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検査時間の短縮とは？課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上の欠陥を検出・評価する検査工程は、製品の品質を保証する上で不可欠です。しかし、検査時間の長期化は、生産リードタイムの増加やコスト増大に直結するため、その短縮は業界全体の喫緊の課題となっています。本稿では、この検査時間短縮に向けた課題と、それを解決するための具体的な対策、そしてそれらを支援する商材について解説します。

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【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726

PIジャパン株式会社

半導体ウェーハ検査では、微細欠陥を安定して検出するために、高分解能なZ方向フォーカス制御と高速応答性が求められます。特に高NA対物レンズを用いた光学検査システムでは、フォーカス精度と再現性が検査結果の信頼性に直結します。P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのZストロークとサブナノメートル分解能の位置制御を実現。静電容量センサーによる直接位置フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い線形性・繰り返し精度・長期安定性を提供。さらに、約6msの高速セットリング性能により、Zステップ動作を伴う検査プロセスの最適化に貢献します。高荷重設計のため、高NA対物レンズや付加光学部品搭載時でも安定した動作が可能。【活用シーン】・半導体ウェーハ表面の光学検査におけるZフォーカス制御・高NA対物レンズを用いた欠陥解析装置・共焦点光学系を用いた三次元検査・レーザー・光干渉式検査装置のZスキャン【導入の効果】・高精度フォーカス制御による測定安定性向上・高速セットリングによるZステップ時間の短縮・高荷重対応による光学系設計の自由度向上

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【半導体向け】AI外観検査システムスターターセット

アプライド株式会社

半導体業界では、製品の品質を確保するために、微細なパターン異常の検出が不可欠です。製造プロセスにおけるわずかな異常が、製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。AI外観検査システムスターターセットは、購入後すぐに使い始めることができ、パターン異常の検出を効率化します。【活用シーン】・半導体ウェーハのパターン検査・電子部品のパターン検査・基板のパターン検査【導入の効果】・不良品の早期発見による歩留まり向上・検査精度の向上・検査時間の短縮

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【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定

株式会社サンコウ電子研究所

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、コーティングの正確な膜厚測定が不可欠です。特に、基板や筐体などのコーティングは、製品の性能や耐久性に大きく影響します。膜厚が不適切だと、絶縁不良や腐食、性能劣化を引き起こす可能性があります。クイントソニックTは、非破壊で最大8層までの膜厚を測定し、電子機器の品質管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品のコーティング厚測定・基板の絶縁膜厚測定・筐体の塗装膜厚測定【導入の効果】・非破壊測定による検査時間の短縮・多層膜厚の同時測定による効率化・測定データのEXCEL出力とレポート作成による記録管理の簡素化

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【半導体検査向け】高精度位置決めに最適 A-121

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の摩擦を伴うステージでは、摩耗やバックラッシュによる精度の劣化が課題となっていました。PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合し、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体検査装置・精密測定装置・微細加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・非接触構造による長寿命化・メンテナンスコストの削減

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【電子機器向け】生産現場のドライブレコーダー

株式会社コヤマ・システム

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における不良の早期発見と原因究明が不可欠です。特に、微細な部品の組立や複雑な工程が多い電子機器製造においては、不良発生時の迅速な対応が、生産効率の維持に重要となります。不良の原因特定に時間がかかると、生産ラインの停止や製品の廃棄につながり、大きな損失を招く可能性があります。RekamoMAは、高速カメラによる詳細な記録と波形グラフとの同期表示により、不良発生の原因を迅速に特定し、対策を講じることを可能にします。【活用シーン】・電子部品の製造ライン・半導体製造工程・基板実装工程・製品の品質検査【導入の効果】・不良解析時間の短縮・不良原因の特定精度向上・生産効率の改善・品質管理の強化

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【電子機器検査向け】HIWIN 単軸ロボット

ハイウィン株式会社

電子機器業界の検査工程では、製品の品質を確保するために、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、小型化が進む電子部品の検査においては、微細な位置調整と高速な動作が、検査効率と品質の両立に不可欠です。不正確な位置決めや不安定な動作は、検査不良や生産性の低下につながる可能性があります。HIWIN 単軸ロボットは、高精度な位置決めとスムーズな動作により、電子機器の検査工程を最適化します。【活用シーン】・電子部品の外観検査・基板実装後の検査・電子機器の動作検査【導入の効果】・検査時間の短縮・検査精度の向上・不良品の削減

