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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

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薄膜形成における異物混入の防止とは？

半導体製造における薄膜形成プロセスでは、微細な異物混入がデバイスの性能や歩留まりに深刻な影響を与えます。この異物混入を徹底的に防止することは、高品質な半導体チップを安定供給するための最重要課題です。

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【半導体向け】MAGPICKERによる微粒子除去

株式会社サノテック

半導体製造工程では、微粒子の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、ケミカル材料を使用する工程では、配管内の微粒子が堆積し、配管詰まりを引き起こすことで、生産効率の低下や修繕費用の増加につながる可能性があります。MAGPICKERは、配管の上流で使用することで、カス・端材に含まれる磁性体と共に非磁性体も同時に約30パーセント回収することが確認されており、配管詰まりや沈殿層清掃頻度の軽減に貢献します。【活用シーン】・ケミカル材料製造工程・配管詰まりによる生産停止のリスクを低減したい場合・配管清掃や交換にかかる費用を削減したい場合【導入の効果】・配管清掃費用、修繕費の軽減・生産効率の向上・製品品質の安定化

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【電子機器向け】MAGPICKERによる精密洗浄の配管詰まり対策

株式会社サノテック

電子機器業界の精密洗浄工程では、異物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、洗浄液中の微細な異物は、配管詰まりを引き起こし、洗浄効率の低下や製品不良の原因となります。MAGPICKERは、配管の上流でカスや端材に含まれる磁性体と非磁性体を同時に回収することで、配管詰まりのリスクを軽減し、安定した洗浄工程をサポートします。【活用シーン】・電子機器製造における精密洗浄工程・ケミカル材料製造工程・配管詰まりによる生産停止リスクの低減【導入の効果】・配管清掃費用、修繕費の軽減・洗浄工程の安定化・製品品質の向上

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【電子機器製造向け】N87Exシリーズ防爆型ガスポンプ

株式会社ケーエヌエフ・ジャパン

電子機器製造業界では、有機溶剤回収の際に可燃性ガスが発生する環境下での安全な作業が求められます。特に、ガス漏れや引火のリスクを最小限に抑えることが重要です。N87Exシリーズ防爆型ガスポンプは、可燃性ガスや雰囲気下での回収作業において、安全性を確保するために設計されています。IECEx /ATEX認証を取得しており、信頼性の高いポンプソリューションを提供します。【活用シーン】・可燃性ガスを含む廃棄物の回収・ガス漏れ検知システムの構築・爆発性雰囲気下でのガスサンプリング【導入の効果】・可燃性ガス環境下での安全な作業の実現・ガス漏れによる事故のリスク低減・作業効率の向上

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【軍事向け】ターミネーターシリーズ自己消去型SATA SSD

アスコット株式会社

軍事分野においては、機密情報の漏洩は国家安全保障に関わる重大な問題です。データの完全消去は、情報漏洩リスクを最小限に抑えるために不可欠です。APRO社製ターミネーターシリーズ自己消去型SATA SSDは、ジャンパーピンをショートさせることなくデータを完全消去できます。一度消去されたデータは、いかなる方法を用いても復旧できません。【活用シーン】・軍事機密データの保管・情報漏洩対策・機密性の高い環境でのデータ管理【導入の効果】・機密データの安全な消去・情報漏洩リスクの低減・高い信頼性と耐久性

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【電子部品製造向け】スーパーアルカリイオン水生成装置

株式会社Eプラン

電子部品製造業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、精密な洗浄が不可欠です。特に、微細な部品や複雑な構造を持つ電子部品においては、異物や油分を完全に除去することが重要です。不適切な洗浄は、製品の性能低下や故障の原因となり、歩留まりの悪化につながる可能性があります。スーパーアルカリイオン水生成装置『UF-30-L-RO』は、pH12.5のアルカリイオン水を生成し、水だけで高い洗浄力を実現します。これにより、電子部品を傷つけることなく、効果的に汚れを除去し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の製造工程における精密洗浄・基板や半導体部品の洗浄・製造後の最終クリーニング【導入の効果】・高い洗浄力で、電子部品の品質向上・水のみを使用するため、環境負荷を低減・塩素ガスの発生がなく、安全な作業環境を実現・タッチパネル操作で、容易な運転操作が可能

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【ガラス表面処理向け】洗浄ユニット『ファインジェット』

株式会社プレテック　静岡製作所

ガラス表面処理業界では、高品質な表面処理を実現するために、基材の徹底的な洗浄が不可欠です。特に、異物や油分が残っていると、その後のコーティングや加工の品質を著しく損なう可能性があります。洗浄ムラや洗浄力の不足は、製品の不良や歩留まりの低下につながります。ファインジェットは、多彩な周波数を選択できるため、ガラス基板の特性や表面処理工程に最適な洗浄条件を設定できます。【活用シーン】・ガラス基板のCMP後洗浄・各種ガラス基板洗浄・表面処理前処理【導入の効果】・洗浄品質の向上・歩留まりの改善・表面処理工程の効率化

