の環境維持
・搬送作業の効率化
・人件費削減
・製品の品質向上

【半導体製造向け】スプリングリターンボールバルブ
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半導体製造業界では、製造プロセスの純度を厳格に管理することが求められます。特に、薬液や純水などの流体管理において、異物混入や漏洩は、製品の品質を著しく低下させる要因となります。閉め忘れや誤操作による流体の意図しない流出は、製造ラインの停止や製品の不良につながる可能性があります。スプリングリターンボールバルブは、自動で閉止(または開放)することで、これらのリスクを低減し、製造プロセスの安定化に貢献します。

【活用シーン】
・薬液供給ライン
・純水供給ライン
・各種ガス供給ライン

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品品質の向上
・製造ラインの安定稼働

【半導体ウェーハ向け】超耐熱シリコンゴムシート
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半導体業界では、ウェーハ製造における高温環境下での耐久性が求められます。特に、熱処理工程や研磨工程においては、高い耐熱性と安定した性能が重要です。不適切な材料の使用は、ウェーハの品質低下や製造効率の悪化につながる可能性があります。当社の超耐熱シリコンゴムシートは、300℃の耐熱性を持ち、ウェーハ製造工程をサポートします。

【活用シーン】
・ウェーハ搬送用治具
・高温環境下での緩衝材
・研磨工程での保護材

【導入の効果】
・300℃の耐熱性により、高温環境下での使用が可能
・RoHS対応品で、環境負荷を低減
・カット対応により、用途に合わせた形状で提供可能

【半導体向け】コンプレッサー用メッシュフィルター
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半導体業界では、製造プロセスのクリーン度が製品の品質を大きく左右します。コンプレッサーから供給される空気中の微粒子や不純物は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。当社のコンプレッサー用メッシュフィルターは、これらの課題に対応し、高いクリーン度を維持するために設計されています。金網を溶接することで、濾過面積を最大化し、効率的な異物除去を実現します。

【活用シーン】
・半導体製造工場のクリーンルーム
・フォトレジスト塗布工程
・真空成膜工程

【導入の効果】
・コンタミによる不良率の低減
・製品品質の向上
・製造プロセスの安定化

【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置
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半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。
ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。
当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程
・クリーンルーム内での使用
・微細な部品への塗布

【導入の効果】
・異物混入による不良品の発生を抑制
・安定した製品品質の確保
・清掃作業の自動化による作業効率の向上
・ランニングコストの削減

【半導体製造向け】塗るだけフッ素コーティング剤
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半導体製造業界では、クリーンルーム環境の維持が非常に重要です。微細な塵や埃が製品の品質を著しく低下させる可能性があるため、徹底した防汚対策が求められます。また、製造プロセスにおける湿気や薬品の影響も、製品の信頼性を損なう要因となります。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、防汚性、撥水性、防湿性を付与することで、クリーンルーム環境を維持し、歩留まり向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の設備や部品の防汚対策
・半導体製造装置の撥水・防湿保護
・ウェハー搬送用治具の汚れ防止

【導入の効果】
・異物付着による不良率の低減
・装置メンテナンス頻度の削減
・製品の品質向上

【電池製造向け】iTMAシリーズで電池性能を向上
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電池製造業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、製造プロセスにおける微量な水分管理が重要です。特に、電解液や活物質が腐食性ガスに触れる環境下では、水分の混入が電池の性能劣化や寿命短縮につながる可能性があります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定し、製造プロセスの品質管理を支援します。

【活用シーン】
・電池製造工程における腐食性ガス中の水分管理
・電解液製造工程での水分モニタリング
・活物質製造工程での水分管理

【導入の効果】
・電池の品質向上
・製品の歩留まり向上
・製造コストの削減

【新造船向け】二重管 CO2燃料供給システム
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半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、高純度ガスの安全な輸送が不可欠です。特に、微細な異物の混入やガスの漏洩は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。当社の二重管システムは、内管と外管の二重構造により、万が一のガス漏れのリスクを低減し、高純度ガスの品質を維持します。また、特殊脂性サポートやフッ素樹脂の使用により、高い安全性と信頼性を実現します。ぜひ、ご検討ください。