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【半導体パッケージ向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

半導体業界では、5G/6Gといった高速通信規格の普及に伴い、高周波特性の正確な測定が不可欠です。PKGの性能を最大限に引き出すためには、テスト工程における正確な測定が重要であり、測定精度の向上と安定性の確保が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応パッケージの特性評価・高速データ通信用パッケージの品質検査・ADAS（先進運転支援システム）向けパッケージのテスト【導入の効果】・高周波測定の安定性向上・測定時間の短縮・製品品質の向上

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【産業機器向け】DDR4 SDRAM

株式会社セイワ

製造業の品質管理においては、製品の信頼性を確保するために、データの高速処理が求められます。特に、検査装置や計測機器から得られる大量のデータをリアルタイムに処理し、品質異常を早期に発見することが重要です。DDR4 SDRAMは、高速なデータ転送速度と安定した性能により、品質管理システムのパフォーマンス向上に貢献します。ProMOSのDDR4 SDRAMは、幅広い温度範囲に対応しており、製造現場の厳しい環境下でも高い信頼性を発揮します。【活用シーン】・検査装置のデータ処理・計測機器からのデータ収集・品質管理システムの高速化【導入の効果】・検査時間の短縮・品質異常の早期発見・生産効率の向上

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【半導体製造向け】HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウエハの高速搬送における高い精度と信頼性が求められます。製造プロセスにおける搬送の遅延や不正確さは、生産効率の低下や不良品の増加につながる可能性があります。HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】は、これらの課題に対し、高精度かつ高速な搬送性能を提供することで、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内でのウエハ搬送・製造装置へのウエハ供給・検査工程へのウエハ搬送【導入の効果】・搬送時間の短縮による生産性向上・高精度な位置決めによる歩留まり向上・部品点数削減によるメンテナンス工数軽減

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【半導体検査向け】加工機ロードアンロードロボットシステム

株式会社HCI

半導体業界の検査工程では、製品の品質を確保するために、正確かつ効率的なワークの搬送が求められます。特に、高精度な検査を行うためには、ワークへのダメージを最小限に抑え、安定した供給体制を構築することが重要です。当社の加工機ロードアンロードロボットシステムは、ロボットアームによるワークの取り出しと投入を行い、検査工程における人の手を介する作業を削減します。これにより、正確性と安全性を向上させ、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】・半導体ウェーハの検査工程・電子部品の検査工程・基板実装後の検査工程【導入の効果】・検査工程の自動化による生産性向上・ワークの損傷リスクの低減・検査精度の向上・人件費の削減

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【家電製品向け】コンパクトエアリークテスター FLZ-0220

株式会社フクダ

家電製品の製造において、防水性は製品の信頼性と安全性を確保する上で非常に重要です。水分の侵入は、製品の故障や感電事故につながる可能性があります。特に、屋外で使用される製品や水回りでの利用を想定した製品においては、高い防水性能が求められます。当社のコンパクトエアリークテスターは、エアリークテストを通じて、製品の防水性能を評価し、品質管理を支援します。【活用シーン】・スマートフォン、スマートウォッチなどの防水検査・洗濯機、冷蔵庫などの家電製品の気密検査・屋外用スピーカー、照明器具などの防水性能評価【導入の効果】・製品の品質向上と信頼性向上・不良品の削減によるコスト削減・顧客満足度の向上

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【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1

PIジャパン株式会社

半導体業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高い精度が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。従来のシステムでは、大型化や高コストが課題となっていました。P-611.1ピエゾナノポジショナーは、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクト設計でありながら、最大120μmのストロークと0.2nmの分解能を実現し、半導体製造における精密位置決めを低コストで実現します。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・微細加工・検査工程【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・装置の小型化による省スペース化・低コスト化による投資対効果の向上

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【半導体検査向け】50N高推力・真空仕様有りのアクチュエータ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高精度な制御が不可欠です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルでの正確な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右します。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や製造効率の低下につながる可能性があります。N-331 PICMAWalkは、最大50 Nの高推力とサブナノメートル分解能を両立した組込み型リニアアクチュエータです。最大12 mm/sの高速動作に対応し、検査装置のタクトタイム短縮にも貢献します。摩擦駆動方式により電源オフ時でも位置保持が可能。さらに真空対応仕様により、半導体検査装置やクリーン環境下での使用にも適しています。【活用シーン】・半導体製造装置におけるウェーハ位置決め・マスクアライナーにおける位置決め・検査装置における高精度位置決め【導入の効果】・ナノメートルレベルでの高精度な位置決めを実現・製造プロセスの品質向上と歩留まり向上に貢献・真空環境下での使用が可能推力特性、その他仕様、真空対応オプションなどの詳細はカタログをご確認ください。

