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不良品検出精度の向上とは？課題と対策・製品を解説

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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェーハ上に形成された回路パターンに微細な欠陥がないかを高精度に検出する技術です。不良品の流出を防ぎ、半導体製品の品質と歩留まりを向上させることを目的としています。

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【通信業界向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

通信業界では、5G/6Gの普及に伴い、高速・大容量通信が求められ、信号品質の維持が重要です。高周波デバイスのテストにおいて、正確な測定が不可欠であり、わずかな信号の劣化も許されません。 PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波測定にも対応可能です。【活用シーン】・5G/6G対応デバイスの特性評価・基地局向けデバイスの品質検査・高速伝送ラインの信号 integrity測定【導入の効果】・高周波特性の正確な測定による製品品質向上・安定した測定環境の実現による開発期間の短縮・ミリ波帯を含む幅広い周波数帯域への対応

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【半導体製造向け】高精度小径ピン

三和クリエーション株式会社

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりを向上させるために、高精度な位置決めが不可欠です。特に、微細加工技術が求められる分野においては、ピンの精度が製品の性能を左右します。位置ずれや寸法の誤差は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社では、外径最小径φ0.01mm～、外径公差±0.0001mm～、真円度0.00015mm～の小径ピンを提供し、お客様の高精度なニーズにお応えします。【活用シーン】・半導体製造装置における部品の位置決め・精密金型部品の位置決め・検査治具【導入の効果】・高精度な位置決めによる製品品質の向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【電子部品製造向け】PT-VM02 超音波音圧センサー

株式会社プレテック　静岡製作所

電子部品製造業界の品質管理において、洗浄工程は製品の信頼性を左右する重要な要素です。洗浄槽内のキャビテーション強度の変化や経年劣化は、洗浄効果の低下や製品への悪影響を引き起こす可能性があります。これらの問題を未然に防ぎ、安定した品質を維持するためには、洗浄槽の状態を正確に把握し、適切な管理を行うことが不可欠です。PT-VM02は、洗浄槽の状態を数値化することで、品質管理における課題解決をサポートします。【活用シーン】・洗浄槽の日常管理・経年劣化管理・洗浄装置の性能比較・キャビテーション強度の評価【導入の効果】・洗浄槽の状態を可視化し、異常を早期発見・洗浄工程の最適化による品質向上・装置の安定稼働と製品の歩留まり向上・メンテナンスコストの削減

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【半導体製造現場向け】水濡れ検知システム

グリッドリンク株式会社

半導体製造現場では、製造装置やクリーンルーム内への水分の侵入は、製品の歩留まりを大きく低下させる要因となります。特に、精密な電子部品や基板は、わずかな水分の付着によって、腐食や絶縁不良を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。この問題は、製造プロセス全体に影響を及ぼし、最終的な歩留まりの低下、コスト増加、納期遅延につながります。本システムは、半導体製造現場における水濡れリスクを早期に検知し、被害を最小限に抑えることで、歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内・製造装置周辺・保管倉庫【導入の効果】・歩留まりの向上・製品品質の安定化・コスト削減・納期厳守

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【電子機器向け】クイントソニックTによる膜厚測定

株式会社サンコウ電子研究所

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、コーティングの正確な膜厚測定が不可欠です。特に、基板や筐体などのコーティングは、製品の性能や耐久性に大きく影響します。膜厚が不適切だと、絶縁不良や腐食、性能劣化を引き起こす可能性があります。クイントソニックTは、非破壊で最大8層までの膜厚を測定し、電子機器の品質管理をサポートします。【活用シーン】・電子部品のコーティング厚測定・基板の絶縁膜厚測定・筐体の塗装膜厚測定【導入の効果】・非破壊測定による検査時間の短縮・多層膜厚の同時測定による効率化・測定データのEXCEL出力とレポート作成による記録管理の簡素化

