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検査装置の安定稼働とは？課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査における検査装置の安定稼働とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上の微細な欠陥を検出する検査装置は、製品の品質と歩留まりを左右する極めて重要な役割を担っています。検査装置の安定稼働とは、これらの装置が設計通りの性能を維持し、予期せぬ停止や性能低下なく、継続的に高精度な検査を実行できる状態を指します。これは、半導体製品の安定供給と品質保証の基盤となります。

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【電子部品向け】真空ポンプメンテナンス『ヨミガエル』

千代田交易株式会社

電子部品業界では、製品の信頼性を高めるために、真空環境の維持が重要です。封止工程において、真空ポンプの性能維持は、製品の品質と歩留まりを左右します。真空ポンプの不具合は、封止不良や製品の性能劣化につながる可能性があります。当社『ヨミガエル』は、メーカー対応終了品の対応、エクスチェンジ、レンタル対応等多様な対応で貴社の生産安定に協力する真空ポンプメンテナンスです。【活用シーン】・電子部品の封止工程・真空ポンプのメンテナンス・緊急時のバックアップ体制【導入の効果】・装置停止リスクの低減・生産性の向上・トータルコストの削減

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【半導体向け】半導体製造装置輸送サービス

ケイラインロジスティックス株式会社

半導体業界では、製造装置の精密な輸送が求められます。特に、高価で繊細な装置の安全な輸送は、製造プロセスの遅延や製品の品質低下を防ぐために不可欠です。輸送中の振動や温度変化、衝撃などから装置を保護し、正確な納期で届けることが重要です。当社半導体製造装置輸送サービスは、長年の経験と専門知識に基づき、お客様の装置を安全に輸送します。【活用シーン】・半導体製造装置の工場間輸送・海外への輸出入・クリーンルーム対応が必要な装置の輸送【導入の効果】・装置の破損リスクを低減・輸送コストの最適化・納期遅延のリスクを最小化

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【ディスプレイ向け】鉛筆硬度試験機 H501

エルコメーター株式会社

ディスプレイ業界では製品の品質を維持するために、表面の耐スクラッチ性が重要です。特に、日常的な使用や清掃によるキズは製品の見栄えを損ない、顧客満足度を低下させる可能性があります。鉛筆硬度試験機『H501』は塗膜表面の硬さを評価することで、ディスプレイのキズ付きやすさを評価し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・ディスプレイ製造における品質管理・製品開発段階での塗膜性能評価・受入検査でのスクラッチ耐性確認【導入の効果】・客観的なデータに基づいた品質評価・製品の信頼性向上・顧客満足度の向上

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【半導体向け】アシッドスクラバー

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスにおけるガスの清浄度が重要です。特に、サンプリングガス中の酸性物質は、装置の腐食や性能劣化を引き起こし、製品の品質に悪影響を与える可能性があります。アシッドスクラバーは、これらの問題を解決するために設計されました。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおけるガス分析・サンプリング装置の保護・酸素センサーの保護【導入の効果】・サンプリングガス中の酸性物質を効果的に除去・装置の腐食や性能劣化を抑制・製品の品質向上に貢献

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【半導体製造向け】東京モートロニクス株式会社

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体製造業界の工程管理では、高い精度と信頼性が求められます。特に、製造プロセスの自動化や効率化において、アクチュエータの正確な動作が重要です。不良品の発生を抑制し、生産効率を向上させるためには、アクチュエータの性能が不可欠です。東京モートロニクス株式会社のアクチュエータは、お客様の工程管理における課題解決をサポートします。【活用シーン】 * 半導体製造装置における精密な位置決め * ウェーハ搬送システムの制御 * 各種検査工程での正確な動作【導入の効果】 * 工程の精度向上 * 生産性の向上 * 製品品質の安定化

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【計測機器向け】ラティス ECP3ファミリーFPGA

Rochester Electronics, Ltd.

