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不良品検出精度の向上とは？課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された回路パターンに微細な欠陥がないかを高精度に検出する技術です。不良品の流出を防ぎ、半導体製品の品質と歩留まりを向上させることを目的としています。

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【半導体製造向け】Smart iMATEによる設備保全DX

タック株式会社（イビデングループ）

半導体製造業界では、歩留まりの向上が収益性に直結する重要な課題です。製造設備の故障や不具合は、歩留まりを低下させる大きな要因となります。特に、高度な技術が求められる半導体製造においては、設備の安定稼働が不可欠です。Smart iMATEは、設備の保全記録をAIが分析し、故障の予兆を早期に発見することで、計画的なメンテナンスを可能にし、歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・半導体製造ラインにおける設備の予防保全・故障発生時の原因究明と復旧時間の短縮・保全業務の標準化と技術継承【導入の効果】・設備の安定稼働による歩留まり向上・メンテナンスコストの削減・技術者の負担軽減

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【自動車向け】IC測定基板ダメージ保護tool

株式会社JMT

車載電子部品では、厳格な品質保証体制のもと、検査工程における安定した測定が不可欠です。特に、車載電子機器は過酷な環境下での使用に耐えうる必要があり、高い信頼性が求められます。IC測定におけるプローブPinソケットの基板Padへのダメージは、測定ボードの故障や性能劣化を引き起こし、信頼性を損なう可能性があります。Board Protectorは、プローブPinと測定ボードの間に配置することで、Padへの物理的ダメージを回避し、測定ボードの長寿命化と安定したコンタクトを実現します。【活用シーン】・車載電子部品の品質検査・信頼性試験・生産ラインにおける品質管理【導入の効果】・測定ボードの長寿命化によるコスト削減・Padのリペア作業やライン停止の回避・コンタクトの安定性向上による検査精度の向上

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【半導体向け】基板印字用 UVレーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体業界では、ウェハのトレーサビリティを確保するため、高精度なID印字が求められます。特に、微細加工が進む中で、熱による基板へのダメージを抑えつつ、視認性の高い印字が重要です。従来のレーザマーカーでは、熱による基板への影響や印字の精度に課題がありました。当社のUVレーザマーカーは、これらの課題を解決します。【活用シーン】・ウェハID印字・基板へのシリアルナンバー印字・製造工程におけるトレーサビリティ管理【導入の効果】・熱ダメージを抑え、基板の品質を維持・極小文字や2次元コードの高精度印字・高密度実装基板への対応・安定した印字品質の実現

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【自動車業界向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

自動車業界では、電子部品の品質と信頼性が、車両全体の安全性と性能を左右する重要な要素です。特に、過酷な環境下で使用される電子部品においては、温度変化や振動に対する耐久性が求められます。ICテストハンドラNS-8080SHは、これらの要求に応えるべく、高い信頼性と効率的なテストプロセスを提供します。【活用シーン】・車載用電子部品の品質検査・高温環境下での耐久性テスト・多品種少量生産への対応【導入の効果】・高いスループットによるテスト時間の短縮・安定したテスト環境の提供・不良品の早期発見による品質向上

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【電子部品向け】TEKHNEPort 40-LDPT

株式会社テクネ計測

電子部品業界において、製品の信頼性は非常に重要です。湿度管理は、製品の性能を左右する重要な要素の一つであり、特に精密な電子部品においては、わずかな湿度の変化が製品の故障や性能劣化につながる可能性があります。TEKHNEPort 40-LDPTは、高精度な露点測定により、製造プロセスにおける湿度管理をサポートし、製品の信頼性向上に貢献します。【活用シーン】 * 電子部品製造工程における湿度管理 * 品質管理部門での露点測定 * 研究開発部門での環境試験【導入の効果】 * 製品の品質向上 * 不良品の削減 * 顧客からの信頼獲得

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【半導体向け】低メタル・低パーティクル化ソリューション

福井キヤノンマテリアル株式会社

半導体業界では、製品の歩留まり向上が重要な課題です。製造プロセスにおける金属不純物やパーティクルの混入は、製品の品質劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。当社製品は、これらの課題に対し、吸着剤やフィルター技術を用いて、金属濃度をppbレベル、粒径100nm程度までのパーティクル数を管理することで、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の精製・洗浄液のパーティクル除去・フォトレジスト等の材料管理【導入の効果】・歩留まりの向上・製品品質の安定化・不良率の低減

