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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

薄膜形成における異物混入の防止とは？

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

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【電池製造向け】PLBF：高精度供給ポンプ

株式会社タクミナ

電池製造業界、特に電極塗布工程においては、塗工液の品質が電池性能を大きく左右します。均一な膜厚形成、金属コンタミの排除、液質変化の抑制が求められます。不適切な供給は、電池の性能低下や品質問題を引き起こす可能性があります。タクミナのPLBFは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】 * 電極材の塗布 * 高粘度・高圧の塗工液供給 * 二次電池製造工程【導入の効果】 * 均一な膜厚形成による電池性能向上 * 金属コンタミによる品質低下を防止 * 液質変化を防ぎ、安定した塗工品質を維持

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【半導体製造向け】耐薬品用結束保護チューブＯＰＥ

日本ジッパーチュービング株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスにおける薬液の取り扱いが、製品の品質と安全性を左右する重要な要素です。特に、薬液による部材の腐食や劣化は、製品の性能低下や製造ラインの停止につながる可能性があります。耐薬品性に優れた保護チューブは、これらの課題を解決するために不可欠です。当社の耐薬品用結束保護チューブＯＰＥは、薬液から部材を保護し、製造プロセスの安定化に貢献します。【活用シーン】・半導体製造ラインでの薬液配管保護・クリーンルーム内でのケーブル保護・薬液飛散のリスクがある場所でのケーブル結束【導入の効果】・薬液による部材の腐食や劣化を防止・製品の品質維持と歩留まり向上・製造ラインの安定稼働に貢献

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【研究開発向け】特殊セラミック部品

千代田交易株式会社

研究開発分野では、実験の精度と再現性を高めるために、使用する材料の特性が重要になります。特に、半導体製造プロセスにおけるエッチング工程やCVD工程では、高温やプラズマ環境に耐えうる材料が求められます。熱伝導率が低いと熱がこもり、均一な反応を妨げる可能性があります。また、異物の発生は実験結果に悪影響を及ぼす可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、実験の信頼性を向上させるために開発されました。【活用シーン】・エッチング工程における基板固定・CVD工程における反応容器・高温環境下での実験・プラズマ環境下での実験【導入の効果】・高い熱伝導率による温度管理の最適化・耐プラズマ性による部品の長寿命化・異物発生の抑制による実験精度の向上・高品質な実験結果の実現

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【半導体向け】SilcoTekコーティングで高純度環境を維持

千代田交易株式会社

半導体業界では、高純度な環境が製品の品質を左右します。薬液やガスによる金属部品の腐食は、コンタミネーションを引き起こし、歩留まりの低下や製品の性能劣化につながる可能性があります。SilcoTekコーティングは、1～2.4μm程度の膜厚で、金属表面を保護し、腐食を抑制します。これにより、部品の交換頻度を減らし、安定した製造プロセスを実現します。【活用シーン】・高純度ガス供給配管・薬液供給ライン・反応チャンバー内部品【導入の効果】・コンタミネーションのリスク低減・部品寿命の延長・材料コストの削減

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【スマートフォン向け】JSコート

千代田交易株式会社

スマートフォン業界では、画面の傷つきやすさが課題となっています。日常的な使用による擦り傷は、製品の外観を損なうだけでなく、画面の見やすさも低下させます。JSコートは、このような課題に対し、耐傷性、防汚性、撥水性を付与することで、スマートフォンの画面を保護します。JSコートを適用することで、画面の美しさを長く保ち、製品の価値を高めることが期待できます。【活用シーン】・スマートフォンの画面・タッチパネル・保護ガラス【導入の効果】・画面の傷つきを抑制・指紋や汚れの付着を軽減・画面の視認性向上

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【半導体製造向け】EL補助潤滑モジュール

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、クリーンな環境が不可欠です。特に、リニアガイドウェイからの潤滑油の飛散は、製品への汚染を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、リニアガイドウェイが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーンな環境を維持します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・半導体製造装置・クリーンルーム環境・リニアガイドウェイの潤滑【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品への汚染リスク低減・メンテナンス周期の延長

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【ディスプレイ向け】真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』

千代田交易株式会社

ディスプレイ業界の真空蒸着工程では、高品質な製品を安定的に生産するために、真空ポンプの信頼性が重要です。真空ポンプの不具合は、蒸着膜の品質低下や生産効率の悪化につながり、大きな損失を招く可能性があります。真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』は、真空ポンプの長寿命化と装置停止期間の短縮を支援します。【活用シーン】・真空蒸着装置の真空ポンプメンテナンス・ディスプレイ製造における生産ラインの安定化・真空ポンプの緊急修理対応【導入の効果】・真空ポンプの信頼性向上による製品品質の安定化・装置停止時間の短縮による生産効率の向上・トータルコストの削減

