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半導体製造装置・材料

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不良品検出精度の向上とは?課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは?

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された回路パターンに微細な欠陥がないかを高精度に検出する技術です。不良品の流出を防ぎ、半導体製品の品質と歩留まりを向上させることを目的としています。

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【画像処理向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー

【画像処理向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー
画像処理業界では、高解像度化が進むにつれて、画像センサーや関連電子部品の発熱が大きな課題となっています。発熱はノイズの増加や誤作動を引き起こし、画質の低下やシステムの信頼性低下につながります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、これらの問題を解決し、安定した画像処理を可能にします。 【活用シーン】 ・高解像度カメラ ・画像処理装置 ・医療用画像診断装置 【導入の効果】 ・画像ノイズの低減 ・画質の向上 ・システムの安定性向上

【電子機器向け】小型加振器(汎用タイプ)振動試験機

【電子機器向け】小型加振器(汎用タイプ)振動試験機
電子機器業界では、製品の品質を保証するために、基板の検査が不可欠です。特に、振動や衝撃にさらされる電子機器においては、基板の耐久性と信頼性を確認することが重要です。検査において、不適切な加振は、基板の損傷や誤った結果につながる可能性があります。当社小型加振器(汎用タイプ)は、基板検査の目的に合わせて、最適な振動試験を実現します。 【活用シーン】 ・基板の振動試験 ・電子部品の耐久性試験 ・製品の品質評価 【導入の効果】 ・基板の信頼性向上 ・製品の品質向上 ・試験時間の短縮

【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定

【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定
電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、コーティングの正確な膜厚測定が不可欠です。特に、基板や筐体などのコーティングは、製品の性能や耐久性に大きく影響します。膜厚が不適切だと、絶縁不良や腐食、性能劣化を引き起こす可能性があります。クイントソニックTは、非破壊で最大8層までの膜厚を測定し、電子機器の品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・電子部品のコーティング厚測定 ・基板の絶縁膜厚測定 ・筐体の塗装膜厚測定 【導入の効果】 ・非破壊測定による検査時間の短縮 ・多層膜厚の同時測定による効率化 ・測定データのEXCEL出力とレポート作成による記録管理の簡素化

【電子機器向け】4K/60fpsデジタルマイクロスコープ

【電子機器向け】4K/60fpsデジタルマイクロスコープ
電子機器業界における基板確認では、高品質な画像による詳細な観察が求められます。特に、微細な部品の欠陥や接合部の異常を正確に捉えることが、製品の品質管理において重要です。4K/60fpsデジタルマイクロスコープ TAGARNO T50は、高解像度と高フレームレートにより、歪みや遅延のないスムーズでシャープな画像を提供し、基板の細部まで鮮明に観察できます。全自動機能により、効率的な検査をサポートします。 【活用シーン】 ・基板製造工程における品質検査 ・製品開発における試作基板の評価 ・修理・メンテナンス時の不具合箇所の特定 【導入の効果】 ・高画質による詳細な観察で、不良品の早期発見が可能 ・オートフォーカス機能により、ピント調整の手間を軽減 ・ワンタッチでの画像保存により、記録と共有が容易 ・オンライン会議アプリとの連携で、遠隔地との情報共有が可能

【電子機器向け】製造業のAI活用の実態レポート

【電子機器向け】製造業のAI活用の実態レポート
電子機器業界では、製品の品質管理において、不良品の早期発見が重要です。不良品の発生は、コスト増、顧客からの信頼失墜につながる可能性があります。AI技術を活用することで、不良品の検出精度を向上させ、製造プロセス全体の効率化を図ることが求められています。本資料では、AIの導入が進む製造業界の実態をエグゼクティブ104人への調査結果からご紹介。貴社のAI活用を進めるヒントとして是非ご活用ください。 【活用シーン】 * 電子機器の製造ラインにおける外観検査 * 部品の異常検知 * 製造プロセスの品質管理 【導入の効果】 * 不良品の発生率を低減 * 製造コストの削減 * 顧客満足度の向上

【電子機器向け】ウルトラファインリークテストシステム|MUH

【電子機器向け】ウルトラファインリークテストシステム|MUH
電子機器業界では、製品の長期的な信頼性を確保するため、部品の気密性が非常に重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、微小な漏れが製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、これらの課題に対し、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を採用し、超微小漏れを測定することで、製品の品質管理を支援します。 【活用シーン】 ・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品の気密検査 ・スマートフォン、キーレススイッチなどの小型電子部品の品質管理 ・製品の長期的な信頼性確保のためのリーク試験 【導入の効果】 ・4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) までの超微小漏れを検出 ・製品の品質向上と信頼性向上 ・不良品の流出防止によるコスト削減