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【電子機器向け】ピンゲージセット

三和クリエーション株式会社

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、部品の正確な選別が不可欠です。特に、小型化が進む電子部品においては、寸法のわずかな違いが製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。ピンゲージセットは、穴径や溝幅などの測定に活用でき、部品の選別精度を向上させます。当社のピンゲージセットは、超硬合金やセラミックスといった材質で製作されており、高精度な測定を可能にします。【活用シーン】・電子部品の穴径測定・コネクタや端子の選別・基板実装前の検査【導入の効果】・部品選別の精度向上・不良品の削減・製品の品質向上

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【家電向け】リークテスター

株式会社ナック

家電業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、気密性の維持が重要です。特に、温度変化や振動にさらされる製品においては、漏れは性能劣化や故障の原因となります。当社の高品質リークテスターは、これらの課題に対応し、製品の耐久性向上に貢献します。【活用シーン】・家電製品の製造工程における気密検査・製品の品質管理における漏れ検査・耐久性試験における漏れの有無の確認【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・顧客満足度の向上

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【IoT無線向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

IoT分野の無線通信技術は、ますます高度化し、高速データ通信へのニーズが高まっています。この分野では、デバイスの小型化と高性能化が進み、高周波特性の正確な測定が不可欠です。特に、無線通信モジュールやアンテナなどのテストにおいて、高周波信号の正確な伝送と測定が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波帯域の測定にも対応可能です。【活用シーン】・IoT向け無線通信デバイスの評価・検証・高周波・ミリ波測定が必要な半導体デバイスの設計検証【導入の効果】・高周波特性の正確な測定・安定した測定環境の実現

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【電子機器向け】生産現場のドライブレコーダー

株式会社コヤマ・システム

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における不良の早期発見と原因究明が不可欠です。特に、微細な部品の組立や複雑な工程が多い電子機器製造においては、不良発生時の迅速な対応が、生産効率の維持に重要となります。不良の原因特定に時間がかかると、生産ラインの停止や製品の廃棄につながり、大きな損失を招く可能性があります。RekamoMAは、高速カメラによる詳細な記録と波形グラフとの同期表示により、不良発生の原因を迅速に特定し、対策を講じることを可能にします。【活用シーン】・電子部品の製造ライン・半導体製造工程・基板実装工程・製品の品質検査【導入の効果】・不良解析時間の短縮・不良原因の特定精度向上・生産効率の改善・品質管理の強化

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【半導体製造向け】A-143 高精度リニアエアベアリングステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの精度が求められます。位置決めの精度が低いと、不良品の発生や生産効率の低下につながる可能性があります。A-143 高精度リニアエアベアリングステージは、非接触構造により摩耗や潤滑の必要がなく、長寿命かつクリーンルーム対応を実現し、半導体製造における高精度な位置決めニーズに応えます。【活用シーン】・半導体製造装置・検査装置・計測機器【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・非接触構造による長寿命化・クリーンルーム対応による高い信頼性

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【半導体製造向け】127M CoaXPress 高解像度カメラ

株式会社シーアイエス

半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、ウェーハやチップの微細な欠陥を正確に検出することが求められます。特に、製造プロセスの高度化に伴い、より高い解像度と精度での検査が不可欠です。微細な欠陥を見逃すと、製品の歩留まり低下や信頼性の問題につながる可能性があります。当社の127M CoaXPress高解像度カメラは、1億2700万画素の超高解像度により、肉眼では捉えられない微細な欠陥まで鮮明に検出します。【活用シーン】・ウェーハの異物検査・チップのクラック検査・回路パターンの検査【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の早期発見・品質管理の向上

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【半導体製造向け】裏面コード読取り可能基板用CO2レーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体製造業界では、ウェハのトレーサビリティ管理が重要です。特に、製造工程における個体識別と追跡は、品質管理と歩留まり向上に不可欠です。ウェハの誤った識別や追跡ミスは、不良品の発生や工程の遅延につながる可能性があります。当社の裏面コード読取り可能基板用CO2レーザマーカーは、SMT実装ラインに組み込み、ライン停止不要（オンザフライ印字）で基板印字を実現します。これにより、タクトタイムを維持したまま、工程管理における効率化と品質向上に貢献します。さらにオプション機能として、「裏面に印字された二次元コードを読み取り、表面に印字する」処理にも対応。基板を反転させた後のデータ紐付けを自動化し、表裏一体となった高度なトレーサビリティ管理を可能にします。【活用シーン】多彩なコード印字： QRコード、DataMatrix、マイクロQRコード、バーコード等への対応【導入の効果】誤照合の防止：裏面の個体情報を基準に表面印字を行うことで、基板の取り違えミスを排除しますトレーサビリティの強化：実装工程における正確な個体追跡管理を実現します