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【半導体製造向け】ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、高精度な位置決めが求められます。特に、ウエハや基板の搬送、検査工程においては、ミクロン単位の正確な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右します。不適切なガイドウェイは、位置決め精度の低下や振動による不良品の発生につながる可能性があります。ミニチュア型リニアガイドウェイ【MGシリーズ】は、コンパクトかつ軽量でありながら、全方向での高い剛性と精度を実現し、半導体製造装置の性能向上に貢献します。【活用シーン】・ウエハ搬送工程・検査装置・精密位置決めユニット【導入の効果】・位置決め精度の向上・装置の安定性向上・歩留まりの向上

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【半導体製造向け】幾何公差円周振れ・全振れ解説動画

株式会社松井製作所

半導体製造業界では、製品の品質と歩留まり向上が常に求められます。特に、微細加工技術が重要となる分野では、部品の寸法精度が製品の性能を大きく左右します。幾何公差の理解不足は、不良品の発生や性能の低下につながり、歩留まりを悪化させる可能性があります。この動画では、幾何公差の一種である「円周振れ・全振れ」の基本を解説し、図面解読能力の向上をサポートします。この動画を視聴することで、半導体製造における品質管理の基礎知識を深め、歩留まり改善に貢献できる可能性があります。【活用シーン】・半導体製造における部品設計・品質管理部門での教育・製造現場での図面解読【導入の効果】・幾何公差の理解を深め、図面解読能力が向上する・不良品の発生を抑制し、歩留まりが改善する可能性・品質管理の知識向上による、製品品質の安定化

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【スマートフォン向け】リアルナノ３次元測定機

アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社

スマートフォンディスプレイ業界では、高品質な表示性能を追求するため、表面の微細な形状や粗さの精密な評価が求められます。特に、ディスプレイの視認性や耐久性に影響を与える表面のわずかな凹凸や傷は、製品の品質を左右する重要な要素です。リアルナノ3次元測定機は、ナノレベルでの表面形状測定により、ディスプレイの品質管理と性能向上に貢献します。【活用シーン】・ディスプレイ表面の粗さ測定・タッチパネルの表面形状評価・保護フィルムの品質評価【導入の効果】・ディスプレイの品質向上・不良品の削減・製品開発の効率化

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【半導体向け】ウルトラファインリークテストシステム｜MUH

株式会社フクダ

半導体業界では、製品の長期的な信頼性を確保するために、微細な漏れの検出が重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、製品内部の密封性を維持し、外部からの影響を防ぐことが求められます。微細な漏れは、製品の性能劣化や故障の原因となり、歩留まりの低下につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能な「カプセル蓄積法」を採用し、超微小のヘリウムリークを検出することで、半導体製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品・小型電子部品【導入の効果】・製品の信頼性向上・歩留まりの改善・品質管理の強化

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【半導体製造向け】薄型DDモーター【DMTシリーズ】

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工や検査工程においては、高い精度と安定性が求められます。従来のモーターでは、設置スペースの制約や、位置決めの精度に課題がありました。薄型DDモーター【DMTシリーズ】は、これらの課題を解決し、半導体製造における位置決め精度を向上させるために開発されました。当社のリニアモーターステージと組合わせれば比較的容易にXYθステージも構築可能です。【活用シーン】・ウェーハ搬送・マスクアライメント・検査装置・微細加工【導入の効果】・高精度な位置決めによる品質向上・装置の小型化・工程時間の短縮・歩留まりの向上

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【半導体向け】φ0.01ミリ極小径ピンゲージ

三和クリエーション株式会社

半導体業界の微細加工においては、高精度な穴径測定が製品の品質を左右します。特に、ウェーハやチップの製造工程では、微細な穴の寸法管理が重要であり、わずかな誤差が製品の不良につながる可能性があります。当社のφ0.01ミリ極小径ピンゲージは、高精度な内径測定を可能にし、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・ウェーハの穴径測定・半導体チップの微細穴測定・測定器の校正【導入の効果】・高精度な測定による品質向上・不良品の削減・歩留まりの向上

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【半導体製造向け】外観部品

株式会社ニチベイパーツ

半導体製造業界では、製品の品質を確保するために、クリーンな環境下での製造が求められます。特に、外観部品においては、微細な異物の付着や傷が、製品の性能に影響を与える可能性があります。当社の外観部品は、厳しい外観検査に耐え、クリーンな環境下での使用に適しています。【活用シーン】・クリーンルーム内での使用・半導体製造装置への組み込み・外観品質が重要視される製品【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【電子機器向け】ウルトラファインリークテストシステム｜MUH