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【半導体向け】MAXナノバブル

千代田交易株式会社

半導体業界では、製造工程における微細な異物や汚れの除去が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、高密度化が進む中で、コンタミネーションは深刻な問題となっています。MAXナノバブルは、0.01mm未満の超微細泡で、従来の洗浄方法では落としきれない微細な汚れを浮き上がらせ、除去します。電気分解や薬品を使用しないため、環境負荷を低減しつつ、洗浄コストの削減にも貢献します。【活用シーン】・半導体ウェーハの精密洗浄・製造装置部品の洗浄・クリーンルーム内の清掃【導入の効果】・洗浄力の向上による歩留まり改善・洗浄コストの削減・環境負荷の低減

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【半導体製造向け】AL-Easy アルミフレーム用結束チューブ

日本ジッパーチュービング株式会社

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な塵埃の発生を抑制し、高い清浄度を維持することが重要です。配線の結束や保護は、清浄度を損なう要因の一つとなり得ます。配線がむき出しの状態では、塵埃の付着や発生のリスクが高まります。AL-Easy アルミフレーム用結束チューブは、アルミフレーム内の配線を保護し、クリーンルーム内の清浄度を維持するのに役立ちます。【活用シーン】・クリーンルーム内のアルミフレームを使用した設備・半導体製造装置・検査装置【導入の効果】・配線からの塵埃発生を抑制・クリーンルーム内の清浄度維持に貢献・配線作業の効率化

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【FPD製造向け】特殊セラミック部品

千代田交易株式会社

FPD製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスの高精度化が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、温度管理や異物混入の防止が重要であり、使用される部材の特性が製品の品質を大きく左右します。当社の特殊セラミック部品は、高い熱伝導率と耐プラズマ性を備え、FPD製造における高精度なプロセスを支えます。窒化アルミは、熱伝導性に優れ、温度管理を最適化し、イットリアは、耐プラズマ性により、パーティクルの発生を抑制します。これらの特性により、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・エッチング工程・CVD工程・検査工程【導入の効果】・高い熱伝導率による温度管理の最適化・耐プラズマ性によるパーティクル低減・高品質なFPD製造の実現

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【半導体製造向け】樹脂の精密加工

株式会社トライ

半導体製造業界における高純度搬送では、異物混入の防止と材料の安定性が求められます。特に、微細な粒子や化学物質の付着は、製品の歩留まりに直接影響を与えるため、極めて高い清浄度が不可欠です。また、搬送ラインの信頼性を維持するためには、材料の耐久性や耐薬品性も重要となります。当社の精密樹脂加工は、こうした半導体製造の現場で求められる厳しい要求に応えるためのソリューションを提供します。【活用シーン】・高純度流体搬送ライン部品・クリーンルーム内搬送装置部品・薬液供給システム部品【導入の効果】・異物混入リスクの低減・搬送ラインの安定稼働・製品品質の維持・向上

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【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ

株式会社タクミナ

半導体業界では、高品質な製品を製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工技術においては、薬液の純度と供給精度が製品の性能を左右します。不適切な薬液供給は、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社製品は、高精度な薬液供給を実現し、半導体製造における課題を解決します。【活用シーン】・薬液注入・長距離配管・高揚程移送【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【半導体製造向け】セラミックベアリング・樹脂ベアリング

千代田交易株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスの高速化が求められています。高速化のためには、装置の耐久性向上、メンテナンス頻度の削減が重要です。金属ベアリングは、腐食や摩耗、グリスによる汚染といった問題があり、これが高速化の妨げになることがあります。当社のセラミックベアリング・樹脂ベアリングは、耐腐食性、耐摩耗性、ノーグリスといった特長により、半導体製造装置の高速化に貢献します。【活用シーン】・半導体製造装置・FPD製造装置・半導体検査装置【導入の効果】・メンテナンス回数の低減・クリーンな環境の実現・装置の長寿命化

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【半導体成膜向け】真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』