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【電子機器向け】卓上式グロスリークテストシステム MSA

株式会社フクダ

電子機器業界において、製品の防水性は信頼性を左右する重要な要素です。水分の侵入は、回路の腐食や短絡を引き起こし、製品の故障につながる可能性があります。特に、屋外で使用される電子機器や、水回りでの利用を想定した製品においては、高い防水性能が求められます。MSA-0101 seriesは、PFASフリーのエアリークテストにより、電子機器の防水性能を効率的に検査します。【活用シーン】・スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサなどの防水検査・開発段階での試作評価・抜き取り検査【導入の効果】・PFASフリーによる環境負荷低減・エアリークテストによるランニングコスト削減・小型デバイスから中型デバイスまで対応可能

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【電子機器向け】セラミックスピンゲージ

三和クリエーション株式会社

電子機器業界では、製品の小型化と高密度化が進む中で、絶縁性の確保が重要な課題となっています。特に、精密な部品の組み立てや検査においては、絶縁性能を損なうことなく、高い精度で測定を行うことが求められます。セラミックスピンゲージは、優れた絶縁性と高い寸法精度により、電子機器の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の穴径測定・絶縁性を求められる箇所での寸法測定・測定器校正【導入の効果】・絶縁性を損なわずに高精度な測定が可能・製品の品質向上に貢献・長期間にわたる安定した性能

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【半導体向け】LID Less Socket

株式会社JMT

半導体業界では、イメージセンサーなどの高速化が進み、光学テストの重要性が増しています。従来のソケット構造では、加圧LIDが光の進入を妨げ、正確な測定を阻害する可能性があります。LID Less Socketは、真空で裏面からパッケージを引き付け、コンタクターを歪ませることで導通を確保。加圧LIDがないため、光の取り入れが自由になり、高速化に貢献します。【活用シーン】・イメージセンサーの測定・光学的特性評価・高速データ転送が必要な半導体デバイスのテスト【導入の効果】・光学テストの精度向上・ソケット設計の自由度向上・コスト削減の可能性

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【半導体製造向け】静音リニアガイドウェイ

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウェーハの搬送や検査工程においては、微細な位置ずれが製品の品質に大きく影響します。従来のガイドウェイでは、振動や騒音が発生しやすく、これが高精度な作業の妨げになることがあります。当社の静音リニアガイドウェイは、シンクモーションテクノロジーにより、低騒音かつ高精度な動作を実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ搬送・検査装置・精密位置決めが必要な製造工程【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・低騒音化による作業環境改善・高速化による生産性向上

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【半導体向け】超音波探傷器のはなし＜基礎編＞

菱電湘南エレクトロニクス株式会社

半導体業界では、製品の信頼性を確保するために、接合部の品質管理が重要です。接合部の欠陥は、製品の性能低下や故障につながる可能性があります。当資料では、超音波探傷の基礎について解説し、接合部の検査に役立つ知識を提供します。超音波探傷の原理や、探触子の選び方など、基礎から学べる内容です。この資料は、半導体製造における品質管理担当者にとって、接合部の検査技術を理解し、品質向上に貢献するための第一歩となるでしょう。【活用シーン】・半導体デバイスの接合部の検査・接合不良の早期発見・品質管理プロセスの改善【導入の効果】・接合部の欠陥を早期に発見し、不良品の発生を抑制・製品の信頼性向上・品質管理コストの削減

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【半導体検査向け】高精度位置決めに最適 A-121

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の摩擦を伴うステージでは、摩耗やバックラッシュによる精度の劣化が課題となっていました。PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合し、これらの課題を解決します。【活用シーン】・半導体検査装置・精密測定装置・微細加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・非接触構造による長寿命化・メンテナンスコストの削減

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【半導体品質管理向け】表面凹凸可視化ユニット

スミックス株式会社

半導体業界の品質管理において、ウエハ表面の微細な欠陥の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素です。目視や顕微鏡検査では見逃しがちなナノレベルの凹凸やキズは、歩留まりの低下や製品不良の原因となります。本ユニットは、オフアキシス光学系とエッジ反射光検出により、これらの微細な欠陥を広域で捉え、検査工程の効率化と品質管理の精度向上に貢献します。【活用シーン】・ウエハ表面の品質検査・製造工程における異常の早期発見・品質管理部門での検査業務【導入の効果】・検査時間の短縮・不良品の削減・品質管理コストの削減

