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不良品検出精度の向上とは？課題と対策・製品を解説

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された回路パターンに微細な欠陥がないかを高精度に検出する技術です。不良品の流出を防ぎ、半導体製品の品質と歩留まりを向上させることを目的としています。

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【半導体製造向け】静音リニアガイドウェイ

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハの搬送や検査工程においては、微細な位置ずれが製品の品質に大きく影響します。従来のガイドウェイでは、振動や騒音が発生しやすく、これが高精度な作業の妨げになることがあります。当社の静音リニアガイドウェイは、シンクモーションテクノロジーにより、低騒音かつ高精度な動作を実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・検査装置・精密位置決めが必要な製造工程【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・低騒音化による作業環境改善・高速化による生産性向上

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【半導体製造向け】ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウエハや基板の搬送、検査工程においては、ミクロン単位の正確な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右します。不適切なガイドウェイは、位置決め精度の低下や振動による不良品の発生につながる可能性があります。ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】は、コンパクトかつ軽量でありながら、全方向での高い剛性と精度を実現し、半導体製造装置の性能向上に貢献します。【活用シーン】・ウエハ搬送工程・検査装置・精密位置決めユニット【導入の効果】・位置決め精度の向上・装置の安定性向上・歩留まりの向上

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【ディスプレイ向け】ボンドテスター『MFMシリーズ』

千代田交易株式会社

ディスプレイ業界では、薄型化が進む中で、接合部分の信頼性が重要になっています。特に、薄型ディスプレイにおいては、部品の小型化と同時に、接合強度の確保が製品の耐久性を左右します。接合部分の強度が低いと、製品の故障や性能劣化につながる可能性があります。ボンドテスター『MFMシリーズ』は、パッシベーション膜成形後のせん断試験に対応し、ディスプレイの薄型化における接合強度評価に貢献します。【活用シーン】・薄型ディスプレイの製造工程における接合強度評価・ディスプレイ部品の品質管理・めっき・膜の接着強度測定【導入の効果】・接合部分の信頼性向上・製品の品質向上・不良品の削減

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【半導体製造向け】ステンレス製リニアガイドウェイ

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、高精度な位置決めが求められます。特に、クリーンルーム環境や薬液を使用する工程では、耐食性と耐久性に優れた部品が不可欠です。不適切な部品選定は、装置の故障や製品の品質低下につながる可能性があります。当社のステンレス製リニアガイドウェイは、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に好適です。【活用シーン】・クリーンルーム内の搬送システム・薬液を使用する製造装置・高精度な位置決めが求められる検査装置【導入の効果】・装置の長寿命化・製品の品質向上・メンテナンスコストの削減

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【データセンター向け】異物混入防止フィルター

エイ・ジェイ・テックス株式会社

データセンターでは、サーバーの安定稼働が最重要課題です。埃や虫の侵入は、機器の故障や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、24時間365日稼働するサーバーにとって、異物混入によるトラブルは大きな損失につながります。当社の異物混入防止フィルターは、約0.2mmの極細目合いで、埃や虫の侵入を効果的に防ぎ、サーバーの安定稼働をサポートします。【活用シーン】・データセンターの換気口・空調設備のフィルター【導入の効果】・メンテナンスコストの削減

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【計測器向け】ナノ結晶軟磁性合金

青山特殊鋼株式会社

計測器業界では、微弱な信号を正確に捉えるために、ノイズ対策が重要です。特に、高感度な計測を行う場合、外部からのノイズの影響を受けやすく、計測精度が低下する可能性があります。当社のナノ結晶軟磁性合金は、高透磁率によりノイズを効果的に抑制し、計測器の高感度化に貢献します。【活用シーン】・高感度センサー・ノイズ対策が必要な計測機器【導入の効果】・計測精度の向上・ノイズ対策コストの削減

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【防衛向け】3分で分かる！電気特性測定用基板

株式会社プリケン

防衛分野では、過酷な環境下での使用に耐えうる高い耐久性が求められます。電気特性測定用基板においても、信頼性の高い測定結果を得るためには、インピーダンス管理や測定方式への適合が重要です。不適切な基板選定は、測定誤差や機器の故障につながる可能性があります。当社の「3分で分かる！電気特性測定用基板」資料は、防衛分野における高耐久性を実現するための基板選定のポイントを解説します。ぜひダウンロードしてご一読ください。【活用シーン】 * 過酷な環境下での電子機器の性能評価 * 高信頼性が求められる通信機器の特性評価 * 軍事用電子機器の品質管理【導入の効果】 * 信頼性の高い測定結果の取得 * 機器の故障リスクの低減 * 製品の品質向上

