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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは？

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

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【電池製造向け】PLBF：高精度供給ポンプ

株式会社タクミナ

電池製造業界、特に電極塗布工程においては、塗工液の品質が電池性能を大きく左右します。均一な膜厚形成、金属コンタミの排除、液質変化の抑制が求められます。不適切な供給は、電池の性能低下や品質問題を引き起こす可能性があります。タクミナのPLBFは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】 * 電極材の塗布 * 高粘度・高圧の塗工液供給 * 二次電池製造工程【導入の効果】 * 均一な膜厚形成による電池性能向上 * 金属コンタミによる品質低下を防止 * 液質変化を防ぎ、安定した塗工品質を維持

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【電子機器向け】Magrev(磁気浮上)リニア搬送システム

株式会社イトー

電子機器の精密組立業界では、製品の品質と生産効率の向上が常に求められています。特に、小型化・高密度化が進む中で、部品の正確な搬送とクリーンな環境維持が重要です。従来の搬送システムでは、ベルトやチェーンによる摩耗粉の発生や、レイアウトの制限が課題となっていました。Maglev式リニア搬送システムは、非接触搬送によりこれらの課題を解決し、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】 * 精密電子部品の組立工程 * クリーンルーム内での搬送 * レイアウト変更が多い生産ライン【導入の効果】 * 摩耗粉の発生を抑制し、製品の品質向上 * レイアウトの自由度向上による生産効率アップ * 静音化による作業環境の改善

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【半導体向け】アルカリ液対応 TSPポンプ BSモデル

株式会社タカトテクニカ

半導体業界では、製造プロセスにおける薬液の正確な供給が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、アルカリ性の薬液は腐食性が高く、使用するポンプには高い耐薬品性が求められます。また、微量な薬液を正確に注入できる能力も不可欠です。当社のアルカリ液対応 TSPポンプ BSモデルは、耐腐食性に優れた材質を使用し、正確な薬液供給を実現することで、半導体製造における課題解決に貢献します。【活用シーン】・半導体製造工程における薬液供給・薬液の微量定量注入が必要な場面・アルカリ性薬品を取り扱う場面【導入の効果】・薬液供給の精度向上・製品品質の安定化・ランニングコストの削減

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【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ

株式会社タクミナ

半導体業界では、高品質な製品を製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工技術においては、薬液の純度と供給精度が製品の性能を左右します。不適切な薬液供給は、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社製品は、高精度な薬液供給を実現し、半導体製造における課題を解決します。【活用シーン】・薬液注入・長距離配管・高揚程移送【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【ディスプレイ向け】CNTスラリー研究卓上インライン分散機

IKAジャパン株式会社

ディスプレイ業界では、高画質化を実現するために、CNT（カーボンナノチューブ）などのナノ材料の均一な分散が求められます。特に、ディスプレイの表示性能を左右するCNT分散においては、凝集のない均一な分散が不可欠です。不適切な分散は、表示ムラや輝度低下を引き起こす可能性があります。当社のCNTスラリー研究卓上インライン分散機は、CNTのスラリー化や分散プロセスを研究開発し、ディスプレイの高画質化に貢献します。【活用シーン】・高画質ディスプレイの開発・CNT分散技術の研究・インクジェット印刷技術の研究【導入の効果】・CNT分散の均一性向上・ディスプレイの表示性能向上・研究開発の効率化

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【半導体向け】ボールバルブ NA1T シリーズ

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を左右する高純度ガスや液体の厳密な流量制御が求められます。特に、微細な粒子や不純物の混入は、製造プロセスに深刻な影響を与え、歩留まりの低下や製品不良を引き起こす可能性があります。ボールバルブは、配管内の水・空気・ガス等の流れを止めたり流したりするという重要な役割を担っており、高純度環境下での信頼性の高い制御が不可欠です。ボールバルブ NA1T シリーズは、ローコストでありながら、高純度環境に対応する材質を採用し、半導体製造プロセスにおける品質維持に貢献します。【活用シーン】・高純度ガス供給ライン・薬液供給ライン・クリーンルーム内配管【導入の効果】・異物混入リスクの低減・プロセスの安定化・コスト削減

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【電池業界向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】シールドユニット