千代田交易株式会社

半導体成膜プロセスにおいて、真空ポンプの安定稼働は、高品質な薄膜形成に不可欠です。真空ポンプの不調は、成膜不良や装置停止につながり、生産効率を著しく低下させる可能性があります。特に、成膜プロセスは高度な真空環境を要求されるため、真空ポンプのメンテナンスは非常に重要です。真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』は、メーカー対応終了品の対応、エクスチェンジ、レンタル対応等多様な対応で貴社の生産安定に協力します。【活用シーン】・成膜装置の真空ポンプメンテナンス・装置停止時の緊急対応・メーカー対応終了品の修理【導入の効果】・成膜プロセスの安定化・装置停止リスクの低減・生産効率の向上

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【半導体向け】COT処理による絶縁性向上

千代田交易株式会社

半導体業界では、製品の信頼性を高めるために、絶縁性の確保が重要です。特に、微細化が進む中で、異物混入による絶縁不良は、歩留まりを大きく低下させる要因となります。COT処理は、基材表面を改質することで、皮膜剥落による異物混入リスクを低減し、絶縁性を向上させます。これにより、半導体製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・半導体製造装置部品・絶縁性を求められる部材・コンタミ対策が必要な箇所【導入の効果】・異物混入リスクの低減・絶縁性の向上・歩留まりの改善

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【半導体製造向け】薬液移送ポンプ『PL』

株式会社タクミナ

半導体製造業界では、微細化・高集積化が進む中で、製造プロセスにおける薬液の純度維持と精密な供給が極めて重要視されています。特に、高純度薬液の移送においては、コンタミネーションの防止や液質の変化を防ぐことが、製品の歩留まりや信頼性に直結します。従来のポンプでは、異物混入のリスクや圧力変動による流量の不安定さ、液漏れなどが課題となるケースがありました。当社のスムーズフローポンプ『PL』は、これらの課題を解決し、半導体製造プロセスにおける高純度薬液の安定供給を実現します。【活用シーン】・高純度薬液の長距離移送・添加剤の精密注入・コンタミネーションを避けたいプロセス・液質変化を避けたい薬液の移送【導入の効果】・薬液の純度維持・安定した流量供給によるプロセス安定化・液漏れリスクの低減・歩留まり向上に貢献

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【データセンター向け】異物混入防止フィルター

エイ・ジェイ・テックス株式会社

データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。【活用シーン】・データセンターの換気口・空調設備のフィルター【導入の効果】・メンテナンスコストの削減

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【半導体製造向け】インライン水硬度計

エンバイロ・ビジョン株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスにおける超純水の水質管理が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、超純水中の微量な硬度成分は、製品の性能低下や製造装置のトラブルを引き起こす可能性があります。インライン水硬度計「テストマートECO＆2000」は、超純水の硬度をリアルタイムで監視し、水質管理の最適化を可能にします。正確な硬度測定により、薬注量の最適化、コスト削減にも貢献します。【活用シーン】・超純水製造プロセスにおける水質管理・イオン交換樹脂やRO膜の性能評価・製造装置の保護【導入の効果】・超純水の水質を安定化・製造プロセスの効率化・コスト削減

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飛散防止安全シールド【半導体製造向け】

株式会社アキツ

半導体製造業界のクリーン環境では、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。配管からの危険流体の漏れは、クリーンルーム内の環境を汚染し、製品の歩留まりを低下させる可能性があります。特に、化学薬品や高温の流体は、作業者の安全を脅かすだけでなく、高価な製造装置を損傷させるリスクも伴います。安全カバー『飛散防止安全シールド』は、これらの危険な流体の漏れや飛散を一時的に封じ込め、クリーン環境を維持し、事故を未然に防ぎます。【活用シーン】・クリーンルーム内の配管・半導体製造装置周辺・化学薬品を使用する工程【導入の効果】・クリーン環境の維持・作業者の安全確保・設備保全コストの削減

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【半導体向け】ケミカルポンプ修理

千代田交易株式会社

半導体業界の薬液供給用途では、製品の品質維持のため、ポンプの安定稼働が不可欠です。薬液の漏れや異物混入は、製品不良につながる可能性があります。当社ケミカルポンプ修理サービスは、全工程をクリーンルーム内で実施し、ポンプの安定稼働をサポートします。【活用シーン】・薬液供給ラインにおけるポンプのオーバーホール・ポンプの故障修理・ポンプの機体改善延命対策【導入の効果】・製品品質の維持・設備信頼性の向上・コスト削減

