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半導体製造装置・材料

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異物混入の防止とは?課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは?

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

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研究開発分野では、実験の精度と再現性を高めるために、使用する材料の特性が重要になります。特に、半導体製造プロセスにおけるエッチング工程やCVD工程では、高温やプラズマ環境に耐えうる材料が求められます。熱伝導率が低いと熱がこもり、均一な反応を妨げる可能性があります。また、異物の発生は実験結果に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、実験の信頼性を向上させるために開発されました。

【活用シーン】
・エッチング工程における基板固定
・CVD工程における反応容器
・高温環境下での実験
・プラズマ環境下での実験

【導入の効果】
・高い熱伝導率による温度管理の最適化
・耐プラズマ性による部品の長寿命化
・異物発生の抑制による実験精度の向上
・高品質な実験結果の実現

【研究開発向け】特殊セラミック部品

半導体業界では、高純度な環境が製品の品質を左右します。薬液やガスによる金属部品の腐食は、コンタミネーションを引き起こし、歩留まりの低下や製品の性能劣化につながる可能性があります。SilcoTekコーティングは、1~2.4μm程度の膜厚で、金属表面を保護し、腐食を抑制します。これにより、部品の交換頻度を減らし、安定した製造プロセスを実現します。

【活用シーン】
・高純度ガス供給配管
・薬液供給ライン
・反応チャンバー内部品

【導入の効果】
・コンタミネーションのリスク低減
・部品寿命の延長
・材料コストの削減

【半導体向け】SilcoTekコーティングで高純度環境を維持

スマートフォン業界では、画面の傷つきやすさが課題となっています。日常的な使用による擦り傷は、製品の外観を損なうだけでなく、画面の見やすさも低下させます。JSコートは、このような課題に対し、耐傷性、防汚性、撥水性を付与することで、スマートフォンの画面を保護します。JSコートを適用することで、画面の美しさを長く保ち、製品の価値を高めることが期待できます。

【活用シーン】
・スマートフォンの画面
・タッチパネル
・保護ガラス

【導入の効果】
・画面の傷つきを抑制
・指紋や汚れの付着を軽減
・画面の視認性向上

【スマートフォン向け】JSコート

半導体製造業界では、薬液の正確な供給が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、微細な回路形成においては、薬液の純度を保ちながら、正確な流量制御が求められます。不適切なパイプの使用は、薬液の汚染や流量の不安定さを引き起こし、歩留まりの低下につながる可能性があります。当社のSUS304パイプは、耐薬品性に優れ、精密な薬液供給を可能にします。

【活用シーン】
・薬液供給ライン
・高純度薬液の輸送
・微細加工における薬液塗布

【導入の効果】
・薬液の純度を維持
・安定した流量供給
・歩留まり向上

【半導体製造向け】SUS ステンレス パイプ

半導体業界では、製造工程における微細な異物や汚れの除去が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、高密度化が進む中で、コンタミネーションは深刻な問題となっています。MAXナノバブルは、0.01mm未満の超微細泡で、従来の洗浄方法では落としきれない微細な汚れを浮き上がらせ、除去します。電気分解や薬品を使用しないため、環境負荷を低減しつつ、洗浄コストの削減にも貢献します。

【活用シーン】
・半導体ウェーハの精密洗浄
・製造装置部品の洗浄
・クリーンルーム内の清掃

【導入の効果】
・洗浄力の向上による歩留まり改善
・洗浄コストの削減
・環境負荷の低減

【半導体向け】MAXナノバブル

FPD製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスの高精度化が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、温度管理や異物混入の防止が重要であり、使用される部材の特性が製品の品質を大きく左右します。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性を備え、FPD製造における高精度なプロセスを支えます。窒化アルミは、熱伝導性に優れ、温度管理を最適化し、イットリアは、耐プラズマ性により、パーティクルの発生を抑制します。これらの特性により、歩留まり向上に貢献します。

【活用シーン】
・エッチング工程
・CVD工程
・検査工程

【導入の効果】
・高い熱伝導率による温度管理の最適化
・耐プラズマ性によるパーティクル低減
・高品質なFPD製造の実現

【FPD製造向け】特殊セラミック部品

半導体製造業界では、薬液や洗浄液への高い耐性が求められます。これらの薬品は、O-リングなどのシール材を劣化させ、リークや汚染を引き起こす可能性があります。FEP/PFA被覆O-リングは、フッ素系樹脂で被覆されているため、優れた耐薬品性を発揮し、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させます。