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【電子機器向け】セラミックスピンゲージ

三和クリエーション株式会社

電子機器業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、絶縁性の確保が重要な課題となっています。特に、精密な部品の組み立てや検査においては、絶縁性能を損なうことなく、高い精度で測定を行うことが求められます。セラミックスピンゲージは、優れた絶縁性と高い寸法精度により、電子機器の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の穴径測定・絶縁性を求められる箇所での寸法測定・測定器校正【導入の効果】・絶縁性を損なわずに高精度な測定が可能・製品の品質向上に貢献・長期間にわたる安定した性能

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木目まで不良にしない検査へ―Gemini eye

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

木板や住宅建材の外観検査では、木目や色味の違いは良品として残したい一方で、表面キズや汚れは見逃せません。木目まで不良として拾ってしまうと、確認工数や手直し判断が増えてしまいます。『Gemini eye』は、良品を学習し、“いつもと違う”箇所を検出する外観検査AIです。少量の良品データから検討でき、不良品を大量に集める必要はありません。木板のキズなど、自然な個体差がある対象でも、良品の範囲を保ちながら外観不良を検出します。異常箇所はヒートマップで表示され、どこを不良と判断したかを現場で確認可能。判定結果は画像・数値・グラフで見られ、検査基準の共有や品質確認の説明にも役立ちます。未知不良の検出に加え、既知不良の種類別表示にも対応可能。撮像機器の選定から検査装置まで相談でき、目視検査のばらつき低減や自動化を検討できます。【特長】 ■木目・色味のばらつきに対応 ■表面キズ・汚れなどを検出 ■異常箇所をヒートマップ表示 ■撮像機器・検査装置まで提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが歩留まりと製品品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の回転ステージでは、摩擦による微小なブレや偏心が発生し、これが品質低下の原因となる可能性があります。PIglide A-62xシリーズは、摩擦のないエアベアリング技術により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・ウェーハ検査・露光装置・精密測定【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・製品品質の安定化・生産性の向上

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【半導体向け】φ0.01ミリ極小径ピンゲージ

三和クリエーション株式会社

半導体業界の微細加工においては、高精度な穴径測定が製品の品質を左右します。特に、ウェーハやチップの製造工程では、微細な穴の寸法管理が重要であり、わずかな誤差が製品の不良につながる可能性があります。当社のφ0.01ミリ極小径ピンゲージは、高精度な内径測定を可能にし、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハの穴径測定・半導体チップの微細穴測定・測定器の校正【導入の効果】・高精度な測定による品質向上・不良品の削減・歩留まりの向上

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【家電向け】リークテスタNT-600で漏電リスクを低減

株式会社ナック

家電業界では、製品の安全性が最重要課題であり、漏電は重大な事故につながる可能性があります。製品の品質を確保するためには、製造工程における気密検査が不可欠です。リークテスタNT-600は、家電製品の気密性を高精度に検査し、漏電のリスクを低減します。水没検査とは異なり、製品を濡らすことなく、数値的に検査できるため、効率的かつ正確な検査が可能です。【活用シーン】・家電製品の製造工程における気密検査・サービス部門での修理・点検・製品の品質管理【導入の効果】・漏電による事故のリスクを低減・製品の品質向上・顧客からの信頼獲得

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【電子業界向け】圧縮空気微生物汚染物質含有量の試験

株式会社分析センター

電子業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム環境が不可欠です。特に、製造プロセスで使用される圧縮空気中の微生物汚染物質は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社の圧縮空気微生物汚染物質含有量の試験は、クリーンルーム環境の清浄度を維持し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での圧縮空気供給ライン・半導体製造プロセス・電子部品製造プロセス【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造プロセスの安定化

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【半導体製造向け】幾何公差円周振れ・全振れ解説動画

株式会社松井製作所

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が常に求められます。特に、微細加工技術が重要となる分野では、部品の寸法精度が製品の性能を大きく左右します。幾何公差の理解不足は、不良品の発生や性能の低下につながり、歩留まりを悪化させる可能性があります。この動画では、幾何公差の一種である「円周振れ・全振れ」の基本を解説し、図面解読能力の向上をサポートします。この動画を視聴することで、半導体製造における品質管理の基礎知識を深め、歩留まり改善に貢献できる可能性があります。【活用シーン】・半導体製造における部品設計・品質管理部門での教育・製造現場での図面解読【導入の効果】・幾何公差の理解を深め、図面解読能力が向上する・不良品の発生を抑制し、歩留まりが改善する可能性・品質管理の知識向上による、製品品質の安定化