シルバーソンニッポン株式会社

電池業界では、スラリーの均一な混合が製品の性能を左右します。特に、安全性と品質が重要視されるため、無菌環境下での作業が求められます。不適切な混合は、電池の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。当社の試験室用ミキサーシールドユニットは、無菌環境下でのスラリー混合を可能にし、安全性を確保します。【活用シーン】・電池材料のスラリー混合・研究開発における少量混合・品質管理におけるサンプル調製【導入の効果】・無菌環境下での安全な作業・均一な混合による品質向上・材料の無駄を削減

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【電子機器向け】塗るだけ！防汚フッ素コーティング剤

株式会社フロロテクノロジー

電子機器業界では、ディスプレイや操作パネルの指紋や汚れの付着が、製品の美観を損ね、操作性を低下させる課題があります。特に、タッチパネルやレンズなど、頻繁に触れる部分においては、防汚対策が重要です。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、優れた防汚性能を提供します。【活用シーン】 * ディスプレイ * タッチパネル * レンズ * 操作パネル【導入の効果】 * 指紋や汚れの付着を低減 * 拭き取りやすさの向上 * 製品の美観と操作性の維持

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【電子部品向け】ジャイロフラットスクリーン

株式会社増野製作所

電子部品業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な部品や材料を扱う工程においては、異物の混入は製品の不良や性能低下に直結する深刻な問題です。ジャイロフラットスクリーンは、精密な篩分けにより、異物混入リスクを低減し、高品質な電子部品製造をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造における材料の異物除去・微細部品の選別・製造工程における品質管理【導入の効果】・異物混入による不良品の発生率を低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【精密機器向け】クリンベストZEROによる品質向上

タイセイクリンケミカル株式会社

精密機器業界では、製品の信頼性を確保するために、部品の徹底的な洗浄が不可欠です。微細な異物の混入は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。クリンベストZEROは、フッ素系洗浄剤に対応し、微細部品まで均一に洗浄することで、高品質な製品製造をサポートします。乾燥時間の短縮も実現し、生産効率の向上にも貢献します。【活用シーン】 * 精密機器製造における部品洗浄 * 高精度な製造ラインでの異物除去 * 品質管理部門での検査工程【導入の効果】 * 洗浄性の向上による品質向上 * 乾燥時間短縮による生産効率アップ * 環境負荷低減による企業イメージ向上

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【電子材料向け】卓上型分散機 magic PLANT

IKAジャパン株式会社

電子材料業界における薄膜化プロセスでは、材料の均一な分散と精密な混合が、薄膜の品質を左右する重要な要素となります。特に、薄膜の性能を最大限に引き出すためには、材料の凝集を防ぎ、微細な粒子を均一に分散させることが不可欠です。magic PLANTは、真空、加圧、温調といった機能を備え、材料の状態を最適に保ちながら、均一な分散を実現します。これにより、薄膜の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子材料の研究開発・薄膜材料の試作・材料の分散・混合プロセス【導入の効果】・薄膜の均一性向上・材料の無駄を削減・研究開発期間の短縮

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【家電向け】F6 クワイエットスリーブ

株式会社ハギテック

家電業界では、製品の静音性が顧客満足度を左右する重要な要素となっています。特に、モーターやファンなど、動作音が発生しやすい部分においては、異音の抑制が求められます。異音は、製品の品質に対する不信感や、使用時の不快感につながる可能性があります。『F6 クワイエットスリーブ』は、配線保護と異音抑制を両立し、家電製品の静音化に貢献します。【活用シーン】 * 冷蔵庫、洗濯機、エアコンなどの家電製品 * モーターやファン周りの配線 * 異音が発生しやすい箇所【導入の効果】 * 動作音の低減 * 製品の品質向上 * 顧客満足度の向上

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【電子機器向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

電子機器業界では、製品の信頼性を高めるために、材料の純度と成形精度の維持が重要です。特に、絶縁性を確保する必要がある電子部品においては、異物混入は性能劣化や故障の原因となります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造と容易な洗浄性により、異物混入リスクを低減し、安定した粉体供給を実現します。【活用シーン】・絶縁材料の供給【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品品質の向上・清掃性の向上

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【家電向け】防湿コーティング処理による電子基板の腐食防止

大和エレテック．株式会社

家電業界では、製品の長期的な信頼性と耐久性が求められます。特に、湿度の高い環境で使用される家電製品においては、電子基板の腐食が製品寿命を縮める大きな要因となります。当社の防湿コーティング処理は、電子基板を湿気から保護し、腐食による故障を防ぎます。これにより、製品の長寿命化に貢献します。【活用シーン】・湿度が高い環境で使用される家電製品・屋外で使用される家電製品・長期間の使用が想定される家電製品【導入の効果】・製品の信頼性向上・製品寿命の延長・顧客満足度の向上

