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金属汚染の防止とは?課題と対策・製品を解説

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電極形成における金属汚染の防止とは?
半導体デバイスの性能を左右する電極形成プロセスにおいて、意図しない金属不純物の混入を防ぐことは、歩留まり向上と信頼性確保のために極めて重要です。微細化が進むにつれて、わずかな金属汚染もデバイス特性に深刻な影響を与えるため、その防止策は製造技術の根幹をなします。
各社の製品
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【電子部品業界向け】PSA方式-窒素発生装置
【電子機器向け】SAIWシートメタル洗浄機
【化学プラント向け】全面PTFE接液ライニングパイプ
【電子機器向け】タッチレスバルブフィーダ
【精密機器向け】AS-300実機洗浄テストのご案内
精密機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、油分の完全な除去が不可欠です。油分は、製品の性能低下や故障の原因となり、歩留まりの悪化にもつながります。特に、精密な部品や電子機器においては、微細な油分が製品の動作不良を引き起こす可能性があります。タイセイクリンケミカル株式会社のAS-300実機洗浄テストは、AGC株式会社のフッ素系溶剤「AMOLEA AS-300」を使用し、お客様の精密機器に最適な洗浄条件を見つけるためのテストを提供します。経験豊富なスタッフが、洗浄条件や洗浄液の回収再利用についてもご提案いたします。
【活用シーン】
・精密機器部品の油分除去
・電子部品の洗浄
・金属部品の脱脂
【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・製品の信頼性向上
電気電子向け|ドライアイスブラスト洗浄
銅表面の酸化被膜を除去『1-チオグリセロール』
チャンバーなどの半導体製造装置部材の コーティングに!シリカコート
チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに実績が多数ある『シリカコート Quartzace』では、
基材は金属、樹脂、ゴム、生体など、様々な基材に対応でき、基材の特長を活かしたまま、表面のみシリカガラスの特性が得られます。
例えば、金属にコーティングすれば、塩酸ガスなどに対してシリカガラスの優れた耐食性が得られます。
また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。
先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大きく影響するため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善します。
【概要】
■組成:SiO2
■膜厚:0.1~3μm
■耐熱:350℃(-196℃~900℃)
■目的:腐食対策、メタルコンタミ対策(F系のガス以外)
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
熱伝導グリス専用クリーナー『TG REMOVE』
HDDパーツの洗浄サービス
常に『ベストな洗浄』を提案する
スピードファムクリーンシステム社の『HDDパーツの洗浄サービス』
■□■洗浄工程■□■
【1】加工後の洗浄
【2】表面処理前後の洗浄
【3】アセンブリー前の洗浄
【4】出荷前の洗浄
【5】ケース洗浄
■□■洗浄方法■□■
■流水スクラブ(PAT.PEND)
■流水超音波洗浄(PAT.)
■超音波併用・4面オーバーフロー洗浄
■シャワー洗浄付QDR(クイック・ダンプ・リンス)
■□■乾燥方法■□■
■NEO乾燥
■温純水引き上げ乾燥(PAT.)
■IPA蒸気乾燥
■スピン乾燥
■真空乾燥
■温風乾燥
■その他詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。










