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検査時間の短縮とは？課題と対策・製品を解説

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上の欠陥を検出・評価する検査工程は、製品の品質を保証する上で不可欠です。しかし、検査時間の長期化は、生産リードタイムの増加やコスト増大に直結するため、その短縮は業界全体の喫緊の課題となっています。本稿では、この検査時間短縮に向けた課題と、それを解決するための具体的な対策、そしてそれらを支援する商材について解説します。

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【電子機器向け】セラミックスピンゲージ

三和クリエーション株式会社

電子機器業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、絶縁性の確保が重要な課題となっています。特に、精密な部品の組み立てや検査においては、絶縁性能を損なうことなく、高い精度で測定を行うことが求められます。セラミックスピンゲージは、優れた絶縁性と高い寸法精度により、電子機器の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の穴径測定・絶縁性を求められる箇所での寸法測定・測定器校正【導入の効果】・絶縁性を損なわずに高精度な測定が可能・製品の品質向上に貢献・長期間にわたる安定した性能

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【半導体製造向け】HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウエハの高速搬送における高い精度と信頼性が求められます。製造プロセスにおける搬送の遅延や不正確さは、生産効率の低下や不良品の増加につながる可能性があります。HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】は、これらの課題に対し、高精度かつ高速な搬送性能を提供することで、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内でのウエハ搬送・製造装置へのウエハ供給・検査工程へのウエハ搬送【導入の効果】・搬送時間の短縮による生産性向上・高精度な位置決めによる歩留まり向上・部品点数削減によるメンテナンス工数軽減

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【電子機器向け】コンパクトエアリークテスター FLZ-0220

株式会社フクダ

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、筐体の気密性検査が重要です。特に、外部からの異物混入や湿気による故障を防ぐためには、エアリークテストによる厳格な検査が不可欠です。FLZ-0220シリーズは、エアリークテストに必要な機能をすべて搭載し、タッチパネルによる操作性の向上とコンパクトサイズを実現しています。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末の筐体検査・各種電子部品の筐体検査・キーレススイッチなどの気密検査【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・検査時間の短縮

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【スマート家電向け】組込用小型二次元スキャナ『AMX-845』

アイメックス株式会社

スマート家電の設定において、製品の識別や設定情報の入力は、ユーザーエクスペリエンスを大きく左右します。特に、製品の小型化が進む中で、コード読み取りの正確性と利便性が重要になります。 AMX-845は、小型でありながら、スマートフォンやタブレットの液晶画面に表示されたコードを瞬時に読み取ることが可能です。これにより、スマート家電の設定プロセスを効率化し、ユーザーの満足度向上に貢献します。【活用シーン】・スマート家電製品の設定・製品登録時の情報入力・保証期間の確認【導入の効果】・設定時間の短縮・誤入力の防止・顧客満足度の向上

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【半導体向け】V-62xシリーズ高精度回転ステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・レーザー加工・検査装置【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・高速・高精度動作による生産性向上・幅広い分野への対応

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【電子部品実装向け】産業用顕微鏡ユニット

千代田光機株式会社

電子部品実装の分野では、高品質な製品を安定して供給するために、実装プロセスの正確性と信頼性が求められます。特に、微細な部品の実装においては、位置ずれや異物の混入が製品の不良につながる可能性があります。CMXシリーズは、ウエハーの外観・内面検査において、高精度な画像取得を可能にし、実装プロセスの品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の実装工程における検査・ウエハーの外観検査・実装後の部品の品質検査【導入の効果】・実装不良の早期発見・品質管理の向上・歩留まりの改善

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【AI向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

AI分野では、学習モデルの精度向上と高速化が重要な課題です。そのため、AIチップの品質を迅速に評価し、不良品の早期発見と歩留まり向上を図ることが求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、AIチップのテスト時間を短縮し、開発サイクルの高速化に貢献します。【活用シーン】・AIチップの量産テスト・学習データ収集のためのチップ選別・AI開発におけるプロトタイプ評価【導入の効果】・テスト時間の短縮による開発期間の短縮・不良品の早期発見によるコスト削減・高品質なAIチップの安定供給

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【IoTデバイス向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

IoTデバイスの接続性評価においては、多数のデバイスを迅速かつ正確にテストすることが求められます。デバイスの多様化と複雑化が進む中、テスト時間の短縮と高い信頼性の両立が重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、IoTデバイスの品質管理と開発効率向上に貢献します。【活用シーン】・IoTデバイスの量産テスト・接続性評価テスト・品質管理【導入の効果】・テスト時間の短縮・高い信頼性の確保・生産性の向上