【活用シーン】
・薬液を使用する装置
・洗浄工程
・クリーンルーム環境

【導入の効果】
・薬液による劣化を抑制
・リークや汚染のリスクを低減
・装置の稼働率向上

【半導体向け】FEP/PFA被覆O-リング

半導体製造業界では、製造プロセスの高速化が求められています。高速化のためには、装置の耐久性向上、メンテナンス頻度の削減が重要です。金属ベアリングは、腐食や摩耗、グリスによる汚染といった問題があり、これが高速化の妨げになることがあります。当社のセラミックベアリング・樹脂ベアリングは、耐腐食性、耐摩耗性、ノーグリスといった特長により、半導体製造装置の高速化に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造装置
・FPD製造装置
・半導体検査装置

【導入の効果】
・メンテナンス回数の低減
・クリーンな環境の実現
・装置の長寿命化

【半導体製造向け】セラミックベアリング・樹脂ベアリング

電子部品業界において、絶縁性は製品の信頼性と安全性を確保する上で非常に重要な要素です。特に、高電圧環境や高温環境で使用される電子部品では、絶縁性の高い材料が不可欠です。絶縁性が低いと、漏電や短絡を引き起こし、製品の故障や事故につながる可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、高い絶縁性を実現し、電子部品の性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・高電圧回路
・高温環境下での使用
・精密電子機器

【導入の効果】
・絶縁性の向上
・製品の信頼性向上
・安全性の確保

【電子部品向け】特殊セラミック部品

電気電子業界の基板洗浄において、異物や付着物の除去は、製品の品質と信頼性を確保する上で非常に重要です。特に、微細な電子部品が密集する基板では、従来の洗浄方法による残留物や基板へのダメージが問題となることがあります。ドライアイスブラスト洗浄は、ブラスト材が残留せず、基板を傷つけにくいという特長から、精密な基板洗浄に最適です。

【活用シーン】
・基板実装後のフラックスや異物の除去
・電子部品製造工程における汚れの除去
・精密機器のメンテナンス

【導入の効果】
・洗浄後の2次汚染リスクを低減
・基板や電子部品へのダメージを最小限に抑制
・作業効率の向上とコスト削減に貢献

電気電子向け|ドライアイスブラスト洗浄

半導体製造業界では、製造プロセスにおける超純水の水質管理が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、超純水中の微量な硬度成分は、製品の性能低下や製造装置のトラブルを引き起こす可能性があります。インライン水硬度計「テストマートECO&2000」は、超純水の硬度をリアルタイムで監視し、水質管理の最適化を可能にします。正確な硬度測定により、薬注量の最適化、コスト削減にも貢献します。

【活用シーン】
・超純水製造プロセスにおける水質管理
・イオン交換樹脂やRO膜の性能評価
・製造装置の保護

【導入の効果】
・超純水の水質を安定化
・製造プロセスの効率化
・コスト削減

【半導体製造向け】インライン水硬度計

電子機器業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、配線の絶縁と保護は非常に重要な課題です。狭いスペースでの配線は、摩耗や外部からのノイズの影響を受けやすく、製品の信頼性を損なう可能性があります。F6 フラットスリーブは、薄型設計でありながら、確実な絶縁保護を提供し、電子機器の性能維持に貢献します。

【活用シーン】
* 電子機器内部の配線保護
* 狭小スペースでの配線絶縁
* ノイズ対策が必要な配線

【導入の効果】
* 配線の摩耗や損傷を防止
* ノイズによる誤作動を抑制
* 製品の信頼性向上

【電子機器向け】F6 フラットスリーブ

電子機器業界では、製品の信頼性と長寿命化のため、冷却システムの性能が重要です。特に、高温環境や化学物質にさらされる電子部品においては、冷却効率の維持と、チューブの耐久性が不可欠です。不適切な冷却やチューブの劣化は、部品の故障や性能低下につながる可能性があります。当社の耐薬柔軟フッ素系チューブは、耐薬品性と耐熱性に優れ、-50℃~200℃の幅広い温度範囲で使用可能です。電子機器の冷却システムの信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子機器の冷却システム
・半導体製造装置
・化学プラント