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【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム

中西商事株式会社

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、高純度ガスの安全な輸送が不可欠です。特に、微細な異物の混入やガスの漏洩は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。当社の二重管システムは、内管と外管の二重構造により、万が一のガス漏れのリスクを低減し、高純度ガスの品質を維持します。また、特殊脂性サポートやフッ素樹脂の使用により、高い安全性と信頼性を実現します。ぜひ、ご検討ください。【活用シーン】・半導体製造工場・クリーンルーム内ガス供給ライン・高純度ガス供給が必要な研究施設【導入の効果】・高純度ガスの品質維持・ガス漏れリスクの低減・安全性の向上

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【電子部品向け】ステンレスメッシュフィルター

株式会社バンテック

電子部品業界では、製品の信頼性と性能維持のために冷却効率の向上が求められます。特に、高密度実装が進む中で発熱による部品の劣化を防ぐことは重要な課題です。不適切な冷却は、部品の故障や性能劣化につながる可能性があります。当社のステンレスメッシュフィルターは、異物濾過と同時に冷却効率を高めることで、電子部品の長寿命化に貢献します。【活用シーン】・電子機器の冷却システム・半導体製造装置・電源ユニット【導入の効果】・異物の混入を防ぎ、冷却システムの性能を維持・冷却効率の向上による部品の長寿命化・オーダーメイド対応による最適なフィルタリング

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【電子部品向け】低メタル・低パーティクル化ソリューション

福井キヤノンマテリアル株式会社

電子部品業界では、製品の高機能化に伴い、半導体材料の品質が重要になっています。特に、金属不純物やパーティクルの混入は、製品の性能劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。当社製品は、半導体材料製造における吸着剤およびフィルター技術により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける金属不純物除去・半導体材料のパーティクル低減【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・信頼性の高い製品の提供

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【半導体向け】オールステンレスエアリークテスター FLS

株式会社フクダ

半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質を大きく左右します。特に、リークテストにおいては、テスターからの金属粉や腐食生成物の発生が、清浄度を損なう要因となります。オールステンレス仕様の当製品は、これらの問題を解決し、高い清浄度を求められる半導体製造環境に最適です。【活用シーン】・クリーンルーム内でのリークテスト・半導体製造装置の気密検査・高精度なリーク検査が必要な工程【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【半導体製造向け】耐薬品用結束保護チューブＯＰＥ

日本ジッパーチュービング株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスにおける薬液の取り扱いが、製品の品質と安全性を左右する重要な要素です。特に、薬液による部材の腐食や劣化は、製品の性能低下や製造ラインの停止につながる可能性があります。耐薬品性に優れた保護チューブは、これらの課題を解決するために不可欠です。当社の耐薬品用結束保護チューブＯＰＥは、薬液から部材を保護し、製造プロセスの安定化に貢献します。【活用シーン】・半導体製造ラインでの薬液配管保護・クリーンルーム内でのケーブル保護・薬液飛散のリスクがある場所でのケーブル結束【導入の効果】・薬液による部材の腐食や劣化を防止・製品の品質維持と歩留まり向上・製造ラインの安定稼働に貢献

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【半導体向け】シリコーンゴムシートによる絶縁ソリューション

株式会社渡辺商行

半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、高い絶縁性が求められます。特に、微細化が進む中で、異物の混入は絶縁不良を引き起こし、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。当社のシリコーンゴムシートは、清掃の行き届いた工場で製造されており、異物混入のリスクを最小限に抑えます。これにより、半導体デバイスの絶縁性を確保し、製品の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける絶縁用途・電子部品の保護・クリーンルーム環境での使用【導入の効果】・異物混入による不良率の低減・製品の信頼性向上・安定した品質の確保

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【半導体成膜向け】真空チャンバー

東洋ステンレス化工株式会社

半導体業界の成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成のために、真空環境の維持が不可欠です。真空チャンバーのリークや不純物の混入は、成膜の品質を著しく低下させる可能性があります。当社真空チャンバーは、高い気密性と清浄度を追求し、安定した成膜プロセスをサポートします。【活用シーン】・PVD、CVD、ALDなどの成膜プロセス・スパッタリング、蒸着などの真空プロセス【導入の効果】・高品質な薄膜形成の実現・歩留まり向上・プロセスの安定化