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【半導体向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微量粉体の正確な供給が求められます。特に、高精度なプロセスにおいては、異物混入は歩留まりを大きく低下させる要因となります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造により異物混入リスクを低減し、微量粉体の精密な供給を実現します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける微量粉体の供給・クリーンルーム環境下での粉体ハンドリング・高精度な計量が必要な工程【導入の効果】・異物混入リスクの低減による歩留まり向上・高精度な供給による製品品質の安定化・洗浄性の向上によるメンテナンス性の向上当社は、粉粒体の貯蔵・供給・計量・輸送及びその周辺機器の設計、製作・販売までの一切を行っています。粉の扱い実績は46年以上です。お客様に最高の粉体ハンドリング技術を提供します。

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【電池製造向け】PLBF：高精度供給ポンプ

株式会社タクミナ

電池製造業界、特に電極塗布工程においては、塗工液の品質が電池性能を大きく左右します。均一な膜厚形成、金属コンタミの排除、液質変化の抑制が求められます。不適切な供給は、電池の性能低下や品質問題を引き起こす可能性があります。タクミナのPLBFは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】 * 電極材の塗布 * 高粘度・高圧の塗工液供給 * 二次電池製造工程【導入の効果】 * 均一な膜厚形成による電池性能向上 * 金属コンタミによる品質低下を防止 * 液質変化を防ぎ、安定した塗工品質を維持

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【半導体洗浄向け】TRIシリーズカートリッジ純水器

株式会社トップウォーターシステムズ

半導体業界では、製品の品質を左右する洗浄工程において、不純物のない高純度イオン交換水が不可欠です。微細な異物の混入は、製品の歩留まりを低下させ、不良品の発生につながります。TRIシリーズは、RO純水設備の後段に設置することで、手軽に高純度イオン交換水を供給し、洗浄工程における品質向上に貢献します。【活用シーン】・半導体ウェーハの洗浄・各種部材の精密洗浄・製造装置のリンス【導入の効果】・洗浄品質の向上・歩留まりの改善・安定した製品供給

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【電子機器向け】塗るだけ！防汚フッ素コーティング剤

株式会社フロロテクノロジー

電子機器業界では、ディスプレイや操作パネルの指紋や汚れの付着が、製品の美観を損ね、操作性を低下させる課題があります。特に、タッチパネルやレンズなど、頻繁に触れる部分においては、防汚対策が重要です。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、優れた防汚性能を提供します。【活用シーン】 * ディスプレイ * タッチパネル * レンズ * 操作パネル【導入の効果】 * 指紋や汚れの付着を低減 * 拭き取りやすさの向上 * 製品の美観と操作性の維持

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【電池製造向け】リチウムイオン電池電極材スラリー混合・分散機

IKAジャパン株式会社

電池製造業界では、電極材スラリーの均一性が、電池の性能を左右する重要な要素となります。特に、リチウムイオン電池においては、電極材の均一な分散が、充放電効率や寿命に大きく影響します。ダマの発生や均一性の低さは、電池の性能低下や不良品の増加につながる可能性があります。当社の混合・分散機は、粉体と液体を1パスで連続的に混合・分散し、均一なスラリー製造を可能にします。【活用シーン】・リチウムイオン電池電極材スラリー製造・高粘度スラリー製造・短時間での大量スラリー製造【導入の効果】・均一なスラリーによる電池性能の向上・生産時間の短縮・材料ロス削減

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【半導体向け】高精度薬液供給ポンプ

株式会社タクミナ

半導体業界では、高品質な製品を製造するために、薬液の正確な供給が不可欠です。特に、微細加工技術においては、薬液の純度と供給精度が製品の性能を左右します。不適切な薬液供給は、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社製品は、高精度な薬液供給を実現し、半導体製造における課題を解決します。【活用シーン】・薬液注入・長距離配管・高揚程移送【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【電子部品向け】ステンレスメッシュフィルター

株式会社バンテック

電子部品業界では、製品の信頼性と性能維持のために冷却効率の向上が求められます。特に、高密度実装が進む中で発熱による部品の劣化を防ぐことは重要な課題です。不適切な冷却は、部品の故障や性能劣化につながる可能性があります。当社のステンレスメッシュフィルターは、異物濾過と同時に冷却効率を高めることで、電子部品の長寿命化に貢献します。【活用シーン】・電子機器の冷却システム・半導体製造装置・電源ユニット【導入の効果】・異物の混入を防ぎ、冷却システムの性能を維持・冷却効率の向上による部品の長寿命化・オーダーメイド対応による最適なフィルタリング

