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歩留まり予測精度の向上とは？課題と対策・製品を解説
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回路・パターン設計における歩留まり予測精度の向上とは？
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半導体業界では、歩留まりの向上が収益性に直結する重要な課題です。製造プロセスにおける微細な変動が、不良品の発生につながり、コスト増を招く可能性があります。リアルタイムなデータ収集と分析を通じて、製造プロセスを可視化し、異常を早期に発見することが求められます。当社の次世代MESは、リアルタイムでのデータ収集と分析により、歩留まり改善と生産効率向上に貢献します。
【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける工程管理
・品質管理部門でのデータ分析
・不良品発生時の原因究明
【導入の効果】
・歩留まりの向上
・生産性の向上
・コスト削減
【半導体向け】次世代MES 生産実行システム
当社では、SEM-ECCI法によるGaNの転位観察を行っております。
窒化ガリウム（GaN）等のパワー半導体において、製造時に含まれる転位は
デバイス性能の低下や短寿命化の要因とされています。
半導体の転位観察は主に透過電子顕微鏡（TEM）やエッチピット法が用いられますが、
SEM-ECCI法を用いると容易な前処理で観察可能となります。
【測定事例】
■供試材：単結晶GaN（サファイア基板上にGaNを成膜したウェハ）
■面方位：C面（0001）±0.5°
■GaN膜厚：4.5±0.5μm
■測定条件：後方散乱モード
※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEM-ECCI法によるGaNの転位観察
株式会社ミクロ技術研究所は、主にプロセス技術と製造装置の販売を
行っている株式会社ミクロ技術研究所の取扱い製品カタログです。
任意の厚さでパターン加工が可能な「aimicガラス」をはじめ、
ノイズに強い「タッチパネル」、万一の破損時でもガラスが
発散しにくい構造の「合わせガラス」をラインアップしております。
【掲載内容】
■超薄板ガラス
■タッチパネル
■合わせガラス など
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
株式会社ミクロ技術研究所 取扱い製品カタログ
当資料は、半導体業界に歩留まり管理ソフトウェアを提供する
大手プロバイダー『yieldHUB』の半導体ケーススタディについて
ご紹介しています。
2005年に設立され、さまざまな半導体業界の企業の多くの問題を
解決してきました。ここでは、私たちの興味深く洞察に満ちた顧客と
課題のいくつかについて読むことができます。
【掲載内容(一部抜粋)】
■歩留まり管理ソフトウェアのアウトソーシングのメリット
■yieldHUBがエンジニアをより効率的にする方法
■私のお気に入りの機能
■STDF機 能の拡張
■yieldHUBについて など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【資料】半導体のケーススタディ『yieldHUB』
水平分業の大きな進展により、セットメーカー(BtoC)が半導体メーカーやターンキー会社を通す事なく、直接デザインハウスや製造委託先(FAB)をコントロールして半導体の開発・製造・品質生産管理を行う事例も増えてきました。当社では、そのようなご要求にお応えするため、ファ ブレスモデルによる半導体ビジネスプロセスの構築支援(コンサルティング)を行っております。
【特長】
■安定した量産(=安定した利益の確保)」を最終的なアウトプットとして構成
■当社独自のツール群を導入する事により速やかな立上げが可能
■デザインハウス、製造委託先(ウエハ、パッケージ、テスト)及び
その他関連する会社は、当社の複数の提携先の紹介が可能
※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
半導体ファブレスビジネスプロセス
●高度加速寿命試験装置（HAST装置）は、エタックが業界で初めて
実用化に成功した角型高圧容器の採用により、
従来の丸型試験室の使いづらさを全面的に解消しました
【特長】
◆使いやすい角型試験室
◆温度、湿度、時間、そして圧力など、
全てにデジタル表示方式を採用
◆自動扉ロック機構