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【半導体向け】リアルタイム生産最適化スケジューラー

株式会社ネクストオプト

半導体業界では、ウェーハ製造における多様なニーズへの対応と、製造プロセスの効率化が求められています。特に、製造工程の遅延やライン停止は、納期遅延や顧客満足度の低下につながる可能性があります。リアルタイム生産最適化スケジューラーは、工程進捗や突発的な変更に1クリックで対応し、計画を自動的に立案します。これにより、リードタイムを短縮し、納期遵守率の向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ製造工程における、部品供給の遅延発生時・生産ラインの急な変更時・作業者の欠勤発生時【導入の効果】・リードタイム短縮・納期遵守率向上・計画変更工数の削減

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【電子機器向け】リークテスタ NT-600

株式会社ナック

電子機器業界では、製品の信頼性を高めるために、防水性の確保が求められます。水没検査では、ワークを濡らしてしまう可能性があり、検査後の乾燥工程が必要になる場合があります。当社のリークテスタNT-600は、高精度差圧センサーで気密（漏れ）検査を行い、ワークを濡らすことなく、数値的な検査が可能です。自動機への組み込みも容易で、電子機器の品質管理に貢献します。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末・小型部品の気密検査・防水コネクタ・電子部品の防水検査【導入の効果】・製品の防水性能を数値で管理・不良品の早期発見・検査工程の効率化・品質の向上

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【IoT無線向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

IoT分野の無線通信技術は、ますます高度化し、高速データ通信へのニーズが高まっています。この分野では、デバイスの小型化と高性能化が進み、高周波特性の正確な測定が不可欠です。特に、無線通信モジュールやアンテナなどのテストにおいて、高周波信号の正確な伝送と測定が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波帯域の測定にも対応可能です。【活用シーン】・IoT向け無線通信デバイスの評価・検証・高周波・ミリ波測定が必要な半導体デバイスの設計検証【導入の効果】・高周波特性の正確な測定・安定した測定環境の実現

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【半導体製造向け】薄型DDモーター【DMTシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、高い精度と安定性が求められます。従来のモーターでは、設置スペースの制約や、位置決めの精度に課題がありました。薄型DDモーター【DMTシリーズ】は、これらの課題を解決し、半導体製造における位置決め精度を向上させるために開発されました。当社のリニアモーターステージと組合わせれば比較的容易にXYθステージも構築可能です。【活用シーン】・ウェーハ搬送・マスクアライメント・検査装置・微細加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・装置の小型化・工程時間の短縮・歩留まりの向上

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【電子機器向け】生産現場のドライブレコーダー

株式会社コヤマ・システム

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における不良の早期発見と原因究明が不可欠です。特に、微細な部品の組立や複雑な工程が多い電子機器製造においては、不良発生時の迅速な対応が、生産効率の維持に重要となります。不良の原因特定に時間がかかると、生産ラインの停止や製品の廃棄につながり、大きな損失を招く可能性があります。RekamoMAは、高速カメラによる詳細な記録と波形グラフとの同期表示により、不良発生の原因を迅速に特定し、対策を講じることを可能にします。【活用シーン】・電子部品の製造ライン・半導体製造工程・基板実装工程・製品の品質検査【導入の効果】・不良解析時間の短縮・不良原因の特定精度向上・生産効率の改善・品質管理の強化

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【イメージセンサー向け】CIシリーズ

株式会社安永

イメージセンサー業界では、画素の品質を保証するために、ベアチップの外観検査が重要です。特に、微細な欠陥や異物は、画質の低下や製品の不良につながる可能性があります。CIシリーズは、高精細な外観検査により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・イメージセンサー製造における出荷前検査・画素評価における欠陥検出・ベアチップのソーティング【導入の効果】・不良品の流出防止・品質の向上・検査工程の効率化

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【半導体向け】NuLMiL - AI外観検査

株式会社渡辺商行

半導体業界では、製品の品質管理において、微細な不良を正確に検出することが求められます。パターン認識技術を活用した外観検査は、製品の歩留まり向上に不可欠です。NuLMiLは、不良部分を塗り分けるだけで、自動で不良種別を分類できる外観検査AIです。目視検査の自動化により、検査の効率化と品質の安定化を実現します。【活用シーン】・半導体製造工程における外観検査・パターン認識技術を活用した不良検出・目視検査の自動化による効率化【導入の効果】・検査精度の向上・検査時間の短縮・人件費の削減