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【半導体向け】真空用・クリーンルーム用膨張シールセフィリア

テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

半導体製造業界では、真空環境下での精密なプロセスが製品の品質を左右します。特に、真空封止は、コンタミネーションを防ぎ、高精度な製造を支える上で不可欠です。シール性能のわずかな劣化が、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。当社の膨張シールは、真空0.133Paから高圧まで、-50℃から+250℃の温度範囲に対応し、半導体製造における厳しい環境下での真空封止を強力にサポートします。【活用シーン】 * クリーンルームドアシール * 半導体製造装置のパネルシール * 真空搬送システム【導入の効果】 * 高いシール性による真空度の維持 * コンタミネーションのリスク低減 * 装置の安定稼働と製品品質の向上

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【電子部品向け】静電容量式ポータブル露点計TK-100NK-2型

株式会社テクネ計測

電子部品業界では、製品の絶縁性を確保するために、気体中の水分管理が重要です。水分は絶縁不良を引き起こし、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。特に、高精度が求められる電子部品の製造プロセスにおいては、微量の水分も厳密に管理する必要があります。静電容量式ポータブル露点計 TK-100 NK-2型は、-50℃以下の露点測定に対応し、電子部品の品質管理に貢献します。【活用シーン】・電子部品製造における乾燥空気や不活性ガスの水分管理・絶縁材料の保管環境における水分モニタリング・製品の品質検査における露点測定【導入の効果】・絶縁不良のリスクを低減・製品の信頼性向上・品質管理の効率化・製造コストの削減

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【電子部品向け】露点表示モニター TK-100 MS

株式会社テクネ計測

電子部品業界では、静電気による製品への影響を最小限に抑えることが重要です。静電気は、製造プロセスにおける部品の損傷や性能低下を引き起こす可能性があります。湿度管理は静電気の発生を抑制する上で不可欠であり、適切な露点管理が求められます。TK-100 MSは、露点トランスミッタの測定値を正確に表示し、静電気対策における湿度管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造工場・クリーンルーム・静電気対策が必要な保管場所【導入の効果】・静電気による製品不良の低減・品質管理の向上・製造プロセスの安定化

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【化合物半導体向け】超高純度昇華精製装置

ティー・ケイ・エス株式会社

化合物半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、化合物半導体の品質向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の精製・有機EL材料の精製・高機能材料の開発【導入の効果】・材料純度の向上による製品歩留まりの改善・高品質材料の安定供給による製品性能の向上・材料コストの削減

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【スマートフォン向け】JSコート

千代田交易株式会社

スマートフォン業界では、画面の傷つきやすさが課題となっています。日常的な使用による擦り傷は、製品の外観を損なうだけでなく、画面の見やすさも低下させます。JSコートは、このような課題に対し、耐傷性、防汚性、撥水性を付与することで、スマートフォンの画面を保護します。JSコートを適用することで、画面の美しさを長く保ち、製品の価値を高めることが期待できます。【活用シーン】・スマートフォンの画面・タッチパネル・保護ガラス【導入の効果】・画面の傷つきを抑制・指紋や汚れの付着を軽減・画面の視認性向上

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【電池向け】粉体定量空気輸送装置「ハイフローBT型」

赤武エンジニアリング株式会社

電池業界における充填工程では、粉体の正確な供給と有害ガスの抑制が求められます。特に、安全性と品質が重要視されるため、粉体の漏れやガスの発生は大きな課題となります。当社の粉体定量空気輸送装置「ハイフローBT型」は、これらの課題に対応し、安全で効率的な充填プロセスを実現します。【活用シーン】・電池材料の充填・有害ガスが発生する粉体の輸送・粉体漏れのリスクを低減したい場合【導入の効果】・粉体漏れを抑制し、安全性を向上・有害ガスの拡散を抑制・複数の充填箇所への粉体供給が可能

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【電子材料向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

電子材料業界では、製品の品質を左右する異物混入のリスクを最小限に抑えることが重要です。特に、高純度な材料を扱う場合、微細な異物の混入が製品の性能劣化や歩留まりの低下につながる可能性があります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造と容易な洗浄性により、異物混入リスクを低減し、高純度な材料供給を可能にします。【活用シーン】・半導体製造・ディスプレイ材料製造・高機能フィルム製造【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品品質の向上・歩留まりの向上・清掃性の向上・効率的な品種切替