テスト・計測業界では、高精度なデータ収集と処理が求められます。特に、信号処理やデータ解析を行う計測機器においては、FPGAの性能が重要です。FPGAの供給が途絶えると、製品開発やメンテナンスに支障をきたす可能性があります。ロチェスターエレクトロニクスは、製造中止になったラティス ECP3ファミリーFPGAを提供し、お客様の継続的な製品供給を支援します。【活用シーン】・計測機器の設計・開発・既存計測システムの保守・アップグレード・データ収集・処理システムの構築【導入の効果】・FPGAの安定供給による製品寿命の延長・既存システムの継続利用・迅速な修理・交換対応

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【電子機器向け】ウルトラファインリークテストシステム｜MUH

株式会社フクダ

電子機器業界では、製品の長期的な信頼性を確保するため、部品の気密性が非常に重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、微小な漏れが製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、これらの課題に対し、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を採用し、超微小漏れを測定することで、製品の品質管理を支援します。【活用シーン】・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品の気密検査・スマートフォン、キーレススイッチなどの小型電子部品の品質管理・製品の長期的な信頼性確保のためのリーク試験【導入の効果】・4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) までの超微小漏れを検出・製品の品質向上と信頼性向上・不良品の流出防止によるコスト削減

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【監視システム向け】ECP3 ファミリーFPGA

Rochester Electronics, Ltd.

監視システム業界では、映像データのリアルタイム処理と安定した動作が求められます。特に、24時間稼働する監視システムにおいては、高い信頼性と長期的な製品供給が重要です。FPGAの供給が途絶えると、システムの運用停止や改修コストの増大につながる可能性があります。ロチェスターエレクトロニクスは、製造中止になったラティス ECP3ファミリーFPGAを継続的に供給し、監視システムの安定運用をサポートします。【活用シーン】・防犯カメラシステム・入退室管理システム・映像解析システム【導入の効果】・システムの長期的な安定稼働・既存システムの延命・改修コストの削減

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【AI向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

AI分野では、学習モデルの精度向上と高速化が重要な課題です。そのため、AIチップの品質を迅速に評価し、不良品の早期発見と歩留まり向上を図ることが求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、AIチップのテスト時間を短縮し、開発サイクルの高速化に貢献します。【活用シーン】・AIチップの量産テスト・学習データ収集のためのチップ選別・AI開発におけるプロトタイプ評価【導入の効果】・テスト時間の短縮による開発期間の短縮・不良品の早期発見によるコスト削減・高品質なAIチップの安定供給

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【データセンター向け】ECP3 FPGA

Rochester Electronics, Ltd.

データセンター業界では、増大するデータトラフィックに対応するため、高速かつ信頼性の高い通信が不可欠です。特に、サーバー間のデータ転送やネットワーク機器の処理能力は、システムのパフォーマンスを左右する重要な要素となります。製造中止となったFPGAの供給不足は、システムのアップグレードやメンテナンスに大きな影響を与える可能性があります。ロチェスターエレクトロニクスは、ECP3 FPGAの継続供給を通じて、データセンターの高速通信ニーズに応えます。【活用シーン】・サーバー間の高速データ転送・ネットワーク機器の性能向上・通信インフラの安定運用【導入の効果】・システムの安定稼働・通信速度の向上・長期的な運用コストの削減

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【半導体向け】半導体製造装置輸送サービス

ケイラインロジスティックス株式会社

半導体業界では、製造装置の精密な輸送が不可欠です。装置の性能を維持するためには、輸送中の振動や温度変化から保護し、正確な納期管理が求められます。当社は、半導体製造装置の輸送において、長年の経験とノウハウを活かし、安全かつ正確な輸送を実現します。お客様の要望を的確に把握し、最適な輸送ルートを提案することで、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体製造装置の移設・海外拠点への輸送・三国間輸送【導入の効果】・装置の安全な輸送・納期通りの納品・輸送コストの最適化

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【電子機器向け】リークテスタ NT-600

株式会社ナック

電子機器業界では、製品の信頼性を高めるために、防水性の確保が求められます。水没検査では、ワークを濡らしてしまう可能性があり、検査後の乾燥工程が必要になる場合があります。当社のリークテスタNT-600は、高精度差圧センサーで気密（漏れ）検査を行い、ワークを濡らすことなく、数値的な検査が可能です。自動機への組み込みも容易で、電子機器の品質管理に貢献します。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末・小型部品の気密検査・防水コネクタ・電子部品の防水検査【導入の効果】・製品の防水性能を数値で管理・不良品の早期発見・検査工程の効率化・品質の向上

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【半導体向け】波動歯車減速機

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハや基板の精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、高い精度と安定性が求められます。位置決めの誤差は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社の波動歯車減速機は、高精度な位置決めを実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送装置・露光装置・検査装置・成膜装置・研磨装置【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・高効率による省エネ・小型・軽量化による装置のコンパクト化・安定した再現性による品質向上