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【電子部品向け】特殊セラミック部品

千代田交易株式会社

電子部品業界において、絶縁性は製品の信頼性と安全性を確保する上で非常に重要な要素です。特に、高電圧環境や高温環境で使用される電子部品では、絶縁性の高い材料が不可欠です。絶縁性が低いと、漏電や短絡を引き起こし、製品の故障や事故につながる可能性があります。当社の特殊セラミック部品は、高い絶縁性を実現し、電子部品の性能向上に貢献します。【活用シーン】・高電圧回路・高温環境下での使用・精密電子機器【導入の効果】・絶縁性の向上・製品の信頼性向上・安全性の確保

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【半導体向け】真空用・クリーンルーム用膨張シールセフィリア

テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

半導体製造業界では、真空環境下での精密なプロセスが製品の品質を左右します。特に、真空封止は、コンタミネーションを防ぎ、高精度な製造を支える上で不可欠です。シール性能のわずかな劣化が、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社の膨張シールは、真空0.133Paから高圧まで、-50℃から+250℃の温度範囲に対応し、半導体製造における厳しい環境下での真空封止を強力にサポートします。【活用シーン】 * クリーンルームドアシール * 半導体製造装置のパネルシール * 真空搬送システム【導入の効果】 * 高いシール性による真空度の維持 * コンタミネーションのリスク低減 * 装置の安定稼働と製品品質の向上

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木目まで不良にしない検査へ―Gemini eye

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

木板や住宅建材の外観検査では、木目や色味の違いは良品として残したい一方で、表面キズや汚れは見逃せません。木目まで不良として拾ってしまうと、確認工数や手直し判断が増えてしまいます。『Gemini eye』は、良品を学習し、“いつもと違う”箇所を検出する外観検査AIです。少量の良品データから検討でき、不良品を大量に集める必要はありません。木板のキズなど、自然な個体差がある対象でも、良品の範囲を保ちながら外観不良を検出します。異常箇所はヒートマップで表示され、どこを不良と判断したかを現場で確認可能。判定結果は画像・数値・グラフで見られ、検査基準の共有や品質確認の説明にも役立ちます。未知不良の検出に加え、既知不良の種類別表示にも対応可能。撮像機器の選定から検査装置まで相談でき、目視検査のばらつき低減や自動化を検討できます。【特長】 ■木目・色味のばらつきに対応 ■表面キズ・汚れなどを検出 ■異常箇所をヒートマップ表示 ■撮像機器・検査装置まで提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【電子部品向け】異物混入のお悩み解消！ステンレス製撹拌機

ユニコントロールズ株式会社

電子部品業界では、製品の品質を維持するために、製造プロセスにおける異物混入対策が重要です。特に、微細な部品を扱う工程においては、異物の混入が製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社のステンレス製撹拌機は、クリーンな環境での使用を前提に設計されており、異物混入のリスクを低減します。【活用シーン】・電子部品製造における液体の混合・溶解工程・異物混入が許されない工程【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【電池業界向け】高粘度スラリー対応ろ過装置

株式会社荒井鉄工所

電池業界では、製品の性能を安定させるために、製造プロセスにおける異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、電極材料やセパレータなどの製造工程では、スラリー中の微細な異物が電池の性能劣化や短寿命化を引き起こす可能性があります。当社の『W-CELL フィルター装置』は、高粘度スラリーでも安定したろ過を実現し、電池製造における粒度調整・異物除去に貢献します。【活用シーン】・電極材料スラリーのろ過・セパレータ製造工程での異物除去・電池材料の分級ろ過【導入の効果】・電池の性能安定化・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【電池業界向け】DSポンプ

株式会社タカトテクニカ

電池業界では、電解液の正確な供給が製品の品質と安全性を確保するために重要です。特に、電解液の漏れや供給量の誤差は、電池の性能低下や事故につながる可能性があります。DSポンプは、圧縮エアを動力源とし、防爆施設での使用も可能な安全設計です。0.2～0.7MPaの圧縮エアで作動し、腐食性薬液の移送にも対応します。これにより、電解液供給における安全性を高め、安定した生産を支援します。【活用シーン】・電池製造工場での電解液供給・研究開発施設での実験【導入の効果】・安全性の向上（防爆設計）・液漏れリスクの低減・安定した液供給による品質向上

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【電子材料向け】高速分散ミキサー「ウルトラミックス」

シルバーソンニッポン株式会社

電子材料業界では、材料の均一な分散が製品の品質を左右します。特に、微細な粒子を高精度に分散させることは、製品の性能を最大限に引き出すために不可欠です。分散が不十分な場合、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。高速分散ミキサー「ウルトラミックス」は、均一な分散を可能にし、電子材料の品質向上に貢献します。【活用シーン】・導電性ペーストの製造・セラミック材料の分散・コーティング材料の調合【導入の効果】・均一な分散による製品品質の向上・歩留まりの改善・製造プロセスの効率化