【活用シーン】
・半導体製造工場
・クリーンルーム内ガス供給ライン
・高純度ガス供給が必要な研究施設

【導入の効果】
・高純度ガスの品質維持
・ガス漏れリスクの低減
・安全性の向上

【FPD製造向け】特殊セラミック部品
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FPD製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスの高精度化が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、温度管理や異物混入の防止が重要であり、使用される部材の特性が製品の品質を大きく左右します。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性を備え、FPD製造における高精度なプロセスを支えます。窒化アルミは、熱伝導性に優れ、温度管理を最適化し、イットリアは、耐プラズマ性により、パーティクルの発生を抑制します。これらの特性により、歩留まり向上に貢献します。

【活用シーン】
・エッチング工程
・CVD工程
・検査工程

【導入の効果】
・高い熱伝導率による温度管理の最適化
・耐プラズマ性によるパーティクル低減
・高品質なFPD製造の実現

【電子機器向け】危険物輸送サービス
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電子機器業界では、製品の品質を維持するために、部品の安全な輸送が不可欠です。特に、リチウムイオン電池などの危険物を扱う場合、適切な輸送方法と法規制への準拠が求められます。不適切な輸送は、事故や法的な問題を引き起こす可能性があります。当社の危険物輸送サービスは、IATA/IMDG規則に準拠し、安全かつ迅速な輸送を実現します。

【活用シーン】
・電子部品メーカーの工場への部品供給
・修理用部品の迅速な配送
・海外拠点への部品輸送

【導入の効果】
・危険物輸送に関するコンプライアンス遵守
・輸送中の事故リスクの低減
・部品供給の遅延防止

【電子機器向け】タカヤマケミカル株式会社
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電子機器業界において、絶縁は製品の安全性と性能を維持するために不可欠です。絶縁不良は、短絡や漏電を引き起こし、製品の故障や事故につながる可能性があります。タカヤマケミカル株式会社の提供する製品は、電子機器の絶縁性を確保し、製品の信頼性を高めるために貢献します。

【活用シーン】
・電子部品の製造
・基板の洗浄
・クリーンルーム内での作業

【導入の効果】
・絶縁性の向上
・製品の信頼性向上
・安全性の確保

【半導体製造向け】ガルバニ式低価格酸素濃度計
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半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム内の環境管理が重要です。特に、酸素濃度は、製品の酸化や劣化に影響を与えるため、厳密な管理が求められます。不適切な酸素濃度管理は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。Model 201LC/2001LCは、ppmレベルおよびパーセントレベルでの酸素濃度測定が可能であり、クリーンルームの酸素濃度管理に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の酸素濃度監視
・製造プロセスにおける酸素濃度のモニタリング
・ガス供給ラインの酸素濃度測定

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・製造コストの削減

【電池製造向け】ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプ
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電池製造業界では、電解液の正確な注入が製品の性能と安全性を左右します。特に、電解液の注入量のばらつきは、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。また、注入時の液漏れや飛散は、製造環境の汚染や作業者の安全を脅かす要因となります。ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプは、1~5,000cps程度の低粘度材料、0.02cc~20cc程度の微少量吐出や高精度吐出に最適です。温度による材料の粘度変化、水頭差によるばらつきをクリアし、安定した電解液注入を実現します。

【活用シーン】
・リチウムイオン電池、ニッケル水素電池などの電解液の充填工程
・燃料電池の電解液の充填
・その他、微量かつ高精度な液体の定量吐出が必要な工程

【導入の効果】
・電解液注入量の精度向上による製品品質の安定化
・液漏れや飛散のリスク低減による製造環境の改善
・メンテナンス性の向上による作業効率の改善

【半導体向け】超高純度有機材料昇華精製装置
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半導体業界では、デバイスの性能を最大限に引き出すために、材料の超高純度化が不可欠です。特に、有機ELや有機半導体材料においては、不純物の混入が性能劣化の大きな要因となります。当社の超高純度超高収率 昇華精製装置は、高純度99.99%、歩留まり98%(2回目の精製後)を実現し、半導体材料の高純度化という課題を解決します。

