top of page
半導体製造装置・材料

半導体製造装置・材料に関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。

成膜プロセスの効率化とは?課題と対策・製品を解説

mushimegane.png

目的・課題で絞り込む

​カテゴリで絞り込む

検査・測定装置
材料
自動化・ITソリューション
製造装置
関連技術
その他半導体製造装置・材料
nowloading.gif

薄膜形成における成膜プロセスの効率化とは?

半導体製造において、微細かつ均一な薄膜を形成する成膜プロセスは、デバイス性能を左右する重要な工程です。このプロセスの効率化は、生産性向上、コスト削減、そしてより高性能な半導体チップの実現に不可欠です。

各社の製品

絞り込み条件:

​▼チェックした製品のカタログをダウンロード

​一度にダウンロードできるカタログは20件までです。

【電池向け】卓上型分散機 magic PLANT
ダウンロードお問い合わせ

電池業界における電極作製では、均一な材料混合と分散が、電池の性能を左右する重要な要素です。電極材料の粒子径や分散状態が不均一な場合、電池の充放電効率が低下し、寿命が短くなる可能性があります。magic PLANTは、材料の特性に合わせて最適な混合・分散プロセスを提供し、電極作製の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・電池材料(スラリー)の混合・分散
・電極合材の調製
・研究開発における少量サンプル作製

【導入の効果】
・均一な材料分散による電池性能の向上
・スケールアップを見据えた研究開発の効率化
・多様な材料への対応による研究の幅の拡大

【半導体成膜管理向け】SM-100 series
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界の成膜管理においては、高品質な製品を安定的に製造するために、膜厚の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜の成膜プロセスにおいては、膜厚のわずかな差異が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のばらつきや精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。SM-100 seriesは、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能で、基材を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。

【活用シーン】
・半導体製造工程における成膜プロセスの品質管理
・研究開発における薄膜材料の評価
・製造現場での迅速な膜厚測定

【導入の効果】
・測定時間の短縮
・測定結果の安定化
・不良品の削減

【半導体製造装置向け】部品製造トータルサポート
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造装置業界では、高度な精密性と安定性が求められます。微細加工においては、寸法の正確さ、表面の滑らかさ、そして異物混入の防止が、装置の性能を左右する重要な要素です。これらの要素が満たされない場合、歩留まりの低下や装置の故障につながる可能性があります。TBMの部品製造トータルサポートは、JISQ9100認証に裏打ちされた厳格な品質管理体制のもと、高精度かつ安定した品質の部品を提供することで、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の微細加工部品
・高精度が求められる部品
・品質と納期を両立したい場合

【導入の効果】
・高品質な部品の安定供給
・リードタイムの短縮
・コストの最適化

【ディスプレイ向け】台湾産APT
ダウンロードお問い合わせ

ディスプレイ業界では、薄膜形成技術が製品の性能を大きく左右します。特に、スパッタリング法を用いた薄膜形成においては、成膜材料の品質が重要です。APTは、スパッタリングターゲットの原料として、高品質な薄膜形成に貢献します。高純度APTは、均一な膜厚と緻密な膜質を実現し、ディスプレイの表示性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・スパッタリングターゲット原料
・薄膜形成
・ディスプレイ製造

【導入の効果】
・高品質な薄膜形成による表示性能向上
・歩留まり向上
・製品の信頼性向上

【半導体製造向け】ロストワックス精密鋳造
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界では、チャンバー部品の耐久性と精密性が求められます。特に、高温・高圧環境にさらされるチャンバー部品においては、高い耐性と精密な形状が、製造プロセスの安定性に不可欠です。不適切な部品は、チャンバーの故障や性能劣化につながる可能性があります。ロストワックス精密鋳造は、複雑な形状の部品を高い精度で製造し、コストダウンにも貢献します。

【活用シーン】
・チャンバー部品
・真空チャンバー部品
・プラズマチャンバー部品

【導入の効果】
・コストダウン
・部品の一体化による組立工程の削減
・複雑形状の部品製造
・幅広い材質への対応

【電子材料向け】卓上型分散機 magic PLANT
ダウンロードお問い合わせ

電子材料業界における薄膜化プロセスでは、材料の均一な分散と精密な混合が、薄膜の品質を左右する重要な要素となります。特に、薄膜の性能を最大限に引き出すためには、材料の凝集を防ぎ、微細な粒子を均一に分散させることが不可欠です。magic PLANTは、真空、加圧、温調といった機能を備え、材料の状態を最適に保ちながら、均一な分散を実現します。これにより、薄膜の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子材料の研究開発
・薄膜材料の試作
・材料の分散・混合プロセス