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【金融機関向け】基板修理サービス

千代田交易株式会社

金融業界における取引システムは、24時間365日の安定稼働が不可欠です。基盤となる電子機器の故障は、取引の停止や顧客へのサービス提供に深刻な影響を及ぼす可能性があります。特に、メーカーサポートが終了した基板や、生産が終了した部品を使用しているシステムでは、修理が困難になるケースが増えています。当社の基板修理サービスは、これらの課題に対応し、取引システムの安定稼働を支援します。【活用シーン】・証券取引システム・銀行のオンラインバンキングシステム・クレジットカード決済システム・ATM ・データセンター【導入の効果】・取引システムのダウンタイムを最小化・システム投資コストの削減・既存システムの延命による資産価値の最大化・メーカーサポート終了基板の継続利用

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【半導体製造向け】Smart iMATEによる設備保全DX

タック株式会社（イビデングループ）

半導体製造業界では、歩留まりの向上が収益性に直結する重要な課題です。製造設備の故障や不具合は、歩留まりを低下させる大きな要因となります。特に、高度な技術が求められる半導体製造においては、設備の安定稼働が不可欠です。Smart iMATEは、設備の保全記録をAIが分析し、故障の予兆を早期に発見することで、計画的なメンテナンスを可能にし、歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・半導体製造ラインにおける設備の予防保全・故障発生時の原因究明と復旧時間の短縮・保全業務の標準化と技術継承【導入の効果】・設備の安定稼働による歩留まり向上・メンテナンスコストの削減・技術者の負担軽減

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【航空宇宙用途での活用】ECP3 FPGA

Rochester Electronics, Ltd.

航空宇宙分野のデータ収集システムでは、高い信頼性と長期的な安定稼働が不可欠です。過酷な環境下での使用に耐えうる製品が求められ、システムの継続的な運用のためには、部品の安定供給が重要となります。製造中止品のFPGAは、システムのアップグレードや修理の際に大きな課題となります。ロチェスターエレクトロニクスは、製造中止品を含む幅広い半導体製品を提供し、お客様のシステム継続を支援します。【活用シーン】・航空機搭載データ収集システム・宇宙探査機のデータ処理・ミサイル誘導システム【導入の効果】・システムの長期的な運用を可能にする・部品調達の不安を解消・システムの信頼性向上

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【半導体製造向け】AL-Easy アルミフレーム用結束チューブ

日本ジッパーチュービング株式会社

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微細な塵埃の発生を抑制し、高い清浄度を維持することが重要です。配線の結束や保護は、清浄度を損なう要因の一つとなり得ます。配線がむき出しの状態では、塵埃の付着や発生のリスクが高まります。AL-Easy アルミフレーム用結束チューブは、アルミフレーム内の配線を保護し、クリーンルーム内の清浄度を維持するのに役立ちます。【活用シーン】・クリーンルーム内のアルミフレームを使用した設備・半導体製造装置・検査装置【導入の効果】・配線からの塵埃発生を抑制・クリーンルーム内の清浄度維持に貢献・配線作業の効率化

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【車載センサ統合用途】ECP3 ファミリー FPGA

Rochester Electronics, Ltd.

車載業界のセンサ融合システムでは、多様なセンサからのデータを統合し、リアルタイムで正確な判断を行うことが求められます。特に、安全性に関わるシステムにおいては、高い信頼性と長期的な製品供給が不可欠です。製造中止品のFPGAは、システムの継続運用を困難にする可能性があります。ロチェスターエレクトロニクスは、製造中止になったラティス ECP3ファミリーFPGAの継続供給と再生産ソリューションを提供し、車載センサ融合システムの安定稼働を支援します。【活用シーン】・ADAS（先進運転支援システム）・自動運転システム・車載インフォテインメントシステム【導入の効果】・製造中止品の供給により、既存システムの延命化・再生産ソリューションによる長期的な製品供給の確保・システムの安定稼働と信頼性の向上

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【電子部品向け】フクダのリークテスト

株式会社フクダ

電子部品業界では、製品の信頼性を高めるために、防水性の確保が重要です。水分の侵入は、製品の故障や性能劣化につながる可能性があります。フクダのリークテストは、お客様の測定環境や製品環境に合わせて、漏れ検査・漏れ試験をご提案いたします。リークレートに合わせて、最適な機器をご提案します。【活用シーン】・スマートフォン・キーレススイッチ・各種小型センサ【導入の効果】・製品の防水性の確認・ガス漏れ/液漏れの有無の確認・部品及び組立後の気密確認

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【半導体パッケージ向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

半導体業界では、5G/6Gといった高速通信規格の普及に伴い、高周波特性の正確な測定が不可欠です。PKGの性能を最大限に引き出すためには、テスト工程における正確な測定が重要であり、測定精度の向上と安定性の確保が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応パッケージの特性評価・高速データ通信用パッケージの品質検査・ADAS（先進運転支援システム）向けパッケージのテスト【導入の効果】・高周波測定の安定性向上・測定時間の短縮・製品品質の向上