【導入の効果】
・冷却システムの信頼性向上
・チューブ交換頻度の削減
・幅広い温度範囲での使用が可能

【電子機器向け】耐薬柔軟フッ素系チューブ

半導体製造業界では、薬液の正確な供給が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、高純度な薬液を使用する工程においては、薬液の汚染やチューブからの成分溶出が問題となります。これらの問題は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。当社の耐薬柔軟フッ素系チューブは、FFKMと同等の耐薬品性を持ち、-50℃~200℃の幅広い温度範囲で使用できるため、半導体製造における薬液供給の課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・薬液供給ライン
・各種分析装置
・半導体製造装置

【導入の効果】
・薬液の純度を維持
・幅広い温度環境に対応
・チューブ交換頻度の削減

【半導体向け】耐薬柔軟フッ素系チューブ

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微粒子や化学物質による汚染が製品の品質を大きく左右します。特に、配線保護に使用する部材は、清浄度を維持し、アウトガスを抑制することが重要です。PFAスリーブは、耐薬品性、耐熱性、防炎性に優れており、クリーンルーム環境下での使用に最適です。PFAモノフィラメントから編組されており、高い清浄度を保ちながら、配線を保護します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の配線保護
・半導体製造装置内のケーブル保護
・化学薬品を使用する環境でのケーブル保護

【導入の効果】
・クリーンルーム環境の維持
・製品の品質向上
・ケーブルの保護と長寿命化

【半導体クリーンルーム向け】PFAスリーブ

半導体業界の洗浄工程では、精密な部品の品質を維持するために、薬液の正確な供給が求められます。特に、異物混入や薬液の偏りは、製品の歩留まりを低下させる要因となります。WRS モーター駆動ポンプ『MG シリーズ』は、安定した運転と低騒音を実現し、精密な洗浄プロセスをサポートします。

【活用シーン】
* 半導体製造工程における薬液供給
* ウェーハ洗浄
* 基板洗浄

【導入の効果】
* 薬液供給の安定化による品質向上
* 低騒音化による作業環境の改善
* コンパクト設計による省スペース化

【半導体洗浄向け】WRS モーター駆動ポンプ『MG シリーズ』

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、コンプレッサーから排出される凝縮水の管理が重要です。特に、精密な製造工程においては、凝縮水による汚染や、それによる装置の故障は、生産効率の低下や製品品質の劣化につながる可能性があります。エコ・ドレンシリーズは、空気損失なく安全で信頼性の高い凝縮水排水を実現し、半導体製造における高い品質基準をサポートします。

【活用シーン】
・クリーンルーム内でのコンプレッサー設置場所
・精密機器製造ライン
・半導体製造装置

【導入の効果】
・凝縮水による汚染リスクの低減
・装置の安定稼働
・製品品質の向上

【半導体製造向け】エコ・ドレンシリーズ

電子機器業界では、ディスプレイや操作パネルの指紋や汚れの付着が、製品の美観を損ね、操作性を低下させる課題があります。特に、タッチパネルやレンズなど、頻繁に触れる部分においては、防汚対策が重要です。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、優れた防汚性能を提供します。

【活用シーン】
* ディスプレイ
* タッチパネル
* レンズ
* 操作パネル

【導入の効果】
* 指紋や汚れの付着を低減
* 拭き取りやすさの向上
* 製品の美観と操作性の維持

【電子機器向け】塗るだけ!防汚フッ素コーティング剤

家電業界では、製品の安全性と信頼性を確保するために、高い難燃性と耐熱性が求められます。特に、電線やケーブルは、火災発生のリスクを低減するために、適切な保護が必要です。PEEKスリーブは、260℃までの過熱水や蒸気の中での連続使用に耐え、難燃性V-0評価を取得しているため、家電製品の防火対策に最適です。

【活用シーン】
* 家電製品内部の電線やケーブルの保護
* 高温になる部分の保護
* 火災のリスクを低減したい箇所

【導入の効果】
* 高い難燃性により、火災のリスクを低減
* 260℃までの耐熱性で、様々な環境下で使用可能
* 電線やケーブルを保護し、製品の安全性を向上

【家電向け】難燃性PEEKスリーブ

半導体製造業界では、純水供給システムの信頼性が重要です。純水は、半導体製造プロセスにおける洗浄や冷却に不可欠であり、その純度を維持するために、配管やタンクの材質、接合方法が重要になります。プラスチック溶接加工は、耐薬品性、耐食性に優れたプラスチック材料を接合し、純水環境を維持する上で重要な役割を果たします。当社のプラスチック溶接加工は、塩ビ(PVC)、PP、フッ素系樹脂など、様々なプラスチック材料に対応し、お客様のニーズに合わせた最適なソリューションを提供します。