【導入の効果】
・薄膜の均一性向上
・材料の無駄を削減
・研究開発期間の短縮

【半導体クリーンルーム向け】LCD装置調達・物流サポート
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界のクリーンルーム環境では、LCD装置の安定稼働が不可欠です。
装置の調達・物流における遅延や品質問題は、生産効率の低下や製品不良につながる可能性があります。
当社は、中国における長年の調達・物流経験を活かし、LCD関連装置をはじめ、半導体製造に必要な部品や装置の安定供給をサポートします。
高品質な製品を、最適なタイミングで提供することで、お客様の生産効率向上に貢献します。

【活用シーン】
・LCD製造装置
・クリーンルーム内での部品供給
・半導体製造ライン

【導入の効果】
・安定供給による生産効率の向上
・コスト削減
・品質管理の強化

【電池材料向け】MSローラミル
ダウンロードお問い合わせ

電池材料業界では、高性能化に伴い、材料の高密度化が求められています。微粉砕技術は、材料の粒子径を制御し、高密度化に貢献します。適切な粒子径制御は、電池の性能向上に不可欠です。MSローラミルは、粉砕、分級、空気輸送を組み合わせ、さらに熱風発生装置を搭載することで、粉砕と乾燥を同時に行える乾式微粉砕機です。

【活用シーン】
・電池材料の製造
・高密度化を目指す材料の粉砕
・乾燥と粉砕を同時に行いたい場合

【導入の効果】
・材料の高密度化を促進
・電池の性能向上に貢献
・乾燥工程の削減

【電子部品向け】リチウムイオン電池電極材スラリー混合・分散機
ダウンロードお問い合わせ

電子部品業界、特にリチウムイオン電池の電極材製造においては、材料の均一な混合が製品の性能を左右する重要な要素です。電極材スラリーの品質は、電池の充放電効率や寿命に直接影響するため、精密な混合技術が不可欠です。ダマの発生や均一性の低さは、製品の品質低下につながり、生産効率を著しく低下させる可能性があります。MHD2000インラインミキサーは、粉体と液体を1パスで連続的に混合・分散し、短時間で大量のスラリー製造を可能にします。高粘度スラリーにも対応し、電子部品製造における品質向上と生産効率の改善に貢献します。

【活用シーン】
・リチウムイオン電池電極材の製造
・高粘度スラリーの製造
・粉体と液体の混合
・均一な混合が必要な材料の製造

【導入の効果】
・高品質な電極材スラリーの安定供給
・生産時間の短縮
・材料ロスを削減
・スケールアップの容易さ
・テストによる製品適合性の確認

KNF NPK012シリーズ 揺動ピストン型ガスポンプ
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界では、製造プロセスにおける排気ガスの効率的な処理が求められます。特に、真空環境下でのガス排出は、製品の品質と製造効率に大きく影響します。不適切な排気は、製品の不良や製造時間の増加につながる可能性があります。KNF NPK012シリーズ 揺動ピストン型ガスポンプは、高い真空度と圧力性能により、半導体製造における排気プロセスを最適化します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の排気
・真空チャンバーからのガス排出
・分析装置におけるガス排出

【導入の効果】
・高い真空度と圧力性能による効率的な排気
・製品品質の向上
・製造プロセスの最適化

【電池電極作製向け】湿式粉砕機、分散機、撹拌機
ダウンロードお問い合わせ

電池業界の電極作製においては、電極材料の均一な混合と分散が、電池の性能を左右する重要な要素となります。特に、電極の耐久性や充放電効率を向上させるためには、材料の凝集を防ぎ、均一なスラリーを生成することが不可欠です。不均一な混合は、電池の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。当社の湿式粉砕機、分散機、撹拌機は、短時間で均一な混合・分散を実現し、電極作製の課題を解決します。

【活用シーン】
・電極材料(活物質、導電助剤、バインダーなど)の混合
・スラリーの均一化
・ダマの解消
・高粘度材料の混合

【導入の効果】
・混合時間の短縮
・均一なスラリーの生成
・電池性能の向上
・生産効率の改善

【電子材料向け】MSローラミル
ダウンロードお問い合わせ

電子材料業界では、製品の高性能化に伴い、原料の微細化が求められています。特に、電子部品の製造においては、材料の均一な粒子径と高品質な粉砕が、製品の性能を左右する重要な要素となります。不適切な粉砕は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。MSローラミルは、粉砕、分級、空気輸送を組み合わせ、電子材料の微細化ニーズに対応します。

【活用シーン】
・電子材料の微粉砕
・粉体材料の乾燥と粉砕

【導入の効果】
・幅広い範囲の微粉砕に対応
・乾燥工程の削減
・粉塵の発生を抑制

【データセンター向け】グラファイトシート
ダウンロードお問い合わせ

データセンターでは、サーバーの高密度化に伴い、冷却効率の向上が重要な課題となっています。過度な発熱は、サーバーの性能低下や故障につながり、運用コストの増加にもつながります。グラファイトシートは、高い熱伝導率により、効率的な熱拡散を実現し、サーバーの安定稼働に貢献します。