【電子部品向け】高分子式露点計 TE-660TR

【電子部品向け】高分子式露点計 TE-660TR
電子部品業界において、絶縁性は製品の信頼性を左右する重要な要素です。水分は絶縁性を低下させ、部品の性能劣化や故障を引き起こす可能性があります。特に、高密度実装が進む現代の電子部品においては、微小な水分量も厳密に管理する必要があります。高分子式露点計 TE-660TRは、-60 ℃dpまでの低露点範囲を測定し、自動校正機能により正確な水分管理を実現します。これにより、電子部品の絶縁性を確保し、製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 * 半導体製造工程 * 電子部品の保管環境 * クリーンルーム環境 【導入の効果】 * 製品の信頼性向上 * 不良率の低減 * 品質管理の効率化

【半導体製造向け】ステンレス製 リニアガイドウェイ

【半導体製造向け】ステンレス製 リニアガイドウェイ
半導体製造業界では、製造プロセスの高度化に伴い、高精度な位置決めが求められます。特に、クリーンルーム環境や薬液を使用する工程では、耐食性と耐久性に優れた部品が不可欠です。不適切な部品選定は、装置の故障や製品の品質低下につながる可能性があります。当社のステンレス製リニアガイドウェイは、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に好適です。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内の搬送システム ・薬液を使用する製造装置 ・高精度な位置決めが求められる検査装置 【導入の効果】 ・装置の長寿命化 ・製品の品質向上 ・メンテナンスコストの削減

【電子部品向け】T600 クリーンルーム内搬送ロボット

【電子部品向け】T600 クリーンルーム内搬送ロボット
電子部品業界のクリーンルーム内では、製品の品質を維持するために、異物混入や汚染を徹底的に排除する必要があります。搬送作業においては、人の出入りを最小限に抑え、クリーン度を保つことが重要です。T600は、クリーンルーム内での搬送作業を自動化し、人の手を介さずに部品や材料を運搬することで、クリーン環境を維持し、製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品製造工場のクリーンルーム内での部品搬送 ・半導体製造工場でのウェーハ搬送 ・精密機器製造工場での部品搬送 【導入の効果】 ・クリーンルーム内の環境維持 ・搬送作業の効率化 ・人件費削減 ・製品の品質向上

【電子機器向け】自動検査システム、外観検査システム

【電子機器向け】自動検査システム、外観検査システム
電子機器の実装工程では、製品の品質と信頼性を確保するために、正確な検査が不可欠です。実装不良は、製品の性能低下や故障につながり、顧客からの信頼を損なう可能性があります。当社の自動検査システム、外観検査システムは、検査手順のミスや見落としを防止し、校正器検査により設備状態を維持することで、これらの課題を解決します。これにより、電子機器メーカーは、高品質な製品を効率的に製造し、市場競争力を高めることができます。 【活用シーン】 ・電子部品の実装工程 ・基板実装後の外観検査 ・製品の最終検査 【導入の効果】 ・人的ミスの削減 ・設備コストの削減 ・品質の向上 ・生産性の向上

【電子機器向け】落錘式衝撃試験機『IMシリーズ』

【電子機器向け】落錘式衝撃試験機『IMシリーズ』
電子機器業界では、製品の信頼性を確保するために、落下時の衝撃に対する耐久性が重要です。製品の落下による故障は、顧客からのクレームやブランドイメージの低下につながる可能性があります。IMシリーズは、製品が落下した際の衝撃を正確に測定し、製品の安全性を評価します。これにより、製品設計の改善や品質管理に役立ちます。 【活用シーン】 ・スマートフォン、タブレット、PCなどの落下試験 ・電子部品の衝撃試験 ・製品の耐久性評価 【導入の効果】 ・製品の信頼性向上 ・品質管理の効率化 ・顧客満足度の向上

【半導体向け】固体粒子含有量計測サービス

【半導体向け】固体粒子含有量計測サービス
半導体業界では、製造プロセスにおける微小な粒子が製品の品質を大きく左右します。クリーンルーム内の空気清浄度は、歩留まりを左右する重要な要素です。微小な粒子による汚染は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社の固体粒子含有量計測サービスは、クリーンルーム内の空気中の粒子数を正確に測定し、清浄度管理を支援します。 【活用シーン】 ・クリーンルーム内の空気清浄度管理 ・製造プロセスにおける異物混入リスクの低減 ・製品品質の向上 【導入の効果】 ・歩留まりの向上 ・製品の信頼性向上 ・製造コストの削減