【活用シーン】
・純水タンク
・純水配管
・各種継手

【導入の効果】
・純水システムの信頼性向上
・異物混入のリスク低減
・長期的なコスト削減

【半導体向け】プラスチック溶接加工

半導体製造業界では、製品の品質を左右する超純水の水質管理が重要です。特に、不純物の混入は、製造プロセスに悪影響を及ぼし、歩留まりの低下や製品不良の原因となります。本システムは、超純水の濁度、色度、残留塩素をリアルタイムで監視し、異常を早期に発見することで、高品質な製品製造を支援します。

【活用シーン】
・超純水製造プロセス
・純水供給ライン
・水質管理の自動化

【導入の効果】
・製品品質の向上
・歩留まりの改善
・製造プロセスの安定化

【半導体製造向け】水質監視システム

精密機器業界では、製品の信頼性を確保するために、部品の徹底的な洗浄が不可欠です。微細な異物の混入は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。クリンベストZEROは、フッ素系洗浄剤に対応し、微細部品まで均一に洗浄することで、高品質な製品製造をサポートします。乾燥時間の短縮も実現し、生産効率の向上にも貢献します。

【活用シーン】
* 精密機器製造における部品洗浄
* 高精度な製造ラインでの異物除去
* 品質管理部門での検査工程

【導入の効果】
* 洗浄性の向上による品質向上
* 乾燥時間短縮による生産効率アップ
* 環境負荷低減による企業イメージ向上

【精密機器向け】クリンベストZEROによる品質向上

半導体製造業界では、真空環境下での精密なプロセスが製品の品質を左右します。特に、真空封止は、コンタミネーションを防ぎ、高精度な製造を支える上で不可欠です。シール性能のわずかな劣化が、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社の膨張シールは、真空0.133Paから高圧まで、-50℃から+250℃の温度範囲に対応し、半導体製造における厳しい環境下での真空封止を強力にサポートします。

【活用シーン】
* クリーンルームドアシール
* 半導体製造装置のパネルシール
* 真空搬送システム

【導入の効果】
* 高いシール性による真空度の維持
* コンタミネーションのリスク低減
* 装置の安定稼働と製品品質の向上

【半導体向け】真空用・クリーンルーム用膨張シール セフィリア

半導体製造業界のクリーン環境では、微細な粒子やガスの混入が製品の品質に大きな影響を与えるため、高い気密性が求められます。特に、真空環境や高圧環境で使用される機器においては、コネクタ部分からの漏れは致命的です。当社のハーメチックシールコネクタは、シェルとピンをガラスで焼き固めた構造により、高い気密信頼性を実現します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の真空チャンバー
・半導体製造装置内のガス供給ライン
・精密測定機器

【導入の効果】
・クリーン環境の維持
・製品の品質向上
・装置の安定稼働

【半導体製造向け】ハーメチックシールコネクタ

半導体製造業界では、製品の品質を左右する超純水の水質管理が非常に重要です。特に、微細な異物や不純物の混入は、製品の歩留まりを低下させる大きな要因となります。当社の水質管理システム(濁度)は、超純水製造プロセスにおける濁度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知することで、高品質な製品製造をサポートします。

【活用シーン】
・超純水製造プロセスにおける濁度監視
・純水供給ラインにおける水質管理
・製造ラインへの異物混入リスクの低減

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・製造コストの削減

【半導体製造向け】水質管理システム(濁度)

電子機器業界では、製品の品質を維持するために、部品の安全な輸送が不可欠です。特に、リチウムイオン電池などの危険物を扱う場合、適切な輸送方法と法規制への準拠が求められます。不適切な輸送は、事故や法的な問題を引き起こす可能性があります。当社の危険物輸送サービスは、IATA/IMDG規則に準拠し、安全かつ迅速な輸送を実現します。