【活用シーン】
・有機EL材料の精製
・有機半導体材料の精製
・高純度化が求められるその他半導体材料の精製

【導入の効果】
・デバイス性能の向上
・歩留まり向上によるコスト削減
・高品質な材料供給による競争力強化

【電池材料向け】チューブラコンベヤ
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粉塵や異物の混入は、製品の品質劣化や性能低下につながる可能性があります。
密閉型搬送設備『チューブラコンベヤ』は、材料を外部に触れさせることなく搬送します。

【活用シーン】
・鉛粉の輸送
・高純度粉体の搬送

【導入の効果】
・作業環境の改善
・密閉輸送
・分配輸送の実現

【電池製造向け】酸・アルカリ薬品対応エア駆動ダイヤフラムポンプ
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電池製造業界では、電解液の安全な移送が求められます。特に、電解液は腐食性が高く、液漏れは作業者の安全を脅かすだけでなく、製造ラインの停止や製品の品質低下につながる可能性があります。当社のエア駆動ダイヤフラムポンプは、耐薬品性に優れた材質を使用し、液漏れを防止する構造を採用しています。これにより、安全な作業環境を確保し、製造効率の向上に貢献します。

【活用シーン】
・電解液(酸・アルカリ)の移送
・製造ラインへの薬液供給
・廃液処理

【導入の効果】
・液漏れによる事故のリスクを低減
・作業者の安全確保
・製造ラインの安定稼働
・製品品質の向上

【半導体製造向け】SAIWシートメタル洗浄機
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半導体製造業界では、製品の品質を左右するパーティクルの除去が重要です。微細なパーティクルは、製品の歩留まりを低下させ、不良品の発生につながる可能性があります。SAIWシートメタル洗浄機は、アルカリ電解水を使用し、金属板に付着したパーティクルや油汚れを効果的に除去します。これにより、次工程の品質向上に貢献し、歩留まりの改善に繋がります。

【活用シーン】
・半導体製造工程における金属部品の洗浄
・パーティクルや油汚れの除去が必要な工程
・品質管理を徹底したい工程

【導入の効果】
・パーティクル除去による品質向上
・歩留まりの改善
・洗浄剤コストの削減

【半導体向け】オールステンレス エアリークテスター FLS
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半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質を大きく左右します。特に、リークテストにおいては、テスターからの金属粉や腐食生成物の発生が、清浄度を損なう要因となります。オールステンレス仕様の当製品は、これらの問題を解決し、高い清浄度を求められる半導体製造環境に最適です。

【活用シーン】
・クリーンルーム内でのリークテスト
・半導体製造装置の気密検査
・高精度なリーク検査が必要な工程

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【半導体向け】圧縮空気 微生物汚染物質含有量の試験
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半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が最重要課題です。クリーンルーム環境下での製造プロセスにおいて、圧縮空気中の微生物汚染は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、微細な回路を扱う半導体製造においては、わずかな汚染物質も大きな影響を与え、歩留まりを悪化させる要因となります。当社の圧縮空気 微生物汚染物質含有量の試験は、この課題に対し、VWR社のSAサンプラーを用いて圧縮空気やガスに含まれる微生物を評価することで、品質管理をサポートします。