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【通信業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

通信業界、特に高周波デバイスの検査においては、高いスループットと信頼性が求められます。デバイスの小型化と高性能化が進む中、正確な温度管理と安定したテスト環境が不可欠です。ICテストハンドラNS-8080SHは、これらの課題に対し、高いスループットと正確な温度管理、そして容易なセットアップで応えます。【活用シーン】・高周波デバイスの量産テスト・研究開発における試作評価・品質管理部門での抜き取り検査【導入の効果】・テスト時間の短縮による生産性向上・安定したテスト環境による信頼性向上・容易なセットアップによる作業効率の改善

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【半導体装置向け】ナノ変位測定静電容量センサー D-510

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体製造では、ウェーハステージや精密位置決め機構のわずかな変位や振動が、加工精度や製品歩留まりに大きく影響します。微細化が進む半導体プロセスでは、ナノメートルレベルの変位を高精度に測定することが重要です。 D-510 PISecaは、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域測定により、ウェーハステージの微小変位や装置振動を高精度に検出し、半導体製造装置における位置制御の高精度化とプロセス安定化に貢献します。【活用シーン】・ウェーハステージの位置フィードバック・半導体製造装置のナノ位置制御・ウェーハ表面の振動測定・精密アライメントシステム・半導体検査装置【導入の効果】・ナノレベルの高精度変位測定・非接触測定によるウェーハへの影響低減・装置振動の高精度モニタリング・半導体プロセスの安定化と歩留まり向上

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【データセンター向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

データセンターのサーバーでは、高速通信と安定した動作が不可欠です。5G/6Gの普及に伴い、サーバー内部の半導体デバイスも高速化しており、そのテストには高周波測定が不可欠です。確実な測定を行うためには、信頼性の高いテストソケットが求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・サーバー向け半導体デバイスの高周波特性評価・データセンター用途を想定した高速通信デバイスの評価・検証・高速対応デバイスの設計検証および信頼性評価【導入の効果】・安定した高周波測定による評価精度および品質の向上・高速通信デバイスの性能を正確に評価・検証可能・高信頼なデータセンターシステムの実現に貢献

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【自動車向け】IC測定基板ダメージ保護tool

株式会社JMT

車載電子部品では、厳格な品質保証体制のもと、検査工程における安定した測定が不可欠です。特に、車載電子機器は過酷な環境下での使用に耐えうる必要があり、高い信頼性が求められます。IC測定におけるプローブPinソケットの基板Padへのダメージは、測定ボードの故障や性能劣化を引き起こし、信頼性を損なう可能性があります。Board Protectorは、プローブPinと測定ボードの間に配置することで、Padへの物理的ダメージを回避し、測定ボードの長寿命化と安定したコンタクトを実現します。【活用シーン】・車載電子部品の品質検査・信頼性試験・生産ラインにおける品質管理【導入の効果】・測定ボードの長寿命化によるコスト削減・Padのリペア作業やライン停止の回避・コンタクトの安定性向上による検査精度の向上

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【半導体向け】LID Less Socket

株式会社JMT

半導体業界では、イメージセンサーなどの高速化が進み、光学テストの重要性が増しています。従来のソケット構造では、加圧LIDが光の進入を妨げ、正確な測定を阻害する可能性があります。LID Less Socketは、真空で裏面からパッケージを引き付け、コンタクターを歪ませることで導通を確保。加圧LIDがないため、光の取り入れが自由になり、高速化に貢献します。【活用シーン】・イメージセンサーの測定・光学的特性評価・高速データ転送が必要な半導体デバイスのテスト【導入の効果】・光学テストの精度向上・ソケット設計の自由度向上・コスト削減の可能性

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【IoTデバイス向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

IoTデバイスの接続性評価においては、多数のデバイスを迅速かつ正確にテストすることが求められます。デバイスの多様化と複雑化が進む中、テスト時間の短縮と高い信頼性の両立が重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、IoTデバイスの品質管理と開発効率向上に貢献します。【活用シーン】・IoTデバイスの量産テスト・接続性評価テスト・品質管理【導入の効果】・テスト時間の短縮・高い信頼性の確保・生産性の向上