【活用シーン】
・サーバーラック内の熱対策
・CPU、GPUなどの発熱源の冷却
・データセンター全体の省エネ化

【導入の効果】
・サーバーの性能維持
・故障リスクの低減
・運用コストの削減

【エレクトロニクス向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

エレクトロニクス業界のスパッタ用途では、高品質な薄膜形成が求められます。特に、半導体デバイスや電子部品の製造においては、ターゲット材の純度や均一性が製品の性能を左右します。ジルコニウム(Zr)ターゲットは、耐食性や耐熱性に優れ、様々な電子部品の製造に利用されています。当社のジルコニウム(Zr)ターゲットは、高品質な薄膜形成を可能にし、お客様の製品の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造
・電子部品製造
・薄膜形成

【導入の効果】
・高品質な薄膜形成
・製品の信頼性向上
・スパッタリング効率の向上

【ProMOS】 ≪データセンター向け≫ DDR4 SDRAM
ダウンロードお問い合わせ

データセンター業界では、サーバーの処理速度向上が常に求められています。特に、大量のデータ処理や仮想化環境においては、メモリの高速化がシステムのパフォーマンスを左右する重要な要素です。DDR4 SDRAMは、高速なデータ転送速度と低消費電力を実現し、データセンターの効率的な運用に貢献します。ProMOSのDDR4 SDRAMは、安定した性能と幅広い温度範囲に対応しており、データセンターの厳しい環境下でも高い信頼性を発揮します。

【活用シーン】
・サーバーのメモリ増設
・仮想化環境のパフォーマンス向上
・高速データ処理

【導入の効果】
・サーバーの処理速度向上
・システムの応答性向上
・消費電力の削減

【電池向け】MHD2000 インラインミキサー
ダウンロードお問い合わせ

電池業界では、電極材料のスラリー混合において、均一性と生産効率が求められます。特に、電極の性能を左右するスラリーの品質は、粒子の分散性や混合の均一性が重要です。混合が不十分な場合、電池の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。MHD2000インラインミキサーは、粉体と液体を1パスで連続的に混合、分散できる装置です。短時間で大量のスラリー製造に適しており、高粘度スラリーにも対応できます。

【活用シーン】
・リチウムイオン電池、全固体電池、その他の次世代電池
・電極合材(活物質、導電助剤、バインダーなど)のスラリー製造
・電解液添加

【導入の効果】
・均一なスラリー混合による電池性能の向上
・生産時間の短縮と生産性の向上
・材料ロスを削減し、コスト削減に貢献
・スケールアップが容易

【半導体成膜向け】グラファイトヒーター
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界の成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成のために、精密な温度管理が不可欠です。特に、高温環境下での均一な温度分布と、高い耐久性が求められます。不適切な温度管理は、薄膜の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のグラファイト加工事例である高温炉・真空炉用ヒーター(エレメント)は、電気エネルギーを熱に変換し、炉内の温度を上昇させることで、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・CVD(化学気相成長)
・PVD(物理蒸着)
・ALD(原子層堆積)

【導入の効果】
・均一な温度分布による高品質な成膜
・高い耐久性による安定した稼働
・オーダーメイド対応による最適なサイズと形状

【電子部品洗浄向け】スチームトラップ PHV-Rシリーズ
ダウンロードお問い合わせ

電子部品の洗浄工程では、安定した蒸気供給が品質と効率を左右します。蒸気配管のドレン(水分)は、洗浄プロセスの妨げとなり、製品の品質低下やエネルギー効率の悪化を招く可能性があります。PHV-Rシリーズは、ドレンを連続して排出することで、安定した蒸気供給を実現し、洗浄品質の向上に貢献します。可動部がないため、故障のリスクを低減し、メンテナンスコストを削減します。

【活用シーン】
・電子部品の洗浄工程における蒸気配管
・洗浄後の乾燥工程
・蒸気を使用するあらゆる工程

【導入の効果】
・洗浄品質の向上
・エネルギー効率の改善
・メンテナンスコストの削減
・安定した蒸気供給による生産性の向上

【半導体向け】タングステン(W)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界において、スパッタリングは高品質な薄膜形成に不可欠です。特に、高集積化が進む中で、ターゲット材の純度と均一性が、デバイスの性能を左右する重要な要素となります。不純物の混入や膜厚のばらつきは、製品の歩留まり低下や信頼性問題を引き起こす可能性があります。当社タングステン(W)ターゲットは、高純度(≧5N)を実現し、スパッタリング効率を向上させることで、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・半導体製造における薄膜形成
・高密度デバイス製造
・スパッタリングによる金属膜形成

