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半導体製造装置・材料

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歩留まり予測精度の向上とは?課題と対策・製品を解説

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回路・パターン設計における歩留まり予測精度の向上とは?

半導体製造において、回路設計およびパターン設計段階での歩留まり(良品率)を正確に予測することは、開発コストの削減、製品の品質向上、そして市場投入までのリードタイム短縮に不可欠です。この予測精度の向上は、設計プロセスの早期段階で潜在的な問題を特定し、修正を可能にすることで、製造工程での不良発生を未然に防ぐことを目的としています。

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【半導体向け】リアルタイム生産最適化スケジューラー
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半導体業界では、歩留まりの向上が収益性に直結します。製造プロセスのわずかな遅延や不具合が、大きな損失につながる可能性があります。特に、多品種少量生産や高度な技術が求められる半導体製造においては、計画の最適化が重要です。リアルタイム生産最適化スケジューラーは、工程進捗や突発的な変更に柔軟に対応し、計画の精度を高めます。これにより、歩留まりの向上、納期遅延の削減、コスト削減に貢献します。

【活用シーン】
・製造作業者の急な欠勤による計画変更
・多能工化における人員配置の最適化
・スキルマップを活用した人員配置

【導入の効果】
・計画変更にかかる工数の削減
・納期遅延リスクの低減
・生産性の向上

【半導体向け】ウルトラファインリークテストシステム|MUH
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半導体業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、微細な漏れの検出が重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、製品内部の密封性を維持し、外部からの影響を防ぐことが求められます。微細な漏れは、製品の性能劣化や故障の原因となり、歩留まりの低下につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能な「カプセル蓄積法」を採用し、超微小のヘリウムリークを検出することで、半導体製品の品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品
・小型電子部品

【導入の効果】
・製品の信頼性向上
・歩留まりの改善
・品質管理の強化

【家電製品向け】衝撃試験ガイド
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家電業界では、製品の品質と安全性を確保するために、衝撃に対する耐久性が重要です。落下や衝撃に耐える設計は、製品の寿命を延ばし、顧客満足度を高めるために不可欠です。衝撃試験ガイドは、製品の耐久性を評価し、最適な試験方法を選択するための情報を提供します。

【活用シーン】
* 落下試験
* 輸送中の振動試験
* 製品の耐久性評価

【導入の効果】
* 製品の信頼性向上
* 品質問題の早期発見
* 顧客からの信頼獲得

【半導体製造向け】歩留まり改善を動画で
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半導体製造業界では、歩留まりの向上が収益性を左右する重要な課題です。製造プロセスにおけるわずかなミスや品質のばらつきが、不良品の発生につながり、歩留まりを低下させる可能性があります。新人教育や多国籍スタッフへの教育において、均一な品質を保ち、正確な作業手順を徹底することが、歩留まり改善の鍵となります。LinkBrain 10は、安全ルールや基本動作を10分のアニメーション動画で提供し、教育の質を標準化します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける新人教育
・多国籍スタッフへの作業手順説明
・品質管理に関するルールの徹底

【導入の効果】
・教育時間の削減と、管理者の負担軽減
・作業ミスの削減による歩留まり向上
・多言語対応による、外国人スタッフの理解度向上

【通信基板向け】弥生製作所の部品・治工具
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通信業界では、基板の小型化、高性能化に伴い、部品の精度と信頼性が重要になります。基板の性能を最大限に引き出すためには、高品質な部品と治工具が不可欠です。弥生製作所は、NCフライス、マシニングセンター、NC旋盤などを駆使し、鉄、ステンレス、アルミ、真鍮、銅など様々な材質で、試作から中ロット(200個)までの部品を製作します。三次元測定機による厳格な検査体制も整えており、高品質な製品を提供します。貴社の通信基板の品質向上に、弥生製作所の部品・治工具が貢献します。

【活用シーン】
* 通信機器メーカー
* 基板設計・製造会社
* 電子機器メーカー

【導入の効果】
* 基板の性能向上
* 製品の信頼性向上
* 高品質な部品供給による歩留まり向上

【家電向け】3分で分かる!より速く熱を逃がす基板
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家電業界では、製品の長寿命化が求められています。特に、熱は電子部品の劣化を早める大きな要因の一つです。放熱性能の高い基板は、製品の信頼性を高め、長寿命化に貢献します。当社の「より速く熱を逃がす基板」は、この課題に応えるものです。