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【半導体向け】0.1nm分解能小型X軸ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体業界では、製造プロセスの微細化に伴い、高精度な位置決めが不可欠です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、わずかな位置ずれが製品の品質を大きく左右します。P-620.1/629.1は、これらの課題に対応し、高精度な位置決めを実現します。内臓の静電容量型センサーにより、リニアリティエラー0.02%を達成し、半導体製造における歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ検査・露光工程・光学アライメント・干渉計測【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・歩留まりの向上・製造プロセスの効率化詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。

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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体分野では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に検査工程や微細加工では、わずかな位置ずれが測定誤差や歩留まり低下につながり、製品品質に大きく影響します。 V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現。さらに、高剛性クロスローラーガイドと非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュのない安定した位置決めと高い再現性を確保します。最大150 Nの高荷重対応および空圧式カウンターバランスにより、重量物の精密位置決めにも最適です。【活用シーン】・半導体検査装置・ウェーハ検査・計測装置・精密測定機器【導入の効果】・高精度位置決めによる測定精度の向上・高速応答によるタクトタイム短縮・高剛性ガイドによる安定した動作・高荷重対応による用途拡張・セルフロック機能による安全性向上

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【半導体製造向け】ICテストハンドラ NS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

半導体業界では、製品の品質向上と生産性の向上が常に求められています。特に、ICテスト工程においては、テスト時間の短縮と効率化が重要です。テスト時間の遅延は、製品の納期遅延やコスト増加につながる可能性があります。株式会社NSテクノロジーズのICテストハンドラ NS-8080SHは、高速化を実現し、半導体製造における課題解決に貢献します。【活用シーン】・ICテスト工程における高速化・品種切替時間の短縮・ノズル交換時間の短縮【導入の効果】・スループットの向上（14,500個/時）・セットアップ時間の短縮・生産性の向上

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【半導体向け】ヘリウムリークテストシステム HES-2000

株式会社フクダ

半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、高い気密性が求められます。微細なリークは製品の性能低下や寿命に影響を与える可能性があるため、正確なリーク検査が不可欠です。当社のヘリウムリークテストシステムは、高精度な測定により、半導体製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・半導体製造工程における気密検査・各種半導体デバイスのリーク検査【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・信頼性の高い製品供給

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【半導体製造向け】B-421 小型ピエゾ駆動リニアステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体製造工程では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて高い精度と再現性が求められます。特に微細加工や検査工程では、位置決め精度が製品品質や歩留まりに直結します。B-421 BIX ミニチュアリニアステージは、超小型設計でありながら、ピエゾ駆動による高分解能な位置決めを実現。限られた装置スペース内でも組み込みやすく、精密な位置制御が求められる半導体装置に適しています。最大33mmのストロークに対応し、コンパクトかつ高性能な位置決めソリューションを提供します。【活用シーン】・ウェーハプロービング装置・マスクアライメント装置・半導体検査装置・精密アセンブリ装置【導入の効果】・高分解能位置決めによる安定したプロセス制御・装置の省スペース化に貢献・高精度制御による工程安定性向上

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【電子機器向け】卓上式グロスリークテストシステム MSA

株式会社フクダ

電子機器業界において、製品の防水性は信頼性を左右する重要な要素です。水分の侵入は、回路の腐食や短絡を引き起こし、製品の故障につながる可能性があります。特に、屋外で使用される電子機器や、水回りでの利用を想定した製品においては、高い防水性能が求められます。MSA-0101 seriesは、PFASフリーのエアリークテストにより、電子機器の防水性能を効率的に検査します。【活用シーン】・スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサなどの防水検査・開発段階での試作評価・抜き取り検査【導入の効果】・PFASフリーによる環境負荷低減・エアリークテストによるランニングコスト削減・小型デバイスから中型デバイスまで対応可能

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【電子機器検査向け】HIWIN 単軸ロボット

ハイウィン株式会社

電子機器業界の検査工程では、製品の品質を確保するために、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、小型化が進む電子部品の検査においては、微細な位置調整と高速な動作が、検査効率と品質の両立に不可欠です。不正確な位置決めや不安定な動作は、検査不良や生産性の低下につながる可能性があります。HIWIN 単軸ロボットは、高精度な位置決めとスムーズな動作により、電子機器の検査工程を最適化します。【活用シーン】・電子部品の外観検査・基板実装後の検査・電子機器の動作検査【導入の効果】・検査時間の短縮・検査精度の向上・不良品の削減