【導入の効果】
・高品質な薄膜形成によるデバイス性能向上
・歩留まりの改善
・信頼性の高い製品の実現

【半導体製造向け】温度調節大容量タンク
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界では、製造プロセスの品質と歩留まりを向上させるために、精密な温度管理が不可欠です。特に、ウェーハ製造やクリーンルーム環境においては、冷却水の温度変動が製品の品質に直接影響を与えるため、安定した冷却能力が求められます。温度管理が不十分な場合、製品の不良率増加や製造効率の低下につながる可能性があります。BUF2000は、冷水・温水システムにおける流量調整や容量不足を解消する高性能バッファタンクです。

【活用シーン】
・半導体製造工場の冷却水供給システム
・クリーンルームの空調システム
・精密機器の冷却

【導入の効果】
・冷却水供給の安定化
・温度管理精度の向上
・製造プロセスの効率化

LTC-ES超低熱伝導率材料、1600SFブランケット
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高温環境下での精密な温度制御は、半導体デバイスの性能を最大限に引き出すために不可欠です。不適切な断熱は、温度ムラやエネルギー損失を引き起こし、生産効率の低下につながる可能性があります。イソライト工業のLTC-ES超低熱伝導率材料、1600SFブランケットは、優れた断熱性能により、安定した温度環境を提供し、半導体製造における課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の断熱
・高温環境下での部品保護
・熱処理工程における温度管理

【導入の効果】
・温度分布の均一化
・エネルギーコストの削減
・製品品質の向上

【半導体製造向け】圧力コントローラCPC6050
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界、特に成膜プロセスにおいては、高品質な薄膜形成のために、圧力の精密な制御が不可欠です。成膜プロセスの安定性と再現性を確保するためには、圧力コントローラが重要な役割を果たします。圧力のわずかな変動が、膜厚や組成に影響を与え、最終製品の性能を左右する可能性があります。CPC6050は、高精度な圧力制御により、成膜プロセスの最適化を支援します。

【活用シーン】
・CVD(化学気相成長)
・PVD(物理気相成長)
・ALD(原子層堆積)
・スパッタリング

【導入の効果】
・成膜プロセスの安定化
・膜質の向上
・歩留まりの改善

【電池業界向け】Volkmannランプブレーカー
ダウンロードお問い合わせ

電池材料は凝集しやすい傾向が有り、次工程の歩留まりを発生する事が見られます。Volkmannランプブレーカーは、これらの凝集塊を効率的に解砕し、材料の均一性を高めることで、生産工程の工場に貢献します。

【導入の効果】
・材料の均一化による反応効率の向上
・生産の安定化
・歩留まりの向上

【ディスプレイ向け】ジルコニウム(Zr)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

ディスプレイ業界における成膜プロセスでは、高品質な薄膜形成が求められます。特に、ディスプレイの表示性能を左右する薄膜の均一性や密着性は重要です。ジルコニウム(Zr)ターゲットは、これらの要求に応えるための材料です。

【活用シーン】
・ディスプレイ製造におけるスパッタリング成膜
・高品質な薄膜形成が必要な場面

【導入の効果】
・高品質な薄膜形成によるディスプレイ性能の向上
・安定した成膜プロセスの実現

【電子機器向け】リードタイム短縮で在庫削減!
ダウンロードお問い合わせ

電子機器業界では、製造工程の効率化が、コスト削減と納期短縮に不可欠です。特に、部品点数の増加や複雑化する工程において、生産リードタイムの長さは、在庫の増加や機会損失につながる可能性があります。この動画では、在庫管理の基本として、生産リードタイムの短縮について解説しています。

【活用シーン】
・電子機器の製造工程における在庫管理
・部品の調達から製造、納品までのリードタイム短縮

【導入の効果】
・在庫金額の削減
・製品の供給体制の安定化
・顧客満足度の向上

【電池電極作製向け】常温粉砕機(ミキサーミル)
ダウンロードお問い合わせ

電池業界では、電極材料の均一な粉砕と混合が、電池の性能を左右する重要な要素です。特に、電極の耐久性や充放電効率を高めるためには、材料の粒子径を精密に制御し、均一に混合する必要があります。不均一な粉砕や混合は、電池の性能低下や寿命短縮につながる可能性があります。Cole-Parmer社 常温粉砕機(ミキサーミル)は、粉砕用ボールとサンプルを容器に入れ、高速回転させることで、電極材料を均一に粉砕・混合します。これにより、高品質な電極作製をサポートします。

【活用シーン】
・リチウムイオン電池、燃料電池の電極材料の粉砕
・電極材料の混合
・XRF用サンプルの前処理

【導入の効果】
・電極材料の粒子径制御による電池性能向上
・均一な混合による電池の耐久性向上
・XRF分析の前処理時間の短縮

【半導体向け】空冷式フルードチラー(150kW)
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、精密な温度制御が求められる工程においては、冷却能力の安定性と信頼性が不可欠です。温度管理が不十分な場合、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。Aggrekoの空冷式フルードチラーは、水または水-グリコール冷却用に設計されており、-12°C ~ +15°Cの幅広い温度範囲で精密な温度制御を実現します。屋外設置が可能で、半導体製造プロセスにおける冷却ニーズに対応します。