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【電子機器向け】コンパクトエアリークテスター FLZ-0220

株式会社フクダ

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、筐体の気密性検査が重要です。特に、外部からの異物混入や湿気による故障を防ぐためには、エアリークテストによる厳格な検査が不可欠です。FLZ-0220シリーズは、エアリークテストに必要な機能をすべて搭載し、タッチパネルによる操作性の向上とコンパクトサイズを実現しています。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末の筐体検査・各種電子部品の筐体検査・キーレススイッチなどの気密検査【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・検査時間の短縮

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【半導体製造向け】大型板材アルマイト処理

富商

半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度が非常に重要です。微細な異物の混入は、製品の歩留まりを低下させ、性能に悪影響を及ぼす可能性があります。特に、製造プロセスで使用される部材の表面処理は、清浄度を維持する上で重要な要素となります。アルマイトは、素地と一体化し剥がれる心配がありません。これにより、清浄度を高く保ち、高品質な製品製造をサポートします。 1250×2500のサイズまで、一般アルマイト、硬質アルマイト、両方とも対応可能です。【活用シーン】・半導体製造装置部品・クリーンルーム内使用部品・高精度が求められる部品【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品の歩留まり向上・高い清浄度の維持

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【電子機器向け】コストダウンと短納期対応

株式会社バンテック

電子機器業界では、製品の小型化が進むにつれて、部品の精度とコストパフォーマンスが重要になります。特に、限られたスペースの中で高い性能を発揮するためには、高品質なフィルターが不可欠です。不良品の発生は、製品の信頼性を損なうだけでなく、コスト増にもつながります。当社の自動加工機による一貫生産は、高品質な金属フィルターを低コストで提供し、電子機器の性能向上に貢献します。【活用シーン】・小型電子機器・精密機器・高密度実装基板【導入の効果】・不良率の低減・コスト削減・短納期対応

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【半導体向け】静電防止剤『DS-880』

大道産業株式会社

半導体業界では、微細なパターン形成において、ホコリやゴミの付着が歩留まりを大きく左右します。静電気は、これらの異物を引き寄せ、製品の品質を低下させる大きな要因となります。静電防止剤『DS-880』は、水洗工程で水洗水に添加することで、静電気の発生を抑制し、ホコリやゴミの付着を防ぎます。これにより、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・パターン形成工程・レジスト硬化工程【導入の効果】・ホコリ・ゴミ付着による不良品の削減・歩留まりの向上・製品品質の安定化

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【半導体向け】ウェーハ検査・計測用エアベアリング回転ステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造では、ウェーハやフォトマスクの高精度な位置決めが、製品品質や歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程では、高い位置決め精度と安定した動作が求められます。 A-68x エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドを採用した高精度回転ステージです。従来のメカニカルガイドのような摩擦や部品精度の影響を受けにくく、スティックスリップや摩擦熱を抑制。高速かつ高精度な回転位置決めを実現します。これにより、半導体製造工程における検査・計測やアライメントの精度向上に貢献し、生産性向上と高品質なデバイス製造を支えます。【活用シーン】・ウェーハ検査・計測・ウェーハの精密位置決め・フォトマスクアライメント・半導体検査装置【導入の効果】・高精度位置決めによる歩留まり向上・高速駆動による生産性向上・摩擦熱の抑制による安定したプロセス・非接触構造による長寿命・低メンテナンス

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【電子部品製造向け】PT-VM02 超音波音圧センサー

株式会社プレテック　静岡製作所

電子部品製造業界の品質管理において、洗浄工程は製品の信頼性を左右する重要な要素です。洗浄槽内のキャビテーション強度の変化や経年劣化は、洗浄効果の低下や製品への悪影響を引き起こす可能性があります。これらの問題を未然に防ぎ、安定した品質を維持するためには、洗浄槽の状態を正確に把握し、適切な管理を行うことが不可欠です。PT-VM02は、洗浄槽の状態を数値化することで、品質管理における課題解決をサポートします。【活用シーン】・洗浄槽の日常管理・経年劣化管理・洗浄装置の性能比較・キャビテーション強度の評価【導入の効果】・洗浄槽の状態を可視化し、異常を早期発見・洗浄工程の最適化による品質向上・装置の安定稼働と製品の歩留まり向上・メンテナンスコストの削減

