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切削液の効率利用とは？課題と対策・製品を解説
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ダイシングにおける切削液の効率利用とは？
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薄型コンパクトサイズの電気抵抗率測定モジュールです。
【特徴】
○水質と水温の両方をアナログ出力
○デジタル温度補償方式
○幅36mmと薄型コンパクトサイズ
○本体はDINレール取り付けで、制御盤内設置に最適
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ダイシングにおける切削液の効率利用
ダイシングにおける切削液の効率利用とは？
半導体製造におけるダイシング工程では、ウェハーを個々のチップに分割するために高精度な切断が行われます。この際、切削抵抗の低減、切粉の除去、冷却、潤滑などを目的として切削液が使用されま す。切削液の効率的な利用は、コスト削減、環境負荷低減、そして加工精度の維持・向上に不可欠です。
課題
切削液の過剰消費と廃棄
ダイシング工程で必要以上に切削液が使用され、汚染された切削液の廃棄量が増加している。
切削液の性能低下と交換頻度増加
切粉や異物混入により切削液の性能が低下し、頻繁な交換が必要となりコストが増大している。
切削液の回収・再利用システムの非効率性
使用済み切削液の回収、ろ過、再生プロセスが非効率的で、再利用率が低い。
切削液管理の人的負担とミス
切削液の補充、濃度管理、清掃などの管理作業に人的リソースが多く割かれ、ヒューマンエラーが発生しやすい。
対策
切削液供給量の最適化
切削条件やダイシングブレードの種類に合わせて、最適な切削液供給量を自動調整するシステムを導入する。
高性能ろ過・分離技術の導入
切粉や微細な異物を効率的に除去できる高度なろ過・分離システムを導入し、切削液の寿命を延ばす。
自動回収・再生システムの構築
使用済み切削液を自動で回収し、ろ過・再生して再利用するクローズドループシステムを構築する。
切削液モニタリングと自動管理
切削液の濃度、温度、pHなどをリアルタイムで監視し、自動で調整・補充するシステムを導入する。
対策に役立つ製品例
精密流量制御バルブ
切削液の供給量を高精度に制御し、無駄な消費を削減する。
多段階式切削液浄化装置
複数のろ過・分離技術を組み合わせ、切削液中の異物を徹底的に除去し、再利用率を高める。
自動切削液リサイクルシステム
使用済み切削液の回収から再生までを自動化し、人的負担を軽減しつつ効率的な再利用を実現する。
インライン切削液分析・調整ユニット
切削液の状態を常時監視し、自動で最適な状態に保つことで、性能低下を防ぎ交換頻度を減らす。