【電子機器製造向け】ブローバックプレフィルター

【電子機器製造向け】ブローバックプレフィルター
電子機器製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、製造プロセスにおける微粒子の混入を徹底的に管理する必要があります。特に、半導体製造や精密電子部品の製造においては、微粒子が製品の不良や性能劣化を引き起こす大きな要因となります。Neutronics ブローバックプレフィルターは、サンプルガスから粉体や粒子状物質を効率的に除去し、酸素センサーやサンプリング機器の汚損や損傷を防ぎます。自動フィルタークリーニング機能により、メンテナンス頻度を削減し、システムの信頼性を向上させます。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセス ・精密電子部品製造 ・クリーンルーム環境 【導入の効果】 ・製品の歩留まり向上 ・品質の安定化 ・メンテナンスコストの削減

【電子機器向け】塗るだけ!防汚フッ素コーティング剤

【電子機器向け】塗るだけ!防汚フッ素コーティング剤
電子機器業界では、ディスプレイや操作パネルの指紋や汚れの付着が、製品の美観を損ね、操作性を低下させる課題があります。特に、タッチパネルやレンズなど、頻繁に触れる部分においては、防汚対策が重要です。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、優れた防汚性能を提供します。 【活用シーン】 * ディスプレイ * タッチパネル * レンズ * 操作パネル 【導入の効果】 * 指紋や汚れの付着を低減 * 拭き取りやすさの向上 * 製品の美観と操作性の維持

【電子機器検査向け】HIWIN 単軸ロボット

【電子機器検査向け】HIWIN 単軸ロボット
電子機器業界の検査工程では、製品の品質を確保するために、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、小型化が進む電子部品の検査においては、微細な位置調整と高速な動作が、検査効率と品質の両立に不可欠です。不正確な位置決めや不安定な動作は、検査不良や生産性の低下につながる可能性があります。HIWIN 単軸ロボットは、高精度な位置決めとスムーズな動作により、電子機器の検査工程を最適化します。 【活用シーン】 ・電子部品の外観検査 ・基板実装後の検査 ・電子機器の動作検査 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・不良品の削減

【半導体向け】PIHera高精度Z軸ステージ 0.1 nm分解能

【半導体向け】PIHera高精度Z軸ステージ 0.1 nm分解能
半導体業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハ検査や微細構造の計測においては、サブナノレベルの安定性と高速な制御が不可欠です。位置決めの誤差は、計測結果の信頼性を損ない、歩留まりの低下につながる可能性があります。本製品は、0.1 nmの分解能と0.02 %の直線性により、半導体計測における高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・微細構造計測 ・干渉計 ・共焦点顕微鏡 【導入の効果】 ・計測精度の大幅な向上 ・歩留まりの改善 ・高速かつ高精度な位置決め ・サブナノレベルの安定性 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。

【半導体製造向け】多軸モーションコントローラーHIMC3

【半導体製造向け】多軸モーションコントローラーHIMC3
半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。ウェーハやマスクの位置決め精度は、製品の品質と歩留まりを大きく左右するため、非常に重要です。位置決め精度が低い場合、製造プロセスに問題が生じ、不良品の増加や生産効率の低下につながる可能性があります。ハイウィンの多軸モーションコントローラー【HIMC3】は、最大16軸同期制御、最大32個のサブデバイスに対応し、C/C++/C#/Python/LabVIEW 向け API ライブラリを用いて高度なアプリケーションの開発を可能にします。これにより、半導体製造における位置決め精度を向上させ、生産効率の改善に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・マスクアライメント ・検査装置 ・レーザー加工 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・サイクルタイムの短縮 ・歩留まりの向上 ・生産性の向上

【家電向け】リークテスタNT-600で漏電リスクを低減

【家電向け】リークテスタNT-600で漏電リスクを低減
家電業界では、製品の安全性が最重要課題であり、漏電は重大な事故につながる可能性があります。製品の品質を確保するためには、製造工程における気密検査が不可欠です。リークテスタNT-600は、家電製品の気密性を高精度に検査し、漏電のリスクを低減します。水没検査とは異なり、製品を濡らすことなく、数値的に検査できるため、効率的かつ正確な検査が可能です。 【活用シーン】 ・家電製品の製造工程における気密検査 ・サービス部門での修理・点検 ・製品の品質管理 【導入の効果】 ・漏電による事故のリスクを低減 ・製品の品質向上 ・顧客からの信頼獲得

【電子機器向け】コストダウンと短納期対応

【電子機器向け】コストダウンと短納期対応
電子機器業界では、製品の小型化が進むにつれて、部品の精度とコストパフォーマンスが重要になります。特に、限られたスペースの中で高い性能を発揮するためには、高品質なフィルターが不可欠です。不良品の発生は、製品の信頼性を損なうだけでなく、コスト増にもつながります。当社の自動加工機による一貫生産は、高品質な金属フィルターを低コストで提供し、電子機器の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・小型電子機器 ・精密機器 ・高密度実装基板 【導入の効果】 ・不良率の低減 ・コスト削減 ・短納期対応