株式会社フクダ

電子機器業界では、製品の長期的な信頼性を確保するため、部品の気密性が非常に重要です。特に、MEMS部品や小型電子部品においては、微小な漏れが製品の性能劣化や故障につながる可能性があります。MUH-0100シリーズは、これらの課題に対し、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を採用し、超微小漏れを測定することで、製品の品質管理を支援します。【活用シーン】・角速度センサ、赤外線イメージセンサなどのMEMS部品の気密検査・スマートフォン、キーレススイッチなどの小型電子部品の品質管理・製品の長期的な信頼性確保のためのリーク試験【導入の効果】・4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) までの超微小漏れを検出・製品の品質向上と信頼性向上・不良品の流出防止によるコスト削減

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【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726

PIジャパン株式会社

半導体ウェーハ検査では、微細欠陥を安定して検出するために、高分解能なZ方向フォーカス制御と高速応答性が求められます。特に高NA対物レンズを用いた光学検査システムでは、フォーカス精度と再現性が検査結果の信頼性に直結します。P-726 PIFOC高荷重対物レンズフォーカススキャナは、最大100 µmのZストロークとサブナノメートル分解能の位置制御を実現。静電容量センサーによる直接位置フィードバックとフレクシャガイド構造により、高い線形性・繰り返し精度・長期安定性を提供。さらに、約6msの高速セットリング性能により、Zステップ動作を伴う検査プロセスの最適化に貢献します。高荷重設計のため、高NA対物レンズや付加光学部品搭載時でも安定した動作が可能。【活用シーン】・半導体ウェーハ表面の光学検査におけるZフォーカス制御・高NA対物レンズを用いた欠陥解析装置・共焦点光学系を用いた三次元検査・レーザー・光干渉式検査装置のZスキャン【導入の効果】・高精度フォーカス制御による測定安定性向上・高速セットリングによるZステップ時間の短縮・高荷重対応による光学系設計の自由度向上

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【半導体製造向け】幾何公差真直度の測り方

株式会社松井製作所

半導体製造業界においては、高い精度が求められます。半導体関連部品の平面性や形状精度は、デバイスの性能を左右する重要な要素です。真直度のわずかなズレが、製造プロセス全体に影響を及ぼし、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。この動画では、幾何公差の一つである真直度の測定方法を解説し、加工精度を向上させるための基礎知識を提供します。【活用シーン】・半導体関連部品の加工工程・半導体関連部品のパターン形成工程・半導体関連部品の検査工程【導入の効果】・加工精度の向上・歩留まりの改善・製品品質の安定化

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【電子機器向け】幾何公差直角度の基本

株式会社松井製作所

電子機器業界では、製品の信頼性を確保するために、部品の正確な製造が不可欠です。特に、直角度の精度は、製品の組み立て精度や性能に大きく影響します。直角度が適切に管理されていない場合、部品の歪みや接触不良を引き起こし、製品の故障や性能低下につながる可能性があります。この動画では、幾何公差の一種である「直角度」の基本を解説しています。直角度の定義、使用例、図面上での使われ方、使用する際の注意点について解説し、電子機器の品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子機器の設計・製造部門・品質管理部門・部品の調達部門【導入の効果】・直角度の理解を深め、設計・製造の品質を向上・製品の信頼性向上に貢献・不良品の削減、コスト削減

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【家電向け】半導体製造装置用部品

株式会社タイトウトレーディング

家電業界では、製品の高機能化に伴い、半導体部品の品質と信頼性がますます重要になっています。特に、省電力化や小型化が進む中で、半導体製造装置の精度が製品の性能を左右します。装置部品の品質が低いと、製品の故障や性能低下につながる可能性があります。当社半導体製造装置用部品は、多様な材質と加工方法に対応し、家電製品の高機能化を支えます。【活用シーン】・高機能家電製品の製造・省電力・小型化を実現する半導体製造・耐久性・信頼性が求められる家電製品【導入の効果】・半導体製造装置の安定稼働・高品質な半導体部品の製造・家電製品の性能向上