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【半導体ウエハ向け】合理化・自動化solution

シチズンファインデバイス株式会社

半導体ウエハ業界では、高品質な製品を効率的に製造するために、ウエハの精密な検査と測定が不可欠です。特に、微細な欠陥や寸法のずれは、製品の歩留まりを大きく左右するため、正確な検査と測定が求められます。当社の合理化・自動化solutionは、外観検査、高精度検査、自動化ソリューションを提供し、ウェハ製造工程における品質向上とコスト削減に貢献します。【活用シーン】・ウエハの外観検査・ウエハの寸法測定・ウエハの自動搬送・インライン検査【導入の効果】・検査工程の自動化による人件費削減・検査精度の向上による歩留まり改善・データ収集による品質管理の強化

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【半導体向け】HIWINトータルソリューション

ハイウィン株式会社

半導体業界における精密搬送では、ウエハや基板の正確な位置決めと高速搬送が求められます。特に、製造プロセスの効率化と歩留まりの向上が重要な課題です。HIWINトータルソリューションは、直動・回転部品だけでなく、モーターやドライバーなどの電子部品を組み合わせた産業用ロボットや超精密位置決めステージを提供し、これらの課題に対応します。【活用シーン】・ウエハ搬送・基板搬送・検査装置・組み立て工程【導入の効果】・製造プロセスの効率化・歩留まり向上・コア技術への集中・工数削減

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【通信業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

通信業界、特に高周波デバイスの検査においては、高いスループットと信頼性が求められます。デバイスの小型化と高性能化が進む中、正確な温度管理と安定したテスト環境が不可欠です。ICテストハンドラNS-8080SHは、これらの課題に対し、高いスループットと正確な温度管理、そして容易なセットアップで応えます。【活用シーン】・高周波デバイスの量産テスト・研究開発における試作評価・品質管理部門での抜き取り検査【導入の効果】・テスト時間の短縮による生産性向上・安定したテスト環境による信頼性向上・容易なセットアップによる作業効率の改善

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【産業機器向け】DDR4 SDRAM

株式会社セイワ

製造業の品質管理においては、製品の信頼性を確保するために、データの高速処理が求められます。特に、検査装置や計測機器から得られる大量のデータをリアルタイムに処理し、品質異常を早期に発見することが重要です。DDR4 SDRAMは、高速なデータ転送速度と安定した性能により、品質管理システムのパフォーマンス向上に貢献します。ProMOSのDDR4 SDRAMは、幅広い温度範囲に対応しており、製造現場の厳しい環境下でも高い信頼性を発揮します。【活用シーン】・検査装置のデータ処理・計測機器からのデータ収集・品質管理システムの高速化【導入の効果】・検査時間の短縮・品質異常の早期発見・生産効率の向上

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【半導体向け】Cheetah EVOによる欠陥検出

コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社

半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造プロセスにおける微細な欠陥の検出が不可欠です。特に、デバイスの小型化と高密度化が進む中で、目視検査では見つけにくい微細な欠陥が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。《 Cheetah EVO 》は、これらの課題に対し高精度なX線検査技術を提供します。【活用シーン】 ● 半導体チップの内部欠陥検査 ● パッケージングの不良解析 ● 実装基板の接合不良検査【導入の効果】 ● 欠陥の早期発見による歩留まり向上 ● 検査プロセスの自動化による省人化 ● 高品質な製品の安定供給

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【産業ロボット向け】ICテストハンドラ NS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

産業ロボットを活用した自動化が進む中、ICテストハンドラには、高いスループットと安定した動作が求められます。特に、生産効率を最大化するためには、品種切替やメンテナンスにかかる時間を短縮することが重要です。NSテクノロジーズのICテストハンドラ NS-8080SHは、これらの課題を解決し、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】・ICの大量生産を行う工場・品種切替が多い生産ライン・省人化、自動化を進めたい企業【導入の効果】・品種切替時間の短縮による生産効率向上・ノズル交換時間の短縮・高いスループットによる生産量増加