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【半導体製造向け】ボールねじ補助潤滑モジュール【EL】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高度なクリーン環境が求められ、微細な塵や油分が製品の品質に大きな影響を与えます。特に、ボールねじの潤滑油は、その落下による汚染源となり、歩留まりの低下や装置の故障につながる可能性があります。EL補助潤滑モジュールは、ボールねじが稼働中でも持続的に適量の潤滑油を供給し、油の落下による汚染を回避することで、クリーン環境を維持します。【活用シーン】・半導体製造装置・クリーンルーム内での使用・ボールねじの潤滑が必要な箇所【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品品質の向上・メンテナンスサイクルの延長

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【電池業界向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】シールドユニット

シルバーソンニッポン株式会社

電池業界では、スラリーの均一な混合が製品の性能を左右します。特に、安全性と品質が重要視されるため、無菌環境下での作業が求められます。不適切な混合は、電池の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。当社の試験室用ミキサーシールドユニットは、無菌環境下でのスラリー混合を可能にし、安全性を確保します。【活用シーン】・電池材料のスラリー混合・研究開発における少量混合・品質管理におけるサンプル調製【導入の効果】・無菌環境下での安全な作業・均一な混合による品質向上・材料の無駄を削減

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【半導体製造装置向け】Nバルブチタン

ニッセンファスニング株式会社

半導体製造装置業界では、高いクリーン度が求められ、微細な異物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、接合部分からの発塵は、製造プロセスにおける重大な課題の一つです。Nバルブチタンは、純チタン材を使用しており、高い耐食性とクリーン性を両立し、発塵のリスクを低減します。これにより、半導体製造装置の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での使用・高真空環境下での接合・腐食性ガスにさらされる環境【導入の効果】・発塵量の抑制・装置の長寿命化・製品品質の向上

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【電池向け】粉体定量空気輸送装置「ハイフローBT型」

赤武エンジニアリング株式会社

電池業界における充填工程では、粉体の正確な供給と有害ガスの抑制が求められます。特に、安全性と品質が重要視されるため、粉体の漏れやガスの発生は大きな課題となります。当社の粉体定量空気輸送装置「ハイフローBT型」は、これらの課題に対応し、安全で効率的な充填プロセスを実現します。【活用シーン】・電池材料の充填・有害ガスが発生する粉体の輸送・粉体漏れのリスクを低減したい場合【導入の効果】・粉体漏れを抑制し、安全性を向上・有害ガスの拡散を抑制・複数の充填箇所への粉体供給が可能

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【半導体製造向け】ブローバックプレフィルター

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。微粒子や粉体は、デバイスの性能を低下させ、不良品発生の原因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガス中の粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動クリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおけるガス供給ライン・クリーンルーム内のサンプリングポイント・分析装置へのガス供給【導入の効果】・清浄度の高いガス供給による製品品質の向上・メンテナンスコストの削減・システムの安定稼働

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【半導体向け】セラミック溶射、各種表面処理

日本セラテック株式会社

半導体製造業界では、ウェーハや基板の搬送において、微細な傷や異物の付着を防ぎ、高い精度を維持することが求められます。特に、パスラインローラーの摩耗や異物混入は、製品の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社セラミック溶射パスラインローラーは、高耐久性と平滑性を両立し、半導体製造における搬送工程の課題解決に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・基板搬送・クリーンルーム内での搬送【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・メンテナンスコストの削減

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【電池製造向け】ロータリーポンプ

株式会社ナカキン

電池製造業界では、電解液の正確な充填が製品の性能と安全性を左右します。特に、電解液の漏れや異物混入は、電池の寿命を短くしたり、発火の原因となる可能性があります。ナカキンのロータリーポンプは、非接触型であるため、液体の汚染リスクを低減し、自吸式であるため、負圧タンクからの電解液の抽出にも対応します。定量性に優れているため、正確な量の電解液を充填することが可能です。【活用シーン】・電解液の充填工程・負圧タンクからの電解液抽出・高粘度液体の送液【導入の効果】・電解液充填の精度向上・製品の品質向上・作業効率の改善

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【半導体製造向け】部材管理システム[スマートラックドライ]