【活用シーン】
・半導体製造工場の冷却
・クリーンルームの温度管理
・製造装置の冷却

【導入の効果】
・安定した温度管理による製品品質の向上
・製造プロセスの効率化
・柔軟なレンタルによるコスト最適化

【通信高速化向け】半導体製造装置用部品
ダウンロードお問い合わせ

通信業界における高速化のニーズに応えるためには、半導体製造装置の信頼性と性能が不可欠です。
特に、5Gやそれ以降の通信規格に対応するためには、高精度な部品が求められます。
部品の品質が、通信速度や安定性に直接影響を与えるため、信頼性の高い部品調達が重要です。
TAITOHの半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、通信インフラの高速化を支えます。

【活用シーン】
・5G基地局
・データセンター
・高速通信機器

【導入の効果】
・通信速度の向上
・システムの安定性向上
・長期的な運用コストの削減

【半導体成膜向け】ソニア社製超音波スプレーノズル
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造における成膜工程では、均一な膜厚と高品質な成膜が求められます。特に、微細な構造を持つ半導体デバイスにおいては、塗布液の粒子径や塗布の均一性が、製品の性能を大きく左右します。従来の塗布方法では、液体の飛散や無駄が多く、歩留まりの低下やコスト増につながる可能性があります。ソニア社製超音波スプレーノズルは、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・ウェーハへの薬液塗布
・薄膜形成
・フォトレジスト塗布

【導入の効果】
・微細な粒子径による均一な成膜
・薬液の無駄を削減し、コストを低減
・塗布ムラの抑制による歩留まり向上

【電子部品向け】ユニバーサル・マグドライブ
ダウンロードお問い合わせ

電子部品業界の精密な製造プロセスでは、液体の漏れや汚染は重大な問題となり、製品の品質と信頼性を損なう可能性があります。特に、精密な部品の製造においては、液体の正確な制御と安全な取り扱いが不可欠です。バイキングポンプ『ユニバーサル・マグドライブ』は、高水準の液封技術により、液体の漏れを最小限に抑え、製品の品質維持に貢献します。

【活用シーン】
・精密電子部品製造における薬液供給
・クリーンルーム環境での液体の移送
・腐食性液体の取り扱い

【導入の効果】
・液漏れによる製品不良のリスク低減
・メンテナンスコストの削減
・作業環境の改善

【データセンター向け】ECP3 FPGA
ダウンロードお問い合わせ

データセンター業界では、増大するデータトラフィックに対応するため、高速かつ信頼性の高い通信が不可欠です。特に、サーバー間のデータ転送やネットワーク機器の処理能力は、システムのパフォーマンスを左右する重要な要素となります。製造中止となったFPGAの供給不足は、システムのアップグレードやメンテナンスに大きな影響を与える可能性があります。ロチェスターエレクトロニクスは、ECP3 FPGAの継続供給を通じて、データセンターの高速通信ニーズに応えます。

【活用シーン】
・サーバー間の高速データ転送
・ネットワーク機器の性能向上
・通信インフラの安定運用

【導入の効果】
・システムの安定稼働
・通信速度の向上
・長期的な運用コストの削減

【半導体製造向け】キャパシタ搭載 電圧/周波数安定化電源
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な変動が製品の歩留まりに大きく影響します。特に、製造装置への電力供給は、電圧や周波数のわずかな変動や瞬停によって、装置の誤作動やデータの損失を引き起こし、歩留まりの低下につながる可能性があります。当社のキャパシタ搭載 電圧/周波数安定化電源は、電圧や周波数の安定供給を実現し、瞬停時のバックアップにも対応することで、半導体製造における歩留まり改善に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造装置への電源供給
・クリーンルーム内の精密機器への電源供給
・検査装置への安定電源供給

【導入の効果】
・歩留まりの向上
・製造プロセスの安定化
・装置のダウンタイム削減

【電子機器向け】タンタル(Ta)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

電子機器業界において、コンデンサは製品の小型化と高性能化を両立するために重要な役割を担っています。特に、高い信頼性と長寿命が求められるコンデンサにおいては、高品質な材料の選定が不可欠です。タンタル(Ta)ターゲットは、このようなニーズに応えるために開発されました。

【活用シーン】
・コンデンサ製造
・電子デバイス製造

【導入の効果】
・コンデンサの性能向上
・製品の信頼性向上
・薄膜堆積効率の向上

【監視システム向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー
ダウンロードお問い合わせ

セキュリティ業界、特に監視システムにおいては、カメラやセンサーの安定した動作が不可欠です。高温環境下では、これらの電子機器の性能が低下し、誤作動や故障のリスクが高まります。これにより、監視の精度が落ち、セキュリティ上の問題につながる可能性があります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、これらの問題を解決するために開発されました。