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【FPD検査向け】SSA単軸リニアモーターステージ

ハイウィン株式会社

FPD業界における検査工程では、高精度な位置決めと高速な動作が求められます。特に、大型化・高精細化が進むFPDパネルの検査においては、微細な欠陥を正確に検出し、生産効率を向上させることが重要です。従来のボールねじ方式では、速度や加速度に限界があり、検査時間の増加や生産性の低下を招く可能性がありました。SSA単軸リニアモーターステージは、これらの課題を解決するために開発されました。【活用シーン】・FPDパネルの寸法測定・異物・欠陥検査・位置決め精度の高い検査工程【導入の効果】・検査時間の短縮・生産性の向上・検査精度の向上

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【半導体検査向け】加工機ロードアンロードロボットシステム

株式会社HCI

半導体業界の検査工程では、製品の品質を確保するために、正確かつ効率的なワークの搬送が求められます。特に、高精度な検査を行うためには、ワークへのダメージを最小限に抑え、安定した供給体制を構築することが重要です。当社の加工機ロードアンロードロボットシステムは、ロボットアームによるワークの取り出しと投入を行い、検査工程における人の手を介する作業を削減します。これにより、正確性と安全性を向上させ、生産性の向上に貢献します。【活用シーン】・半導体ウェーハの検査工程・電子部品の検査工程・基板実装後の検査工程【導入の効果】・検査工程の自動化による生産性向上・ワークの損傷リスクの低減・検査精度の向上・人件費の削減

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【金融セキュリティ向け】ファウンドリサービス

シチズンファインデバイス株式会社

金融業界のセキュリティ分野では、高度な情報保護と不正アクセス防止が不可欠です。特に、生体認証や機密情報の表示に利用されるディスプレイデバイスにおいては、高い信頼性とセキュリティ性能が求められます。液晶マイクロディスプレイの製造における品質のばらつきや、セキュリティ上の脆弱性は、システム全体の信頼性を損なう可能性があります。当社のファウンドリサービスは、液晶パネル組立から基板実装まで一括対応し、LCOSやFLCなど多様なモードに対応することで、金融セキュリティデバイスの信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・生体認証デバイス・セキュリティ監視システム・機密情報表示ディスプレイ【導入の効果】・高精度なディスプレイデバイスの提供によるセキュリティ強化・多様なモード対応による幅広い用途への適用・カスタム仕様への柔軟な対応による最適なソリューションの実現

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【半導体向け】ピエゾナノ位置決めアクチュエータ N-216

PIジャパン株式会社

半導体製造では、ウェハ検査やナノリソグラフィなどの工程において、ナノメートルレベルの高精度位置決めが求められます。わずかな位置決め誤差でも、製品品質の低下や歩留まり悪化につながる可能性があります。 N-216は、PI独自のNEXLINE(R) PiezoWalk(R)ウォーキングドライブ技術を採用した高推力リニアアクチュエータです。 0.03nm（オープンループ）／5nm（クローズドループ）の高分解能と最大800Nの保持力により、半導体製造装置における高精度かつ安定したナノ位置決めを実現します。【活用シーン】・ウェハ検査装置・ナノリソグラフィ装置・半導体製造装置・ナノ計測装置・精密位置決め用途【導入の効果】・ナノメートルレベルの高精度位置決めによる歩留まり向上・高推力駆動による安定した位置決め性能・製造プロセスの効率化・高品質な半導体製品の安定生産に貢献

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【半導体製造向け】ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウエハや基板の搬送、検査工程においては、ミクロン単位の正確な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右します。不適切なガイドウェイは、位置決め精度の低下や振動による不良品の発生につながる可能性があります。ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】は、コンパクトかつ軽量でありながら、全方向での高い剛性と精度を実現し、半導体製造装置の性能向上に貢献します。【活用シーン】・ウエハ搬送工程・検査装置・精密位置決めユニット【導入の効果】・位置決め精度の向上・装置の安定性向上・歩留まりの向上

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【電子機器向け】MBW Spider

株式会社テクネ計測

電子機器業界における基板評価では、温度と湿度の正確な管理が製品の品質と信頼性を左右します。特に、恒温恒湿槽内での温度分布の均一性は、正確な評価結果を得るために不可欠です。温度や湿度のムラは、基板の性能評価に悪影響を及ぼし、誤った結果を導く可能性があります。MBW Spiderは、恒温恒湿槽内での温度センサーの配置を最適化し、温度分布の正確な測定を可能にします。これにより、基板評価の信頼性を向上させます。【活用シーン】・基板の温度特性評価・電子部品の信頼性試験・製品の品質管理【導入の効果】・恒温槽内の温度分布を可視化・評価結果の信頼性向上・校正作業の効率化

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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03