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【設備管理向け】古いメーターもレトロフィット。AIでメーター検針

GMOグローバルサイン・ホールディングス株式会社

工場におけるエネルギーコスト削減には、正確な使用量の把握が不可欠です。エネルギー使用量を正確に把握するためには、メーター検針の効率化が重要となります。しかし、従来の検針業務は、人手による記録や転記ミス、時間的制約といった課題がありました。これらの課題は、エネルギー使用量の正確な把握を妨げ、ひいてはコスト削減の機会損失につながる可能性があります。 hakaru.ai byGMOは、スマートフォンのカメラでメーターを撮影するだけで、 AIが数値を読み取り、点検業務を効率化します。これにより、正確なデータ収集と分析が可能になり、エネルギー使用量の最適化を支援します。【活用シーン】 * 製造ラインの電力使用量管理 * 空調設備のエネルギー消費量把握 * 工場全体のエネルギー使用状況の可視化【導入の効果】 * 検針業務の効率化によるコスト削減 * データ収集の正確性向上 * エネルギー使用量の見える化による改善点の発見

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【電子機器向け】表面検査技術資料一覧

アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社

電子機器業界では、製品の信頼性向上のため、実装評価における表面状態の正確な把握が求められます。特に、微細な傷や異物の付着は、製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。ナノビア社の表面検査技術資料一覧は、実装評価における表面検査の課題解決に貢献します。【活用シーン】 * 実装基板の品質管理 * 部品実装後の表面状態確認 * 異物混入の早期発見 * 表面の微細な形状測定【導入の効果】 * 製品の信頼性向上 * 不良品の削減 * 品質管理の効率化 * 検査精度の向上

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【電子機器向け】リードタイム短縮で在庫削減！

株式会社松井製作所

電子機器業界では、製造工程の効率化が、コスト削減と納期短縮に不可欠です。特に、部品点数の増加や複雑化する工程において、生産リードタイムの長さは、在庫の増加や機会損失につながる可能性があります。この動画では、在庫管理の基本として、生産リードタイムの短縮について解説しています。【活用シーン】・電子機器の製造工程における在庫管理・部品の調達から製造、納品までのリードタイム短縮【導入の効果】・在庫金額の削減・製品の供給体制の安定化・顧客満足度の向上

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【半導体製造向け】127M CoaXPress 高解像度カメラ

株式会社シーアイエス

半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、ウェーハやチップの微細な欠陥を正確に検出することが求められます。特に、製造プロセスの高度化に伴い、より高い解像度と精度での検査が不可欠です。微細な欠陥を見逃すと、製品の歩留まり低下や信頼性の問題につながる可能性があります。当社の127M CoaXPress高解像度カメラは、1億2700万画素の超高解像度により、肉眼では捉えられない微細な欠陥まで鮮明に検出します。【活用シーン】・ウェーハの異物検査・チップのクラック検査・回路パターンの検査【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の早期発見・品質管理の向上

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【半導体ウエハ向け】合理化・自動化solution

シチズンファインデバイス株式会社

半導体ウエハ業界では、高品質な製品を効率的に製造するために、ウエハの精密な検査と測定が不可欠です。特に、微細な欠陥や寸法のずれは、製品の歩留まりを大きく左右するため、正確な検査と測定が求められます。当社の合理化・自動化solutionは、外観検査、高精度検査、自動化ソリューションを提供し、ウェハ製造工程における品質向上とコスト削減に貢献します。【活用シーン】・ウエハの外観検査・ウエハの寸法測定・ウエハの自動搬送・インライン検査【導入の効果】・検査工程の自動化による人件費削減・検査精度の向上による歩留まり改善・データ収集による品質管理の強化

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【半導体製造向け】薄型DDモーター【DMTシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、高い精度と安定性が求められます。従来のモーターでは、設置スペースの制約や、位置決めの精度に課題がありました。薄型DDモーター【DMTシリーズ】は、これらの課題を解決し、半導体製造における位置決め精度を向上させるために開発されました。当社のリニアモーターステージと組合わせれば比較的容易にXYθステージも構築可能です。【活用シーン】・ウェーハ搬送・マスクアライメント・検査装置・微細加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・装置の小型化・工程時間の短縮・歩留まりの向上