【活用シーン】
* クリーンルーム内の圧縮空気供給ライン
* 半導体製造装置への圧縮空気供給箇所
* 定期的な微生物汚染評価
* 汚染原因調査

【導入の効果】
* 製品の歩留まり向上
* 品質管理体制の強化
* 製造プロセスの安定化
* 不良品の削減

【半導体封止向け】メタル炉
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半導体業界では、製品の信頼性と長期的な性能維持のために、封止工程における気密性が非常に重要です。特に、温度変化や外部環境からの影響を受けやすい半導体デバイスにおいては、封止材と金属・セラミックス材料間の強固な接合が求められます。不適切な封止は、デバイスの故障や性能劣化につながる可能性があります。メタル炉は、高真空かつ清浄な雰囲気を提供することで、セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、強固な封着を実現します。これにより、半導体デバイスの信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・薄膜・電極・光学部材の高純度アニール
・セラミックスと金属の封止

【導入の効果】
・低O2/H2O/HC環境による、濡れ性・界面強度・気密性の安定化
・炭素フリー環境による、汚染・炭化の防止
・真空、還元雰囲気の迅速な切替による、試作~量産サイクルの短縮

【家電向け】シリカスリーブ
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家電業界では、製品の安全性と信頼性が最重要視されます。特に、高温になる可能性のある箇所や、火災のリスクがある場所では、高い耐熱性と断熱性が求められます。シリカスリーブは、これらの課題に対し、980℃の高温に耐えることで、家電製品を熱から保護し、安全性を向上させます。

【活用シーン】
* 家電製品内部の配線保護
* 高温になる部分の保護(例:ヒーター、モーター周辺)
* 火災リスクの高い場所でのケーブル保護

【導入の効果】
* 製品の安全性の向上
* 火災リスクの低減
* 製品寿命の延長

【半導体ウェーハ向け】NVC830.3 真空制御シリーズ
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半導体業界、特にウェーハ製造においては、真空環境の精密な制御が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。ウェーハ表面の異物付着を防ぎ、均一な処理を行うためには、安定した真空度を維持することが不可欠です。真空度が不安定な場合、ウェーハの品質劣化や製造プロセスの遅延につながる可能性があります。NVC830.3シリーズは、閉ループ真空制御により、ウェーハ製造プロセスにおける真空環境を精密に制御し、安定した品質と高い生産性を実現します。

【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・エッチングプロセス
・成膜プロセス

【導入の効果】
・真空度の安定化による歩留まり向上
・プロセスの最適化による生産性向上
・製品の品質向上

【電子機器向け】F6 フラットスリーブ
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電子機器業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、配線の絶縁と保護は非常に重要な課題です。狭いスペースでの配線は、摩耗や外部からのノイズの影響を受けやすく、製品の信頼性を損なう可能性があります。F6 フラットスリーブは、薄型設計でありながら、確実な絶縁保護を提供し、電子機器の性能維持に貢献します。

【活用シーン】
* 電子機器内部の配線保護
* 狭小スペースでの配線絶縁
* ノイズ対策が必要な配線

【導入の効果】
* 配線の摩耗や損傷を防止
* ノイズによる誤作動を抑制
* 製品の信頼性向上

【電子機器製造向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008
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電子機器製造業界では、基板の品質を維持するために、炉内雰囲気ガスの水分管理が重要です。水分は、基板の腐食や絶縁不良を引き起こし、製品の信頼性を損なう可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を除去し、基板を保護します。

【活用シーン】
・電子機器製造における基板の乾燥工程
・炉内雰囲気ガスの水分管理が必要な工程

【導入の効果】
・基板の腐食や絶縁不良を防止
・製品の信頼性向上
・歩留まりの向上

【半導体クリーンルーム向け】動画研修でポカミス削減!
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半導体製造のクリーンルームでは、微細な異物混入が製品の品質を大きく左右します。作業員のわずかなミスが、不良品の発生や生産性の低下につながる可能性があります。特に、クリーンルーム内での作業手順の誤りや、異物混入を防ぐための知識不足は、深刻な問題です。当社の動画研修は、クリーンルーム内での作業に特化した内容で、ポカミスを未然に防ぎ、歩留まりの向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での作業手順の教育
・異物混入防止対策
・新人・外国人作業員の研修