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【電子部品向け】T600 クリーンルーム内搬送ロボット

株式会社HCI

電子部品業界のクリーンルーム内では、製品の品質を維持するために、異物混入や汚染を徹底的に排除する必要があります。搬送作業においては、人の出入りを最小限に抑え、クリーン度を保つことが重要です。T600は、クリーンルーム内での搬送作業を自動化し、人の手を介さずに部品や材料を運搬することで、クリーン環境を維持し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品製造工場のクリーンルーム内での部品搬送・半導体製造工場でのウェーハ搬送・精密機器製造工場での部品搬送【導入の効果】・クリーンルーム内の環境維持・搬送作業の効率化・人件費削減・製品の品質向上

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【半導体向け】静電防止剤『DS-880』

大道産業株式会社

半導体業界では、微細なパターン形成において、ホコリやゴミの付着が歩留まりを大きく左右します。静電気は、これらの異物を引き寄せ、製品の品質を低下させる大きな要因となります。静電防止剤『DS-880』は、水洗工程で水洗水に添加することで、静電気の発生を抑制し、ホコリやゴミの付着を防ぎます。これにより、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・パターン形成工程・レジスト硬化工程【導入の効果】・ホコリ・ゴミ付着による不良品の削減・歩留まりの向上・製品品質の安定化

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【化合物半導体向け】超高純度昇華精製装置

ティー・ケイ・エス株式会社

化合物半導体業界では、製品の性能を左右する材料の純度向上が不可欠です。不純物の混入は、製品の性能劣化につながるため、高品質な材料の安定供給が求められます。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、化合物半導体の品質向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の精製・有機EL材料の精製・高機能材料の開発【導入の効果】・材料純度の向上による製品歩留まりの改善・高品質材料の安定供給による製品性能の向上・材料コストの削減

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【通信業界向け】改正RoHS指令対応天板付きワゴン

山金工業株式会社

通信業界では、製品の品質と安全性を確保するために、RoHS指令への準拠が不可欠です。特に、電子部品の製造や修理においては、有害物質の混入を防ぎ、迅速な作業が求められます。当社の改正RoHS指令対応天板付きワゴンは、RoHS指令に対応した天板を使用しており、作業効率を向上させることで、これらの課題を解決します。【活用シーン】・電子部品の組み立て、検査作業・修理、メンテナンス作業・研究開発【導入の効果】・RoHS指令対応によるコンプライアンス強化・作業スペースの有効活用・作業効率の向上詳しくは、資料をダウンロードしてご確認ください。

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【半導体製造向け】ブローバックプレフィルター

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製造プロセスの清浄度を維持することが、製品の品質と歩留まりを向上させるために不可欠です。微粒子や粉体は、デバイスの性能を低下させ、不良品発生の原因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガス中の粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動クリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおけるガス供給ライン・クリーンルーム内のサンプリングポイント・分析装置へのガス供給【導入の効果】・清浄度の高いガス供給による製品品質の向上・メンテナンスコストの削減・システムの安定稼働

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【半導体製造向け】360度透視可能な強化ガラス管

大阪硝子工業株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスにおける高い視認性と、装置の安全性確保が不可欠です。特に、高温・高圧環境下で使用される装置においては、ガラス管の強度と耐熱性が重要となります。従来のガラス管では、これらの要求を満たすことが難しい場合があり、製造効率の低下や安全性のリスクがありました。当社製品は、360度透視可能な筒状のガラスに強度を加える「ガラス管強化加工」を施すことで、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体製造装置の内部観察窓・高温・高圧環境下でのプロセス監視・防爆を要する装置のカバーガラス【導入の効果】・製造プロセスの可視化による品質向上・装置の安全性向上・高い耐久性による交換頻度の削減

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【半導体製造向け】長野ドライルーブ株式会社

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体製造業界では、クリーンな環境下での精密部品の品質維持が重要です。微細な埃や異物の付着は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。長野ドライルーブ株式会社の機能性塗装は、これらの課題に対し、製品の付加価値を高め、品質向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での精密部品・半導体製造装置部品・異物混入を防ぎたい部品【導入の効果】・製品の信頼性向上・歩留まりの改善・コスト削減

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【データセンター向け】異物混入防止フィルター

エイ・ジェイ・テックス株式会社

データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。【活用シーン】・データセンターの換気口・空調設備のフィルター【導入の効果】・メンテナンスコストの削減