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【半導体製造向け】ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察

アイ・ティー・エス・ジャパン株式会社

半導体製造業界では、歩留まりの向上が重要な課題です。ウエハーの金属コーティングの品質は、製品の信頼性と歩留まりに大きく影響します。コーティングの接着強度や基材との相性が悪いと、様々なトラブルの原因となり、歩留まりを低下させる可能性があります。ナノビア社のインデンターなどの試験機を活用することで、これらの問題を早期に発見し、対策を講じることが可能になります。【活用シーン】・ウエハーの金属コートの機械強度検証・ポリマーコーティングの接着破壊、凝集破壊、臨界負荷の評価・多層薄膜のスクラッチ耐性試験・自己洗浄ガラスコートの摩擦評価・高温環境下でのスクラッチ試験【導入の効果】・コーティングの品質評価による歩留まり向上・製品の信頼性向上・不良品の削減・研究開発の効率化

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【電子機器向け】金属フィルター、ストレーナー

株式会社バンテック

電子機器業界では、製品の小型化が進む中で、部品のコスト削減と安定供給が重要な課題となっています。特に限られたスペースに多くの機能を詰め込むためには、高品質な部品を低コストで調達し、短納期で納品できるサプライヤーとの連携が不可欠です。不良品の発生は製品の信頼性を損なうだけでなく、生産効率の低下にもつながります。当社の自動加工機による一貫生産は、これらの課題を解決し、お客様の競争力強化に貢献します。【活用シーン】・小型電子機器・精密機器・電子部品【導入の効果】・コストダウン・短納期対応・不良率の低減

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【電子部品実装向け】CMXシリーズ

千代田光機株式会社

電子部品実装の分野では、高品質な製品を安定して供給するために、実装プロセスの正確性と信頼性が求められます。特に、微細な部品の実装においては、位置ずれや異物の混入が製品の不良につながる可能性があります。CMXシリーズは、ウエハーの外観・内面検査において、高精度な画像取得を可能にし、実装プロセスの品質向上に貢献します。【活用シーン】・電子部品の実装工程における検査・ウエハーの外観検査・実装後の部品の品質検査【導入の効果】・実装不良の早期発見・品質管理の向上・歩留まりの改善

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【電子機器向け】コストダウンと短納期対応

株式会社バンテック

電子機器業界では、製品の小型化が進むにつれて、部品の精度とコストパフォーマンスが重要になります。特に、限られたスペースの中で高い性能を発揮するためには、高品質なフィルターが不可欠です。不良品の発生は、製品の信頼性を損なうだけでなく、コスト増にもつながります。当社の自動加工機による一貫生産は、高品質な金属フィルターを低コストで提供し、電子機器の性能向上に貢献します。【活用シーン】・小型電子機器・精密機器・高密度実装基板【導入の効果】・不良率の低減・コスト削減・短納期対応

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【半導体製造向け】日英中グローバル対応基板用CO2レーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

製造工程の複雑化とグローバル化が進む中、正確なマーキングと多言語対応が求められています。当社の基板用CO2レーザーマーカーは、グローバルな製造現場での運用を最適化するために設計されたインラインシステムです。日英中の3ヶ国語表示をはじめとするグローバル対応インターフェースを標準搭載しています。これにより、言語の壁を解消し、国内外を問わず境界のない生産ラインの構築を強力にサポート。スムーズな海外展開と、現地拠点での安定した運用を実現します。ヒューマンエラーを排除し、高度な品質管理体制の構築に貢献します。【活用シーン】・基板シリアル番号、製造ロット、日付情報のマーキング・二次元コード印字: QRコード、DataMatrix、マイクロQR ・グローバル生産拠点への展開: 日英中の言語切り替えが必要な国内外の共通ライン【導入の効果】・グローバル展開の加速: 共通の操作インターフェースにより、国内外拠点のスムーズな立ち上げが可能・オペレーション精度の向上: 現地スタッフが母国語で操作できるため、設定ミスや誤操作のリスクを低減