【活用シーン】
・電子部品メーカーの工場への部品供給
・修理用部品の迅速な配送
・海外拠点への部品輸送

【導入の効果】
・危険物輸送に関するコンプライアンス遵守
・輸送中の事故リスクの低減
・部品供給の遅延防止

【電子機器向け】危険物輸送サービス

半導体製造装置業界では、高いクリーン度が求められ、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、接合部分からの発塵は、製造プロセスにおける重大な課題の一つです。Nバルブ チタンは、純チタン材を使用しており、高い耐食性とクリーン性を両立し、発塵のリスクを低減します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での使用
・高真空環境下での接合
・腐食性ガスにさらされる環境

【導入の効果】
・発塵量の抑制
・装置の長寿命化
・製品品質の向上

【半導体製造装置向け】Nバルブ チタン

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。
ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。
当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程
・クリーンルーム内での使用
・微細な部品への塗布

【導入の効果】
・異物混入による不良品の発生を抑制
・安定した製品品質の確保
・清掃作業の自動化による作業効率の向上
・ランニングコストの削減

【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置

半導体製造業界のクリーン環境では、高い清浄度と信頼性が求められます。特に、ワイヤーやケーブルの保護は、異物混入を防ぎ、製品の品質を維持する上で重要です。従来の保護材では、耐熱性や耐薬品性に課題があり、クリーン環境下での使用に適さない場合がありました。PEEKスリーブは、260℃までの過熱水や蒸気、ほとんどの酸、溶剤、塩基に耐性があり、クリーン環境での使用に最適です。

【活用シーン】
・クリーンルーム内でのワイヤーハーネス保護
・半導体製造装置内のケーブル保護
・高温環境下でのケーブル保護

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品の信頼性向上
・長期的なコスト削減

【半導体製造向け】PEEKスリーブ

半導体業界では、デバイスの高性能化に伴い、薄膜の品質が重要視されています。特に、Hf(ハフニウム)ターゲットを用いた薄膜形成においては、ターゲット材の純度と均一性が、薄膜の特性を大きく左右します。不純物の混入や結晶粒径のばらつきは、薄膜の信頼性低下につながる可能性があります。当社の高純度Hfターゲットは、高品質な薄膜形成をサポートします。

【活用シーン】
・半導体製造における薄膜形成
・スパッタリングによるHf薄膜の作製
・高性能デバイス製造

【導入の効果】
・高品質な薄膜の実現
・デバイス性能の向上
・歩留まりの改善

【半導体向け】高純度ハフニウム(Hf)ターゲット

研究開発分野では、実験の再現性が極めて重要であり、不純物の混入は実験結果に大きな影響を与えます。半導体製造プロセスにおいては、金属やパーティクルの混入がデバイスの性能劣化や歩留まり低下につながるため、高度な清浄度が求められます。当社の低メタル、低パーティクル化ソリューションは、これらの課題に対応し、研究開発における信頼性の向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体材料の研究開発
・半導体製造プロセスの評価
・金属汚染、パーティクル汚染が問題となる研究

【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・研究開発の効率化
・高品質な半導体製造への貢献

【研究開発向け】低メタル、低パーティクル化ソリューション

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を高めるために、精密な接着剤塗布が求められます。
特に、小型化が進む電子部品においては、ディスペンサーやノズルの詰まりや汚れが、製品の性能に直接影響を与える可能性があります。
手作業での清掃は、時間と手間がかかり、作業効率を低下させるだけでなく、清掃の精度にもばらつきが生じる可能性があります。
当社の小型自動ふき取り装置は、ディスペンサーやノズルの清掃を自動化し、製造ラインの効率化と製品品質の向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子機器製造ラインでの接着剤塗布工程
・精密部品への接着剤塗布
・クリーンルーム内での使用

【導入の効果】
・製造ラインの稼働率向上
・製品の品質安定化
・作業時間の短縮
・人件費の削減

【電子機器向け】小型自動ふき取り装置

半導体製造業界では、製造プロセスの純度を厳格に管理することが求められます。特に、薬液や純水などの流体管理において、異物混入や漏洩は、製品の品質を著しく低下させる要因となります。閉め忘れや誤操作による流体の意図しない流出は、製造ラインの停止や製品の不良につながる可能性があります。スプリングリターンボールバルブは、自動で閉止(または開放)することで、これらのリスクを低減し、製造プロセスの安定化に貢献します。