【導入の効果】
・作業ミスの削減
・品質の向上
・歩留まりの改善
・教育コストの削減

【電子機器向け】塗るだけ!防汚フッ素コーティング剤
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電子機器業界では、ディスプレイや操作パネルの指紋や汚れの付着が、製品の美観を損ね、操作性を低下させる課題があります。特に、タッチパネルやレンズなど、頻繁に触れる部分においては、防汚対策が重要です。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、優れた防汚性能を提供します。

【活用シーン】
* ディスプレイ
* タッチパネル
* レンズ
* 操作パネル

【導入の効果】
* 指紋や汚れの付着を低減
* 拭き取りやすさの向上
* 製品の美観と操作性の維持

【電子部品向け】ラジカル洗浄ユニット
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電子部品業界の表面処理工程では、微細な有機物や金属汚染の除去が、製品の品質と信頼性を左右します。特に、高密度化が進む電子部品においては、コンタミを徹底的に除去し、高品質な表面処理を行うことが重要です。ラジカル洗浄ユニットは、高効率なOHラジカル生成により、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・フォトレジスト除去
・金属膜酸化防止
・有機・金属汚染除去

【導入の効果】
・洗浄効率の向上
・環境負荷の低減
・製品品質の向上

【半導体向け】表面検査技術資料一覧
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半導体業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、製造プロセスにおける異物混入の徹底的な管理が求められます。特に、微細化が進む半導体デバイスにおいては、微小な異物が製品の性能を著しく低下させる可能性があります。ナノビア社の表面検査技術資料は、異物検出の課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・ウェーハ表面の異物検査
・マスクやレチクルの異物検査
・製造工程における異物発生源の特定

【導入の効果】
・異物による不良品の削減
・歩留まりの向上
・品質管理の効率化

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは?

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

​課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

製造装置内部やクリーンルーム環境から発生する微細なパーティクルは、目視では確認が難しく、その発生源を特定し除去することが極めて困難です。

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

薄膜形成に使用される高純度ガスや原料に微量の不純物が混入すると、それが異物として堆積し、欠陥の原因となります。純度を維持する管理が重要です。

装置・治具からのアウトガスの影響

製造装置の構成部品や治具から放出されるガス成分(アウトガス)が、真空中で反応したり、パーティクルを生成したりする可能性があります。

オペレーション時の人的要因による汚染

装置のメンテナンスやウェハ搬送時など、人の作業が介在する場面で、衣服や皮膚、持ち物などから異物が持ち込まれるリスクが存在します。

​対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

リアルタイムで微細パーティクルを検出し、自動的に除去するシステムを導入することで、発生源の早期発見と対策が可能になります。

超高純度ガス・原料供給システムの構築

厳格な品質管理のもと、不純物を極限まで排除したガス・原料を供給するシステムを構築し、プロセスへの異物混入を根本から防ぎます。

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

装置部品や治具に低アウトガス特性を持つ材料を採用し、真空度を常に最適に保つことで、アウトガスによる汚染を最小限に抑えます。

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

クリーンルーム内の清浄度を維持し、作業員の教育・訓練を徹底することで、人的要因による異物混入のリスクを低減します。

​対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

プロセスガスやクリーンルーム内の空気を高精度にろ過し、微細なパーティクルを除去することで、異物混入のリスクを大幅に低減します。

超高純度ガス供給システム

原料となるガスを極限まで精製し、不純物を徹底的に排除した状態でプロセスに供給することで、原料由来の異物混入を防ぎます。

低アウトガス性真空チャンバー

真空チャンバーの内壁や部品にアウトガス発生の少ない素材を使用し、真空環境の清浄度を維持することで、装置内部からの汚染を防ぎます。

自動搬送・検査ロボット

ウェハの搬送や装置へのセットアップを自動化し、人の介入を最小限にすることで、作業時の人的汚染リスクを排除します。

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