【活用シーン】
・監視カメラ
・熱源となる電子機器
・屋外設置のセンサー

【導入の効果】
・機器の安定動作
・誤作動のリスク低減
・長寿命化

【通信向け】タンタル(Ta)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

通信業界、特に高周波用途においては、信号の伝送効率とデバイスの耐久性が重要な課題です。高周波デバイスは、高温環境や電磁波の影響を受けやすく、使用される材料の品質が性能を大きく左右します。タンタル(Ta)ターゲットは、高耐熱性、優れた耐蝕性、良好な導電性を持ち、これらの課題に対応します。当社タンタル(Ta)ターゲットは、高品質な薄膜形成を実現し、通信デバイスの高性能化に貢献します。

【活用シーン】
・高周波フィルター
・高周波アンプ
・通信衛星部品
・5G基地局

【導入の効果】
・高周波特性の向上
・デバイスの長寿命化
・信号伝送の安定性向上
・薄膜堆積効率の向上

【電池向け】小型インラインミキサー magic LAB
ダウンロードお問い合わせ

電池業界では、高性能な電池を開発するために、スラリーの均一な混合が求められます。特に、電極材料の分散性が電池の性能を左右するため、スラリーの品質が重要です。不適切な混合は、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。IKA magic LABは、インライン式による均一な混合・分散を卓上ラボスケールで実現し、電池スラリーの研究開発をサポートします。

【活用シーン】
・電池材料(正極材、負極材、電解液など)のスラリー調製
・ラボスケールでのスラリー混合条件の検討
・少量しか使用できない高価な原料の研究

【導入の効果】
・スラリーの均一性向上による電池性能の向上
・スケールアップを見据えた研究開発の効率化
・材料の有効活用によるコスト削減

【ディスプレイ向け】ハフニュウム(Hf)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

ディスプレイ業界では、薄膜形成技術が製品の性能を左右します。特に、スパッタリング技術を用いた高品質な薄膜形成には、高純度Hfターゲットが不可欠です。Hfターゲットの純度と均一性が、ディスプレイの表示性能や耐久性に大きく影響します。当社製品は、高純度Hfターゲットを提供し、お客様のディスプレイ製品の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・ディスプレイ製造におけるスパッタリング工程
・薄膜トランジスタ(TFT)製造
・タッチパネル製造

【導入の効果】
・高品質な薄膜形成による表示性能の向上
・製品の耐久性向上
・歩留まりの改善

【電池向け】スケールアップ 分散機2000シリーズ
ダウンロードお問い合わせ

電池業界では、高性能な電池を製造するために、電極材料の均一な分散が求められます。特に、電極材料の粒子径や分散状態が、電池の性能に大きく影響します。不均一な分散は、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。IKA スケールアップ 分散機2000シリーズは、卓上機から生産機まで同一の粉砕機構を採用しており、研究開発から生産へのスケールアップを容易にします。ローターステーターシステムにより、電池材料の最適な分散を実現し、電池の性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・電池材料(スラリー)の調製
・電極合材の分散
・研究開発から量産へのスケールアップ

【導入の効果】
・均一な分散による電池性能の向上
・スケールアップの容易さ
・多様な材料への対応

【ディスプレイ向け】真空・圧空成形
ダウンロードお問い合わせ

ディスプレイ業界では、製品の保護とデザイン性が両立したカバーが求められます。特に、薄型化が進むディスプレイにおいては、軽量かつ強度のあるカバーが重要です。真空・圧空成形は、これらのニーズに応えることができます。

【活用シーン】
・ディスプレイ筐体
・各種カバー
・保護ケース

【導入の効果】
・デザイン性の向上
・軽量化
・コスト削減

【ディスプレイ向け】レーザ加工装置『LASER BLENDER』
ダウンロードお問い合わせ

ディスプレイ業界では、高品質な製品を効率的に製造するために、薄膜の精密な除去が求められます。特に、微細なパターン形成や異物除去において、高い精度と高速性が重要です。従来の除去方法では、基板へのダメージや処理時間の長さが課題となる場合があります。『LASER BLENDER』は、レーザアブレーション技術により、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・ディスプレイ基板からの薄膜除去
・異物除去
・微細パターニング

【導入の効果】
・高精度な薄膜除去による歩留まり向上
・高速アブレーションによる生産性向上
・局所分析、イメージング、深さ方向の分析による品質管理の強化

【半導体製造向け】迅速流体継ぎ手
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界では、微細な粒子や異物の混入が製品の品質を大きく左右します。
クリーンルーム環境下での配管接続においては、流体の漏れや異物の発生を極限まで抑えることが求められます。
メンテナンスや装置の段取り替え時に、配管の着脱を頻繁に行う必要があるため、作業効率も重要です。当社の迅速流体継ぎ手は、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での配管接続
・半導体製造装置の配管
・薬液供給ライン
・純水供給ライン
・ガス供給ライン