【活用シーン】
* 家電製品の設計
* 製品の信頼性向上
* 長寿命化

【導入の効果】
* 製品の故障リスクを低減
* 製品の耐久性向上
* 顧客満足度の向上

【半導体市場予測向け】The McClean Report
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半導体業界において、正確な市場予測は、事業戦略の策定、投資判断、競合分析において不可欠です。市場の動向を把握することは、企業の成長を左右する重要な要素となります。TechInsightsのThe McClean Reportは、半導体市場の包括的な分析を提供し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
* 半導体デバイスメーカーの事業計画策定
* 半導体装置メーカーの市場参入戦略
* 金融機関による半導体関連投資判断
* 研究機関における市場トレンド分析

【導入の効果】
* 市場規模、主要サプライヤー、売上予測に基づいた意思決定
* シリコンサイクル分析による市場変動への対応
* ファウンドリ、設備投資、研究開発のトレンド把握

半導体業界では、歩留まりの向上が収益性に直結する重要な課題です。製造プロセスにおける微細な変動が、不良品の発生につながり、コスト増を招く可能性があります。リアルタイムなデータ収集と分析を通じて、製造プロセスを可視化し、異常を早期に発見することが求められます。当社の次世代MESは、リアルタイムでのデータ収集と分析により、歩留まり改善と生産効率向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける工程管理
・品質管理部門でのデータ分析
・不良品発生時の原因究明

【導入の効果】
・歩留まりの向上
・生産性の向上
・コスト削減

【電子機器向け】製造業のAI活用の実態レポート
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電子機器業界では、製品の品質管理において、不良品の早期発見が重要です。不良品の発生は、コスト増、顧客からの信頼失墜につながる可能性があります。AI技術を活用することで、不良品の検出精度を向上させ、製造プロセス全体の効率化を図ることが求められています。本資料では、AIの導入が進む製造業界の実態をエグゼクティブ104人への調査結果からご紹介。貴社のAI活用を進めるヒントとして是非ご活用ください。

【活用シーン】
* 電子機器の製造ラインにおける外観検査
* 部品の異常検知
* 製造プロセスの品質管理

【導入の効果】
* 不良品の発生率を低減
* 製造コストの削減
* 顧客満足度の向上

高度加速寿命試験装置(HAST装置)
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●高度加速寿命試験装置(HAST装置)は、エタックが業界で初めて
 実用化に成功した角型高圧容器の採用により、
 従来の丸型試験室の使いづらさを全面的に解消しました

【特長】
◆使いやすい角型試験室
◆温度、湿度、時間、そして圧力など、
 全てにデジタル表示方式を採用

◆自動扉ロック機構
※試験室内温度+80℃以上では開閉ができないなど
 三重のロック機能を内蔵

◆角型試験室とニューコントローラの採用により、試験器の
 デッドスペースを解消
※試験効率を倍増させる2段型試験装置もご用意

◆不飽和制御と飽和制御の2Wayユース
◆試料への圧力ショック・温度ショックを解消
◆試料の乾燥を防止する湿度保存機能
◆不飽和制御での試料の結露と結露水の滴下を完全解消
◆常に均一な温湿度分布状態を再現

TEG(テスト)ウエハソリューションサービス
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当社では、実装評価用TEGウエハ・基板・各種加工技術をコアとした
トータルソリューションの提案を行っております。

お客様の仕様に基づくカスタムTEG・基板の作成を承ります。
またウエハのパンプ加工試作も承っておりますので、ご要望の際は
お気軽にお問い合わせください。

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

Dynamic Tester『ST-2400』
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『ST-2400』は、パワーデバイス用ダイナミックテスターとして研究開発や
信頼性試験、破壊耐量試験を安全に効率的に行う装置です。

一回のパルス印加で最大10個までの波形解析条件が設定でき、評価時間の短縮が可能。
試験を行うプログラムは、条件項目に必要なパラメータを入力するだけの簡単操作。

また、試験結果は、測定データ(CSV形式)、波形データは(CSV形式・JPG形式)にて
保存されますので、市販ソフト(Excel等)にて、グラフ化・一覧表化の作成が行えます。

【特長】
■測定データと波形データの管理が容易
■パワーデバイスの動特性試験の最高クラス
■パワーデバイスの製品開発時間短縮に好適

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

株式会社ミクロ技術研究所 取扱い製品カタログ
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株式会社ミクロ技術研究所は、主にプロセス技術と製造装置の販売を
行っている株式会社ミクロ技術研究所の取扱い製品カタログです。