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【半導体向け】高薬品耐性アイソレーター用グローブ

株式会社イトー

半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物混入や汚染を徹底的に防ぐ必要があります。特に、薬品や有機溶剤を使用する作業においては、グローブの耐薬品性と作業性が重要です。不適切なグローブの使用は、製品の品質低下や作業者の安全リスクを高める可能性があります。当社のアイソレーター用CSM・ブチルグローブは、高い薬品耐性と作業性を両立し、クリーン環境での作業効率と安全性を向上させます。【活用シーン】 * 半導体製造工程 * クリーンルーム内での作業 * 薬品を使用する作業【導入の効果】 * 製品の品質向上 * 作業者の安全確保 * 作業効率の向上

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【半導体向け】液漏れチェック用『表示基材』

日本製紙パピリア株式会社

半導体製造業界では、薬液の漏洩は製品の品質劣化や製造ラインの停止につながる重大な問題です。特に、高純度な薬液を使用する工程においては、微細な漏れも見逃すことが許されません。薬液の漏れを早期に発見し、被害を最小限に抑えることが求められます。表示基材は、薬液が付着すると発色するため、目視で漏れを簡単に確認できます。【活用シーン】・薬液供給ラインの接続部・薬液タンク周辺・薬液を使用する製造装置周辺【導入の効果】・薬液漏れを早期発見し、被害を最小限に抑制・目視による簡便なチェックで、作業効率を向上・特別な設備や専門知識は不要

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【半導体向け】SilcoTekコーティングで高純度環境を維持

千代田交易株式会社

半導体業界では、高純度な環境が製品の品質を左右します。薬液やガスによる金属部品の腐食は、コンタミネーションを引き起こし、歩留まりの低下や製品の性能劣化につながる可能性があります。SilcoTekコーティングは、1～2.4μm程度の膜厚で、金属表面を保護し、腐食を抑制します。これにより、部品の交換頻度を減らし、安定した製造プロセスを実現します。【活用シーン】・高純度ガス供給配管・薬液供給ライン・反応チャンバー内部品【導入の効果】・コンタミネーションのリスク低減・部品寿命の延長・材料コストの削減

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【半導体向け】高温対応ダイヤフラムバルブ

株式会社キッツエスシーティー

半導体製造における薬液供給では、高い純度と温度管理が求められます。特に、薬液の劣化や異物混入は、製品の品質に深刻な影響を与える可能性があります。また、高温環境下での使用は、バルブの耐久性や信頼性を大きく左右します。高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』は、これらの課題に対応し、安定した薬液供給を実現します。【活用シーン】・薬液供給ライン・材料容器への供給・高温環境下での使用【導入の効果】・シート交換によるメンテナンス性の向上・高温環境下での安定した性能・高い製品純度の維持

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【電子材料向け】ニューウルトラセパレータ

株式会社増野製作所

電子材料業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、不純物の除去と粒度分布の精密な制御が求められます。特に、電子部品の製造においては、材料中の微粉や異物が製品の性能を低下させる可能性があります。ニューウルトラセパレータは、5〜10μmから45μm99％通過程度の微粉生産が可能で、分級効率が高いため、製品の回収率向上に貢献します。【活用シーン】・電子材料の精密分級・異物除去による品質向上・超微粉の製造【導入の効果】・製品の歩留まり向上・品質の安定化・生産性の向上

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【半導体製造装置向け】鋳物～アルマイト一括管理

富商

アルマイトは、耐食性や耐摩耗性を向上させるだけでなく、クリーン性を高める上でも重要です。適切なアルマイト処理は、装置内部の異物発生を抑制し、製品の品質維持に貢献します。弊社は群馬県伊勢崎市に、100％子会社の富商アルマイトを保有し、一般アルマイト、硬質アルマイトを行います。弊社は過去、鋳物メーカーさん保有の自社の設備に合わせた大きさの木型製造に誘導され、割高な木型費用を請求されました。また木型製造後に公差対応不可と通告、そのため設計変更を余儀なくされ、御客様に御迷惑をおかけした経験から、鋳物製造には、製品に合わせた「最適な木型の大きさ」と「最適な設備を保有する鋳物メーカー」を、弊社と協力関係の木型メーカーさんと相談して製造します。また富商アルマイトは、3000×1500×800の槽を2槽保有し、大型製品のアルマイトにも対応致します。【活用シーン】・半導体製造装置の筐体・真空チャンバー部品・クリーンルーム内使用部品【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品の信頼性向上・長期的な安定稼働の実現