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【半導体ガス供給向け】防爆圧力センサ

三協インタナショナル株式会社

半導体業界のガス供給システムでは、ガスの漏洩や圧力異常は、製造プロセスに重大な影響を与える可能性があります。特に、高純度ガスを使用する工程においては、圧力の正確な監視と制御が不可欠です。当社の防爆圧力センサは、これらの課題に対応し、安全なガス供給をサポートします。【活用シーン】・半導体製造工場のガス供給ライン・高圧ガスを使用する製造プロセス・危険区域での圧力測定【導入の効果】・ガスの漏洩リスクを低減・製造プロセスの安定化・安全性の向上

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【半導体製造向け】ウェハ加工および検査に高負荷リニアステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、位置決めのわずかなズレが製品の品質に大きく影響します。V-817は、高精度な位置決めと長期安定性を提供し、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ加工・精密検査・レーザー加工【導入の効果】・2 µmレベルの位置決め再現性・非接触駆動による発塵抑制・長期安定性の実現

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【半導体製造向け】セラミックベアリング・樹脂ベアリング

千代田交易株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスの高速化が求められています。高速化のためには、装置の耐久性向上、メンテナンス頻度の削減が重要です。金属ベアリングは、腐食や摩耗、グリスによる汚染といった問題があり、これが高速化の妨げになることがあります。当社のセラミックベアリング・樹脂ベアリングは、耐腐食性、耐摩耗性、ノーグリスといった特長により、半導体製造装置の高速化に貢献します。【活用シーン】・半導体製造装置・FPD製造装置・半導体検査装置【導入の効果】・メンテナンス回数の低減・クリーンな環境の実現・装置の長寿命化

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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが歩留まりと製品品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の回転ステージでは、摩擦による微小なブレや偏心が発生し、これが品質低下の原因となる可能性があります。PIglide A-62xシリーズは、摩擦のないエアベアリング技術により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・ウェーハ検査・露光装置・精密測定【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・製品品質の安定化・生産性の向上

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【半導体向け】V-62xシリーズ高精度回転ステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・レーザー加工・検査装置【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・高速・高精度動作による生産性向上・幅広い分野への対応

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【半導体検査向け】超硬合金ニードルピン

三和クリエーション株式会社

半導体業界の検査工程では、微細な欠陥や異物を正確に検出することが求められます。特に、高密度化が進む半導体デバイスにおいては、プローブピンの精度が検査の信頼性を左右します。不適切なプローブピンは、誤った検査結果やデバイスの損傷につながる可能性があります。当社の超硬合金ニードルピンは、高い精度と耐久性を実現し、半導体検査における課題解決に貢献します。【活用シーン】・プローブピンとしての使用・微細異物の検出・材料解析における特定部位の採取【導入の効果】・高精度な検査の実現・検査時間の短縮・デバイスの信頼性向上

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【半導体向け】航空貨物輸送サービス

ケイラインロジスティックス株式会社

半導体業界では、製造装置の精密な輸送が求められます。特に、高価な精密機器は、輸送中の振動や温度変化によって性能が劣化するリスクがあります。当社航空貨物輸送サービスは、半導体製造装置など、繊細な精密機器を安全に輸送します。【活用シーン】・半導体製造装置の輸送・精密機器の輸出入・温度・湿度管理が必要な貨物【導入の効果】・精密機器の破損リスクを低減・納期厳守でビジネスをサポート・高品質な輸送サービスによる顧客満足度向上

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【半導体製造向け】高品質な製品をサポート　SSR選定の手引き

ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカアンドカンパニー】

半導体製造装置においては、高品質な製品の信頼性を確保するために、適切な部品選定が重要です。ソリッドステートリレー（SSR）は、その信頼性の高さから、様々な製造プロセスで利用されています。SSRの選定を誤ると、機器の停止や製品の不良につながる可能性があります。当社の解説資料『これで見つかる！SSR選定の手引き』は、SSRの基礎知識から選定のポイントまでを分かりやすく解説し、品質管理におけるSSRの適切な活用を支援します。【活用シーン】 * 生産ラインの制御 * 検査装置の制御【導入の効果】 * SSRの適切な選定による、設備の安定稼働 * 製品の品質向上 * 不良品の削減

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【家電向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

家電業界では、製品の小型化が進み、それに伴いICチップの集積度も高まっています。これにより、ICチップのテスト工程では、高い精度と効率性が求められます。特に、限られたスペースの中で、多数のICチップを迅速かつ正確にテストすることが重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、小型家電製品のICテストにおける課題を解決し、高品質な製品開発をサポートします。【活用シーン】・小型家電製品のICテスト工程・高密度実装されたICチップのテスト・生産効率の向上【導入の効果】・テスト時間の短縮・不良品の削減・製品の信頼性向上