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【電池業界向け】バキュームコンベア

Volkmann Japan(フォルクマンジャパン)株式会社

電池業界における電極材の供給では、粉体の飛散防止、閉塞の回避、そして正確な搬送が求められます。特に、高性能な電池製造においては、電極材の品質維持が重要となります。バキュームコンベアは、完全密閉構造により粉体の飛散リスクを低減し、詰まりにくい設計で安定した供給を実現します。省スペース設計と柔軟なレイアウトにより、既存の設備への組み込みも容易です。【活用シーン】・電池製造ラインでの電極材投入・研究開発施設での材料供給・製造工程への粉体供給【導入の効果】・粉体飛散による作業環境の改善・原料ロスと清掃コストの削減・生産効率の向上

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【ディスプレイ向け】真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』

千代田交易株式会社

ディスプレイ業界の真空蒸着工程では、高品質な製品を安定的に生産するために、真空ポンプの信頼性が重要です。真空ポンプの不具合は、蒸着膜の品質低下や生産効率の悪化につながり、大きな損失を招く可能性があります。真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』は、真空ポンプの長寿命化と装置停止期間の短縮を支援します。【活用シーン】・真空蒸着装置の真空ポンプメンテナンス・ディスプレイ製造における生産ラインの安定化・真空ポンプの緊急修理対応【導入の効果】・真空ポンプの信頼性向上による製品品質の安定化・装置停止時間の短縮による生産効率の向上・トータルコストの削減

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【電子材料向け】メカニカルシール撹拌機 KZF-Mシリーズ

ユニコントロールズ株式会社

電子材料業界では、材料の品質を維持するために、コンタミネーションを最小限に抑え、均一な混合が求められます。特に、精密な電子部品製造においては、材料のわずかな異物混入や混合ムラが、製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。メカニカルシール撹拌機 KZF-Mシリーズは、シャフトとシールの摺動面をなくすことでコンタミ発生を抑制し、高品質な材料混合を可能にします。【活用シーン】・高純度材料の撹拌・加圧環境下での撹拌【導入の効果】・コンタミのリスクを低減・材料の品質向上・製品の歩留まり向上

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【電池電極向け】あわとり練太郎ARE-312

株式会社シンキー

電池業界では、電極材料の均一な混合と脱泡が、電池の性能を左右する重要な要素です。電極材料に気泡が残ると、電池の容量低下や内部抵抗の増加を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。 ARE-312は、撹拌力と脱泡力を向上させ、電極材料の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電池電極材料の混合・スラリーの脱泡処理・研究開発における材料調整【導入の効果】・電極材料の品質向上・電池性能の安定化・研究開発の効率化

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【研究開発向け】低メタル、低パーティクル化ソリューション

福井キヤノンマテリアル株式会社

研究開発分野では、実験の再現性が極めて重要であり、不純物の混入は実験結果に大きな影響を与えます。半導体製造プロセスにおいては、金属やパーティクルの混入がデバイスの性能劣化や歩留まり低下につながるため、高度な清浄度が求められます。当社の低メタル、低パーティクル化ソリューションは、これらの課題に対応し、研究開発における信頼性の向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の研究開発・半導体製造プロセスの評価・金属汚染、パーティクル汚染が問題となる研究【導入の効果】・実験データの信頼性向上・研究開発の効率化・高品質な半導体製造への貢献

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【電子機器向け】レヒラー社製エアーノズル

ティックコーポレーション株式会社

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における異物混入の防止が重要です。特に、精密な電子部品においては、微細な塵や埃が製品の性能に悪影響を及ぼす可能性があります。オープンパイプによるエアーブローでは、騒音や空気消費量の問題も発生します。レヒラー社製エアーノズルは、これらの課題を解決します。【活用シーン】・電子基板の清浄・電子部品の表面清浄・製造ラインでの異物除去【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・作業環境の改善

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【精密機器向け】AS-300実機洗浄テストのご案内

タイセイクリンケミカル株式会社

精密機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、油分の完全な除去が不可欠です。油分は、製品の性能低下や故障の原因となり、歩留まりの悪化にもつながります。特に、精密な部品や電子機器においては、微細な油分が製品の動作不良を引き起こす可能性があります。タイセイクリンケミカル株式会社のAS-300実機洗浄テストは、AGC株式会社のフッ素系溶剤「AMOLEA AS-300」を使用し、お客様の精密機器に最適な洗浄条件を見つけるためのテストを提供します。経験豊富なスタッフが、洗浄条件や洗浄液の回収再利用についてもご提案いたします。【活用シーン】・精密機器部品の油分除去・電子部品の洗浄・金属部品の脱脂【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製品の信頼性向上