JFE商事エレクトロニクス株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、吸湿性のある部品の適切な管理が求められます。特に、アルミパック開封後の部品は、湿度の影響を受けやすく、品質トラブルの原因となる可能性があります。これらの部品の防湿管理は、経験に依存しがちで、作業効率やヒューマンエラーの観点からも課題があります。当社の『スマートラックドライ』は、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】・アルミパック開封後の吸湿部品の保管・トレー品、基板、箱もの部材の保管・温湿度管理の自動化【導入の効果】・品質トラブルの未然防止・入出庫作業の大幅な効率化・ヒューマンエラーの防止

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ALDプリカーサーの超高純度化と精製プロセス価格低減を実現

ティー・ケイ・エス株式会社

先端半導体業界では、デバイスの性能を最大限に引き出すために、材料の超高純度化が不可欠です。特に、ALD工程のプリカーサーや極紫外露光のフォトレジスト用途での要求においては、不純物の混入が最終製品の性能劣化の大きな要因となります。不完全な錯体異物、ダイマー・ポリマー由来の異物の分離精製し、高品質なプリカーサーの安定供給を支えます。フォトレジスト原料中のメタル因子異物を分離精製し、EUV領域での使用を前提としたフォトレジスト原料の安定供給を支えます。当社の超高純度超高収率昇華精製装置は、高純度99.99％、歩留まり98％(2回目の精製後)を実現し、先端半導体材料の高純度化という課題を解決します。【活用シーン】・ALDプリカーサー（金属錯体物質）の分離精製と超高純度化・EUVフォトレジスト原料の精製・有機EL材料の精製・有機半導体材料の精製・高純度化が求められるその他半導体材料の精製【導入の効果】・歩留まり向上によるコスト削減・卓越した再現性による、品質と生産計画の安定・高品質な材料供給と価格低減による競争力強化

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【電子材料向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】インラインモデル

シルバーソンニッポン株式会社

電子材料業界のコーティング工程では、均一な混合が製品の品質を左右します。特に、微粒子を含む材料や粘度の高い材料を扱う場合、混合の均一性が課題となります。不均一な混合は、コーティングの性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。インライン型ミキサー L5シリーズは、ラボスケールでのインライン混合を可能にし、コーティング材料の均一な混合を実現します。研究開発から生産工程へのスケールアップをスムーズにサポートします。【活用シーン】・電子材料のコーティング・塗料、インク、接着剤などの混合・研究開発におけるインライン混合のシミュレーション【導入の効果】・均一な混合によるコーティング品質の向上・スケールアップ時の工程分析の効率化・材料の無駄を削減

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データセンター向けケーブルシールブラシ

株式会社共伸技研

データセンター建設では、多数のサーバーラックへケーブルシールブラシを導入するケースがあります。設備工事では工期に合わせた資材調達が重要であり、必要な数量を必要なタイミングで確保できることが求められます。工業用ブラシメーカーの共伸技研では、データセンター向けケーブルシールブラシを20年以上にわたり製作してきました。大阪の自社工場において設計から製造まで一貫して対応し、少量多品種生産で培った工程管理ノウハウを活かしながら、お客様の工事スケジュールに合わせた供給体制を構築しています。データセンター建設や設備増設案件において、必要な数量を適切なタイミングでお届けします。

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【電子業界向け】圧縮空気微生物汚染物質含有量の試験

株式会社分析センター

電子業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム環境が不可欠です。特に、製造プロセスで使用される圧縮空気中の微生物汚染物質は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社の圧縮空気微生物汚染物質含有量の試験は、クリーンルーム環境の清浄度を維持し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での圧縮空気供給ライン・半導体製造プロセス・電子部品製造プロセス【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造プロセスの安定化

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【半導体薄膜向け】インド産五酸化ニオブ（Nb₂O₅）

興和株式会社

半導体薄膜業界では、デバイスの高性能化に伴い、薄膜材料の品質が重要視されています。特に、光学特性の制御は、デバイスの動作効率や信頼性に大きく影響します。薄膜の均一性、屈折率の精密な制御が求められ、不純物の混入は性能劣化につながる可能性があります。当社のインド産五酸化ニオブ（Nb₂O₅）は、高純度99.99%を実現し、光学特性に優れ、薄膜の性能向上に貢献します。【活用シーン】・光学薄膜・半導体デバイス・光学フィルター【導入の効果】・高透明度と高屈折率の実現・デバイスの高性能化・歩留まり向上