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【半導体製造向け】ステンレス製リニアガイドウェイ

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、高精度な位置決めが求められます。特に、クリーンルーム環境や薬液を使用する工程では、耐食性と耐久性に優れた部品が不可欠です。不適切な部品選定は、装置の故障や製品の品質低下につながる可能性があります。当社のステンレス製リニアガイドウェイは、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に好適です。【活用シーン】・クリーンルーム内の搬送システム・薬液を使用する製造装置・高精度な位置決めが求められる検査装置【導入の効果】・装置の長寿命化・製品の品質向上・メンテナンスコストの削減

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【半導体向け】筐体冷却用空冷サーモ・クーラー

日本ブロアー株式会社

半導体業界では、製造プロセスにおける歩留まりの向上が重要な課題です。特に、精密な電子部品を扱う環境においては、温度管理が製品の品質を左右します。温度上昇は、半導体デバイスの性能劣化や故障を引き起こし、歩留まりを低下させる要因となります。筐体冷却用空冷サーモ・クーラーは、雰囲気の良くない所での密閉筐体に最適です。【活用シーン】・半導体製造装置・検査装置・研究開発用機器【導入の効果】・温度管理による歩留まり向上・装置の安定稼働・製品の信頼性向上

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【半導体向け】ウェーハ検査・計測用エアベアリング回転ステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

半導体製造では、ウェーハやフォトマスクの高精度な位置決めが、製品品質や歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程では、高い位置決め精度と安定した動作が求められます。 A-68x エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドを採用した高精度回転ステージです。従来のメカニカルガイドのような摩擦や部品精度の影響を受けにくく、スティックスリップや摩擦熱を抑制。高速かつ高精度な回転位置決めを実現します。これにより、半導体製造工程における検査・計測やアライメントの精度向上に貢献し、生産性向上と高品質なデバイス製造を支えます。【活用シーン】・ウェーハ検査・計測・ウェーハの精密位置決め・フォトマスクアライメント・半導体検査装置【導入の効果】・高精度位置決めによる歩留まり向上・高速駆動による生産性向上・摩擦熱の抑制による安定したプロセス・非接触構造による長寿命・低メンテナンス

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【半導体検査向け】RSシリーズスカラロボット

ハイウィン株式会社

半導体業界の検査工程では、製品の品質を保証するために、高速かつ正確な位置決めが求められます。特に、微細な部品の検査においては、高い精度と安定した動作が不可欠です。不適切な位置決めや動作の遅延は、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性があります。HIWINのRSシリーズスカラロボットは、自社開発部品により、敏捷で高精度な動作を実現し、半導体検査工程の効率化に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ、チップ、電子部品などの検査・高速ピックアンドプレース・精密部品の組み立て【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の削減・生産性の向上

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MSP社　パーティクル塗布装置

株式会社GSIクレオス　機材ソリューション部

MSP Corporationは、半導体およびデバイス分野向けに高精度なパーティクル塗布技術を提供する企業です。特許取得済みのDMA分級技術を中核とし、粒子径および塗布個数を高い再現性で制御できるパーティクル塗布装置および塗布サービスを展開しています。 MSP社のパーティクル塗布装置は、300mmウェハーをはじめとした基板に対して、10nmから2000nmまでの粒子を精密に塗布することが可能であり、スポット、全面、リング、エッジ・アークなど多様な塗布パターンに対応しています。PSLやSiO₂などの標準粒子に加え、実プロセスを模擬した各種プロセスパーティクルにも対応しています５

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浮上式基板搬送装置

合同会社ポーラス・コーポレーション

当社で取り扱っている「浮上式基板搬送装置」についてご紹介いたします。材質は、超高分子量ポリエチレン(UHMW-PE)を使用しており、平均孔径は Min2μm～Max80μm、気孔率は35％～40％。また、空気孔に形成された導電経路を経て、静電気を外部へリークする帯電防止方式で、耐熱温度は、連続90℃となっております。【仕様(一部)】 ■材質：超高分子量ポリエチレン(UHMW-PE) ■平均孔径：Min2μm～Max80μm ■気孔率：35％～40％ ■平坦度：10μm ■帯電防止方式：空気孔に形成された導電経路を経て、静電気を外部へリーク ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体検査治具　製造サービス