PIジャパン株式会社

半導体分野では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に検査工程や微細加工では、わずかな位置ずれが測定誤差や歩留まり低下につながり、製品品質に大きく影響します。 V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現。さらに、高剛性クロスローラーガイドと非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュのない安定した位置決めと高い再現性を確保します。最大150 Nの高荷重対応および空圧式カウンターバランスにより、重量物の精密位置決めにも最適です。【活用シーン】・半導体検査装置・ウェーハ検査・計測装置・精密測定機器【導入の効果】・高精度位置決めによる測定精度の向上・高速応答によるタクトタイム短縮・高剛性ガイドによる安定した動作・高荷重対応による用途拡張・セルフロック機能による安全性向上

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【半導体向け】AI外観検査システムスターターセット

アプライド株式会社

半導体業界では、製品の品質を確保するために、微細なパターン異常の検出が不可欠です。製造プロセスにおけるわずかな異常が、製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。AI外観検査システムスターターセットは、購入後すぐに使い始めることができ、パターン異常の検出を効率化します。【活用シーン】・半導体ウェーハのパターン検査・電子部品のパターン検査・基板のパターン検査【導入の効果】・不良品の早期発見による歩留まり向上・検査精度の向上・検査時間の短縮

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【家電向け】リークテスタNT-600で漏電リスクを低減

株式会社ナック

家電業界では、製品の安全性が最重要課題であり、漏電は重大な事故につながる可能性があります。製品の品質を確保するためには、製造工程における気密検査が不可欠です。リークテスタNT-600は、家電製品の気密性を高精度に検査し、漏電のリスクを低減します。水没検査とは異なり、製品を濡らすことなく、数値的に検査できるため、効率的かつ正確な検査が可能です。【活用シーン】・家電製品の製造工程における気密検査・サービス部門での修理・点検・製品の品質管理【導入の効果】・漏電による事故のリスクを低減・製品の品質向上・顧客からの信頼獲得

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【半導体クリーンルーム向け】動画研修でポカミス削減！

株式会社LinkStudio

半導体製造のクリーンルームでは、微細な異物混入が製品の品質を大きく左右します。作業員のわずかなミスが、不良品の発生や生産性の低下につながる可能性があります。特に、クリーンルーム内での作業手順の誤りや、異物混入を防ぐための知識不足は、深刻な問題です。当社の動画研修は、クリーンルーム内での作業に特化した内容で、ポカミスを未然に防ぎ、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での作業手順の教育・異物混入防止対策・新人・外国人作業員の研修【導入の効果】・作業ミスの削減・品質の向上・歩留まりの改善・教育コストの削減

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【半導体ウエハ向け】合理化・自動化solution

シチズンファインデバイス株式会社

半導体ウエハ業界では、高品質な製品を効率的に製造するために、ウエハの精密な検査と測定が不可欠です。特に、微細な欠陥や寸法のずれは、製品の歩留まりを大きく左右するため、正確な検査と測定が求められます。当社の合理化・自動化solutionは、外観検査、高精度検査、自動化ソリューションを提供し、ウェハ製造工程における品質向上とコスト削減に貢献します。【活用シーン】・ウエハの外観検査・ウエハの寸法測定・ウエハの自動搬送・インライン検査【導入の効果】・検査工程の自動化による人件費削減・検査精度の向上による歩留まり改善・データ収集による品質管理の強化

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【半導体製造向け】VM-A 外観検査ユニット

株式会社安永

半導体製造業界の品質管理において、ICパッケージの寸法や欠陥の検査は、製品の信頼性を確保する上で非常に重要です。特に、微細化が進む中で、異物付着やキズ、寸法不良などの早期発見が求められます。VM-Aは、高速・高精度な2D/3D検査により、これらの課題に対応し、不良品の流出を防ぎます。【活用シーン】・表面実装型ICパッケージ（BGA、CSP、QFP、SOP、QFN、LGA）の寸法検査・イメージセンサ、センサ製品の欠陥検査・製造ラインにおけるインライン検査【導入の効果】・検査時間の短縮による生産性向上・欠陥の早期発見による歩留まり向上・検査データの可視化による品質管理の強化

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【半導体向け】クリーンルーム搬送機器『エクセルシリーズ』

株式会社オカムラ　物流システム事業本部

半導体業界では、製品の品質を左右する微細な異物混入を防ぐため、クリーンな環境下での搬送が不可欠です。精密な位置決めと安定した搬送性能も求められます。エクセルシリーズは、これらの課題に対応し、半導体製造プロセスにおける歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内でのウェーハ、基板、部材の搬送・製造ラインにおける工程間のスムーズな移動・検査装置への正確な位置決め【導入の効果】・異物混入リスクの低減による品質向上・搬送時間の短縮による生産性向上・省スペース化による製造ラインの効率化