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【電子機器向け】Orizuru MES

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

電子機器業界では、製造工程の効率化と品質向上が求められています。特に、多品種少量生産や複雑な工程管理においては、リアルタイムな情報共有と迅速な意思決定が重要です。工程の遅延や品質問題は、コスト増加や顧客からの信頼失墜につながる可能性があります。『Orizuru MES』は、既存の設備やシステムを活かしながら、段階的なスマートファクトリー化を支援します。【活用シーン】・電子機器製造における工程管理・生産性の見える化・品質管理の強化【導入の効果】・工程の最適化による生産性向上・品質の安定化・無駄の削減

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【半導体向け】LID Less Socket

株式会社JMT

半導体業界では、イメージセンサーなどの高速化が進み、光学テストの重要性が増しています。従来のソケット構造では、加圧LIDが光の進入を妨げ、正確な測定を阻害する可能性があります。LID Less Socketは、真空で裏面からパッケージを引き付け、コンタクターを歪ませることで導通を確保。加圧LIDがないため、光の取り入れが自由になり、高速化に貢献します。【活用シーン】・イメージセンサーの測定・光学的特性評価・高速データ転送が必要な半導体デバイスのテスト【導入の効果】・光学テストの精度向上・ソケット設計の自由度向上・コスト削減の可能性

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【半導体製造プロセス向け】Orizuru 3D活用提案

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

半導体製造プロセスにおいては、設計データの3D化が進み、製造工程におけるデータ連携の効率化が求められています。3Dデータから2D図面への変換や見積もり作成に時間がかかり、製造リードタイムが長くなることが課題です。Orizuru 3Dは、3D形状処理技術を活用し、これらの課題を解決します。3Dデータから直接部品手配を可能にし、製造プロセスの効率化に貢献します。【活用シーン】・3Dデータからの部品調達・見積もり時間の短縮・製造リードタイムの短縮【導入の効果】・2D図面作成が不要になり、調達業務の効率化・開発期間の短縮・コア技術の内製化による競争力強化

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【半導体製造向け】127M CoaXPress 高解像度カメラ

株式会社シーアイエス

半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、ウェーハやチップの微細な欠陥を正確に検出することが求められます。特に、製造プロセスの高度化に伴い、より高い解像度と精度での検査が不可欠です。微細な欠陥を見逃すと、製品の歩留まり低下や信頼性の問題につながる可能性があります。当社の127M CoaXPress高解像度カメラは、1億2700万画素の超高解像度により、肉眼では捉えられない微細な欠陥まで鮮明に検出します。【活用シーン】・ウェーハの異物検査・チップのクラック検査・回路パターンの検査【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の早期発見・品質管理の向上

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【半導体製造向け】ICテストハンドラ NS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

半導体業界では、製品の品質向上と生産性の向上が常に求められています。特に、ICテスト工程においては、テスト時間の短縮と効率化が重要です。テスト時間の遅延は、製品の納期遅延やコスト増加につながる可能性があります。株式会社NSテクノロジーズのICテストハンドラ NS-8080SHは、高速化を実現し、半導体製造における課題解決に貢献します。【活用シーン】・ICテスト工程における高速化・品種切替時間の短縮・ノズル交換時間の短縮【導入の効果】・スループットの向上（14,500個/時）・セットアップ時間の短縮・生産性の向上

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【通信業界向け】改正RoHS指令対応天板付きワゴン

山金工業株式会社

通信業界では、製品の品質と安全性を確保するために、RoHS指令への準拠が不可欠です。特に、電子部品の製造や修理においては、有害物質の混入を防ぎ、迅速な作業が求められます。当社の改正RoHS指令対応天板付きワゴンは、RoHS指令に対応した天板を使用しており、作業効率を向上させることで、これらの課題を解決します。【活用シーン】・電子部品の組み立て、検査作業・修理、メンテナンス作業・研究開発【導入の効果】・RoHS指令対応によるコンプライアンス強化・作業スペースの有効活用・作業効率の向上詳しくは、資料をダウンロードしてご確認ください。

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【半導体パッケージ向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

半導体業界では、5G/6Gといった高速通信規格の普及に伴い、高周波特性の正確な測定が不可欠です。PKGの性能を最大限に引き出すためには、テスト工程における正確な測定が重要であり、測定精度の向上と安定性の確保が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応パッケージの特性評価・高速データ通信用パッケージの品質検査・ADAS（先進運転支援システム）向けパッケージのテスト【導入の効果】・高周波測定の安定性向上・測定時間の短縮・製品品質の向上