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【半導体クリーンルーム向け】LCD装置調達・物流サポート

株式会社タイトウトレーディング

半導体業界のクリーンルーム環境では、LCD装置の安定稼働が不可欠です。装置の調達・物流における遅延や品質問題は、生産効率の低下や製品不良につながる可能性があります。当社は、中国における長年の調達・物流経験を活かし、LCD関連装置をはじめ、半導体製造に必要な部品や装置の安定供給をサポートします。高品質な製品を、最適なタイミングで提供することで、お客様の生産効率向上に貢献します。【活用シーン】・LCD製造装置・クリーンルーム内での部品供給・半導体製造ライン【導入の効果】・安定供給による生産効率の向上・コスト削減・品質管理の強化

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【通信業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

通信業界、特に高周波デバイスの検査においては、高いスループットと信頼性が求められます。デバイスの小型化と高性能化が進む中、正確な温度管理と安定したテスト環境が不可欠です。ICテストハンドラNS-8080SHは、これらの課題に対し、高いスループットと正確な温度管理、そして容易なセットアップで応えます。【活用シーン】・高周波デバイスの量産テスト・研究開発における試作評価・品質管理部門での抜き取り検査【導入の効果】・テスト時間の短縮による生産性向上・安定したテスト環境による信頼性向上・容易なセットアップによる作業効率の改善

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【IoTデバイス向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

IoTデバイスの接続性評価においては、多数のデバイスを迅速かつ正確にテストすることが求められます。デバイスの多様化と複雑化が進む中、テスト時間の短縮と高い信頼性の両立が重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、IoTデバイスの品質管理と開発効率向上に貢献します。【活用シーン】・IoTデバイスの量産テスト・接続性評価テスト・品質管理【導入の効果】・テスト時間の短縮・高い信頼性の確保・生産性の向上

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【電子機器向け】Orizuru MES

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

電子機器業界では、製造工程の効率化と品質向上が求められています。特に、多品種少量生産や複雑な工程管理においては、リアルタイムな情報共有と迅速な意思決定が重要です。工程の遅延や品質問題は、コスト増加や顧客からの信頼失墜につながる可能性があります。『Orizuru MES』は、既存の設備やシステムを活かしながら、段階的なスマートファクトリー化を支援します。【活用シーン】・電子機器製造における工程管理・生産性の見える化・品質管理の強化【導入の効果】・工程の最適化による生産性向上・品質の安定化・無駄の削減

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【AI向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

AI分野では、学習モデルの精度向上と高速化が重要な課題です。そのため、AIチップの品質を迅速に評価し、不良品の早期発見と歩留まり向上を図ることが求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、AIチップのテスト時間を短縮し、開発サイクルの高速化に貢献します。【活用シーン】・AIチップの量産テスト・学習データ収集のためのチップ選別・AI開発におけるプロトタイプ評価【導入の効果】・テスト時間の短縮による開発期間の短縮・不良品の早期発見によるコスト削減・高品質なAIチップの安定供給

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【半導体製造向け】A-143 高精度リニアエアベアリングステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの精度が求められます。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や生産効率の低下につながる可能性があります。A-143 高精度リニアエアベアリングステージは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、半導体製造における高精度な位置決めニーズに応えます。【活用シーン】・半導体製造装置・検査装置・計測機器【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・非接触構造による長寿命化・クリーンルーム対応による高い信頼性

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【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ

ハイウィン株式会社

FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】・FPDパネルの寸法測定・異物・欠陥検査・位置決め精度の高い検査工程【導入の効果】・検査時間の短縮・生産性の向上・検査精度の向上

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【電子機器向け】卓上3次元測定器『Fulcrum』

株式会社システムクリエイト

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、部品の精密な検査が不可欠です。特に、小型化が進む電子部品においては、わずかな寸法のずれや形状の異常が、製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。従来の測定方法では、時間と手間がかかり、検査効率が課題となることも少なくありません。Fulcrumは、現場で簡単に測定できるため、検査工程を効率化し、高品質な製品の提供を支援します。【活用シーン】・電子部品の寸法測定・基板実装後の部品検査・試作品の形状確認【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の早期発見・品質管理の向上