【半導体製造向け】幾何公差 同心度・同軸度 基本解説動画

【半導体製造向け】幾何公差 同心度・同軸度 基本解説動画
半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が常に求められます。特に、微細加工技術が重要となる分野においては、部品の精度が製品の性能を大きく左右します。同心度や同軸度の不正確さは、製品の不良や性能低下につながり、歩留まりを悪化させる要因となります。この動画では、幾何公差の一種である「同心度・同軸度」の基本を解説し、半導体製造における品質管理の基礎知識を提供します。この動画を参考に、同心度・同軸度に関する理解を深め、歩留まり改善にお役立てください。 【活用シーン】 ・半導体製造における部品の設計・製造 ・品質管理部門での教育 ・製造現場での技術指導 【導入の効果】 ・幾何公差の理解を深め、設計・製造段階でのミスを削減 ・品質管理能力の向上、不良品の発生率を低減 ・歩留まりの改善、コスト削減に貢献

【電子機器向け】コンプレッサー内フィルター(ショートタイプ)

【電子機器向け】コンプレッサー内フィルター(ショートタイプ)
電子機器業界では、基板の信頼性と長寿命化が重要です。基板は、埃や異物の混入によって誤作動や故障を引き起こす可能性があります。特にコンプレッサー周辺の環境では、微細な塵埃が基板に付着しやすく、問題となるケースがあります。当社のコンプレッサー内フィルターは、これらの課題に対応し基板を保護します。 【活用シーン】 ・電子機器製造工場 ・精密機器のメンテナンス ・基板実装工程 【導入の効果】 ・基板の保護による製品寿命の向上 ・故障率の低減 ・メンテナンスコストの削減

【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
半導体プロセスや検査装置では、サブミクロンレベルでの位置補正や焦点調整が品質安定化の鍵となります。特に検査工程や微細加工工程では、ナノメートル分解能での高精度位置制御が求められます。P-616 NanoCubeは、各軸100 µmのストロークを備えたコンパクトなXYZピエゾナノポジショナーです。高剛性フレクシャガイド構造によりバックラッシュのない滑らかな動作を実現し、ナノメートル分解能での微細位置調整が可能です。 半導体製造装置内の微動補正ステージや検査装置への組込み用途に適しています。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査装置の微細位置補正 ・マスク検査工程 ・レーザーアニール装置の焦点調整 ・プロービング装置の微動制御 ・半導体研究開発用途 【導入の効果】 ・ナノメートル分解能による高精度位置補正 ・バックラッシュレス構造による高再現性 ・コンパクト設計で装置組込みが容易 ・微細工程の安定化に貢献

【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ

【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ
FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。 【活用シーン】 ・FPDパネルの寸法測定 ・異物・欠陥検査 ・位置決め精度の高い検査工程 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・生産性の向上 ・検査精度の向上

【ディスプレイ製造向け】iTMAシリーズ

【ディスプレイ製造向け】iTMAシリーズ
ディスプレイ製造業界では、製品の品質を左右する要因の一つとして、製造プロセスにおけるガスの清浄度が重要です。特に、腐食性ガス中の水分は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定することで、製造プロセスの最適化を支援し、歩留まりの向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造工程における腐食性ガスの水分管理 ・製品の品質管理、歩留まり改善 ・ガス供給システムのモニタリング 【導入の効果】 ・製品不良の低減 ・製造コストの削減 ・品質の安定化

【半導体製造向け】ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】

【半導体製造向け】ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】
半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウエハや基板の搬送、検査工程においては、ミクロン単位の正確な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右します。不適切なガイドウェイは、位置決め精度の低下や振動による不良品の発生につながる可能性があります。ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】は、コンパクトかつ軽量でありながら、全方向での高い剛性と精度を実現し、半導体製造装置の性能向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウエハ搬送工程 ・検査装置 ・精密位置決めユニット 【導入の効果】 ・位置決め精度の向上 ・装置の安定性向上 ・歩留まりの向上

【半導体技術向け】可変ストローク対応 XYピエゾステージ

【半導体技術向け】可変ストローク対応 XYピエゾステージ
半導体製造のウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。位置決めの誤差は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立し、1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・ウェーハ検査 ・マスクアライメント ・プロービング 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・安定した動作による生産性の向上 ・小型筐体による装置への組み込みやすさ ・長寿命アクチュエータによるメンテナンス性の向上