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【半導体向け】微細構造を可視化する検査装置

穂高電子株式会社

半導体業界では、製品の小型化・高性能化に伴い、内部構造の微細な欠陥や異物の検出が重要になっています。特に、製造プロセスにおける微細な異物混入や、接合部の不具合は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。この検査装置は、最先端のX線技術と高精度な画像解析により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体チップの内部構造検査・ウェーハの異物検査・パッケージングの品質管理・微細配線の断線検査【導入の効果】・不良品の早期発見による歩留まり向上・製品の信頼性向上・品質管理コストの削減・顧客からの信頼獲得

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【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1

PIジャパン株式会社

半導体業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高い精度が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。従来のシステムでは、大型化や高コストが課題となっていました。P-611.1ピエゾナノポジショナーは、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクト設計でありながら、最大120μmのストロークと0.2nmの分解能を実現し、半導体製造における精密位置決めを低コストで実現します。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・微細加工・検査工程【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・装置の小型化による省スペース化・低コスト化による投資対効果の向上

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【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308

PIジャパン株式会社

半導体製造分野では、微細化の進展に伴い、検査・計測・露光工程におけるZ軸方向の高精度位置制御がますます重要になっています。焦点位置のわずかな変動が、検査精度やプロセス安定性に影響を及ぼす可能性があります。V-308 Voice Coil PIFOCは、最小10 nm分解能と最大7 mmの移動範囲を備えたZ軸フォーカスドライブです。最大1 kgまでの重力補償機能により、重量のある光学系や対物レンズでも安定した位置決めを実現。ダイレクトドライブ方式により、滑らかで高速な応答性と高い再現性を提供し、半導体製造装置の精密フォーカス制御をサポートします。【活用シーン】・ウェーハ検査装置のオートフォーカス制御・光学計測装置のZ軸位置決め・マスク検査装置のフォーカス補正・微細パターン検査工程【導入の効果】・ナノレベルのフォーカス制御による検査精度向上・重量補償機能による光学系の安定保持・高速応答による検査スループット改善・プロセス安定性の向上

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【設備管理向け】古いメーターもレトロフィット。AIでメーター検針

GMOグローバルサイン・ホールディングス株式会社

工場におけるエネルギーコスト削減には、正確な使用量の把握が不可欠です。エネルギー使用量を正確に把握するためには、メーター検針の効率化が重要となります。しかし、従来の検針業務は、人手による記録や転記ミス、時間的制約といった課題がありました。これらの課題は、エネルギー使用量の正確な把握を妨げ、ひいてはコスト削減の機会損失につながる可能性があります。 hakaru.ai byGMOは、スマートフォンのカメラでメーターを撮影するだけで、 AIが数値を読み取り、点検業務を効率化します。これにより、正確なデータ収集と分析が可能になり、エネルギー使用量の最適化を支援します。【活用シーン】 * 製造ラインの電力使用量管理 * 空調設備のエネルギー消費量把握 * 工場全体のエネルギー使用状況の可視化【導入の効果】 * 検針業務の効率化によるコスト削減 * データ収集の正確性向上 * エネルギー使用量の見える化による改善点の発見

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梱包・出荷トレーサビリティシステム

株式会社オレンジテクノロジーズ

検査結果と出荷情報を紐づける梱包・出荷管理システム本システムは、検査工程から梱包・出荷までの情報を一元管理する、製造業向けトレーサビリティシステムです。検査結果、製品番号、梱包情報、出荷コードをハンディターミナルで照合・記録することで、誤出荷防止と品質保証を実現します。 PLC設備やハンディターミナルとの連携にも対応し、量産ラインや海外工場での運用実績があります。

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【電子機器検査向け】HIWIN 単軸ロボット

ハイウィン株式会社

電子機器業界の検査工程では、製品の品質を確保するために、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、小型化が進む電子部品の検査においては、微細な位置調整と高速な動作が、検査効率と品質の両立に不可欠です。不正確な位置決めや不安定な動作は、検査不良や生産性の低下につながる可能性があります。HIWIN 単軸ロボットは、高精度な位置決めとスムーズな動作により、電子機器の検査工程を最適化します。【活用シーン】・電子部品の外観検査・基板実装後の検査・電子機器の動作検査【導入の効果】・検査時間の短縮・検査精度の向上・不良品の削減

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【自動車業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