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【産業機器向け】DDR4 SDRAM

株式会社セイワ

製造業の品質管理においては、製品の信頼性を確保するために、データの高速処理が求められます。特に、検査装置や計測機器から得られる大量のデータをリアルタイムに処理し、品質異常を早期に発見することが重要です。DDR4 SDRAMは、高速なデータ転送速度と安定した性能により、品質管理システムのパフォーマンス向上に貢献します。ProMOSのDDR4 SDRAMは、幅広い温度範囲に対応しており、製造現場の厳しい環境下でも高い信頼性を発揮します。【活用シーン】・検査装置のデータ処理・計測機器からのデータ収集・品質管理システムの高速化【導入の効果】・検査時間の短縮・品質異常の早期発見・生産効率の向上

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【半導体向け】MBW573 鏡面冷却式露点計

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、製造環境の清浄度管理が重要です。特に、微細な水分や不純物は、製品の歩留まりを低下させる可能性があります。MBW573は、高精度な露点計測により、製造プロセスにおける水分管理を支援し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の露点監視・製造プロセスにおける乾燥空気の露点管理・ガス供給ラインの水分モニタリング【導入の効果】・高精度な露点計測による品質管理の強化・製品不良のリスク低減・製造プロセスの最適化

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【半導体製造向け】VM-A 外観検査ユニット

株式会社安永

半導体製造業界の品質管理において、ICパッケージの寸法や欠陥の検査は、製品の信頼性を確保する上で非常に重要です。特に、微細化が進む中で、異物付着やキズ、寸法不良などの早期発見が求められます。VM-Aは、高速・高精度な2D/3D検査により、これらの課題に対応し、不良品の流出を防ぎます。【活用シーン】・表面実装型ICパッケージ（BGA、CSP、QFP、SOP、QFN、LGA）の寸法検査・イメージセンサ、センサ製品の欠陥検査・製造ラインにおけるインライン検査【導入の効果】・検査時間の短縮による生産性向上・欠陥の早期発見による歩留まり向上・検査データの可視化による品質管理の強化

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【電子機器向け】不良品削減で歩留まり改善！

株式会社松井製作所

電子機器業界では、歩留まりの向上が利益に直結します。不良品の発生は、コスト増につながり、競争力を低下させる要因となります。在庫管理の最適化は、不良品の発生を抑制し、歩留まりを改善するために不可欠です。この動画では、在庫管理の基本として、不良品の削減について解説します。【活用シーン】・電子機器製造における在庫管理・不良品発生率を下げたい・在庫金額を削減したい【導入の効果】・不良品の削減・在庫管理の効率化・コスト削減

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【半導体向け】クリーンルーム搬送機器『エクセルシリーズ』

株式会社オカムラ　物流システム事業本部

半導体業界では、製品の品質を左右する微細な異物混入を防ぐため、クリーンな環境下での搬送が不可欠です。精密な位置決めと安定した搬送性能も求められます。エクセルシリーズは、これらの課題に対応し、半導体製造プロセスにおける歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内でのウェーハ、基板、部材の搬送・製造ラインにおける工程間のスムーズな移動・検査装置への正確な位置決め【導入の効果】・異物混入リスクの低減による品質向上・搬送時間の短縮による生産性向上・省スペース化による製造ラインの効率化

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【半導体向け】金属フィルター、ストレーナー

株式会社バンテック

半導体業界では製品の小型化・高性能化に伴い、高品質な部品を低コスト、かつ短納期で調達することが求められます。特に微細化が進む中で、異物混入や品質のばらつきは歩留まりを大きく左右する重要な課題です。当社の自動加工機による一貫生産は、これらの課題に対し、安定した品質と納期短縮を実現します。【活用シーン】・半導体製造工程におけるフィルター利用・微細加工部品の製造・高品質・低コストの部品調達【導入の効果】・不良率の低減・コスト削減・納期短縮・安定供給