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【半導体パッケージ向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

半導体業界では、5G/6Gといった高速通信規格の普及に伴い、高周波特性の正確な測定が不可欠です。PKGの性能を最大限に引き出すためには、テスト工程における正確な測定が重要であり、測定精度の向上と安定性の確保が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応パッケージの特性評価・高速データ通信用パッケージの品質検査・ADAS（先進運転支援システム）向けパッケージのテスト【導入の効果】・高周波測定の安定性向上・測定時間の短縮・製品品質の向上

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【半導体向け】固体粒子含有量計測サービス

株式会社分析センター

半導体業界では、製造プロセスにおける微小な粒子が製品の品質を大きく左右します。クリーンルーム内の空気清浄度は、歩留まりを左右する重要な要素です。微小な粒子による汚染は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社の固体粒子含有量計測サービスは、クリーンルーム内の空気中の粒子数を正確に測定し、清浄度管理を支援します。【活用シーン】・クリーンルーム内の空気清浄度管理・製造プロセスにおける異物混入リスクの低減・製品品質の向上【導入の効果】・歩留まりの向上・製品の信頼性向上・製造コストの削減

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【電子精密機器向け】デミスター

株式会社テクネ計測

電子精密機器業界では、製造プロセスにおけるガスサンプルの清浄度が製品の品質と信頼性を大きく左右します。特に、微細な部品や高度な技術が用いられる分野では、ガスサンプル中の微小な異物が測定結果に影響を与え、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。Neutronics社のデミスターは、ガスサンプルからミストや浮遊液滴を効果的に除去し、精密な測定を可能にします。【活用シーン】 * 半導体製造プロセス * 精密機器の品質管理 * クリーンルーム環境【導入の効果】 * 測定精度の向上 * 製品品質の安定化 * 歩留まりの向上

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【電子機器向け】4K/60fpsデジタルマイクロスコープ

ゲルハルトジャパン株式会社

電子機器業界における基板確認では、高品質な画像による詳細な観察が求められます。特に、微細な部品の欠陥や接合部の異常を正確に捉えることが、製品の品質管理において重要です。4K/60fpsデジタルマイクロスコープ TAGARNO T50は、高解像度と高フレームレートにより、歪みや遅延のないスムーズでシャープな画像を提供し、基板の細部まで鮮明に観察できます。全自動機能により、効率的な検査をサポートします。【活用シーン】・基板製造工程における品質検査・製品開発における試作基板の評価・修理・メンテナンス時の不具合箇所の特定【導入の効果】・高画質による詳細な観察で、不良品の早期発見が可能・オートフォーカス機能により、ピント調整の手間を軽減・ワンタッチでの画像保存により、記録と共有が容易・オンライン会議アプリとの連携で、遠隔地との情報共有が可能

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【電子部品実装向け】CMXシリーズ

千代田光機株式会社

電子部品実装の分野では、高品質な製品を安定して供給するために、実装プロセスの正確性と信頼性が求められます。特に、微細な部品の実装においては、位置ずれや異物の混入が製品の不良につながる可能性があります。CMXシリーズは、ウエハーの外観・内面検査において、高精度な画像取得を可能にし、実装プロセスの品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の実装工程における検査・ウエハーの外観検査・実装後の部品の品質検査【導入の効果】・実装不良の早期発見・品質管理の向上・歩留まりの改善

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【半導体向け】表面検査技術資料一覧

アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社

半導体業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、製造プロセスにおける異物混入の徹底的な管理が求められます。特に、微細化が進む半導体デバイスにおいては、微小な異物が製品の性能を著しく低下させる可能性があります。ナノビア社の表面検査技術資料は、異物検出の課題解決に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ表面の異物検査・マスクやレチクルの異物検査・製造工程における異物発生源の特定【導入の効果】・異物による不良品の削減・歩留まりの向上・品質管理の効率化

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【電子部品向け】卓上電子顕微鏡JCM7000

丸文通商株式会社

電子部品業界において、製品の信頼性確保は不可欠です。故障解析では、不良箇所の特定と原因究明が求められます。従来の外部機関への依頼では、時間とコストがかかることが課題でした。日本電子卓上電子顕微鏡 JCM7000は、光学像とSEM像のシームレスな切り替え、元素分析機能により、迅速な解析を可能にします。これにより、不良原因の早期特定と、クレーム対応の迅速化に貢献します。【活用シーン】・電子部品の異物解析・不良箇所の特定・製品の品質管理・研究開発における材料分析【導入の効果】・解析時間の短縮・コスト削減・品質向上・研究開発の効率化