自動車業界では、電子部品の品質と信頼性が、車両全体の安全性と性能を左右する重要な要素です。特に、過酷な環境下で使用される電子部品においては、温度変化や振動に対する耐久性が求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、これらの要求に応えるべく、高い信頼性と効率的なテストプロセスを提供します。【活用シーン】・車載用電子部品の品質検査・高温環境下での耐久性テスト・多品種少量生産への対応【導入の効果】・高いスループットによるテスト時間の短縮・安定したテスト環境の提供・不良品の早期発見による品質向上

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【半導体製造向け】HIWIN 直交ロボット KKシリーズ

ハイウィン株式会社

半導体業界では、製造プロセスの効率化と品質向上が常に求められています。特に、ウェーハやチップなどの精密部品の搬送においては、正確な位置決めと高速な動作が不可欠です。搬送の遅延や位置ずれは、生産性の低下や不良品の発生につながる可能性があります。HIWIN 直交ロボット KKシリーズは、簡単な操作と組立て、優れたコストパフォーマンスにより、半導体製造における搬送工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・チップ搬送・基板搬送【導入の効果】・生産性の向上・不良品の削減・コスト削減

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【半導体品質管理向け】表面凹凸可視化ユニット

スミックス株式会社

半導体業界の品質管理において、ウエハ表面の微細な欠陥の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。目視や顕微鏡検査では見逃しがちなナノレベルの凹凸やキズは、歩留まりの低下や製品不良の原因となります。本ユニットは、オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、これらの微細な欠陥を広域で捉え、検査工程の効率化と品質管理の精度向上に貢献します。【活用シーン】・ウエハ表面の品質検査・製造工程における異常の早期発見・品質管理部門での検査業務【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の削減・品質管理コストの削減

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【家電向け】リークテスター

株式会社ナック

家電業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、気密性の維持が重要です。特に、温度変化や振動にさらされる製品においては、漏れは性能劣化や故障の原因となります。当社の高品質リークテスターは、これらの課題に対応し、製品の耐久性向上に貢献します。【活用シーン】・家電製品の製造工程における気密検査・製品の品質管理における漏れ検査・耐久性試験における漏れの有無の確認【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・顧客満足度の向上

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【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定

株式会社サンコウ電子研究所

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、コーティングの正確な膜厚測定が不可欠です。特に、基板や筐体などのコーティングは、製品の性能や耐久性に大きく影響します。膜厚が不適切だと、絶縁不良や腐食、性能劣化を引き起こす可能性があります。クイントソニックTは、非破壊で最大8層までの膜厚を測定し、電子機器の品質管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品のコーティング厚測定・基板の絶縁膜厚測定・筐体の塗装膜厚測定【導入の効果】・非破壊測定による検査時間の短縮・多層膜厚の同時測定による効率化・測定データのEXCEL出力とレポート作成による記録管理の簡素化

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【電子機器向け】製造業のAI活用の実態レポート

ダッソー・システムズ株式会社

電子機器業界では、製品の品質管理において、不良品の早期発見が重要です。不良品の発生は、コスト増、顧客からの信頼失墜につながる可能性があります。AI技術を活用することで、不良品の検出精度を向上させ、製造プロセス全体の効率化を図ることが求められています。本資料では、AIの導入が進む製造業界の実態をエグゼクティブ104人への調査結果からご紹介。貴社のAI活用を進めるヒントとして是非ご活用ください。【活用シーン】 * 電子機器の製造ラインにおける外観検査 * 部品の異常検知 * 製造プロセスの品質管理【導入の効果】 * 不良品の発生率を低減 * 製造コストの削減 * 顧客満足度の向上

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【半導体製造向け】A-143 高精度リニアエアベアリングステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの精度が求められます。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や生産効率の低下につながる可能性があります。A-143 高精度リニアエアベアリングステージは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、半導体製造における高精度な位置決めニーズに応えます。【活用シーン】・半導体製造装置・検査装置・計測機器【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・非接触構造による長寿命化・クリーンルーム対応による高い信頼性