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【半導体向け】V-62xシリーズ高精度回転ステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・レーザー加工・検査装置【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・高速・高精度動作による生産性向上・幅広い分野への対応

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【半導体向け】基板印字用 UVレーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体業界では、ウェハのトレーサビリティを確保するため、高精度なID印字が求められます。特に、微細加工が進む中で、熱による基板へのダメージを抑えつつ、視認性の高い印字が重要です。従来のレーザマーカーでは、熱による基板への影響や印字の精度に課題がありました。当社のUVレーザマーカーは、これらの課題を解決します。【活用シーン】・ウェハID印字・基板へのシリアルナンバー印字・製造工程におけるトレーサビリティ管理【導入の効果】・熱ダメージを抑え、基板の品質を維持・極小文字や2次元コードの高精度印字・高密度実装基板への対応・安定した印字品質の実現

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【半導体製造向け】ACS-13.5-5

藤倉コンポジット株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハの搬送や検査工程においては、微細な位置調整が製品の品質を左右します。従来のシリンダでは、摩擦抵抗やサイズの制約から、精密な動きを実現することが難しい場合がありました。ACS-13.5-5は、摩擦抵抗ゼロのエアベアリング構造により、高精度な位置決めを実現します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・検査装置・精密部品の組み立て【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・装置の小型化・省スペース化・製造プロセスの効率化

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【電子部品向け】静電容量式ポータブル露点計TK-100NK-2型

株式会社テクネ計測

電子部品業界では、製品の絶縁性を確保するために、気体中の水分管理が重要です。水分は絶縁不良を引き起こし、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。特に、高精度が求められる電子部品の製造プロセスにおいては、微量の水分も厳密に管理する必要があります。静電容量式ポータブル露点計 TK-100 NK-2型は、-50℃以下の露点測定に対応し、電子部品の品質管理に貢献します。【活用シーン】・電子部品製造における乾燥空気や不活性ガスの水分管理・絶縁材料の保管環境における水分モニタリング・製品の品質検査における露点測定【導入の効果】・絶縁不良のリスクを低減・製品の信頼性向上・品質管理の効率化・製造コストの削減

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【半導体製造向け】日英中グローバル対応基板用CO2レーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

製造工程の複雑化とグローバル化が進む中、正確なマーキングと多言語対応が求められています。当社の基板用CO2レーザーマーカーは、グローバルな製造現場での運用を最適化するために設計されたインラインシステムです。日英中の3ヶ国語表示をはじめとするグローバル対応インターフェースを標準搭載しています。これにより、言語の壁を解消し、国内外を問わず境界のない生産ラインの構築を強力にサポート。スムーズな海外展開と、現地拠点での安定した運用を実現します。ヒューマンエラーを排除し、高度な品質管理体制の構築に貢献します。【活用シーン】・基板シリアル番号、製造ロット、日付情報のマーキング・二次元コード印字: QRコード、DataMatrix、マイクロQR ・グローバル生産拠点への展開: 日英中の言語切り替えが必要な国内外の共通ライン【導入の効果】・グローバル展開の加速: 共通の操作インターフェースにより、国内外拠点のスムーズな立ち上げが可能・オペレーション精度の向上: 現地スタッフが母国語で操作できるため、設定ミスや誤操作のリスクを低減

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【研究開発向け】16ビット DAコンバータボード

株式会社エンベデッドテクノロジー

研究開発分野における実験では、精密なデータ取得と制御が求められます。特に、アナログ信号の正確な生成は、実験結果の信頼性を左右する重要な要素です。ノイズの影響を受けやすい環境下では、絶縁されたDAコンバータが不可欠です。MPC104-ISODAC16は、16ビット分解能と絶縁機能を備え、研究開発における実験の精度向上に貢献します。【活用シーン】・各種センサー信号の生成・精密機器の制御・信号処理実験【導入の効果】・高精度なアナログ信号生成・ノイズからの影響を低減・実験データの信頼性向上

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【電子部品向け】リアルナノ３次元測定機

アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社

電子部品業界において、接合部の信頼性は製品の品質を左右する重要な要素です。温度変化や振動にさらされる環境下では、接合部の微細な異常が製品の性能劣化や故障を引き起こす可能性があります。リアルナノ３次元測定機は、接合部の表面粗さや形状を詳細に測定し、接合不良の早期発見に貢献します。【活用シーン】・電子部品の接合部の表面粗さ測定・はんだ接合部の形状評価・接合界面の異物検出【導入の効果】・接合不良の早期発見による歩留まり向上・製品の信頼性向上・品質管理の効率化