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【半導体向け】Cheetah EVOによる欠陥検出

コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社

半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造プロセスにおける微細な欠陥の検出が不可欠です。特に、デバイスの小型化と高密度化が進む中で、目視検査では見つけにくい微細な欠陥が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。《 Cheetah EVO 》は、これらの課題に対し高精度なX線検査技術を提供します。【活用シーン】 ● 半導体チップの内部欠陥検査 ● パッケージングの不良解析 ● 実装基板の接合不良検査【導入の効果】 ● 欠陥の早期発見による歩留まり向上 ● 検査プロセスの自動化による省人化 ● 高品質な製品の安定供給

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【半導体技術向け】可変ストローク対応 XYピエゾステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造のウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。位置決めの誤差は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立し、1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置・ウェーハ検査・マスクアライメント・プロービング【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・安定した動作による生産性の向上・小型筐体による装置への組み込みやすさ・長寿命アクチュエータによるメンテナンス性の向上

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【電子機器向け】卓上式グロスリークテストシステム MSA

株式会社フクダ

電子機器業界において、製品の防水性は信頼性を左右する重要な要素です。水分の侵入は、回路の腐食や短絡を引き起こし、製品の故障につながる可能性があります。特に、屋外で使用される電子機器や、水回りでの利用を想定した製品においては、高い防水性能が求められます。MSA-0101 seriesは、PFASフリーのエアリークテストにより、電子機器の防水性能を効率的に検査します。【活用シーン】・スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサなどの防水検査・開発段階での試作評価・抜き取り検査【導入の効果】・PFASフリーによる環境負荷低減・エアリークテストによるランニングコスト削減・小型デバイスから中型デバイスまで対応可能

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【電子機器向け】リークテスタ NT-600

株式会社ナック

電子機器業界では、製品の信頼性を高めるために、防水性の確保が求められます。水没検査では、ワークを濡らしてしまう可能性があり、検査後の乾燥工程が必要になる場合があります。当社のリークテスタNT-600は、高精度差圧センサーで気密（漏れ）検査を行い、ワークを濡らすことなく、数値的な検査が可能です。自動機への組み込みも容易で、電子機器の品質管理に貢献します。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末・小型部品の気密検査・防水コネクタ・電子部品の防水検査【導入の効果】・製品の防水性能を数値で管理・不良品の早期発見・検査工程の効率化・品質の向上

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【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

PIジャパン株式会社

半導体プロセスや検査装置では、サブミクロンレベルでの位置補正や焦点調整が品質安定化の鍵となります。特に検査工程や微細加工工程では、ナノメートル分解能での高精度位置制御が求められます。P-616 NanoCubeは、各軸100 µmのストロークを備えたコンパクトなXYZピエゾナノポジショナーです。高剛性フレクシャガイド構造によりバックラッシュのない滑らかな動作を実現し、ナノメートル分解能での微細位置調整が可能です。半導体製造装置内の微動補正ステージや検査装置への組込み用途に適しています。【活用シーン】・ウェーハ検査装置の微細位置補正・マスク検査工程・レーザーアニール装置の焦点調整・プロービング装置の微動制御・半導体研究開発用途【導入の効果】・ナノメートル分解能による高精度位置補正・バックラッシュレス構造による高再現性・コンパクト設計で装置組込みが容易・微細工程の安定化に貢献

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【電子部品実装向け】CMXシリーズ

千代田光機株式会社

電子部品実装の分野では、高品質な製品を安定して供給するために、実装プロセスの正確性と信頼性が求められます。特に、微細な部品の実装においては、位置ずれや異物の混入が製品の不良につながる可能性があります。CMXシリーズは、ウエハーの外観・内面検査において、高精度な画像取得を可能にし、実装プロセスの品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の実装工程における検査・ウエハーの外観検査・実装後の部品の品質検査【導入の効果】・実装不良の早期発見・品質管理の向上・歩留まりの改善

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【家電向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

家電業界では、製品の小型化が進み、それに伴いICチップの集積度も高まっています。これにより、ICチップのテスト工程では、高い精度と効率性が求められます。特に、限られたスペースの中で、多数のICチップを迅速かつ正確にテストすることが重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、小型家電製品のICテストにおける課題を解決し、高品質な製品開発をサポートします。【活用シーン】・小型家電製品のICテスト工程・高密度実装されたICチップのテスト・生産効率の向上【導入の効果】・テスト時間の短縮・不良品の削減・製品の信頼性向上