【導入の効果】
・異物混入リスクの低減
・作業時間の短縮
・メンテナンス性の向上
・製品品質の安定化
・歩留まりの向上

【電池製造向け】ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプ
ダウンロードお問い合わせ

電池製造業界では、電解液の正確な注入が製品の性能と安全性を左右します。特に、電解液の注入量のばらつきは、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。また、注入時の液漏れや飛散は、製造環境の汚染や作業者の安全を脅かす要因となります。ハイバーポンプ Bシリーズ CVタイプは、1~5,000cps程度の低粘度材料、0.02cc~20cc程度の微少量吐出や高精度吐出に最適です。温度による材料の粘度変化、水頭差によるばらつきをクリアし、安定した電解液注入を実現します。

【活用シーン】
・リチウムイオン電池、ニッケル水素電池などの電解液の充填工程
・燃料電池の電解液の充填
・その他、微量かつ高精度な液体の定量吐出が必要な工程

【導入の効果】
・電解液注入量の精度向上による製品品質の安定化
・液漏れや飛散のリスク低減による製造環境の改善
・メンテナンス性の向上による作業効率の改善

【電池製造向け】超音波ふるいによる高品質電池粉末の粒度制御
ダウンロードお問い合わせ

電池製造業界では、電池の性能を左右する電池粉末の粒度制御が重要です。粒度分布の偏りは、電池の充放電効率の低下や寿命の短縮につながる可能性があります。特に、電極材料の均一な分散と適切な粒径の確保は、高性能な電池製造に不可欠です。Artech超音波ふるい機は、50µm以下のハイメッシュ乾式分級を容易にし、電池品質の向上と作業時間の効率化を実現します。

【活用シーン】
・電池材料(正極材、負極材)の分級
・粒度分布の均一化による電池性能向上
・既存の振動ふるい機への後付け

【導入の効果】
・高品質な電池粉末の製造
・作業時間の短縮
・メッシュの目詰まり防止によるメンテナンス性の向上

【電子材料向け】スケールアップ 分散機2000シリーズ
ダウンロードお問い合わせ

電子材料業界では、高性能化・高機能化が進む中で、材料の均一な分散と微細化が求められています。特に、ナノ材料や複合材料においては、分散状態が製品の性能を大きく左右します。不均一な分散は、製品の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。IKA 2000シリーズ分散機は、卓上機から生産機まで同一の粉砕機構でシームレスなスケールアップを実現し、電子材料の高機能化をサポートします。

【活用シーン】
・高機能電子材料の開発
・ナノ材料の分散
・複合材料の製造
・高濃度スラリーの製造

【導入の効果】
・均一な分散による製品性能の向上
・スケールアップによる生産効率の向上
・多様なモジュールによる幅広い材料への対応
・研究開発から量産まで一貫したプロセス

【精密機器向け】タングステン(W)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

精密機器業界では、製品の高性能化と小型化に伴い、薄膜技術の精度が重要視されています。特に、耐久性や信頼性が求められる精密部品においては、高品質な薄膜の形成が不可欠です。薄膜の品質が低いと、製品の性能低下や寿命の短縮につながる可能性があります。当社のタングステン(W)ターゲットは、高品質なスパッタリング成膜を実現し、精密機器の薄膜形成に最適な素材を提供します。

【活用シーン】
・センサー
・MEMSデバイス
・光学部品
・電子部品

【導入の効果】
・高精度な薄膜形成
・高い耐久性
・均一な膜厚
・多様な材料への対応

【電子機器向け】マルジョウアルマイト
ダウンロードお問い合わせ

電子機器業界では、デバイスの高密度化と高性能化に伴い、効果的な放熱対策が不可欠です。熱は電子部品の性能劣化や故障の原因となり、製品寿命を縮める可能性があります。アルミニウムは優れた熱伝導性を持ち、アルマイト処理を施すことで、放熱性能をさらに向上させることが可能です。株式会社マルジョウアルマイトの製品は、電子機器の放熱問題を解決し、製品の信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子機器筐体
・ヒートシンク
・放熱板

【導入の効果】
・放熱性の向上
・製品寿命の延長
・製品の信頼性向上

【半導体薄膜向け】タンタル(Ta)ターゲット
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界において、薄膜はデバイスの性能を左右する重要な要素です。特に、微細化が進む中で、薄膜の均一性、密着性、耐熱性、耐食性が求められます。不適切な薄膜形成は、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。当社のタンタル(Ta)ターゲットは、高品質な薄膜形成を可能にし、半導体デバイスの信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・PVD/CVDプロセスにおける薄膜形成
・半導体デバイスの配線形成
・高密度記録媒体の製造