【自動車業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH

【自動車業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH
自動車業界では、電子部品の品質と信頼性が、車両全体の安全性と性能を左右する重要な要素です。特に、過酷な環境下で使用される電子部品においては、温度変化や振動に対する耐久性が求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、これらの要求に応えるべく、高い信頼性と効率的なテストプロセスを提供します。 【活用シーン】 ・車載用電子部品の品質検査 ・高温環境下での耐久性テスト ・多品種少量生産への対応 【導入の効果】 ・高いスループットによるテスト時間の短縮 ・安定したテスト環境の提供 ・不良品の早期発見による品質向上

【電子部品向け】リアルナノ3次元測定機

【電子部品向け】リアルナノ3次元測定機
電子部品業界において、接合部の信頼性は製品の品質を左右する重要な要素です。温度変化や振動にさらされる環境下では、接合部の微細な異常が製品の性能劣化や故障を引き起こす可能性があります。リアルナノ3次元測定機は、接合部の表面粗さや形状を詳細に測定し、接合不良の早期発見に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品の接合部の表面粗さ測定 ・はんだ接合部の形状評価 ・接合界面の異物検出 【導入の効果】 ・接合不良の早期発見による歩留まり向上 ・製品の信頼性向上 ・品質管理の効率化

【電子部品向け】フクダのリークテスト

【電子部品向け】フクダのリークテスト
電子部品業界では、製品の信頼性を高めるために、防水性の確保が重要です。水分の侵入は、製品の故障や性能劣化につながる可能性があります。フクダのリークテストは、お客様の測定環境や製品環境に合わせて、漏れ検査・漏れ試験をご提案いたします。リークレートに合わせて、最適な機器をご提案します。 【活用シーン】 ・スマートフォン ・キーレススイッチ ・各種小型センサ 【導入の効果】 ・製品の防水性の確認 ・ガス漏れ/液漏れの有無の確認 ・部品及び組立後の気密確認

【電子機器向け】卓上式グロスリークテストシステム MSA

【電子機器向け】卓上式グロスリークテストシステム MSA
電子機器業界において、製品の防水性は信頼性を左右する重要な要素です。水分の侵入は、回路の腐食や短絡を引き起こし、製品の故障につながる可能性があります。特に、屋外で使用される電子機器や、水回りでの利用を想定した製品においては、高い防水性能が求められます。MSA-0101 seriesは、PFASフリーのエアリークテストにより、電子機器の防水性能を効率的に検査します。 【活用シーン】 ・スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサなどの防水検査 ・開発段階での試作評価 ・抜き取り検査 【導入の効果】 ・PFASフリーによる環境負荷低減 ・エアリークテストによるランニングコスト削減 ・小型デバイスから中型デバイスまで対応可能

【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x

【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
半導体製造業界では、高精度な位置決めが歩留まりと製品品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の回転ステージでは、摩擦による微小なブレや偏心が発生し、これが品質低下の原因となる可能性があります。PIglide A-62xシリーズは、摩擦のないエアベアリング技術により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・露光装置 ・精密測定 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・生産性の向上

【半導体向け】超精密電子部品・検査装置の量産

【半導体向け】超精密電子部品・検査装置の量産
半導体業界では、デバイスの小型化・高性能化に伴い、超精密な加工技術が不可欠です。微細な部品の正確な製造は、製品の信頼性や性能を左右します。ミクナスファインエンジニアリングは、時計部品で培った微細加工技術を活かし、超精密な電子部品や半導体検査装置の量産を実現します。創業以来70年間培ってきた幅広い経験と、生産合理化技術の向上により、お客様のニーズに応えます。 【活用シーン】 ・半導体製造プロセスにおける精密部品の製造 ・半導体検査装置の製造 ・電子部品の製造 【導入の効果】 ・高品質な電子部品の安定供給 ・半導体デバイスの性能向上 ・生産効率の改善

【データセンター向け】高周波測定テストソケット

【データセンター向け】高周波測定テストソケット
データセンターのサーバーでは、高速通信と安定した動作が不可欠です。5G/6Gの普及に伴い、サーバー内部の半導体デバイスも高速化しており、そのテストには高周波測定が不可欠です。確実な測定を行うためには、信頼性の高いテストソケットが求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。 【活用シーン】 ・サーバー向け半導体デバイスの高周波特性評価 ・データセンター用途を想定した高速通信デバイスの評価・検証 ・高速対応デバイスの設計検証および信頼性評価 【導入の効果】 ・安定した高周波測定による評価精度および品質の向上 ・高速通信デバイスの性能を正確に評価・検証可能 ・高信頼なデータセンターシステムの実現に貢献