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【半導体向け】自動化装置のご紹介

株式会社タイトウトレーディング

半導体業界における搬送工程では、製品の品質維持と生産性の向上が求められます。特に、部品の搬送においては、正確な位置決めと異物混入の防止が重要です。不適切な搬送は、製品の破損や歩留まりの低下につながる可能性があります。当社の自動化装置は、これらの課題に対応し、搬送工程の最適化を実現します。【活用シーン】・搬送・部品の組み立て工程への供給・検査装置への搬入【導入の効果】・搬送時間の短縮・異物混入のリスク低減・生産性の向上

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【半導体向け】超高画素CoaXPressカメラ

株式会社シーアイエス

半導体業界では、製品の品質を確保するために、ウエハや基板の微細な欠陥を正確に検出することが不可欠です。特に、製造プロセスの高度化に伴い、欠陥のサイズはますます小さくなっており、従来の検査方法では見逃してしまう可能性があります。当社の超高画素CoaXPressカメラは、広視野角と超高精細な撮像能力により、微細な欠陥を高精度に検出します。これにより、不良品の流出を防止し、歩留まりを向上させることが可能です。【活用シーン】・半導体ウエハの欠陥検査・基板の異物検査・電子部品の外観検査【導入の効果】・微細な欠陥の検出精度向上・不良品の流出防止・歩留まりの向上

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【電子機器向け】4K/60fpsデジタルマイクロスコープ

ゲルハルトジャパン株式会社

電子機器業界における基板確認では、高品質な画像による詳細な観察が求められます。特に、微細な部品の欠陥や接合部の異常を正確に捉えることが、製品の品質管理において重要です。4K/60fpsデジタルマイクロスコープ TAGARNO T50は、高解像度と高フレームレートにより、歪みや遅延のないスムーズでシャープな画像を提供し、基板の細部まで鮮明に観察できます。全自動機能により、効率的な検査をサポートします。【活用シーン】・基板製造工程における品質検査・製品開発における試作基板の評価・修理・メンテナンス時の不具合箇所の特定【導入の効果】・高画質による詳細な観察で、不良品の早期発見が可能・オートフォーカス機能により、ピント調整の手間を軽減・ワンタッチでの画像保存により、記録と共有が容易・オンライン会議アプリとの連携で、遠隔地との情報共有が可能

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【半導体製造向け】HIWIN単軸ロボット

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハや基板の搬送において、高い精度と信頼性が求められます。特に、クリーンルーム環境下での搬送は、異物混入を防ぎ、歩留まりを向上させるために重要です。単軸ロボットの故障は、生産ライン全体の停止につながり、大きな損失を招く可能性があります。HIWIN単軸ロボットは、これらの課題に対し、高精度な位置決め性能と高い信頼性で貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・基板搬送・部品のピッキングと配置・クリーンルーム内での搬送【導入の効果】・搬送時間の短縮・位置決め精度の向上・歩留まりの改善・生産性の向上

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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03

PIジャパン株式会社

半導体分野では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に検査工程や微細加工では、わずかな位置ずれが測定誤差や歩留まり低下につながり、製品品質に大きく影響します。 V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現。さらに、高剛性クロスローラーガイドと非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュのない安定した位置決めと高い再現性を確保します。最大150 Nの高荷重対応および空圧式カウンターバランスにより、重量物の精密位置決めにも最適です。【活用シーン】・半導体検査装置・ウェーハ検査・計測装置・精密測定機器【導入の効果】・高精度位置決めによる測定精度の向上・高速応答によるタクトタイム短縮・高剛性ガイドによる安定した動作・高荷重対応による用途拡張・セルフロック機能による安全性向上

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【半導体検査向け】RSシリーズスカラロボット

ハイウィン株式会社

半導体業界の検査工程では、製品の品質を保証するために、高速かつ正確な位置決めが求められます。特に、微細な部品の検査においては、高い精度と安定した動作が不可欠です。不適切な位置決めや動作の遅延は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。HIWINのRSシリーズスカラロボットは、自社開発部品により、敏捷で高精度な動作を実現し、半導体検査工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ、チップ、電子部品などの検査・高速ピックアンドプレース・精密部品の組み立て【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の削減・生産性の向上

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【IoT無線向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