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【電子機器製造向け】ブローバックプレフィルター

株式会社テクネ計測

電子機器製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、製造プロセスにおける微粒子の混入を徹底的に管理する必要があります。特に、半導体製造や精密電子部品の製造においては、微粒子が製品の不良や性能劣化を引き起こす大きな要因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガスから粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動フィルタークリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。【活用シーン】・半導体製造プロセス・精密電子部品製造・クリーンルーム環境【導入の効果】・製品の歩留まり向上・品質の安定化・メンテナンスコストの削減

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【電子部品実装向け】産業用顕微鏡ユニット

千代田光機株式会社

電子部品実装の分野では、高品質な製品を安定して供給するために、実装プロセスの正確性と信頼性が求められます。特に、微細な部品の実装においては、位置ずれや異物の混入が製品の不良につながる可能性があります。CMXシリーズは、ウエハーの外観・内面検査において、高精度な画像取得を可能にし、実装プロセスの品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の実装工程における検査・ウエハーの外観検査・実装後の部品の品質検査【導入の効果】・実装不良の早期発見・品質管理の向上・歩留まりの改善

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【AI向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

AI分野では、学習モデルの精度向上と高速化が重要な課題です。そのため、AIチップの品質を迅速に評価し、不良品の早期発見と歩留まり向上を図ることが求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、AIチップのテスト時間を短縮し、開発サイクルの高速化に貢献します。【活用シーン】・AIチップの量産テスト・学習データ収集のためのチップ選別・AI開発におけるプロトタイプ評価【導入の効果】・テスト時間の短縮による開発期間の短縮・不良品の早期発見によるコスト削減・高品質なAIチップの安定供給

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【自動運転向け】半導体製造装置用部品

株式会社タイトウトレーディング

自動運転技術が進化する中、自動車業界では、高度な制御システムを支える半導体製造装置の信頼性が重要になっています。特に、センサーや制御ユニットの性能を左右する半導体部品の製造においては、高い精度と耐久性が求められます。不具合は、自動運転システムの誤作動や安全性の低下につながる可能性があります。 TAITOHの半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、自動運転システムの信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・自動運転システムのセンサー製造・制御ユニットの製造・車載用電子部品の製造【導入の効果】・部品の安定供給による製造効率の向上・高品質な部品によるシステムの信頼性向上・コストと品質のバランスの実現

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【半導体向け】圧縮空気微生物汚染物質含有量の試験

株式会社分析センター

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が最重要課題です。クリーンルーム環境下での製造プロセスにおいて、圧縮空気中の微生物汚染は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、微細な回路を扱う半導体製造においては、わずかな汚染物質も大きな影響を与え、歩留まりを悪化させる要因となります。当社の圧縮空気微生物汚染物質含有量の試験は、この課題に対し、VWR社のSAサンプラーを用いて圧縮空気やガスに含まれる微生物を評価することで、品質管理をサポートします。【活用シーン】 * クリーンルーム内の圧縮空気供給ライン * 半導体製造装置への圧縮空気供給箇所 * 定期的な微生物汚染評価 * 汚染原因調査【導入の効果】 * 製品の歩留まり向上 * 品質管理体制の強化 * 製造プロセスの安定化 * 不良品の削減

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【IoTデバイス向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

IoTデバイスの接続性評価においては、多数のデバイスを迅速かつ正確にテストすることが求められます。デバイスの多様化と複雑化が進む中、テスト時間の短縮と高い信頼性の両立が重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、IoTデバイスの品質管理と開発効率向上に貢献します。【活用シーン】・IoTデバイスの量産テスト・接続性評価テスト・品質管理【導入の効果】・テスト時間の短縮・高い信頼性の確保・生産性の向上

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【半導体向け】ウルトラファインリークテストシステム｜MUH

株式会社フクダ

半導体業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、微細な漏れの検出が重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、製品内部の密封性を維持し、外部からの影響を防ぐことが求められます。微細な漏れは、製品の性能劣化や故障の原因となり、歩留まりの低下につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能な「カプセル蓄積法」を採用し、超微小のヘリウムリークを検出することで、半導体製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品・小型電子部品【導入の効果】・製品の信頼性向上・歩留まりの改善・品質管理の強化