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【電子業界向け】バブルスクラバー

株式会社テクネ計測

電子業界の洗浄工程では、高い清浄度が求められます。洗浄液やプロセスガスに含まれる酸性ガスや微粒子は、洗浄システムの性能を低下させ、製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。Neutronics社のバブルスクラバーは、これらの汚染物質を効果的に除去し、洗浄システムの信頼性を高めます。【活用シーン】・半導体製造工程・電子部品の洗浄工程・基板製造工程【導入の効果】・洗浄液やガスの清浄度向上・システムのダウンタイム削減・製品の品質向上

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【半導体向け】U-TIGHTSEAL（U-タイトシール）

東洋興業株式会社

半導体製造業界では、高度な清浄度が求められ、微細なパーティクルの混入が製品の品質を大きく左右します。特に、真空環境や高圧環境下で使用されるガスケットは、高い気密性と耐久性が不可欠です。従来のガスケットでは、熱サイクルや圧力変動により気密性が損なわれることがあり、これが製品の歩留まり低下や装置の停止につながる可能性があります。 U-TIGHTSEALは、高い弾性復元力と幅広い材料選択肢により、これらの課題に対応し、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させます。【活用シーン】・クリーンルーム環境・真空チャンバー・高圧ガス配管・半導体製造装置【導入の効果】・高い気密性の維持・異物混入のリスク低減・装置の稼働率向上・製品の品質向上

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【電池向け】高純度塩化リチウム（LiCl）

興和株式会社

電池業界では、高性能化と安全性の両立が求められています。特に、電解質の品質は電池の性能を左右する重要な要素です。不純物の混入は、電池の寿命短縮や性能低下につながる可能性があります。当社の高純度塩化リチウム（LiCl）は、硫化物系固体電解質のイオン電導度向上を目的に開発され、電池の高性能化に貢献します。【活用シーン】・次世代電池の電解質添加材・硫化物系固体電解質のイオン電導度向上【導入の効果】・電池の性能向上・安定的な生産供給体制・不純物管理の徹底

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【半導体製造向け】高耐久ＰＥスパイラル型チューブ

株式会社ハギテック

半導体製造業界のクリーン環境では、配線やケーブルの保護が重要です。微細な塵や埃の混入は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。また、製造プロセスにおける可動部の配線保護は、高い耐久性と耐摩耗性が求められます。当社の高耐久ＰＥスパイラル型チューブは、これらの課題に対応します。【活用シーン】・クリーンルーム内の配線保護・半導体製造装置の可動部・搬送ラインのケーブル保護【導入の効果】・クリーン環境の維持・製品の品質向上・配線・ケーブルの長寿命化

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【半導体向け】露点計モニターボックス TKZH001Y

株式会社テクネ計測

半導体業界では、製造プロセスの品質を維持するために、空気中の水分量を厳密に管理することが重要です。微量の水分でも、製品の歩留まりや性能に悪影響を及ぼす可能性があります。露点計モニターボックス TKZH001Yは、露点計の表示器として、半導体製造環境における清浄度管理をサポートします。【活用シーン】・クリーンルーム内の露点監視・製造装置への露点計接続・乾燥空気供給ラインの水分管理【導入の効果】・露点計の設置と運用が容易になります。・清浄度管理に必要な情報を一元管理できます。・製品の品質安定に貢献します。

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【電池製造向け】かるがるマルチ

赤武エンジニアリング株式会社

電池製造業界では、電極材料の正確な計量が、製品の性能と品質を左右する重要な要素です。特に、少量多品種の電極材料を扱う場合、計量精度の高さと品種切り替えの容易さが求められます。計量誤差は、電池の容量不足や性能低下につながり、生産効率を低下させる可能性があります。バッチ式粉体計量装置「かるがるマルチ」は、高精度な計量と容易な品種切り替えを実現し、電池製造における品質向上と生産性向上に貢献します。【活用シーン】・電極材料の配合・少量多品種の材料計量・研究開発用途【導入の効果】・高精度な計量による品質向上・分解洗浄が容易な構造による品種切替時間の短縮・AC100V電源とエアーのみで作動するため、設置場所を選ばない

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【電子材料向け】卓上型分散機 magic PLANT

IKAジャパン株式会社

電子材料業界における薄膜化プロセスでは、材料の均一な分散と精密な混合が、薄膜の品質を左右する重要な要素となります。特に、薄膜の性能を最大限に引き出すためには、材料の凝集を防ぎ、微細な粒子を均一に分散させることが不可欠です。magic PLANTは、真空、加圧、温調といった機能を備え、材料の状態を最適に保ちながら、均一な分散を実現します。これにより、薄膜の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子材料の研究開発・薄膜材料の試作・材料の分散・混合プロセス【導入の効果】・薄膜の均一性向上・材料の無駄を削減・研究開発期間の短縮