【導入の効果】
・薄膜の均一性向上
・デバイスの性能向上
・歩留まりの改善

【半導体製造向け】AL-Easy アルミフレーム用結束チューブ
ダウンロードお問い合わせ

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な塵埃の発生を抑制し、高い清浄度を維持することが重要です。配線の結束や保護は、清浄度を損なう要因の一つとなり得ます。配線がむき出しの状態では、塵埃の付着や発生のリスクが高まります。AL-Easy アルミフレーム用結束チューブは、アルミフレーム内の配線を保護し、クリーンルーム内の清浄度を維持するのに役立ちます。

【活用シーン】
・クリーンルーム内のアルミフレームを使用した設備
・半導体製造装置
・検査装置

【導入の効果】
・配線からの塵埃発生を抑制
・クリーンルーム内の清浄度維持に貢献
・配線作業の効率化

【半導体向け】熱交換器「HEX」
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界では、製造プロセスの安定性と製品の品質を維持するために、精密な温度管理が不可欠です。特に、高性能な半導体デバイスの製造においては、発熱量の増加に対応し、冷却効率を高めることが求められます。不適切な冷却は、デバイスの性能低下や故障を引き起こす可能性があります。熱交換器「HEX」は、工業廃水や化学プロセスなどから効率的な熱回収を可能にし、精密冷却システムにおける省エネルギーに貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造装置の冷却
・クリーンルームの空調
・冷却水の温度管理

【導入の効果】
・安定した温度管理による歩留まり向上
・省エネルギーによるコスト削減
・装置の長寿命化

【半導体向け】コンテナ型冷却塔による精密冷却ソリューション
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高密度化が進む中で、発熱量の増加に対応できる、精密な冷却能力が求められます。冷却能力が不足すると、装置の誤作動や製品不良を引き起こす可能性があります。当社のコンテナ型冷却塔は、ISO規格20ftコンテナに収容されており、設置場所を選ばず、迅速な導入が可能です。パワフルな冷却性能で、半導体製造における精密冷却ニーズに応えます。

【活用シーン】
・半導体製造工場
・クリーンルーム
・データセンター

【導入の効果】
・安定した温度管理による歩留まり向上
・迅速な設置による早期の事業開始
・省スペース化によるコスト削減

nowloading.gif

​お探しの製品は見つかりませんでした。

1 / 6

薄膜形成における成膜プロセスの効率化

薄膜形成における成膜プロセスの効率化とは?

半導体製造において、微細かつ均一な薄膜を形成する成膜プロセスは、デバイス性能を左右する重要な工程です。このプロセスの効率化は、生産性向上、コスト削減、そしてより高性能な半導体チップの実現に不可欠です。

​課題

成膜時間の長期化

要求される膜厚や均一性を得るために、成膜に長時間要し、生産ライン全体のスループットを低下させている。

歩留まりの低下

成膜中の欠陥発生や膜質ムラにより、良品率が低下し、材料ロスや再加工コストが増大している。

材料消費量の増大

成膜効率が悪く、目的とする膜厚を得るために過剰な原料ガスやターゲット材を消費し、コストアップに繋がっている。

プロセス制御の複雑化

微細化・多層化に伴い、成膜条件の最適化や管理が複雑化し、熟練オペレーターへの依存度が高まっている。

​対策

成膜速度の向上

より高密度なプラズマ生成技術や、反応効率の高いガス種・プロセス条件の採用により、単位時間あたりの成膜量を増加させる。

均一性・再現性の改善

ウェーハ全面に均一な成膜を可能にする装置設計や、精密なプロセス制御システムにより、膜厚ムラや組成バラつきを抑制する。

原料利用効率の最適化

成膜反応を促進する触媒技術や、原料ガスの供給・制御技術の高度化により、無駄なく材料を成膜に利用する。

自動化・知能化の推進

AIや機械学習を活用したプロセス最適化、リアルタイムモニタリング、自動レシピ生成により、人的ミスを削減し、効率的な運用を実現する。

​対策に役立つ製品例

高密度プラズマ発生装置

より少ないエネルギーで高密度のプラズマを生成し、成膜速度と膜質を向上させることで、成膜時間の短縮と歩留まり改善に貢献する。

精密ガス供給・制御システム

原料ガスの流量や混合比を極めて高精度に制御し、成膜反応の安定化と均一性を実現することで、材料消費量の削減と歩留まり向上に寄与する。

インライン膜質評価・フィードバックシステム

成膜中にリアルタイムで膜質を評価し、そのデータをプロセス制御にフィードバックすることで、欠陥の早期発見と歩留まりの安定化を可能にする。

プロセス最適化支援ソフトウェア

過去の成膜データやシミュレーション結果に基づき、最適な成膜条件を提案・自動設定することで、プロセス開発期間の短縮と効率的な運用を支援する。

ikkatsu_maru_flat_shadow.png
bottom of page