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【電子部品向け】TK-100オンライン露点計

株式会社テクネ計測

電子部品業界では、製品の信頼性を確保するため、絶縁性能の維持が重要です。湿度は絶縁劣化の大きな原因の一つであり、製品の寿命や性能に悪影響を及ぼします。TK-100オンライン露点計は、-100～+20 ℃dpの範囲で露点温度を測定し、絶縁劣化のリスクを早期に発見し、対策を講じることを可能にします。これにより、製品の品質向上と歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・電子部品製造工程における乾燥空気の露点管理・クリーンルーム内の湿度管理・絶縁材料の保管環境モニタリング【導入の効果】・絶縁不良による製品の故障リスクを低減・製品の品質と信頼性の向上・製造コストの削減

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【半導体向け】Y型ストレーナー用スクリーンフィルター

株式会社バンテック

半導体製造業界では、製品の品質を左右する異物混入対策が非常に重要です。特に、配管内の微細な異物は製品の歩留まりを低下させるだけでなく、製造装置の故障の原因にもなり得ます。Y型ストレーナーは、配管内の異物を除去し各機器を保護しますが、既存のフィルターではメッシュの粗さや細かさにより、異物が十分に除去できない、または目詰まりを起こすことがあります。そこで、当社ではお客様のニーズに合わせて、最適なメッシュのフィルターを製作いたします。【活用シーン】・半導体製造工程における純水、薬液、ガスの清浄化・クリーンルーム内の配管システム・各種製造装置の保護【導入の効果】・異物混入による製品不良率の低減・製造装置の安定稼働・高品質な製品の安定供給

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【半導体製造向け】大型板材アルマイト処理

富商

半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度が非常に重要です。微細な異物の混入は、製品の歩留まりを低下させ、性能に悪影響を及ぼす可能性があります。特に、製造プロセスで使用される部材の表面処理は、清浄度を維持する上で重要な要素となります。アルマイトは、素地と一体化し剥がれる心配がありません。これにより、清浄度を高く保ち、高品質な製品製造をサポートします。 1250×2500のサイズまで、一般アルマイト、硬質アルマイト、両方とも対応可能です。【活用シーン】・半導体製造装置部品・クリーンルーム内使用部品・高精度が求められる部品【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品の歩留まり向上・高い清浄度の維持

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【精密機器向け】クリンベストZEROによる品質向上

タイセイクリンケミカル株式会社

精密機器業界では、製品の信頼性を確保するために、部品の徹底的な洗浄が不可欠です。微細な異物の混入は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。クリンベストZEROは、フッ素系洗浄剤に対応し、微細部品まで均一に洗浄することで、高品質な製品製造をサポートします。乾燥時間の短縮も実現し、生産効率の向上にも貢献します。【活用シーン】 * 精密機器製造における部品洗浄 * 高精度な製造ラインでの異物除去 * 品質管理部門での検査工程【導入の効果】 * 洗浄性の向上による品質向上 * 乾燥時間短縮による生産効率アップ * 環境負荷低減による企業イメージ向上

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【半導体向け】静電防止剤『DS-880』

大道産業株式会社

半導体業界では、微細なパターン形成において、ホコリやゴミの付着が歩留まりを大きく左右します。静電気は、これらの異物を引き寄せ、製品の品質を低下させる大きな要因となります。静電防止剤『DS-880』は、水洗工程で水洗水に添加することで、静電気の発生を抑制し、ホコリやゴミの付着を防ぎます。これにより、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・パターン形成工程・レジスト硬化工程【導入の効果】・ホコリ・ゴミ付着による不良品の削減・歩留まりの向上・製品品質の安定化

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【半導体向け】電気集塵機の点検、補修、改造（他社製の対応も可能）

住友金属鉱山エンジニアリング株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微粒子の除去が極めて重要です。電気集塵機は、クリーンルーム環境を維持するために不可欠な設備ですが、その性能を最大限に発揮させるには、適切なメンテナンスが不可欠です。定期的な点検や補修、集塵極の更新を行うことで、微粒子除去効率の向上、歩留まりの改善、そして設備の長寿命化を実現できます。当社サービスは、これらの課題に対し、最適なソリューションを提供します。【活用シーン】・クリーンルーム・半導体製造工程・微粒子除去が必要な工程【導入の効果】・微粒子除去効率の向上・歩留まりの改善・設備の長寿命化

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【半導体製造向け】耐摩耗性に優れる硬質アルマイト

富商

微細な粒子や異物の混入を防ぐために、耐摩耗性に優れた表面処理、硬質アルマイトを試してみませんか？　摩耗によって発生する粉塵は、製品の品質を低下させる可能性があります。　当社の耐摩耗性に優れる硬質アルマイトは、クリーンな環境での使用に適しており、製品の長寿命化に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の搬送部品・半導体製造装置の部品・精密機器の筐体【導入の効果】・耐摩耗性の向上による製品寿命の延長・異物混入リスクの低減・メンテナンスコストの削減