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【半導体製造向け】搬送レール用プレート加工

イワタグループ

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微細な塵や埃の混入を防ぐため、高い清浄度が求められます。搬送システムに使用される部品においては、特にプラスチック部品の加工におけるバリの発生抑制が重要です。当社の搬送レール用プレート加工は、バリレス加工を施し、クリーンルーム環境での使用に最適な製品を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置の搬送システム・クリーンルーム内の部品搬送・精密機器の組み立てライン【導入の効果】・クリーンルーム環境の清浄度維持・製品への異物混入リスクの低減・歩留まり向上によるコスト削減

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【電子機器製造向け】ブローバックプレフィルター

株式会社テクネ計測

電子機器製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、製造プロセスにおける微粒子の混入を徹底的に管理する必要があります。特に、半導体製造や精密電子部品の製造においては、微粒子が製品の不良や性能劣化を引き起こす大きな要因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガスから粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動フィルタークリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。【活用シーン】・半導体製造プロセス・精密電子部品製造・クリーンルーム環境【導入の効果】・製品の歩留まり向上・品質の安定化・メンテナンスコストの削減

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【半導体向け】ボールバルブ NA1T シリーズ

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を左右する高純度ガスや液体の厳密な流量制御が求められます。特に、微細な粒子や不純物の混入は、製造プロセスに深刻な影響を与え、歩留まりの低下や製品不良を引き起こす可能性があります。ボールバルブは、配管内の水・空気・ガス等の流れを止めたり流したりするという重要な役割を担っており、高純度環境下での信頼性の高い制御が不可欠です。ボールバルブ NA1T シリーズは、ローコストでありながら、高純度環境に対応する材質を採用し、半導体製造プロセスにおける品質維持に貢献します。【活用シーン】・高純度ガス供給ライン・薬液供給ライン・クリーンルーム内配管【導入の効果】・異物混入リスクの低減・プロセスの安定化・コスト削減

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【有機EL向け】超高純度昇華精製装置

ティー・ケイ・エス株式会社

有機ELディスプレイ業界では、高輝度で長寿命な製品が求められています。特に、有機EL材料の純度は、輝度や寿命に大きく影響するため、高品質な材料の安定供給が不可欠です。不純物の混入は、輝度低下や劣化を早める原因となります。当社の超高純度昇華精製装置は、高純度材料を提供し、有機ELディスプレイの高輝度化に貢献します。【活用シーン】・有機EL材料の精製・高輝度ディスプレイの開発【導入の効果】・材料純度の向上による輝度改善・高品質材料の安定供給による製品性能向上・材料コストの削減

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【電子機器向け】洗浄剤総合カタログ

三和油化工業株式会社

電子機器業界では、製品の信頼性を確保するために、部品の洗浄が重要です。特に、製造工程における油分や異物の除去は、製品の性能や寿命に大きく影響します。不適切な洗浄は、製品の誤作動や故障を引き起こす可能性があります。当社の洗浄剤総合カタログは、電子機器の製造における様々な洗浄ニーズに対応します。【活用シーン】 * 電子部品の製造工程 * 基板実装工程 * 精密機器の洗浄【導入の効果】 * 製品の信頼性向上 * 歩留まりの改善 * 品質の安定化

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【半導体ウェーハ向け】超耐熱シリコンゴムシート

会津ゴム工業株式会社

半導体業界では、ウェーハ製造における高温環境下での耐久性が求められます。特に、熱処理工程や研磨工程においては、高い耐熱性と安定した性能が重要です。不適切な材料の使用は、ウェーハの品質低下や製造効率の悪化につながる可能性があります。当社の超耐熱シリコンゴムシートは、300℃の耐熱性を持ち、ウェーハ製造工程をサポートします。【活用シーン】・ウェーハ搬送用治具・高温環境下での緩衝材・研磨工程での保護材【導入の効果】・300℃の耐熱性により、高温環境下での使用が可能・RoHS対応品で、環境負荷を低減・カット対応により、用途に合わせた形状で提供可能

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【半導体成膜向け】真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』

千代田交易株式会社

半導体成膜プロセスにおいて、真空ポンプの安定稼働は、高品質な薄膜形成に不可欠です。真空ポンプの不調は、成膜不良や装置停止につながり、生産効率を著しく低下させる可能性があります。特に、成膜プロセスは高度な真空環境を要求されるため、真空ポンプのメンテナンスは非常に重要です。真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』は、メーカー対応終了品の対応、エクスチェンジ、レンタル対応等多様な対応で貴社の生産安定に協力します。【活用シーン】・成膜装置の真空ポンプメンテナンス・装置停止時の緊急対応・メーカー対応終了品の修理【導入の効果】・成膜プロセスの安定化・装置停止リスクの低減・生産効率の向上