【半導体製造向け】Z方向・チップ/チルトステージ動作 A-523

【半導体製造向け】Z方向・チップ/チルトステージ動作 A-523
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノレベルの位置精度が求められます。振動や熱の影響を受けやすい環境下では、安定した位置決め性能が不可欠です。当社の薄型エアベアリング Z Tip/Tilt ステージは、3軸の超高精度位置決めを実現し、半導体製造における位置決め精度と生産性の向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・微細加工 ・検査工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・摩擦のないモーションプラットフォームによる高い耐久性 ・薄型設計による装置の小型化 ・3軸動作による柔軟な対応

【自動車向け】アドバンストパッケージ向けソケット

【自動車向け】アドバンストパッケージ向けソケット
自動車業界では、車載電子機器の小型化と高性能化が同時に求められています。特に、ADAS(先進運転支援システム)や自動運転技術の進化に伴い、高密度実装された半導体パッケージの信頼性評価が重要になっています。限られたスペースの中で、より多くの機能を詰め込むために、多Pin Packageの採用が増加しています。アドバンストパッケージ向けソケットは、これらのニーズに応えるために開発されました。 【活用シーン】 ・車載ECUのテスト ・ADAS関連デバイスの評価 ・車載用SoCの信頼性試験 【導入の効果】 ・多Pin Packageの安定した測定 ・小型化されたデバイスへの対応 ・コスト効率の良い測定ソリューションの提供

【ADAS向け】高周波測定テストソケット

【ADAS向け】高周波測定テストソケット
ADAS(先進運転支援システム)は、自動車の安全性と性能を向上させるために、高速データ通信と高精度な半導体技術を必要としています。ADASシステムの進化に伴い、半導体のテストにおける高周波測定の重要性が増しています。高周波測定の課題を解決し、ADASシステムの信頼性を確保するために、当社の高周波測定テストソケットが貢献します。 【活用シーン】 ・ADAS搭載車載レーダーのテスト ・ミリ波レーダーモジュールの評価 ・高速データ通信用半導体の特性評価 【導入の効果】 ・ADASシステムの信頼性向上 ・高周波測定の安定性確保 ・多様なADASアプリケーションへの対応

【半導体向け】圧縮空気 微生物汚染物質含有量の試験

【半導体向け】圧縮空気 微生物汚染物質含有量の試験
半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が最重要課題です。クリーンルーム環境下での製造プロセスにおいて、圧縮空気中の微生物汚染は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。特に、微細な回路を扱う半導体製造においては、わずかな汚染物質も大きな影響を与え、歩留まりを悪化させる要因となります。当社の圧縮空気 微生物汚染物質含有量の試験は、この課題に対し、VWR社のSAサンプラーを用いて圧縮空気やガスに含まれる微生物を評価することで、品質管理をサポートします。 【活用シーン】 * クリーンルーム内の圧縮空気供給ライン * 半導体製造装置への圧縮空気供給箇所 * 定期的な微生物汚染評価 * 汚染原因調査 【導入の効果】 * 製品の歩留まり向上 * 品質管理体制の強化 * 製造プロセスの安定化 * 不良品の削減

【半導体向け】リークテスター

【半導体向け】リークテスター
半導体業界では、製品の品質を保証するために、高い清浄度が求められます。特に、微細な部品や複雑な構造を持つ半導体製品においては、微小な漏れが製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。当社の高品質リークテスターは、これらの課題に対応し、高精度な検査結果を提供します。リークテストは、製品の信頼性を確保し、不良品の発生を抑制するために不可欠です。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における気密検査 ・クリーンルーム内でのリークテスト ・製品の品質管理 ・ヘリウム検査前の測定 【導入の効果】 ・高精度な検査による品質向上 ・不良品の削減によるコスト削減 ・検査時間の短縮 ・製品の信頼性向上

【電子機器向け】セラミックスピンゲージ

【電子機器向け】セラミックスピンゲージ
電子機器業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、絶縁性の確保が重要な課題となっています。特に、精密な部品の組み立てや検査においては、絶縁性能を損なうことなく、高い精度で測定を行うことが求められます。セラミックスピンゲージは、優れた絶縁性と高い寸法精度により、電子機器の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・電子部品の穴径測定 ・絶縁性を求められる箇所での寸法測定 ・測定器校正 【導入の効果】 ・絶縁性を損なわずに高精度な測定が可能 ・製品の品質向上に貢献 ・長期間にわたる安定した性能

【IoTデバイス向け】ICテストハンドラNS-8080SH

【IoTデバイス向け】ICテストハンドラNS-8080SH
IoTデバイスの接続性評価においては、多数のデバイスを迅速かつ正確にテストすることが求められます。デバイスの多様化と複雑化が進む中、テスト時間の短縮と高い信頼性の両立が重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、IoTデバイスの品質管理と開発効率向上に貢献します。 【活用シーン】 ・IoTデバイスの量産テスト ・接続性評価テスト ・品質管理 【導入の効果】 ・テスト時間の短縮 ・高い信頼性の確保 ・生産性の向上