【活用シーン】
・薬液供給ライン
・純水供給ライン
・各種ガス供給ライン

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・製品品質の向上
・製造ラインの安定稼働

【半導体製造向け】スプリングリターンボールバルブ

電池業界では、電解液の正確な供給が製品の品質と安全性を確保するために重要です。特に、電解液の漏れや供給量の誤差は、電池の性能低下や事故につながる可能性があります。DSポンプは、圧縮エアを動力源とし、防爆施設での使用も可能な安全設計です。0.2~0.7MPaの圧縮エアで作動し、腐食性薬液の移送にも対応します。これにより、電解液供給における安全性を高め、安定した生産を支援します。

【活用シーン】
・電池製造工場での電解液供給
・研究開発施設での実験

【導入の効果】
・安全性の向上(防爆設計)
・液漏れリスクの低減
・安定した液供給による品質向上

【電池業界向け】DSポンプ

半導体製造プロセスでは、安全性が非常に重要であり、可燃性ガスを使用する環境下では、防爆性能が不可欠です。ガスの漏洩や引火は、重大な事故につながる可能性があります。KNF N630Exシリーズ防爆型ガスポンプは、このようなリスクを低減するために設計されました。

【活用シーン】
・半導体製造工場
・ガス供給が必要な研究施設
・可燃性ガスを取り扱うプラント

【導入の効果】
・可燃性ガス環境下での安全なガス供給
・高い信頼性と耐久性
・リークタイト仕様によるガスの漏洩防止

【半導体向け】防爆型ガスポンプ

電池業界では、材料の品質と製造プロセスの効率化が求められます。特に、粉体材料の充填工程においては、異物混入のリスクを低減し、正確な計量と搬送を行うことが重要です。粉体の飛散や詰まりは、生産効率を低下させるだけでなく、製品の品質にも悪影響を及ぼす可能性があります。当社の粉体用バキュームコンベアは、完全密閉構造と省スペース設計により、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・電池材料(活物質、導電助剤など)の粉体充填
・省スペース化が必要な工場
・粉体飛散、詰まり、搬送不良の対策

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・省スペース化の実現
・清掃・メンテナンス性の向上
・生産性の向上

【電池業界向け】粉体用バキュームコンベア(吸引式空気輸送装置)

半導体製造業界では、高純度環境を維持するために、部品の腐食や摩耗を防ぐことが重要です。特に、微細な粒子や異物の混入は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。アモルファス溶射は、耐食性と耐摩耗性に優れた皮膜を提供し、これらの課題に対応します。臼井国際産業株式会社のアモルファス溶射は、半導体製造における高純度環境を維持し、部品の長寿命化に貢献します。

【活用シーン】
・高純度環境下で使用される部品
・腐食や摩耗が問題となる部品

【導入の効果】
・部品の耐久性向上
・交換頻度の削減
・製品の品質維持

【半導体製造向け】アモルファス溶射

電池材料の輸送・供給においては、粉塵の発生が問題となり、作業環境の悪化や製品不良のリスクを高めます。特に作業員の方の粉体の吸込みリスクは非常に重要視されています。
VOLKMANNバキュームコンベアは、密閉構造により発塵を抑制し、クリーンな環境を提供することで、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・電池材料(リチウム、ニッケル・コバルト・マンガン酸化物等)の製造工場での粉体輸送
・クリーンルーム内での粉体搬送
・粉塵爆発のリスクがある環境での粉体搬送

【導入の効果】
・作業環境の改善
・製品品質の向上
・生産効率の向上
・安全性の確保

【電池材料(特化物)向け】バキュームコンベア

半導体工場では、製造工程における微粒子の混入が、製品の品質を大きく左右します。特に、クリーンルーム内では、徹底した清掃と高いクリーン度維持が不可欠です。従来の掃除方法では、清掃時のホコリの再飛散や、清掃範囲の限界といった課題がありました。当社の配管式掃除装置・集塵機は、これらの課題を解決し、クリーンな環境を維持します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内
・製造ライン周辺
・検査室
・その他、微粒子混入を避けたいエリア

【導入の効果】
・微粒子による製品不良の削減
・クリーンルームの清浄度向上
・清掃時間の短縮と効率化
・作業者の負担軽減

【半導体工場向け】配管式掃除装置・集塵機

電子材料業界では、材料の均一な混合が製品の品質を左右します。特に、精密な配合が求められる材料においては、混合の均一性が重要です。不均一な混合は、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。IKA magic LABは、卓上ラボスケールでインライン混合を実現し、電子材料の研究開発を支援します。