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【家電向け】ICテストハンドラNS-8080SH

兼松ＰＷＳ株式会社

家電業界では、製品の小型化が進み、それに伴いICチップの集積度も高まっています。これにより、ICチップのテスト工程では、高い精度と効率性が求められます。特に、限られたスペースの中で、多数のICチップを迅速かつ正確にテストすることが重要です。ICテストハンドラNS-8080SHは、小型家電製品のICテストにおける課題を解決し、高品質な製品開発をサポートします。【活用シーン】・小型家電製品のICテスト工程・高密度実装されたICチップのテスト・生産効率の向上【導入の効果】・テスト時間の短縮・不良品の削減・製品の信頼性向上

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【ディスプレイ製造向け】iTMAシリーズ

株式会社テクネ計測

ディスプレイ製造業界では、製品の品質を左右する要因の一つとして、製造プロセスにおけるガスの清浄度が重要です。特に、腐食性ガス中の水分は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定することで、製造プロセスの最適化を支援し、歩留まりの向上に貢献します。【活用シーン】・ディスプレイ製造工程における腐食性ガスの水分管理・製品の品質管理、歩留まり改善・ガス供給システムのモニタリング【導入の効果】・製品不良の低減・製造コストの削減・品質の安定化

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【IoT無線向け】高周波測定テストソケット

株式会社JMT

IoT分野の無線通信技術は、ますます高度化し、高速データ通信へのニーズが高まっています。この分野では、デバイスの小型化と高性能化が進み、高周波特性の正確な測定が不可欠です。特に、無線通信モジュールやアンテナなどのテストにおいて、高周波信号の正確な伝送と測定が求められます。PCRソケットは、電極径の自由設計と短距離接続により、高周波測定における課題を解決し、安定した測定を実現します。ミリ波帯域の測定にも対応可能です。【活用シーン】・IoT向け無線通信デバイスの評価・検証・高周波・ミリ波測定が必要な半導体デバイスの設計検証【導入の効果】・高周波特性の正確な測定・安定した測定環境の実現

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【半導体装置向け】ナノ変位測定静電容量センサー D-510

PIジャパン株式会社

半導体製造では、ウェーハステージや精密位置決め機構のわずかな変位や振動が、加工精度や製品歩留まりに大きく影響します。微細化が進む半導体プロセスでは、ナノメートルレベルの変位を高精度に測定することが重要です。 D-510 PISecaは、静電容量方式による非接触変位測定を採用した高分解能センサーです。サブナノメートル分解能と最大10 kHzの高帯域測定により、ウェーハステージの微小変位や装置振動を高精度に検出し、半導体製造装置における位置制御の高精度化とプロセス安定化に貢献します。【活用シーン】・ウェーハステージの位置フィードバック・半導体製造装置のナノ位置制御・ウェーハ表面の振動測定・精密アライメントシステム・半導体検査装置【導入の効果】・ナノレベルの高精度変位測定・非接触測定によるウェーハへの影響低減・装置振動の高精度モニタリング・半導体プロセスの安定化と歩留まり向上

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【電子部品向け】卓上電子顕微鏡JCM7000

丸文通商株式会社

電子部品業界において、製品の信頼性確保は不可欠です。故障解析では、不良箇所の特定と原因究明が求められます。従来の外部機関への依頼では、時間とコストがかかることが課題でした。日本電子卓上電子顕微鏡 JCM7000は、光学像とSEM像のシームレスな切り替え、元素分析機能により、迅速な解析を可能にします。これにより、不良原因の早期特定と、クレーム対応の迅速化に貢献します。【活用シーン】・電子部品の異物解析・不良箇所の特定・製品の品質管理・研究開発における材料分析【導入の効果】・解析時間の短縮・コスト削減・品質向上・研究開発の効率化

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【半導体向け】露点温度計測サービス

株式会社分析センター

半導体業界の品質管理において、圧縮空気中の水分量は製品の品質を左右する重要な要素です。微細な回路や精密な部品は、わずかな水分によっても腐食や性能劣化を引き起こし、歩留まりを低下させる可能性があります。露点温度計測サービスは、圧縮空気中の水分濃度を正確に測定し、品質管理における課題解決を支援します。【活用シーン】・半導体製造工程におけるクリーンルーム内の圧縮空気管理・製造装置への供給エアの品質管理・品質管理部門での定期的な測定【導入の効果】・圧縮空気の品質維持による製品歩留まりの向上・設備トラブルの未然防止によるコスト削減・品質管理体制の強化