【半導体製造向け】大型板材アルマイト処理

【半導体製造向け】大型板材アルマイト処理
半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度が非常に重要です。 微細な異物の混入は、製品の歩留まりを低下させ、性能に悪影響を及ぼす可能性があります。 特に、製造プロセスで使用される部材の表面処理は、清浄度を維持する上で重要な要素となります。 アルマイトは、素地と一体化し剥がれる心配がありません。 これにより、清浄度を高く保ち、高品質な製品製造をサポートします。 1250×2500のサイズまで、一般アルマイト、硬質アルマイト、両方とも対応可能です。 【活用シーン】 ・半導体製造装置部品 ・クリーンルーム内使用部品 ・高精度が求められる部品 【導入の効果】 ・異物混入リスクの低減 ・製品の歩留まり向上 ・高い清浄度の維持

【電子機器向け】コンパクトエアリークテスター FLZ-0220

【電子機器向け】コンパクトエアリークテスター FLZ-0220
電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、筐体の気密性検査が重要です。特に、外部からの異物混入や湿気による故障を防ぐためには、エアリークテストによる厳格な検査が不可欠です。FLZ-0220シリーズは、エアリークテストに必要な機能をすべて搭載し、タッチパネルによる操作性の向上とコンパクトサイズを実現しています。 【活用シーン】 ・スマートフォン、タブレット端末の筐体検査 ・各種電子部品の筐体検査 ・キーレススイッチなどの気密検査 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・不良品の削減 ・検査時間の短縮

【IoT無線向け】高周波測定テストソケット

【IoT無線向け】高周波測定テストソケット
IoT分野の無線通信技術は、ますます高度化し、高速データ通信へのニーズが高まっています。この分野では、デバイスの小型化と高性能化が進み、高周波特性の正確な測定が不可欠です。特に、無線通信モジュールやアンテナなどのテストにおいて、高周波信号の正確な伝送と測定が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波帯域の測定にも対応可能です。 【活用シーン】 ・IoT向け無線通信デバイスの評価・検証 ・高周波・ミリ波測定が必要な半導体デバイスの設計検証 【導入の効果】 ・高周波特性の正確な測定 ・安定した測定環境の実現

【電子部品向け】ヘリウムリークテストシステム HES-2000

【電子部品向け】ヘリウムリークテストシステム HES-2000
電子部品業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、気密性の高い製品が求められます。温度変化や振動にさらされる環境下では、わずかな漏れが製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。当社のヘリウムリークテストシステムは、高精度なリーク検出により、製品の耐久性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサなどの電子部品のリーク検査 ・製品の品質管理、信頼性試験 ・製造ラインにおける全数検査 【導入の効果】 ・製品の品質向上、不良品率の低減 ・顧客からの信頼獲得 ・長期的な製品の安定稼働

【家電向け】半導体製造装置用部品

【家電向け】半導体製造装置用部品
家電業界では、製品の高機能化に伴い、半導体部品の品質と信頼性がますます重要になっています。 特に、省電力化や小型化が進む中で、半導体製造装置の精度が製品の性能を左右します。 装置部品の品質が低いと、製品の故障や性能低下につながる可能性があります。 当社半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、家電製品の高機能化を支えます。 【活用シーン】 ・高機能家電製品の製造 ・省電力・小型化を実現する半導体製造 ・耐久性・信頼性が求められる家電製品 【導入の効果】 ・半導体製造装置の安定稼働 ・高品質な半導体部品の製造 ・家電製品の性能向上

【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1

【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1
半導体業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高い精度が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。従来のシステムでは、大型化や高コストが課題となっていました。P-611.1ピエゾナノポジショナーは、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクト設計でありながら、最大120μmのストロークと0.2nmの分解能を実現し、半導体製造における精密位置決めを低コストで実現します。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・微細加工 ・検査工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・装置の小型化による省スペース化 ・低コスト化による投資対効果の向上

【半導体向け】ウルトラファインリークテストシステム|MUH

【半導体向け】ウルトラファインリークテストシステム|MUH
半導体業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、微細な漏れの検出が重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、製品内部の密封性を維持し、外部からの影響を防ぐことが求められます。微細な漏れは、製品の性能劣化や故障の原因となり、歩留まりの低下につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能な「カプセル蓄積法」を採用し、超微小のヘリウムリークを検出することで、半導体製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品 ・小型電子部品 【導入の効果】 ・製品の信頼性向上 ・歩留まりの改善 ・品質管理の強化