ニデックSVプローブ電子株式会社

当社では、ウエハ上に形成されたIC(半導体集積回路)を取り出す前に電気的検査を行うのに用いられる半導体検査治具を製造しております。また、一般社団法人日本溶接協会認定の上級オペレータ、インストラクタ有資格者が、電子機器の高機能化、高性能化、高信頼性化の要求のもと、マイクロソルダリング接合基準に基づき作業を実施。その他にも、高精度微細加工機を用いた精密加工も行っております。【技術】 ■マイクロソルダリング ■マイクロホール加工 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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海外製品向けサポートパック『あんしん+』

テガラ株式会社

ユニポスは研究開発に携わるお客様に代わって、最新の商品を世界中から調達代行するサービスです。初期不良期間終了後に発生したトラブルは、基本的にお客様自身でメーカーへお問い合わせいただく流れとなります。海外製品の導入をご検討のお客様からは「海外製品の導入がはじめてで不安」「あまり使ったことのないタイプの製品を導入するので勝手がわからない」「プロジェクトの進捗スピードUPのため、スムーズなサポートが必要」といったお声をいただくことが多くございます。そんなお悩みの解決策として3種類のサポートパックをご用意しました。「あんしん+」は製品トラブルが発生した際に、弊社技術サポートがお客さまに代わってメーカーへの問い合わせや修理・返送の手続きを行います。ハードウェアの保証期間を1年間延長する「あんしん+ プレミアム」もございます。海外製品の導入に不安のある方は、ぜひご検討ください。

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ウェーハ検査における検査装置の安定稼働

ウェーハ検査における検査装置の安定稼働とは？

課題

環境変動による性能低下

温度、湿度、振動などの製造環境の変化が、高精度な光学系や測定系を持つ検査装置の性能に影響を与え、誤検出や検出漏れを引き起こす可能性があります。

消耗部品の劣化と交換遅延

光源、レンズ、センサーなどの消耗部品は時間と共に劣化します。交換時期の把握が不十分であったり、交換作業に時間がかかったりすると、検査能力の低下や装置停止につながります。

ソフトウェア・ハードウェアの不具合

複雑なソフトウェアや精密なハードウェアには、予期せぬバグや故障が発生するリスクが常に存在します。これが検査結果の信頼性を損ない、生産ラインを停止させる原因となります。

データ管理と解析の非効率性

検査で生成される膨大なデータを効率的に管理・解析できないと、問題の早期発見や根本原因の特定が遅れ、装置の安定稼働に向けた改善活動が滞ります。

対策

環境監視と制御の強化

製造環境の温度、湿度、振動などをリアルタイムで監視し、設定範囲内に維持するための空調システムや防振対策を導入・強化します。

予知保全と計画的メンテナンス

センサーデータや稼働実績に基づき、部品の劣化状態を予測し、故障前に計画的に交換・メンテナンスを実施する体制を構築します。

リモート監視と迅速なサポート体制

装置の状態を遠隔で監視し、異常発生時には即座にアラートを発信。専門家による迅速なリモート診断やオンサイトサポートを提供できる体制を整備します。

データ統合管理とAI解析

検査装置から得られるデータを一元管理し、AIを活用して異常パターンを検知したり、原因を特定したりすることで、プロアクティブな改善を促進します。

対策に役立つ製品例

環境モニタリングシステム

製造ラインの温度、湿度、振動などの環境データを常時収集・分析し、異常値を検知してアラートを発することで、環境変動による検査装置の性能低下を防ぎます。

予知保全ソフトウェア

装置の稼働データやセンサー情報から、消耗部品の残存寿命を予測し、最適な交換時期を提示することで、突発的な故障を防ぎ、計画的なメンテナンスを可能にします。

リモートメンテナンスシステム

装置の状態を遠隔でリアルタイムに把握し、専門家が迅速に診断・対応できる環境を提供。これにより、ダウンタイムを最小限に抑え、安定稼働を支援します。

統合データ分析基盤

検査装置から生成される膨大なデータを集約・可視化し、AIによる高度な分析を行うことで、潜在的な問題点を早期に発見し、継続的な改善活動を支援します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

検査装置の安定稼働とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

ウェーハ検査における検査装置の安定稼働とは？

各社の製品

ウェーハ検査における検査装置の安定稼働

ウェーハ検査における検査装置の安定稼働とは？

​課題

環境変動による性能低下

消耗部品の劣化と交換遅延

ソフトウェア・ハードウェアの不具合

データ管理と解析の非効率性

​対策

環境監視と制御の強化

予知保全と計画的メンテナンス

リモート監視と迅速なサポート体制

データ統合管理とAI解析

​対策に役立つ製品例

環境モニタリングシステム

予知保全ソフトウェア

リモートメンテナンスシステム

統合データ分析基盤

課題

対策

対策に役立つ製品例