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【軍事向け】ターミネーターシリーズ自己消去型SATA SSD

アスコット株式会社

軍事分野においては、機密情報の漏洩は国家安全保障に関わる重大な問題です。データの完全消去は、情報漏洩リスクを最小限に抑えるために不可欠です。APRO社製ターミネーターシリーズ自己消去型SATA SSDは、ジャンパーピンをショートさせることなくデータを完全消去できます。一度消去されたデータは、いかなる方法を用いても復旧できません。【活用シーン】・軍事機密データの保管・情報漏洩対策・機密性の高い環境でのデータ管理【導入の効果】・機密データの安全な消去・情報漏洩リスクの低減・高い信頼性と耐久性

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【半導体製造向け】迅速流体継ぎ手

東洋国際株式会社

半導体製造業界では、微細な粒子や異物の混入が製品の品質を大きく左右します。クリーンルーム環境下での配管接続においては、流体の漏れや異物の発生を極限まで抑えることが求められます。メンテナンスや装置の段取り替え時に、配管の着脱を頻繁に行う必要があるため、作業効率も重要です。当社の迅速流体継ぎ手は、これらの課題を解決します。【活用シーン】・クリーンルーム内での配管接続・半導体製造装置の配管・薬液供給ライン・純水供給ライン・ガス供給ライン【導入の効果】・異物混入リスクの低減・作業時間の短縮・メンテナンス性の向上・製品品質の安定化・歩留まりの向上

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【電子業界向け】バブルスクラバー

株式会社テクネ計測

電子業界の洗浄工程では、高い清浄度が求められます。洗浄液やプロセスガスに含まれる酸性ガスや微粒子は、洗浄システムの性能を低下させ、製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。Neutronics社のバブルスクラバーは、これらの汚染物質を効果的に除去し、洗浄システムの信頼性を高めます。【活用シーン】・半導体製造工程・電子部品の洗浄工程・基板製造工程【導入の効果】・洗浄液やガスの清浄度向上・システムのダウンタイム削減・製品の品質向上

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【電子材料向け】試験室用ミキサー【L5シリーズ】インラインモデル

シルバーソンニッポン株式会社

電子材料業界のコーティング工程では、均一な混合が製品の品質を左右します。特に、微粒子を含む材料や粘度の高い材料を扱う場合、混合の均一性が課題となります。不均一な混合は、コーティングの性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。インライン型ミキサー L5シリーズは、ラボスケールでのインライン混合を可能にし、コーティング材料の均一な混合を実現します。研究開発から生産工程へのスケールアップをスムーズにサポートします。【活用シーン】・電子材料のコーティング・塗料、インク、接着剤などの混合・研究開発におけるインライン混合のシミュレーション【導入の効果】・均一な混合によるコーティング品質の向上・スケールアップ時の工程分析の効率化・材料の無駄を削減

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半導体向け｜ドライアイスブラスト洗浄

株式会社東洋ユニオン

半導体業界では、製造工程における微細な異物の除去が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な課題です。特に、精密な電子部品や基板の洗浄においては、残留物のないクリーンな洗浄が求められます。従来の洗浄方法では、洗浄剤の残留や部品の損傷といった問題が発生する可能性があります。当社のドライアイスブラスト洗浄は、瞬時に気化するドライアイスを使用することで、2次汚染を発生させることなく、精密部品を傷つけずに洗浄できます。【活用シーン】・半導体製造装置の部品洗浄・電子基板の異物除去・精密金型の洗浄【導入の効果】・洗浄後の回収作業が不要になり、作業効率が向上・被洗浄物の分解・組立工程を削減・有害物質の排出を抑制し、環境負荷を低減

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【電子材料向け】ニューウルトラセパレータ

株式会社増野製作所

電子材料業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、不純物の除去と粒度分布の精密な制御が求められます。特に、電子部品の製造においては、材料中の微粉や異物が製品の性能を低下させる可能性があります。ニューウルトラセパレータは、5〜10μmから45μm99％通過程度の微粉生産が可能で、分級効率が高いため、製品の回収率向上に貢献します。【活用シーン】・電子材料の精密分級・異物除去による品質向上・超微粉の製造【導入の効果】・製品の歩留まり向上・品質の安定化・生産性の向上