【活用シーン】
・電子材料の混合研究
・新しい配合の研究
・少量多品種の材料開発

【導入の効果】
・均一な混合による製品品質の向上
・スケールアップを見据えた研究開発
・高価な原料の有効活用

【電子材料向け】卓上インラインミキサー magic LAB

半導体業界では、製造プロセスにおける不純物の混入を極限まで抑えるために、高品質な純水供給が不可欠です。純水の質は、製品の歩留まりや性能に直接影響するため、安定した供給と高い信頼性が求められます。グルンドフォスのポンプは、これらの要求に応えるべく、高い耐久性と省エネ性能を備え、半導体製造における純水供給の課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造工場の純水供給システム
・研究開発施設における純水供給
・クリーンルーム内での純水循環

【導入の効果】
・安定した純水供給による歩留まり向上
・省エネ性能による運用コスト削減
・高い信頼性によるダウンタイムの最小化

【半導体向け】純水供給用ポンプ

データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。

【活用シーン】
・データセンターの換気口
・空調設備のフィルター

【導入の効果】
・メンテナンスコストの削減

【データセンター向け】異物混入防止フィルター

半導体製造における薬液供給では、高い純度と温度管理が求められます。特に、薬液の劣化や異物混入は、製品の品質に深刻な影響を与える可能性があります。また、高温環境下での使用は、バルブの耐久性や信頼性を大きく左右します。高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』は、これらの課題に対応し、安定した薬液供給を実現します。

【活用シーン】
・薬液供給ライン
・材料容器への供給
・高温環境下での使用

【導入の効果】
・シート交換によるメンテナンス性の向上
・高温環境下での安定した性能
・高い製品純度の維持

【半導体向け】高温対応ダイヤフラムバルブ

半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物の混入を極力避ける必要があります。特に、接合部分に使用するファスナーは、耐食性と異物発生の抑制が重要です。SUS316製ブラインドリベットは、これらの要求に応える製品です。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での機器の組み立て
・半導体製造装置のメンテナンス
・精密部品の固定

【導入の効果】
・高い耐食性による製品の長寿命化
・異物発生の抑制による品質向上
・クリーン環境での使用に適した材質

【半導体製造向け】SUS316製ブラインドリベット

半導体業界では、製造プロセスにおける薬液の正確な供給が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、アルカリ性の薬液は腐食性が高く、使用するポンプには高い耐薬品性が求められます。また、微量な薬液を正確に注入できる能力も不可欠です。当社のアルカリ液対応 TSPポンプ BSモデルは、耐腐食性に優れた材質を使用し、正確な薬液供給を実現することで、半導体製造における課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造工程における薬液供給
・薬液の微量定量注入が必要な場面
・アルカリ性薬品を取り扱う場面

【導入の効果】
・薬液供給の精度向上
・製品品質の安定化
・ランニングコストの削減

【半導体向け】アルカリ液対応 TSPポンプ BSモデル

半導体業界では、製造プロセスにおける不純物の混入は、製品の性能低下や歩留まりの悪化に直結します。特に、高純度試薬は、半導体デバイスの品質を左右する重要な要素であり、その精製技術が求められます。蒸留では困難な物質でも、カラム精製を用いることで効率的に高純度化が可能です。福井キヤノンマテリアルのカラム精製は、研究開発から量産まで対応し、お客様のニーズに応えます。

【活用シーン】
・半導体製造プロセスにおける高純度試薬の精製
・熱に弱い物質や沸点の近い物質の精製
・研究開発段階での少量精製から量産対応

【導入の効果】
・高純度試薬の安定供給による半導体デバイスの品質向上
・歩留まりの改善
・多様な物質への対応による研究開発の加速

【半導体向け】カラム精製による高純度試薬の精製

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、薬液の正確な供給と管理が不可欠です。特に、腐食性のある薬液を使用する工程では、液漏れやポンプの故障が、製造ラインの停止や製品の品質低下につながる可能性があります。タカトテクニカの『AODD 樹脂(PP/PVDF)Series』は、これらの課題に対応し、安全で効率的な薬液供給を実現します。