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【半導体向け】リークテスタ NT-600

株式会社ナック

半導体業界では、製品の信頼性を確保するために、封止材の気密性が重要です。特に、温度変化や湿度にさらされるデバイスにおいては、封止部分からの漏れが製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。リークテスタNT-600は、高精度な差圧センサーにより、微小な漏れを検出し、製品の品質を保証します。水没検査と比較して、ワークを濡らすことなく、数値的な検査が可能です。自動機への組み込みも容易で、生産効率の向上に貢献します。【活用シーン】・半導体デバイスの封止評価・各種電子部品の気密検査・製造ラインでの品質管理【導入の効果】・製品の信頼性向上・不良品の削減・検査時間の短縮・生産性の向上

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【半導体製造向け】輪郭度とは？基本を解説！

株式会社松井製作所

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりの向上が常に求められます。特に、微細加工技術が高度化する中で、部品の形状精度は製品の性能を左右する重要な要素です。輪郭度の理解不足は、設計・製造段階での誤りを生じさせ、歩留まりの低下につながる可能性があります。この動画では、幾何公差の一種である「輪郭度」の基本を解説することで、半導体製造における品質管理と歩留まり改善に貢献します。【活用シーン】・半導体製造における部品の設計・製造・品質管理部門での図面解読・製造現場での形状精度に関する問題解決【導入の効果】・輪郭度の理解を深め、設計・製造段階でのミスを削減・形状精度に関する問題を早期に発見し、歩留まりを改善・製品の品質向上と顧客満足度の向上

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【研究開発向け】16ビット DAコンバータボード

株式会社エンベデッドテクノロジー

研究開発分野における実験では、精密なデータ取得と制御が求められます。特に、アナログ信号の正確な生成は、実験結果の信頼性を左右する重要な要素です。ノイズの影響を受けやすい環境下では、絶縁されたDAコンバータが不可欠です。MPC104-ISODAC16は、16ビット分解能と絶縁機能を備え、研究開発における実験の精度向上に貢献します。【活用シーン】・各種センサー信号の生成・精密機器の制御・信号処理実験【導入の効果】・高精度なアナログ信号生成・ノイズからの影響を低減・実験データの信頼性向上

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ダブルヘリカル構造ロールブラシ（特注製作）

株式会社共伸技研

コンベヤー上に残ったゴミが散らばり、清掃に手間がかかるだけでなく、装置内部に残留して品質不良や異物混入の原因になることがあります。共伸技研のダブルヘリカル構造ロールブラシは、右巻き・左巻きを組み合わせた構造により、ブラシの回転方向でゴミの流れを制御できます。中央に集める、左右に分ける、両端に落とすなど、用途に応じた動きを設計可能です。毛材（ナイロン、樹脂系、金属線など）、毛丈、密度、ロール外径・長さ・シャフト仕様はすべて特注対応。既存設備への置き換えや、ゴミの流れに合わせた巻き方向設計にも対応します。清掃負荷の軽減だけでなく、品質安定にも貢献するロールブラシです。

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【電子部品向け】ジャイロフラットスクリーン

株式会社増野製作所

電子部品業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な部品や材料を扱う工程においては、異物の混入は製品の不良や性能低下に直結する深刻な問題です。ジャイロフラットスクリーンは、精密な篩分けにより、異物混入リスクを低減し、高品質な電子部品製造をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造における材料の異物除去・微細部品の選別・製造工程における品質管理【導入の効果】・異物混入による不良品の発生率を低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【半導体製造向け】加湿装置 Model me-40DP

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製造プロセスにおける微細な湿度管理が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、ウェーハ製造やクリーンルーム環境においては、湿度のわずかな変動が、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。Model me-40DPは、高精度な湿度制御を実現し、半導体製造プロセスにおける安定した環境を提供します。これにより、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハ製造工程・クリーンルーム環境・研究開発部門【導入の効果】・歩留まりの向上・製品品質の安定化・製造コストの削減

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【半導体製造向け】高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ

PIジャパン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの位置決め能力が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素となります。位置決めの精度が低いと、製造不良や検査エラーが発生し、コスト増につながる可能性があります。当社の高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ N-332は、ピエゾWalkドライブにより、ナノメートル精度での位置決めを実現し、半導体製造における課題解決に貢献します。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・半導体製造装置【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・製造プロセスの効率化・製品品質の安定化

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【通信業界向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