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【半導体向け】セラミック溶射、各種表面処理

日本セラテック株式会社

半導体製造業界では、ウェーハや基板の搬送において、微細な傷や異物の付着を防ぎ、高い精度を維持することが求められます。特に、パスラインローラーの摩耗や異物混入は、製品の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社セラミック溶射パスラインローラーは、高耐久性と平滑性を両立し、半導体製造における搬送工程の課題解決に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・基板搬送・クリーンルーム内での搬送【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・メンテナンスコストの削減

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【半導体向け】グローバルフィルターカートリッジフィルター

日本フィルトレーショングループ株式会社

半導体業界では、製造プロセスの品質を維持するために、高度な清浄化が不可欠です。特に、微細な粒子や不純物の混入は、製品の歩留まりを低下させる大きな要因となります。グローバルフィルターのカートリッジフィルターは、これらの課題に対し、高いろ過性能と幅広い製品ラインナップで対応します。トータルコストの削減にも貢献します。【活用シーン】・純水、薬液、現像液などのろ過・製造工程における異物除去・クリーンルーム内の空気清浄化【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【半導体製造向け】高難燃・低発煙樹脂コンパウンド

三菱ガス化学ネクスト（旧日本ユピカ・日本ファインケム）株式会社

半導体製造業界のクリーン環境では、火災リスクを最小限に抑えることが重要です。万が一の火災発生時、燃焼による煙の発生は、製造プロセスへの影響や、作業員の安全を脅かす可能性があります。高難燃性と低発煙性を両立した当社の「CP-01」「CP-02」は、これらの課題に対応します。【活用シーン】・クリーンルーム内設備・半導体製造装置・その他、発煙が問題となる箇所【導入の効果】・火災時の煙の発生量を抑制し、避難時間を確保・製造プロセスへの影響を最小化・作業員の安全性を向上

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【半導体製造向け】Micra Gold フィルター

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微細な異物の混入を防ぐことが重要です。特に、クリーンルーム環境下での製造プロセスにおいては、圧縮空気やガス中の微粒子が製品の歩留まりを低下させる可能性があります。Micra Gold フィルターは、これらの課題に対し、最小0.01μmの粒子を除去することで、高品質な半導体製造をサポートします。【活用シーン】 * クリーンルーム内の圧縮空気ライン * 真空ポンプ排気ライン * ガス分析装置の前段【導入の効果】 * 製品の歩留まり向上 * 品質の安定化 * 装置の長寿命化

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【半導体製造向け】ガルバニ式低価格酸素濃度計

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム内の環境管理が重要です。特に、酸素濃度は、製品の酸化や劣化に影響を与えるため、厳密な管理が求められます。不適切な酸素濃度管理は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。Model 201LC/2001LCは、ppmレベルおよびパーセントレベルでの酸素濃度測定が可能であり、クリーンルームの酸素濃度管理に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の酸素濃度監視・製造プロセスにおける酸素濃度のモニタリング・ガス供給ラインの酸素濃度測定【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【半導体薄膜向け】ニッケル(Ni)ターゲット

株式会社スパッタコア

半導体業界において、薄膜はデバイスの性能を左右する重要な要素です。薄膜の品質は、ターゲット材の純度、緻密性、均一性に大きく影響を受けます。不純物の混入や密度ムラは、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のニッケル(Ni)ターゲットは、高純度かつ緻密性に優れており、高品質な薄膜形成を可能にします。【活用シーン】・半導体製造における薄膜形成・スパッタリングによる金属膜形成・NiCr、NiTi、NiCu、NiCuTi合金薄膜形成【導入の効果】・高品質な薄膜の実現・デバイス性能の向上・歩留まりの改善

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【半導体向け】コンプレッサー用メッシュフィルター

株式会社バンテック

半導体業界では、製造プロセスのクリーン度が製品の品質を大きく左右します。コンプレッサーから供給される空気中の微粒子や不純物は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。当社のコンプレッサー用メッシュフィルターは、これらの課題に対応し、高いクリーン度を維持するために設計されています。金網を溶接することで、濾過面積を最大化し、効率的な異物除去を実現します。【活用シーン】・半導体製造工場のクリーンルーム・フォトレジスト塗布工程・真空成膜工程【導入の効果】・コンタミによる不良率の低減・製品品質の向上・製造プロセスの安定化