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【電子機器向け】リークテスタ NT-600

株式会社ナック

電子機器業界では、製品の信頼性を高めるために、防水性の確保が求められます。水没検査では、ワークを濡らしてしまう可能性があり、検査後の乾燥工程が必要になる場合があります。当社のリークテスタNT-600は、高精度差圧センサーで気密（漏れ）検査を行い、ワークを濡らすことなく、数値的な検査が可能です。自動機への組み込みも容易で、電子機器の品質管理に貢献します。【活用シーン】・スマートフォン、タブレット端末・小型部品の気密検査・防水コネクタ・電子部品の防水検査【導入の効果】・製品の防水性能を数値で管理・不良品の早期発見・検査工程の効率化・品質の向上

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【遊戯機器向け】N極・S極個別出力磁気センサー

株式会社マコメ研究所 (MACOME)

遊戯機器業界では、不正行為を防止するために、高い信頼性と耐久性を持つセンサーが求められます。特に、外部からの操作や改ざんを防ぐために、正確な検知能力と、環境変化に強い堅牢性が重要です。当社の磁気センサーは、磁気を利用しているため、汚れに強く、屋外での使用にも対応します。N極・S極それぞれの出力を独立して出力するため、不正検知に役立ちます。【活用シーン】・遊戯機器の不正改造検知・不正な磁石を用いた操作の検知・筐体の開閉検知【導入の効果】・不正行為の抑止・機器の安全性の向上・メンテナンスコストの削減

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【IoT無線向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

IoT分野の無線通信技術は、ますます高度化し、高速データ通信へのニーズが高まっています。この分野では、デバイスの小型化と高性能化が進み、高周波特性の正確な測定が不可欠です。特に、無線通信モジュールやアンテナなどのテストにおいて、高周波信号の正確な伝送と測定が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波帯域の測定にも対応可能です。【活用シーン】・IoT向け無線通信デバイスの評価・検証・高周波・ミリ波測定が必要な半導体デバイスの設計検証【導入の効果】・高周波特性の正確な測定・安定した測定環境の実現

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【半導体向け】ピエゾナノ位置決めアクチュエータ N-216

PIジャパン株式会社

半導体製造では、ウェハ検査やナノリソグラフィなどの工程において、ナノメートルレベルの高精度位置決めが求められます。わずかな位置決め誤差でも、製品品質の低下や歩留まり悪化につながる可能性があります。 N-216は、PI独自のNEXLINE(R) PiezoWalk(R)ウォーキングドライブ技術を採用した高推力リニアアクチュエータです。 0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の高分解能と最大800Nの保持力により、半導体製造装置における高精度かつ安定したナノ位置決めを実現します。【活用シーン】・ウェハ検査装置・ナノリソグラフィ装置・半導体製造装置・ナノ計測装置・精密位置決め用途【導入の効果】・ナノメートルレベルの高精度位置決めによる歩留まり向上・高推力駆動による安定した位置決め性能・製造プロセスの効率化・高品質な半導体製品の安定生産に貢献

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【半導体製造向け】幾何公差同心度・同軸度基本解説動画

株式会社松井製作所

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が常に求められます。特に、微細加工技術が重要となる分野においては、部品の精度が製品の性能を大きく左右します。同心度や同軸度の不正確さは、製品の不良や性能低下につながり、歩留まりを悪化させる要因となります。この動画では、幾何公差の一種である「同心度・同軸度」の基本を解説し、半導体製造における品質管理の基礎知識を提供します。この動画を参考に、同心度・同軸度に関する理解を深め、歩留まり改善にお役立てください。【活用シーン】・半導体製造における部品の設計・製造・品質管理部門での教育・製造現場での技術指導【導入の効果】・幾何公差の理解を深め、設計・製造段階でのミスを削減・品質管理能力の向上、不良品の発生率を低減・歩留まりの改善、コスト削減に貢献

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【半導体製造向け】加湿装置 Model me-40DP

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な湿度管理が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、ウェーハ製造やクリーンルーム環境においては、湿度のわずかな変動が、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。Model me-40DPは、高精度な湿度制御を実現し、半導体製造プロセスにおける安定した環境を提供します。これにより、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ製造工程・クリーンルーム環境・研究開発部門【導入の効果】・歩留まりの向上・製品品質の安定化・製造コストの削減

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【電子機器向け】シート状被覆熱電対

石川産業株式会社

電子機器業界では、基板の温度管理が製品の性能と信頼性を左右します。特に、CPUなどの発熱源に近い部分や、基板と他の部品との隙間など、正確な温度計測が難しい箇所での温度管理が重要です。温度計測の精度が低いと、製品の誤動作や故障につながる可能性があります。当社のシート状被覆熱電対は、基板の温度を正確に計測し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・CPU表面・基板と他の部品との隙間・電子機器の温度試験【導入の効果】・正確な温度計測による製品の品質向上・故障リスクの低減・製品開発における温度設計の最適化