【活用シーン】
・薬液供給ライン
・腐食性薬液の移送
・クリーンルーム内での薬液供給

【導入の効果】
・液漏れリスクの低減
・ポンプの長寿命化
・製造ラインの安定稼働

【半導体製造向け】エア駆動ダイヤフラムポンプ

電池業界における電極材の供給では、粉体の飛散防止、閉塞の回避、そして正確な搬送が求められます。特に、高性能な電池製造においては、電極材の品質維持が重要となります。バキュームコンベアは、完全密閉構造により粉体の飛散リスクを低減し、詰まりにくい設計で安定した供給を実現します。省スペース設計と柔軟なレイアウトにより、既存の設備への組み込みも容易です。

【活用シーン】
・電池製造ラインでの電極材投入
・研究開発施設での材料供給
・製造工程への粉体供給

【導入の効果】
・粉体飛散による作業環境の改善
・原料ロスと清掃コストの削減
・生産効率の向上

【電池業界向け】バキュームコンベア

半導体製造業界では、クリーンルーム環境の維持が非常に重要です。微細な塵や埃が製品の品質を著しく低下させる可能性があるため、徹底した防汚対策が求められます。また、製造プロセスにおける湿気や薬品の影響も、製品の信頼性を損なう要因となります。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、防汚性、撥水性、防湿性を付与することで、クリーンルーム環境を維持し、歩留まり向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の設備や部品の防汚対策
・半導体製造装置の撥水・防湿保護
・ウェハー搬送用治具の汚れ防止

【導入の効果】
・異物付着による不良率の低減
・装置メンテナンス頻度の削減
・製品の品質向上

【半導体製造向け】塗るだけフッ素コーティング剤

半導体業界では、製造プロセスにおける超純水の品質が製品の歩留まりと性能を大きく左右します。特に、微細化が進む中で、ppm、ppbオーダーの微量な不純物の混入が、製品の品質劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。Muromac HGシリーズは、これらの課題に対応するため、高純度な超純水製造を可能にするイオン交換樹脂です。

【活用シーン】
* 半導体製造プロセスにおける超純水製造
* 電子材料薬品やプロセス液の高純度化

【導入の効果】
* ppm、ppbオーダーのイオン性不純物除去による製品品質向上
* 歩留まりの改善
* 安定した製造プロセスの実現

【半導体向け】Muromac HG シリーズ

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは?

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

製造装置内部やクリーンルーム環境から発生する微細なパーティクルは、目視では確認が難しく、その発生源を特定し除去することが極めて困難です。

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

薄膜形成に使用される高純度ガスや原料に微量の不純物が混入すると、それが異物として堆積し、欠陥の原因となります。純度を維持する管理が重要です。

装置・治具からのアウトガスの影響

製造装置の構成部品や治具から放出されるガス成分(アウトガス)が、真空中で反応したり、パーティクルを生成したりする可能性があります。

オペレーション時の人的要因による汚染

装置のメンテナンスやウェハ搬送時など、人の作業が介在する場面で、衣服や皮膚、持ち物などから異物が持ち込まれるリスクが存在します。

​対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

リアルタイムで微細パーティクルを検出し、自動的に除去するシステムを導入することで、発生源の早期発見と対策が可能になります。

超高純度ガス・原料供給システムの構築

厳格な品質管理のもと、不純物を極限まで排除したガス・原料を供給するシステムを構築し、プロセスへの異物混入を根本から防ぎます。

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

装置部品や治具に低アウトガス特性を持つ材料を採用し、真空度を常に最適に保つことで、アウトガスによる汚染を最小限に抑えます。

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

クリーンルーム内の清浄度を維持し、作業員の教育・訓練を徹底することで、人的要因による異物混入のリスクを低減します。

​対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

プロセスガスやクリーンルーム内の空気を高精度にろ過し、微細なパーティクルを除去することで、異物混入のリスクを大幅に低減します。

超高純度ガス供給システム

原料となるガスを極限まで精製し、不純物を徹底的に排除した状態でプロセスに供給することで、原料由来の異物混入を防ぎます。

低アウトガス性真空チャンバー

真空チャンバーの内壁や部品にアウトガス発生の少ない素材を使用し、真空環境の清浄度を維持することで、装置内部からの汚染を防ぎます。

自動搬送・検査ロボット

ウェハの搬送や装置へのセットアップを自動化し、人の介入を最小限にすることで、作業時の人的汚染リスクを排除します。

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