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【半導体製造向け】迅速流体継ぎ手

東洋国際株式会社

半導体製造業界では、微細な粒子や異物の混入が製品の品質を大きく左右します。クリーンルーム環境下での配管接続においては、流体の漏れや異物の発生を極限まで抑えることが求められます。メンテナンスや装置の段取り替え時に、配管の着脱を頻繁に行う必要があるため、作業効率も重要です。当社の迅速流体継ぎ手は、これらの課題を解決します。【活用シーン】・クリーンルーム内での配管接続・半導体製造装置の配管・薬液供給ライン・純水供給ライン・ガス供給ライン【導入の効果】・異物混入リスクの低減・作業時間の短縮・メンテナンス性の向上・製品品質の安定化・歩留まりの向上

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【精密機器向け】クリンベストZEROによる品質向上

タイセイクリンケミカル株式会社

精密機器業界では、製品の信頼性を確保するために、部品の徹底的な洗浄が不可欠です。微細な異物の混入は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。クリンベストZEROは、フッ素系洗浄剤に対応し、微細部品まで均一に洗浄することで、高品質な製品製造をサポートします。乾燥時間の短縮も実現し、生産効率の向上にも貢献します。【活用シーン】 * 精密機器製造における部品洗浄 * 高精度な製造ラインでの異物除去 * 品質管理部門での検査工程【導入の効果】 * 洗浄性の向上による品質向上 * 乾燥時間短縮による生産効率アップ * 環境負荷低減による企業イメージ向上

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【半導体向け】Y型ストレーナー用スクリーンフィルター

株式会社バンテック

半導体製造業界では、製品の品質を左右する異物混入対策が非常に重要です。特に、配管内の微細な異物は製品の歩留まりを低下させるだけでなく、製造装置の故障の原因にもなり得ます。Y型ストレーナーは、配管内の異物を除去し各機器を保護しますが、既存のフィルターではメッシュの粗さや細かさにより、異物が十分に除去できない、または目詰まりを起こすことがあります。そこで、当社ではお客様のニーズに合わせて、最適なメッシュのフィルターを製作いたします。【活用シーン】・半導体製造工程における純水、薬液、ガスの清浄化・クリーンルーム内の配管システム・各種製造装置の保護【導入の効果】・異物混入による製品不良率の低減・製造装置の安定稼働・高品質な製品の安定供給

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【電子材料向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

電子材料業界では、製品の品質を左右する異物混入のリスクを最小限に抑えることが重要です。特に、高純度な材料を扱う場合、微細な異物の混入が製品の性能劣化や歩留まりの低下につながる可能性があります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造と容易な洗浄性により、異物混入リスクを低減し、高純度な材料供給を可能にします。【活用シーン】・半導体製造・ディスプレイ材料製造・高機能フィルム製造【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品品質の向上・歩留まりの向上・清掃性の向上・効率的な品種切替

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【電池製造向け】CSM・ブチルグローブ

株式会社イトー

電池製造業界では、電解液の漏洩や飛散から作業者と製品を保護することが重要です。電解液は腐食性が高く、皮膚への接触や製品への付着は、健康被害や製品不良を引き起こす可能性があります。当社のCSM・ブチルグローブは、高い薬品耐性により、電解液から作業者を守り、安全な作業環境を提供します。【活用シーン】・電池製造ラインでの電解液充填作業・電解液の取り扱い、メンテナンス作業・研究開発における電解液実験【導入の効果】・作業者の安全確保・製品の品質保持・作業効率の向上

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【ディスプレイ製造向け】pptレベル金属管理高純度溶剤

日本乳化剤株式会社

ディスプレイ製造業界の成膜プロセスでは、高品質な製品を安定的に製造するために、材料の純度管理が重要です。特に、金属不純物は成膜の均一性を阻害し、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社の高純度溶剤は、pptレベルの金属管理を実現し、成膜プロセスの課題解決に貢献します。【活用シーン】・ディスプレイ製造における成膜プロセス・フォトレジスト塗布・反射防止膜形成【導入の効果】・成膜品質の向上・歩留まりの改善・製品の信頼性向上

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【ディスプレイ向け】超高純度有機材料昇華精製装置

ティー・ケイ・エス株式会社

ディスプレイ業界における薄膜化プロセスでは、高品質な表示性能を確保するために、有機材料の純度と歩留まりが重要です。特に、薄膜の均一性や耐久性を左右する有機材料の不純物は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。当社の超高純度超高収率昇華精製装置は、高純度と高収率の両立を実現し、ディスプレイ製造における薄膜化プロセスを強力にサポートします。【活用シーン】・有機ELディスプレイ製造・有機薄膜太陽電池製造・高性能ディスプレイ材料開発【導入の効果】・高純度材料の安定供給による歩留まり向上・材料コストの削減・高品質な薄膜形成による製品性能向上