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【半導体向け】超音波探傷器のはなし＜基礎編＞

菱電湘南エレクトロニクス株式会社

半導体業界では、製品の信頼性を確保するために、接合部の品質管理が重要です。接合部の欠陥は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。当資料では、超音波探傷の基礎について解説し、接合部の検査に役立つ知識を提供します。超音波探傷の原理や、探触子の選び方など、基礎から学べる内容です。この資料は、半導体製造における品質管理担当者にとって、接合部の検査技術を理解し、品質向上に貢献するための第一歩となるでしょう。【活用シーン】・半導体デバイスの接合部の検査・接合不良の早期発見・品質管理プロセスの改善【導入の効果】・接合部の欠陥を早期に発見し、不良品の発生を抑制・製品の信頼性向上・品質管理コストの削減

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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03

PIジャパン株式会社

半導体分野では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に検査工程や微細加工では、わずかな位置ずれが測定誤差や歩留まり低下につながり、製品品質に大きく影響します。 V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現。さらに、高剛性クロスローラーガイドと非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュのない安定した位置決めと高い再現性を確保します。最大150 Nの高荷重対応および空圧式カウンターバランスにより、重量物の精密位置決めにも最適です。【活用シーン】・半導体検査装置・ウェーハ検査・計測装置・精密測定機器【導入の効果】・高精度位置決めによる測定精度の向上・高速応答によるタクトタイム短縮・高剛性ガイドによる安定した動作・高荷重対応による用途拡張・セルフロック機能による安全性向上

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【半導体検査向け】50N高推力・真空仕様有りのアクチュエータ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右します。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。N-331 PICMAWalkは、最大50 Nの高推力とサブナノメートル分解能を両立した組込み型リニアアクチュエータです。最大12 mm/sの高速動作に対応し、検査装置のタクトタイム短縮にも貢献します。摩擦駆動方式により電源オフ時でも位置保持が可能。さらに真空対応仕様により、半導体検査装置やクリーン環境下での使用にも適しています。【活用シーン】・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め・マスクアライナーにおける位置決め・検査装置における高精度位置決め【導入の効果】・ナノメートルレベルでの高精度な位置決めを実現・製造プロセスの品質向上と歩留まり向上に貢献・真空環境下での使用が可能推力特性、その他仕様、真空対応オプションなどの詳細はカタログをご確認ください。

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【半導体技術向け】可変ストローク対応 XYピエゾステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造のウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。位置決めの誤差は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立し、1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置・ウェーハ検査・マスクアライメント・プロービング【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・安定した動作による生産性の向上・小型筐体による装置への組み込みやすさ・長寿命アクチュエータによるメンテナンス性の向上

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【半導体クリーンルーム向け】LCD装置調達・物流サポート

株式会社タイトウトレーディング

半導体業界のクリーンルーム環境では、LCD装置の安定稼働が不可欠です。装置の調達・物流における遅延や品質問題は、生産効率の低下や製品不良につながる可能性があります。当社は、中国における長年の調達・物流経験を活かし、LCD関連装置をはじめ、半導体製造に必要な部品や装置の安定供給をサポートします。高品質な製品を、最適なタイミングで提供することで、お客様の生産効率向上に貢献します。【活用シーン】・LCD製造装置・クリーンルーム内での部品供給・半導体製造ライン【導入の効果】・安定供給による生産効率の向上・コスト削減・品質管理の強化

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【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ

ハイウィン株式会社

FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】・FPDパネルの寸法測定・異物・欠陥検査・位置決め精度の高い検査工程【導入の効果】・検査時間の短縮・生産性の向上・検査精度の向上

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【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726

PIジャパン株式会社

半導体ウェーハ検査では、微細欠陥を安定して検出するために、高分解能なZ方向フォーカス制御と高速応答性が求められます。特に高NA対物レンズを用いた光学検査システムでは、フォーカス精度と再現性が検査結果の信頼性に直結します。P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのZストロークとサブナノメートル分解能の位置制御を実現。静電容量センサーによる直接位置フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い線形性・繰り返し精度・長期安定性を提供。さらに、約6msの高速セットリング性能により、Zステップ動作を伴う検査プロセスの最適化に貢献します。高荷重設計のため、高NA対物レンズや付加光学部品搭載時でも安定した動作が可能。【活用シーン】・半導体ウェーハ表面の光学検査におけるZフォーカス制御・高NA対物レンズを用いた欠陥解析装置・共焦点光学系を用いた三次元検査・レーザー・光干渉式検査装置のZスキャン【導入の効果】・高精度フォーカス制御による測定安定性向上・高速セットリングによるZステップ時間の短縮・高荷重対応による光学系設計の自由度向上