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【ディスプレイ製造向け】iTMAシリーズ

株式会社テクネ計測

ディスプレイ製造業界では、製品の品質を左右する要因の一つとして、製造プロセスにおけるガスの清浄度が重要です。特に、腐食性ガス中の水分は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定することで、製造プロセスの最適化を支援し、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・ディスプレイ製造工程における腐食性ガスの水分管理・製品の品質管理、歩留まり改善・ガス供給システムのモニタリング【導入の効果】・製品不良の低減・製造コストの削減・品質の安定化

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【半導体製造向け】薄型DDモーター【DMTシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、高い精度と安定性が求められます。従来のモーターでは、設置スペースの制約や、位置決めの精度に課題がありました。薄型DDモーター【DMTシリーズ】は、これらの課題を解決し、半導体製造における位置決め精度を向上させるために開発されました。当社のリニアモーターステージと組合わせれば比較的容易にXYθステージも構築可能です。【活用シーン】・ウェーハ搬送・マスクアライメント・検査装置・微細加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・装置の小型化・工程時間の短縮・歩留まりの向上

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【電子機器向け】生産現場のドライブレコーダー

株式会社コヤマ・システム

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における不良の早期発見と原因究明が不可欠です。特に、微細な部品の組立や複雑な工程が多い電子機器製造においては、不良発生時の迅速な対応が、生産効率の維持に重要となります。不良の原因特定に時間がかかると、生産ラインの停止や製品の廃棄につながり、大きな損失を招く可能性があります。RekamoMAは、高速カメラによる詳細な記録と波形グラフとの同期表示により、不良発生の原因を迅速に特定し、対策を講じることを可能にします。【活用シーン】・電子部品の製造ライン・半導体製造工程・基板実装工程・製品の品質検査【導入の効果】・不良解析時間の短縮・不良原因の特定精度向上・生産効率の改善・品質管理の強化

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【イメージセンサー向け】CIシリーズ

株式会社安永

イメージセンサー業界では、画素の品質を保証するために、ベアチップの外観検査が重要です。特に、微細な欠陥や異物は、画質の低下や製品の不良につながる可能性があります。CIシリーズは、高精細な外観検査により、これらの課題を解決します。【活用シーン】・イメージセンサー製造における出荷前検査・画素評価における欠陥検出・ベアチップのソーティング【導入の効果】・不良品の流出防止・品質の向上・検査工程の効率化

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【半導体向け】金属フィルター、ストレーナー

株式会社バンテック

半導体業界では製品の小型化・高性能化に伴い、高品質な部品を低コスト、かつ短納期で調達することが求められます。特に微細化が進む中で、異物混入や品質のばらつきは歩留まりを大きく左右する重要な課題です。当社の自動加工機による一貫生産は、これらの課題に対し、安定した品質と納期短縮を実現します。【活用シーン】・半導体製造工程におけるフィルター利用・微細加工部品の製造・高品質・低コストの部品調達【導入の効果】・不良率の低減・コスト削減・納期短縮・安定供給

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【電子機器向け】Smart Picking for FA

因幡電機産業株式会社

電子機器業界の梱包作業では、正確な部品のピッキングが求められます。部品の取り間違いは、製品の品質低下や不良品の発生につながり、大きな損失を招く可能性があります。また、ピッキング作業の遅延は、生産性の低下にもつながります。Smart Picking for FAは、バーコードスキャナによる部品情報の読み取りと、アンサーキットによる取り出し位置と個数の表示により、正確かつ迅速なピッキングを支援します。【活用シーン】・電子機器の製造ラインにおける部品のピッキング・梱包作業における部品の取り出し・在庫管理における部品の補充【導入の効果】・ピッキングミスの削減・作業時間の短縮・在庫管理の効率化

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【電子部品向け】高分子式露点計 TE-660TR

株式会社テクネ計測

電子部品業界において、絶縁性は製品の信頼性を左右する重要な要素です。水分は絶縁性を低下させ、部品の性能劣化や故障を引き起こす可能性があります。特に、高密度実装が進む現代の電子部品においては、微小な水分量も厳密に管理する必要があります。高分子式露点計 TE-660TRは、-60 ℃dpまでの低露点範囲を測定し、自動校正機能により正確な水分管理を実現します。これにより、電子部品の絶縁性を確保し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】 * 半導体製造工程 * 電子部品の保管環境 * クリーンルーム環境【導入の効果】 * 製品の信頼性向上 * 不良率の低減 * 品質管理の効率化