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【電子材料向け】卓上型分散機 magic PLANT

IKAジャパン株式会社

電子材料業界における薄膜化プロセスでは、材料の均一な分散と精密な混合が、薄膜の品質を左右する重要な要素となります。特に、薄膜の性能を最大限に引き出すためには、材料の凝集を防ぎ、微細な粒子を均一に分散させることが不可欠です。magic PLANTは、真空、加圧、温調といった機能を備え、材料の状態を最適に保ちながら、均一な分散を実現します。これにより、薄膜の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子材料の研究開発・薄膜材料の試作・材料の分散・混合プロセス【導入の効果】・薄膜の均一性向上・材料の無駄を削減・研究開発期間の短縮

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【電子部品向け】低メタル・低パーティクル化ソリューション

福井キヤノンマテリアル株式会社

電子部品業界では、製品の高機能化に伴い、半導体材料の品質が重要になっています。特に、金属不純物やパーティクルの混入は、製品の性能劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。当社製品は、半導体材料製造における吸着剤およびフィルター技術により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける金属不純物除去・半導体材料のパーティクル低減【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・信頼性の高い製品の提供

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【半導体成膜向け】ソニア社製超音波スプレーノズル

ティックコーポレーション株式会社

半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細なパターン形成においては、塗布液の粒子径や塗布精度が製品の性能を大きく左右します。塗布ムラや異物の混入は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、ピエゾセラミックの振動により微粒子を生成し、均一な塗布を実現します。加圧不要で、飛散や液体の跳ね返りを抑制し、塗布液の無駄を削減します。設備投資とランニングコストの削減にも貢献します。【活用シーン】・ウェーハへの薬液塗布・薄膜形成・フォトレジスト塗布【導入の効果】・均一な膜厚の実現・塗布液の無駄を削減・歩留まり向上・設備投資とランニングコストの削減

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

製造装置内部やクリーンルーム環境から発生する微細なパーティクルは、目視では確認が難しく、その発生源を特定し除去することが極めて困難です。

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

薄膜形成に使用される高純度ガスや原料に微量の不純物が混入すると、それが異物として堆積し、欠陥の原因となります。純度を維持する管理が重要です。

装置・治具からのアウトガスの影響

製造装置の構成部品や治具から放出されるガス成分（アウトガス）が、真空中で反応したり、パーティクルを生成したりする可能性があります。

オペレーション時の人的要因による汚染

装置のメンテナンスやウェハ搬送時など、人の作業が介在する場面で、衣服や皮膚、持ち物などから異物が持ち込まれるリスクが存在します。

対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

リアルタイムで微細パーティクルを検出し、自動的に除去するシステムを導入することで、発生源の早期発見と対策が可能になります。

超高純度ガス・原料供給システムの構築

厳格な品質管理のもと、不純物を極限まで排除したガス・原料を供給するシステムを構築し、プロセスへの異物混入を根本から防ぎます。

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

装置部品や治具に低アウトガス特性を持つ材料を採用し、真空度を常に最適に保つことで、アウトガスによる汚染を最小限に抑えます。

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

クリーンルーム内の清浄度を維持し、作業員の教育・訓練を徹底することで、人的要因による異物混入のリスクを低減します。

対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

プロセスガスやクリーンルーム内の空気を高精度にろ過し、微細なパーティクルを除去することで、異物混入のリスクを大幅に低減します。

超高純度ガス供給システム

原料となるガスを極限まで精製し、不純物を徹底的に排除した状態でプロセスに供給することで、原料由来の異物混入を防ぎます。

低アウトガス性真空チャンバー

真空チャンバーの内壁や部品にアウトガス発生の少ない素材を使用し、真空環境の清浄度を維持することで、装置内部からの汚染を防ぎます。

自動搬送・検査ロボット

ウェハの搬送や装置へのセットアップを自動化し、人の介入を最小限にすることで、作業時の人的汚染リスクを排除します。

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検査・測定装置

材料

自動化・ITソリューション

製造装置

異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

薄膜形成における異物混入の防止とは？

各社の製品

薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

​課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

装置・治具からのアウトガスの影響

オペレーション時の人的要因による汚染

​対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

超高純度ガス・原料供給システムの構築

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

​対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

超高純度ガス供給システム

低アウトガス性真空チャンバー

自動搬送・検査ロボット

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

課題

対策

対策に役立つ製品例