※試験室内温度＋80℃以上では開閉ができないなど
三重のロック機能を内蔵
◆角型試験室とニューコントローラの採用により、試験器の
デッドスペースを解消
※試験効率を倍増させる2段型試験装置もご用意
◆不飽和制御と飽和制御の2Wayユース
◆試料への圧力ショック・温度ショックを解消
◆試料の乾燥を防止する湿度保存機能
◆不飽和制御での試料の結露と結露水の滴下を完全解消
◆常に均一な温湿度分布状態を再現
高度加速寿命試験装置（HAST装置）
『ST-2400』は、パワーデバイス用ダイナミックテスターとして研究開発や
信頼性試験、破壊耐量試験を安全に効率的に行う装置です。
一回のパルス印加で最大10個までの波形解析条件が設定でき、評価時間の短縮が可能。
試験を行うプログラムは、条件項目に必要なパラメータを入力するだけの簡単操作。
また、試験結果は、測定データ(CSV形式)、波形データは(CSV形式・JPG形式)にて
保存されますので、市販ソフト(Excel等)にて、グラフ化・一 覧表化の作成が行えます。
【特長】
■測定データと波形データの管理が容易
■パワーデバイスの動特性試験の最高クラス
■パワーデバイスの製品開発時間短縮に好適
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
Dynamic Tester『ST-2400』
当社では、実装評価用TEGウエハ・基板・各種加工技術をコアとした
トータルソリューションの提案を行っております。
お客様の仕様に基づくカスタムTEG・基板の作成を承ります。
またウエハのパンプ加工試作も承っておりますので、ご要望の際は
お気軽にお問い合わせください。
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
TEG(テスト)ウエハソリューションサービス
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回路・パターン設計における歩留まり予測精度の向上
回路・パターン設計における歩留まり予測精度の向上とは？
半導体製造において、回路設計およびパターン設計段階での歩留まり（良品率）を正確に予測することは、開発コストの削減、製品の品質向上、そして市場投入までのリードタイム短縮に不可欠です。この予測精度の向上は、設計プロセスの早期段階で潜在的な問題を特定し、修正を可能にすることで、製造工程での不良発生を未然に防ぐことを目的としています。
課題
設計ルールの複雑化と多様化
微細化が進むにつれて、回路設計およびパターン設計におけるルールが非常に複雑化・多様化し、全てのルールを網羅した正確な歩留まり予測が困難になっています。
製造プロセス変動の影響評価の難しさ
製造工程における微細なばらつきや変動が、設計された回路やパターンの歩留まりに与える影響を、設計段階で正確に評価することが難しい。
過去データの活用不足と形式の不統一
過去の設計データや製造結果データが十分に活用されておらず、またデータ形式が統一されていないため、機械学習等による予測モデル構築が困難。
設計者間の知識・経験のばらつき
設計者の経験や知識レベルによって、歩留まりに影響を与える設計上の判断にばらつきが生じ、一貫した予測精度を維持することが難しい。
対策
高度なシミュレーション技術の導入
物理現象に基づいた高精度なシミュレーションツールを導入し、設計ルールやプロセス変動の影響を詳細に分析・予測する。
機械学習・AIによる予測モデル構築
過去の設計データ、製造データ、検査データを統合し、機械学習やAIを用いて歩留まり予測モデルを構築・改善する。
設計・製造プロセス連携の強化
設計段階から製造工程の情報をフィードバックし、設計者と製造技術者が密に連携することで、より現実的な歩留まり予測を可能にする。
標準化されたデータ管理と分析基盤の整備
設計・製造に関するデータを標準化された形式で一元管理し、容易にアクセス・分析できる基盤を整備する。
対策に役立つ製品例
設計検証・解析ソフトウェア
複雑な設計ルールチェックや物理的影響のシミュレーションを行い、設計段階での潜在的な問題を早期に発見し、歩留まり低下要因を特定する。
AI駆動型歩留まり予測システム
過去の膨大な設計・製造データを学習し、高精度な歩留まり予測を行う。設計変更による影響もリアルタイムで評価可能。
プロセス変動影響評価ツール
製造工程における微細なばらつきが回路特性やパターン形成に与える影響を定量的に評価し、設計へのフィードバックを支援する。
データ統合・分析基盤
設計、製造、検査データを一元管理し、機械学習モデルの構築や分析に必要なデータの前処理・統合を効率化する。