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【半導体製造向け】多軸モーションコントローラーHIMC3

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。ウェーハやマスクの位置決め精度は、製品の品質と歩留まりを大きく左右するため、非常に重要です。位置決め精度が低い場合、製造プロセスに問題が生じ、不良品の増加や生産効率の低下につながる可能性があります。ハイウィンの多軸モーションコントローラー【HIMC3】は、最大32個のサブデバイスに対応し、最大16軸まで接続可能。C/C++/C#/Python/LabVIEW 向け API ライブラリを用いて高度なアプリケーションの開発を可能にします。これにより、半導体製造における位置決め精度を向上させ、生産効率の改善に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・マスクアライメント・検査装置・レーザー加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・サイクルタイムの短縮・歩留まりの向上・生産性の向上

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【半導体向け】NuLMiL - AI外観検査

株式会社渡辺商行

半導体業界では、製品の品質管理において、微細な不良を正確に検出することが求められます。パターン認識技術を活用した外観検査は、製品の歩留まり向上に不可欠です。NuLMiLは、不良部分を塗り分けるだけで、自動で不良種別を分類できる外観検査AIです。目視検査の自動化により、検査の効率化と品質の安定化を実現します。【活用シーン】・半導体製造工程における外観検査・パターン認識技術を活用した不良検出・目視検査の自動化による効率化【導入の効果】・検査精度の向上・検査時間の短縮・人件費の削減

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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

半導体デバイスの微細化・高集積化に伴い、検出困難な微細な欠陥や、従来とは異なるパターンの欠陥が増加しており、従来の検査手法では見逃すリスクが高まっています。

検査時間の増大とスループット低下

高精度な検査を実現しようとすると、検査に要する時間が増加し、製造ライン全体の生産効率（スループット）が低下する可能性があります。

データ量の爆発的増加と解析負荷

高解像度での検査は膨大な画像データを生成し、その解析には高度な計算能力と専門知識が必要となり、迅速な不良判定の妨げとなります。

人為的ミスの排除と客観性の確保

目視検査や経験に依存する部分が残ると、検査員の熟練度によるばらつきや、疲労によるミスが発生しやすく、検査結果の客観性を担保することが困難です。

対策

AI・機械学習による画像解析

大量の検査画像データをAIに学習させることで、人間では識別困難な微細な欠陥や、未知の欠陥パターンを自動で高精度に検出します。

検査アルゴリズムの最適化

欠陥の種類やウェーハの状態に応じて、最適な検査パラメータやアルゴリズムを動的に適用することで、検査精度とスピードの両立を図ります。

データ処理・管理基盤の強化

高速なデータ処理能力を持つインフラと、効率的なデータ管理システムを導入し、膨大な検査データを迅速に解析・活用できる体制を構築します。

自動化・標準化された検査プロセス

検査プロセス全体を自動化し、検査基準を明確に定義・標準化することで、人為的なミスを排除し、一貫した高精度な検査を実現します。

対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

深層学習モデルを用いて、ウェーハ画像から微細かつ複雑な欠陥を高精度に識別・分類し、不良品検出の精度を飛躍的に向上させます。

高速画像処理システム

並列処理技術やGPUを活用し、膨大な検査画像をリアルタイムに近い速度で処理・解析することで、検査時間の短縮とスループット向上に貢献します。

インテリジェント検査システム

AIが検査結果を学習し、継続的にアルゴリズムを最適化することで、新たな欠陥パターンにも対応し、検査精度の維持・向上を自動で行います。

データ統合・分析管理ツール

検査データ、製造データ、材料データなどを一元管理し、高度な分析機能を提供することで、欠陥の原因究明や再発防止策の立案を支援します。

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検査・測定装置

材料

自動化・ITソリューション

製造装置

不良品検出精度の向上とは？課題と対策・製品を解説

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

各社の製品

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

​課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

検査時間の増大とスループット低下

データ量の爆発的増加と解析負荷

人為的ミスの排除と客観性の確保

​対策

AI・機械学習による画像解析

検査アルゴリズムの最適化

データ処理・管理基盤の強化

自動化・標準化された検査プロセス

​対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

高速画像処理システム

インテリジェント検査システム

データ統合・分析管理ツール

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

課題

対策

対策に役立つ製品例