IoT分野の無線通信技術は、ますます高度化し、高速データ通信へのニーズが高まっています。この分野では、デバイスの小型化と高性能化が進み、高周波特性の正確な測定が不可欠です。特に、無線通信モジュールやアンテナなどのテストにおいて、高周波信号の正確な伝送と測定が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波帯域の測定にも対応可能です。【活用シーン】・IoT向け無線通信デバイスの評価・検証・高周波・ミリ波測定が必要な半導体デバイスの設計検証【導入の効果】・高周波特性の正確な測定・安定した測定環境の実現

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【電子機器向け】コンパクトエアリークテスター FLZ-0220

株式会社フクダ

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、筐体の気密性検査が重要です。特に、外部からの異物混入や湿気による故障を防ぐためには、エアリークテストによる厳格な検査が不可欠です。FLZ-0220シリーズは、エアリークテストに必要な機能をすべて搭載し、タッチパネルによる操作性の向上とコンパクトサイズを実現しています。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末の筐体検査・各種電子部品の筐体検査・キーレススイッチなどの気密検査【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・検査時間の短縮

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【半導体向け】HIWINトータルソリューション

ハイウィン株式会社

半導体業界における精密搬送では、ウエハや基板の正確な位置決めと高速搬送が求められます。特に、製造プロセスの効率化と歩留まりの向上が重要な課題です。HIWINトータルソリューションは、直動・回転部品だけでなく、モーターやドライバーなどの電子部品を組み合わせた産業用ロボットや超精密位置決めステージを提供し、これらの課題に対応します。【活用シーン】・ウエハ搬送・基板搬送・検査装置・組み立て工程【導入の効果】・製造プロセスの効率化・歩留まり向上・コア技術への集中・工数削減

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【家電向け】リークテスター

株式会社ナック

家電業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、気密性の維持が重要です。特に、温度変化や振動にさらされる製品においては、漏れは性能劣化や故障の原因となります。当社の高品質リークテスターは、これらの課題に対応し、製品の耐久性向上に貢献します。【活用シーン】・家電製品の製造工程における気密検査・製品の品質管理における漏れ検査・耐久性試験における漏れの有無の確認【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・顧客満足度の向上

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【半導体向け】リアルタイム生産最適化スケジューラー

NEXTOPT

半導体業界では、ウェーハ製造における多様なニーズへの対応と、製造プロセスの効率化が求められています。特に、製造工程の遅延やライン停止は、納期遅延や顧客満足度の低下につながる可能性があります。リアルタイム生産最適化スケジューラーは、工程進捗や突発的な変更に1クリックで対応し、計画を自動的に立案します。これにより、リードタイムを短縮し、納期遵守率の向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ製造工程における、部品供給の遅延発生時・生産ラインの急な変更時・作業者の欠勤発生時【導入の効果】・リードタイム短縮・納期遵守率向上・計画変更工数の削減

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【通信業界向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

通信業界では、5G/6Gの普及に伴い、高速・大容量通信が求められ、信号品質の維持が重要です。高周波デバイスのテストにおいて、正確な測定が不可欠であり、わずかな信号の劣化も許されません。 PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応デバイスの特性評価・基地局向けデバイスの品質検査・高速伝送ラインの信号 integrity測定【導入の効果】・高周波特性の正確な測定による製品品質向上・安定した測定環境の実現による開発期間の短縮・ミリ波帯を含む幅広い周波数帯域への対応

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【オフィス向け】FlexScan EV2410R

EIZO株式会社

オフィスでの業務効率化において、モニターの表示領域の広さは重要な要素です。特に、資料作成やデータ分析など、複数のウィンドウを同時に表示する必要がある場合、画面の狭さは作業効率を大きく低下させる可能性があります。 FlexScan EV2410Rは、WUXGA(1920×1200)解像度により、フルHDよりも広い表示領域を提供し、業務効率の向上に貢献します。また、省スペース設計と省エネ性能も、オフィス環境に適しています。【活用シーン】・オフィスでの事務作業・資料作成・データ分析・複数ウィンドウの同時表示【導入の効果】・作業効率の向上・省スペース化・省エネによるコスト削減

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【スマート家電向け】組込用小型二次元スキャナ『AMX-845』

アイメックス株式会社

スマート家電の設定において、製品の識別や設定情報の入力は、ユーザーエクスペリエンスを大きく左右します。特に、製品の小型化が進む中で、コード読み取りの正確性と利便性が重要になります。 AMX-845は、小型でありながら、スマートフォンやタブレットの液晶画面に表示されたコードを瞬時に読み取ることが可能です。これにより、スマート家電の設定プロセスを効率化し、ユーザーの満足度向上に貢献します。【活用シーン】・スマート家電製品の設定・製品登録時の情報入力・保証期間の確認【導入の効果】・設定時間の短縮・誤入力の防止・顧客満足度の向上