通信業界では、5G/6Gの普及に伴い、高速・大容量通信が求められ、信号品質の維持が重要です。高周波デバイスのテストにおいて、正確な測定が不可欠であり、わずかな信号の劣化も許されません。 PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応デバイスの特性評価・基地局向けデバイスの品質検査・高速伝送ラインの信号 integrity測定【導入の効果】・高周波特性の正確な測定による製品品質向上・安定した測定環境の実現による開発期間の短縮・ミリ波帯を含む幅広い周波数帯域への対応

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【家電向け】半導体製造装置用部品

株式会社タイトウトレーディング

家電業界では、製品の高機能化に伴い、半導体部品の品質と信頼性がますます重要になっています。特に、省電力化や小型化が進む中で、半導体製造装置の精度が製品の性能を左右します。装置部品の品質が低いと、製品の故障や性能低下につながる可能性があります。当社半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、家電製品の高機能化を支えます。【活用シーン】・高機能家電製品の製造・省電力・小型化を実現する半導体製造・耐久性・信頼性が求められる家電製品【導入の効果】・半導体製造装置の安定稼働・高品質な半導体部品の製造・家電製品の性能向上

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【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1

PIジャパン株式会社

半導体業界では、製造プロセスの高度化に伴い、ウェーハやマスクの位置決めにおける高い精度が求められます。特に、微細加工や検査工程においては、ナノメートルレベルの位置決め精度が製品の品質を左右します。従来のシステムでは、大型化や高コストが課題となっていました。P-611.1ピエゾナノポジショナーは、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクト設計でありながら、最大120μmのストロークと0.2nmの分解能を実現し、半導体製造における精密位置決めを低コストで実現します。【活用シーン】・ウェーハプロービング・マスクアライメント・微細加工・検査工程【導入の効果】・高精度な位置決めによる歩留まり向上・装置の小型化による省スペース化・低コスト化による投資対効果の向上

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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

半導体デバイスの微細化・高集積化に伴い、検出困難な微細な欠陥や、従来とは異なるパターンの欠陥が増加しており、従来の検査手法では見逃すリスクが高まっています。

検査時間の増大とスループット低下

高精度な検査を実現しようとすると、検査に要する時間が増加し、製造ライン全体の生産効率（スループット）が低下する可能性があります。

データ量の爆発的増加と解析負荷

高解像度での検査は膨大な画像データを生成し、その解析には高度な計算能力と専門知識が必要となり、迅速な不良判定の妨げとなります。

人為的ミスの排除と客観性の確保

目視検査や経験に依存する部分が残ると、検査員の熟練度によるばらつきや、疲労によるミスが発生しやすく、検査結果の客観性を担保することが困難です。

対策

AI・機械学習による画像解析

大量の検査画像データをAIに学習させることで、人間では識別困難な微細な欠陥や、未知の欠陥パターンを自動で高精度に検出します。

検査アルゴリズムの最適化

欠陥の種類やウェーハの状態に応じて、最適な検査パラメータやアルゴリズムを動的に適用することで、検査精度とスピードの両立を図ります。

データ処理・管理基盤の強化

高速なデータ処理能力を持つインフラと、効率的なデータ管理システムを導入し、膨大な検査データを迅速に解析・活用できる体制を構築します。

自動化・標準化された検査プロセス

検査プロセス全体を自動化し、検査基準を明確に定義・標準化することで、人為的なミスを排除し、一貫した高精度な検査を実現します。

対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

深層学習モデルを用いて、ウェーハ画像から微細かつ複雑な欠陥を高精度に識別・分類し、不良品検出の精度を飛躍的に向上させます。

高速画像処理システム

並列処理技術やGPUを活用し、膨大な検査画像をリアルタイムに近い速度で処理・解析することで、検査時間の短縮とスループット向上に貢献します。

インテリジェント検査システム

AIが検査結果を学習し、継続的にアルゴリズムを最適化することで、新たな欠陥パターンにも対応し、検査精度の維持・向上を自動で行います。

データ統合・分析管理ツール

検査データ、製造データ、材料データなどを一元管理し、高度な分析機能を提供することで、欠陥の原因究明や再発防止策の立案を支援します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

不良品検出精度の向上とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

各社の製品

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

​課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

検査時間の増大とスループット低下

データ量の爆発的増加と解析負荷

人為的ミスの排除と客観性の確保

​対策

AI・機械学習による画像解析

検査アルゴリズムの最適化

データ処理・管理基盤の強化

自動化・標準化された検査プロセス

​対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

高速画像処理システム

インテリジェント検査システム

データ統合・分析管理ツール

課題

対策

対策に役立つ製品例