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【新造船向け】二重管　CO2燃料供給システム

中西商事株式会社

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、高純度ガスの安全な輸送が不可欠です。特に、微細な異物の混入やガスの漏洩は、製品の品質を著しく低下させる可能性があります。当社の二重管システムは、内管と外管の二重構造により、万が一のガス漏れのリスクを低減し、高純度ガスの品質を維持します。また、特殊脂性サポートやフッ素樹脂の使用により、高い安全性と信頼性を実現します。ぜひ、ご検討ください。【活用シーン】・半導体製造工場・クリーンルーム内ガス供給ライン・高純度ガス供給が必要な研究施設【導入の効果】・高純度ガスの品質維持・ガス漏れリスクの低減・安全性の向上

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【電子機器向け】Magrev(磁気浮上)リニア搬送システム

株式会社イトー

電子機器の精密組立業界では、製品の品質と生産効率の向上が常に求められています。特に、小型化・高密度化が進む中で、部品の正確な搬送とクリーンな環境維持が重要です。従来の搬送システムでは、ベルトやチェーンによる摩耗粉の発生や、レイアウトの制限が課題となっていました。Maglev式リニア搬送システムは、非接触搬送によりこれらの課題を解決し、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】 * 精密電子部品の組立工程 * クリーンルーム内での搬送 * レイアウト変更が多い生産ライン【導入の効果】 * 摩耗粉の発生を抑制し、製品の品質向上 * レイアウトの自由度向上による生産効率アップ * 静音化による作業環境の改善

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薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

製造装置内部やクリーンルーム環境から発生する微細なパーティクルは、目視では確認が難しく、その発生源を特定し除去することが極めて困難です。

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

薄膜形成に使用される高純度ガスや原料に微量の不純物が混入すると、それが異物として堆積し、欠陥の原因となります。純度を維持する管理が重要です。

装置・治具からのアウトガスの影響

製造装置の構成部品や治具から放出されるガス成分（アウトガス）が、真空中で反応したり、パーティクルを生成したりする可能性があります。

オペレーション時の人的要因による汚染

装置のメンテナンスやウェハ搬送時など、人の作業が介在する場面で、衣服や皮膚、持ち物などから異物が持ち込まれるリスクが存在します。

対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

リアルタイムで微細パーティクルを検出し、自動的に除去するシステムを導入することで、発生源の早期発見と対策が可能になります。

超高純度ガス・原料供給システムの構築

厳格な品質管理のもと、不純物を極限まで排除したガス・原料を供給するシステムを構築し、プロセスへの異物混入を根本から防ぎます。

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

装置部品や治具に低アウトガス特性を持つ材料を採用し、真空度を常に最適に保つことで、アウトガスによる汚染を最小限に抑えます。

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

クリーンルーム内の清浄度を維持し、作業員の教育・訓練を徹底することで、人的要因による異物混入のリスクを低減します。

対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

プロセスガスやクリーンルーム内の空気を高精度にろ過し、微細なパーティクルを除去することで、異物混入のリスクを大幅に低減します。

超高純度ガス供給システム

原料となるガスを極限まで精製し、不純物を徹底的に排除した状態でプロセスに供給することで、原料由来の異物混入を防ぎます。

低アウトガス性真空チャンバー

真空チャンバーの内壁や部品にアウトガス発生の少ない素材を使用し、真空環境の清浄度を維持することで、装置内部からの汚染を防ぎます。

自動搬送・検査ロボット

ウェハの搬送や装置へのセットアップを自動化し、人の介入を最小限にすることで、作業時の人的汚染リスクを排除します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

薄膜形成における異物混入の防止とは？

各社の製品

薄膜形成における異物混入の防止

薄膜形成における異物混入の防止とは？

​課題

微細パーティクルの発生源特定と除去の困難さ

プロセスガス・原料の純度維持の難しさ

装置・治具からのアウトガスの影響

オペレーション時の人的要因による汚染

​対策

高精度パーティクル検出・除去システムの導入

超高純度ガス・原料供給システムの構築

低アウトガス材料の採用と真空管理の徹底

クリーンルーム管理と作業手順の標準化

​対策に役立つ製品例

高機能フィルターユニット

超高純度ガス供給システム

低アウトガス性真空チャンバー

自動搬送・検査ロボット

課題

対策

対策に役立つ製品例