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【半導体向け】自動化装置のご紹介

株式会社タイトウトレーディング

半導体業界における搬送工程では、製品の品質維持と生産性の向上が求められます。特に、部品の搬送においては、正確な位置決めと異物混入の防止が重要です。不適切な搬送は、製品の破損や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社の自動化装置は、これらの課題に対応し、搬送工程の最適化を実現します。【活用シーン】・搬送・部品の組み立て工程への供給・検査装置への搬入【導入の効果】・搬送時間の短縮・異物混入のリスク低減・生産性の向上

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【半導体検査向け】RSシリーズスカラロボット

ハイウィン株式会社

半導体業界の検査工程では、製品の品質を保証するために、高速かつ正確な位置決めが求められます。特に、微細な部品の検査においては、高い精度と安定した動作が不可欠です。不適切な位置決めや動作の遅延は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。HIWINのRSシリーズスカラロボットは、自社開発部品により、敏捷で高精度な動作を実現し、半導体検査工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ、チップ、電子部品などの検査・高速ピックアンドプレース・精密部品の組み立て【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の削減・生産性の向上

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ウェーハ検査における検査時間の短縮

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

課題

検査精度の維持と時間短縮の両立

検査時間を短縮しようとすると、見逃しや誤検出が増加し、品質低下のリスクが高まります。高精度な検査を維持しつつ、いかにスピーディーに処理するかが大きな課題です。

膨大なデータ処理能力の限界

ウェーハ上の微細な欠陥を高解像度で捉えるためには大量の画像データを取得・解析する必要があります。このデータ処理に時間がかかり、ボトルネックとなっています。

検査装置の稼働率低下

複雑な検査プロセスや装置の段取り替えに時間がかかり、装置が実際に検査を行っている時間（稼働率）が低下しています。これにより、全体の生産性が阻害されます。

熟練オペレーターへの依存

高度な検査判断には経験豊富なオペレーターのスキルが不可欠ですが、その育成には時間がかかり、人手不足も相まって検査時間の遅延を招くことがあります。

対策

AI・機械学習による検査自動化

AIや機械学習を活用し、欠陥検出・分類の精度向上と処理速度の高速化を図ります。これにより、人手に頼る部分を減らし、検査時間を大幅に短縮します。

並列処理・高速データ転送技術の導入

複数の検査を同時に実行できる並列処理や、大容量データを瞬時に転送できる技術を導入し、データ処理のボトルネックを解消します。

検査プロセスの最適化と自動化

検査手順の見直しや、装置間の連携強化、自動搬送システムなどを導入し、検査装置の稼働率を最大化します。

インライン検査・リアルタイムフィードバック

製造ライン上でリアルタイムに検査を行い、問題発生時に即座にフィードバックすることで、後工程での手直しや再検査を削減し、全体の時間を短縮します。

対策に役立つ製品例

画像認識ソフトウェア

高度な画像処理アルゴリズムと機械学習モデルを搭載し、ウェーハ上の微細な欠陥を高速かつ高精度に検出・分類します。これにより、検査時間の短縮と精度の両立を実現します。

高速データ処理システム

大量の検査データを効率的に収集・解析するための高性能なコンピューティングリソースとネットワーク技術を提供します。これにより、データ処理のボトルネックを解消し、検査時間を短縮します。

自動検査装置制御システム

複数の検査装置を統合的に管理し、検査プロセス全体の最適化と自動化を実現します。これにより、装置の稼働率向上と検査時間の短縮に貢献します。

リアルタイムモニタリングシステム

製造ライン上の検査状況をリアルタイムで可視化し、異常を即座に検知・通知します。これにより、問題発生時の迅速な対応を可能にし、手直しや再検査による時間ロスを削減します。

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検査・測定装置

材料

自動化・ITソリューション

製造装置

検査時間の短縮とは？課題と対策・製品を解説

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

各社の製品

ウェーハ検査における検査時間の短縮

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

​課題

検査精度の維持と時間短縮の両立

膨大なデータ処理能力の限界

検査装置の稼働率低下

熟練オペレーターへの依存

​対策

AI・機械学習による検査自動化

並列処理・高速データ転送技術の導入

検査プロセスの最適化と自動化

インライン検査・リアルタイムフィードバック

​対策に役立つ製品例

画像認識ソフトウェア

高速データ処理システム

自動検査装置制御システム

リアルタイムモニタリングシステム

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

課題

対策

対策に役立つ製品例