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【半導体製造向け】Z方向・チップ/チルトステージ動作 A-523

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノレベルの位置精度が求められます。振動や熱の影響を受けやすい環境下では、安定した位置決め性能が不可欠です。当社の薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージは、3軸の超高精度位置決めを実現し、半導体製造における位置決め精度と生産性の向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・微細加工・検査工程【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・摩擦のないモーションプラットフォームによる高い耐久性・薄型設計による装置の小型化・3軸動作による柔軟な対応

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【イメージセンサー向け】CIシリーズ

株式会社安永

イメージセンサー業界では、画素の品質を保証するために、ベアチップの外観検査が重要です。特に、微細な欠陥や異物は、画質の低下や製品の不良につながる可能性があります。CIシリーズは、高精細な外観検査により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・イメージセンサー製造における出荷前検査・画素評価における欠陥検出・ベアチップのソーティング【導入の効果】・不良品の流出防止・品質の向上・検査工程の効率化

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ウェーハ検査における検査時間の短縮

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

課題

検査精度の維持と時間短縮の両立

検査時間を短縮しようとすると、見逃しや誤検出が増加し、品質低下のリスクが高まります。高精度な検査を維持しつつ、いかにスピーディーに処理するかが大きな課題です。

膨大なデータ処理能力の限界

ウェーハ上の微細な欠陥を高解像度で捉えるためには大量の画像データを取得・解析する必要があります。このデータ処理に時間がかかり、ボトルネックとなっています。

検査装置の稼働率低下

複雑な検査プロセスや装置の段取り替えに時間がかかり、装置が実際に検査を行っている時間（稼働率）が低下しています。これにより、全体の生産性が阻害されます。

熟練オペレーターへの依存

高度な検査判断には経験豊富なオペレーターのスキルが不可欠ですが、その育成には時間がかかり、人手不足も相まって検査時間の遅延を招くことがあります。

対策

AI・機械学習による検査自動化

AIや機械学習を活用し、欠陥検出・分類の精度向上と処理速度の高速化を図ります。これにより、人手に頼る部分を減らし、検査時間を大幅に短縮します。

並列処理・高速データ転送技術の導入

複数の検査を同時に実行できる並列処理や、大容量データを瞬時に転送できる技術を導入し、データ処理のボトルネックを解消します。

検査プロセスの最適化と自動化

検査手順の見直しや、装置間の連携強化、自動搬送システムなどを導入し、検査装置の稼働率を最大化します。

インライン検査・リアルタイムフィードバック

製造ライン上でリアルタイムに検査を行い、問題発生時に即座にフィードバックすることで、後工程での手直しや再検査を削減し、全体の時間を短縮します。

対策に役立つ製品例

画像認識ソフトウェア

高度な画像処理アルゴリズムと機械学習モデルを搭載し、ウェーハ上の微細な欠陥を高速かつ高精度に検出・分類します。これにより、検査時間の短縮と精度の両立を実現します。

高速データ処理システム

大量の検査データを効率的に収集・解析するための高性能なコンピューティングリソースとネットワーク技術を提供します。これにより、データ処理のボトルネックを解消し、検査時間を短縮します。

自動検査装置制御システム

複数の検査装置を統合的に管理し、検査プロセス全体の最適化と自動化を実現します。これにより、装置の稼働率向上と検査時間の短縮に貢献します。

リアルタイムモニタリングシステム

製造ライン上の検査状況をリアルタイムで可視化し、異常を即座に検知・通知します。これにより、問題発生時の迅速な対応を可能にし、手直しや再検査による時間ロスを削減します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

検査時間の短縮とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

各社の製品

ウェーハ検査における検査時間の短縮

ウェーハ検査における検査時間の短縮とは？

​課題

検査精度の維持と時間短縮の両立

膨大なデータ処理能力の限界

検査装置の稼働率低下

熟練オペレーターへの依存

​対策

AI・機械学習による検査自動化

並列処理・高速データ転送技術の導入

検査プロセスの最適化と自動化

インライン検査・リアルタイムフィードバック

​対策に役立つ製品例

画像認識ソフトウェア

高速データ処理システム

自動検査装置制御システム

リアルタイムモニタリングシステム

課題

対策

対策に役立つ製品例