【電子機器向け】金属フィルター、ストレーナー

【電子機器向け】金属フィルター、ストレーナー
電子機器業界では、製品の小型化が進む中で、部品のコスト削減と安定供給が重要な課題となっています。特に限られたスペースに多くの機能を詰め込むためには、高品質な部品を低コストで調達し、短納期で納品できるサプライヤーとの連携が不可欠です。不良品の発生は製品の信頼性を損なうだけでなく、生産効率の低下にもつながります。当社の自動加工機による一貫生産は、これらの課題を解決し、お客様の競争力強化に貢献します。 【活用シーン】 ・小型電子機器 ・精密機器 ・電子部品 【導入の効果】 ・コストダウン ・短納期対応 ・不良率の低減

【遊戯機器向け】N極・S極個別出力 磁気センサー

【遊戯機器向け】N極・S極個別出力 磁気センサー
遊戯機器業界では、不正行為を防止するために、高い信頼性と耐久性を持つセンサーが求められます。特に、外部からの操作や改ざんを防ぐために、正確な検知能力と、環境変化に強い堅牢性が重要です。当社の磁気センサーは、磁気を利用しているため、汚れに強く、屋外での使用にも対応します。N極・S極それぞれの出力を独立して出力するため、不正検知に役立ちます。 【活用シーン】 ・遊戯機器の不正改造検知 ・不正な磁石を用いた操作の検知 ・筐体の開閉検知 【導入の効果】 ・不正行為の抑止 ・機器の安全性の向上 ・メンテナンスコストの削減

【半導体向け】フクダのリークテスト

【半導体向け】フクダのリークテスト
半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、微細な漏れを検出することが重要です。特に、高密度化が進む中で、微小な隙間からのガス漏れは、製品の性能低下や寿命短縮につながる可能性があります。フクダのリークテスト製品は、お客様の測定環境や製品環境に合わせて、漏れ検査・漏れ試験をご提案し、半導体製品の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における気密性検査 ・微細部品の漏れ検査 ・製品の品質管理 【導入の効果】 ・製品の信頼性向上 ・不良品の削減 ・品質管理の効率化
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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは?

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された回路パターンに微細な欠陥がないかを高精度に検出する技術です。不良品の流出を防ぎ、半導体製品の品質と歩留まりを向上させることを目的としています。

​課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

半導体デバイスの微細化・高集積化に伴い、検出困難な微細な欠陥や、従来とは異なるパターンの欠陥が増加しており、従来の検査手法では見逃すリスクが高まっています。

検査時間の増大とスループット低下

高精度な検査を実現しようとすると、検査に要する時間が増加し、製造ライン全体の生産効率(スループット)が低下する可能性があります。

データ量の爆発的増加と解析負荷

高解像度での検査は膨大な画像データを生成し、その解析には高度な計算能力と専門知識が必要となり、迅速な不良判定の妨げとなります。

人為的ミスの排除と客観性の確保

目視検査や経験に依存する部分が残ると、検査員の熟練度によるばらつきや、疲労によるミスが発生しやすく、検査結果の客観性を担保することが困難です。

​対策

AI・機械学習による画像解析

大量の検査画像データをAIに学習させることで、人間では識別困難な微細な欠陥や、未知の欠陥パターンを自動で高精度に検出します。

検査アルゴリズムの最適化

欠陥の種類やウェーハの状態に応じて、最適な検査パラメータやアルゴリズムを動的に適用することで、検査精度とスピードの両立を図ります。

データ処理・管理基盤の強化

高速なデータ処理能力を持つインフラと、効率的なデータ管理システムを導入し、膨大な検査データを迅速に解析・活用できる体制を構築します。

自動化・標準化された検査プロセス

検査プロセス全体を自動化し、検査基準を明確に定義・標準化することで、人為的なミスを排除し、一貫した高精度な検査を実現します。

​対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

深層学習モデルを用いて、ウェーハ画像から微細かつ複雑な欠陥を高精度に識別・分類し、不良品検出の精度を飛躍的に向上させます。

高速画像処理システム

並列処理技術やGPUを活用し、膨大な検査画像をリアルタイムに近い速度で処理・解析することで、検査時間の短縮とスループット向上に貢献します。

インテリジェント検査システム

AIが検査結果を学習し、継続的にアルゴリズムを最適化することで、新たな欠陥パターンにも対応し、検査精度の維持・向上を自動で行います。

データ統合・分析管理ツール

検査データ、製造データ、材料データなどを一元管理し、高度な分析機能を提供することで、欠陥の原因究明や再発防止策の立案を支援します。

⭐今週のピックアップ

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