任意の厚さでパターン加工が可能な「aimicガラス」をはじめ、
ノイズに強い「タッチパネル」、万一の破損時でもガラスが
発散しにくい構造の「合わせガラス」をラインアップしております。

【掲載内容】
■超薄板ガラス
■タッチパネル
■合わせガラス など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体ファブレスビジネスプロセス
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水平分業の大きな進展により、セットメーカー(BtoC)が半導体メーカーやターンキー会社を通す事なく、直接デザインハウスや製造委託先(FAB)をコントロールして半導体の開発・製造・品質生産管理を行う事例も増えてきました。当社では、そのようなご要求にお応えするため、ファブレスモデルによる半導体ビジネスプロセスの構築支援(コンサルティング)を行っております。

【特長】
■安定した量産(=安定した利益の確保)」を最終的なアウトプットとして構成
■当社独自のツール群を導入する事により速やかな立上げが可能
■デザインハウス、製造委託先(ウエハ、パッケージ、テスト)及び
 その他関連する会社は、当社の複数の提携先の紹介が可能

※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

SEM-ECCI法によるGaNの転位観察
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当社では、SEM-ECCI法によるGaNの転位観察を行っております。

窒化ガリウム(GaN)等のパワー半導体において、製造時に含まれる転位は
デバイス性能の低下や短寿命化の要因とされています。

半導体の転位観察は主に透過電子顕微鏡(TEM)やエッチピット法が用いられますが、
SEM-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能となります。

【測定事例】
■供試材:単結晶GaN(サファイア基板上にGaNを成膜したウェハ)
■面方位:C面(0001)±0.5°
■GaN膜厚:4.5±0.5μm
■測定条件:後方散乱モード

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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回路・パターン設計における歩留まり予測精度の向上

回路・パターン設計における歩留まり予測精度の向上とは?

半導体製造において、回路設計およびパターン設計段階での歩留まり(良品率)を正確に予測することは、開発コストの削減、製品の品質向上、そして市場投入までのリードタイム短縮に不可欠です。この予測精度の向上は、設計プロセスの早期段階で潜在的な問題を特定し、修正を可能にすることで、製造工程での不良発生を未然に防ぐことを目的としています。

​課題

設計ルールの複雑化と多様化

微細化が進むにつれて、回路設計およびパターン設計におけるルールが非常に複雑化・多様化し、全てのルールを網羅した正確な歩留まり予測が困難になっています。

製造プロセス変動の影響評価の難しさ

製造工程における微細なばらつきや変動が、設計された回路やパターンの歩留まりに与える影響を、設計段階で正確に評価することが難しい。

過去データの活用不足と形式の不統一

過去の設計データや製造結果データが十分に活用されておらず、またデータ形式が統一されていないため、機械学習等による予測モデル構築が困難。

設計者間の知識・経験のばらつき

設計者の経験や知識レベルによって、歩留まりに影響を与える設計上の判断にばらつきが生じ、一貫した予測精度を維持することが難しい。

​対策

高度なシミュレーション技術の導入

物理現象に基づいた高精度なシミュレーションツールを導入し、設計ルールやプロセス変動の影響を詳細に分析・予測する。

機械学習・AIによる予測モデル構築

過去の設計データ、製造データ、検査データを統合し、機械学習やAIを用いて歩留まり予測モデルを構築・改善する。

設計・製造プロセス連携の強化

設計段階から製造工程の情報をフィードバックし、設計者と製造技術者が密に連携することで、より現実的な歩留まり予測を可能にする。

標準化されたデータ管理と分析基盤の整備

設計・製造に関するデータを標準化された形式で一元管理し、容易にアクセス・分析できる基盤を整備する。

​対策に役立つ製品例

設計検証・解析ソフトウェア

複雑な設計ルールチェックや物理的影響のシミュレーションを行い、設計段階での潜在的な問題を早期に発見し、歩留まり低下要因を特定する。

AI駆動型歩留まり予測システム

過去の膨大な設計・製造データを学習し、高精度な歩留まり予測を行う。設計変更による影響もリアルタイムで評価可能。

プロセス変動影響評価ツール

製造工程における微細なばらつきが回路特性やパターン形成に与える影響を定量的に評価し、設計へのフィードバックを支援する。

データ統合・分析基盤

設計、製造、検査データを一元管理し、機械学習モデルの構築や分析に必要なデータの前処理・統合を効率化する。

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