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【半導体製造装置向け】鋳物～アルマイト一括管理

富商

アルマイトは、耐食性や耐摩耗性を向上させるだけでなく、クリーン性を高める上でも重要です。適切なアルマイト処理は、装置内部の異物発生を抑制し、製品の品質維持に貢献します。弊社は群馬県伊勢崎市に、100％子会社の富商アルマイトを保有し、一般アルマイト、硬質アルマイトを行います。弊社は過去、鋳物メーカーさん保有の自社の設備に合わせた大きさの木型製造に誘導され、割高な木型費用を請求されました。また木型製造後に公差対応不可と通告、そのため設計変更を余儀なくされ、御客様に御迷惑をおかけした経験から、鋳物製造には、製品に合わせた「最適な木型の大きさ」と「最適な設備を保有する鋳物メーカー」を、弊社と協力関係の木型メーカーさんと相談して製造します。また富商アルマイトは、3000×1500×800の槽を2槽保有し、大型製品のアルマイトにも対応致します。【活用シーン】・半導体製造装置の筐体・真空チャンバー部品・クリーンルーム内使用部品【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品の信頼性向上・長期的な安定稼働の実現

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電気電子向け｜ドライアイスブラスト洗浄

株式会社東洋ユニオン

電気電子業界の基板洗浄において、異物や付着物の除去は、製品の品質と信頼性を確保する上で非常に重要です。特に、微細な電子部品が密集する基板では、従来の洗浄方法による残留物や基板へのダメージが問題となることがあります。ドライアイスブラスト洗浄は、ブラスト材が残留せず、基板を傷つけにくいという特長から、精密な基板洗浄に最適です。【活用シーン】・基板実装後のフラックスや異物の除去・電子部品製造工程における汚れの除去・精密機器のメンテナンス【導入の効果】・洗浄後の2次汚染リスクを低減・基板や電子部品へのダメージを最小限に抑制・作業効率の向上とコスト削減に貢献

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

製造装置内部やクリーンルーム環境から発生する微細なパーティクルは、目視では確認が難しく、その発生源を特定し除去することが極めて困難です。

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

薄膜形成に使用される高純度ガスや原料に微量の不純物が混入すると、それが異物として堆積し、欠陥の原因となります。純度を維持する管理が重要です。

装置・治具からのアウトガスの影響

製造装置の構成部品や治具から放出されるガス成分（アウトガス）が、真空中で反応したり、パーティクルを生成したりする可能性があります。

オペレーション時の人的要因による汚染

装置のメンテナンスやウェハ搬送時など、人の作業が介在する場面で、衣服や皮膚、持ち物などから異物が持ち込まれるリスクが存在します。

対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

リアルタイムで微細パーティクルを検出し、自動的に除去するシステムを導入することで、発生源の早期発見と対策が可能になります。

超高純度ガス・原料供給システムの構築

厳格な品質管理のもと、不純物を極限まで排除したガス・原料を供給するシステムを構築し、プロセスへの異物混入を根本から防ぎます。

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

装置部品や治具に低アウトガス特性を持つ材料を採用し、真空度を常に最適に保つことで、アウトガスによる汚染を最小限に抑えます。

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

クリーンルーム内の清浄度を維持し、作業員の教育・訓練を徹底することで、人的要因による異物混入のリスクを低減します。

対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

プロセスガスやクリーンルーム内の空気を高精度にろ過し、微細なパーティクルを除去することで、異物混入のリスクを大幅に低減します。

超高純度ガス供給システム

原料となるガスを極限まで精製し、不純物を徹底的に排除した状態でプロセスに供給することで、原料由来の異物混入を防ぎます。

低アウトガス性真空チャンバー

真空チャンバーの内壁や部品にアウトガス発生の少ない素材を使用し、真空環境の清浄度を維持することで、装置内部からの汚染を防ぎます。

自動搬送・検査ロボット

ウェハの搬送や装置へのセットアップを自動化し、人の介入を最小限にすることで、作業時の人的汚染リスクを排除します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

薄膜形成における異物混入の防止とは？

各社の製品

薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

​課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

装置・治具からのアウトガスの影響

オペレーション時の人的要因による汚染

​対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

超高純度ガス・原料供給システムの構築

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

​対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

超高純度ガス供給システム

低アウトガス性真空チャンバー

自動搬送・検査ロボット

課題

対策

対策に役立つ製品例