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【半導体向け】バブルスクラバー

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に生産するために、製造プロセスにおけるガスの清浄化が不可欠です。特に、微量な汚染物質が製品の性能に大きな影響を与えるため、サンプリングガス中の酸性ガスや粒子状物質を効果的に除去することが求められます。Neutronics社のバブルスクラバーは、これらの汚染物質を除去し、サンプリングシステムの信頼性を高めるように設計されています。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおけるガス分析・クリーンルーム環境におけるガスモニタリング・サンプリングシステムの保護【導入の効果】・酸性ガスや粒子状物質によるセンサーやコンポーネントの損傷を防止・メンテナンス頻度の削減・システムの信頼性向上

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【電子部品向け】φ0.01ミリ極小径ピンゲージ

三和クリエーション株式会社

電子部品業界では、製品の品質を保証するために、端子の正確な検査が不可欠です。特に、小型化が進む電子部品においては、端子の微細な寸法を正確に測定することが、製品の信頼性を左右します。寸法のわずかなずれが、接続不良や製品の誤作動を引き起こす可能性があるため、高精度な測定が求められます。当社のφ0.01ミリ極小径ピンゲージは、この課題に応えるために開発されました。【活用シーン】・電子部品の端子穴径測定・コネクタ部品の検査・半導体デバイスの検査・基板実装穴の検査【導入の効果】・高精度な測定による品質向上・不良品の早期発見によるコスト削減・製品の信頼性向上・検査時間の短縮

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【半導体製造向け】裏面コード読取り可能基板用CO2レーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体製造業界では、ウェハのトレーサビリティ管理が重要です。特に、製造工程における個体識別と追跡は、品質管理と歩留まり向上に不可欠です。ウェハの誤った識別や追跡ミスは、不良品の発生や工程の遅延につながる可能性があります。当社の裏面コード読取り可能基板用CO2レーザマーカーは、SMT実装ラインに組み込み、ライン停止不要（オンザフライ印字）で基板印字を実現します。これにより、タクトタイムを維持したまま、工程管理における効率化と品質向上に貢献します。さらにオプション機能として、「裏面に印字された二次元コードを読み取り、表面に印字する」処理にも対応。基板を反転させた後のデータ紐付けを自動化し、表裏一体となった高度なトレーサビリティ管理を可能にします。【活用シーン】多彩なコード印字： QRコード、DataMatrix、マイクロQRコード、バーコード等への対応【導入の効果】誤照合の防止：裏面の個体情報を基準に表面印字を行うことで、基板の取り違えミスを排除しますトレーサビリティの強化：実装工程における正確な個体追跡管理を実現します

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【半導体材料向け】ウェーハ表面のゼータ電位測定

大塚電子株式会社

CMPプロセスにおいては、ウェーハ表面の清浄度維持が製品の品質を左右する重要な要素です。CMPスラリーとウェーハ間の静電的な相互作用を理解し、最適化することは、パーティクルの再付着を防ぎ、高い洗浄効果を得るために不可欠です。当社の固体表面のゼータ電位測定は、CMPスラリーとウェーハのゼータ電位を測定し、静電相互作用を評価することで、これらの課題解決に貢献します。【活用シーン】・CMPスラリーとウェーハの静電相互作用評価・洗浄条件の最適化・パーティクル再付着防止【導入の効果】・CMPプロセスの効率化・ウェーハ表面の清浄度向上・製品の品質向上

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【画像処理向け】密着冷却用空冷サーモ・クーラー

日本ブロアー株式会社

画像処理業界では、高解像度化が進むにつれて、画像センサーや関連電子部品の発熱が大きな課題となっています。発熱はノイズの増加や誤作動を引き起こし、画質の低下やシステムの信頼性低下につながります。密着冷却用空冷サーモ・クーラーは、これらの問題を解決し、安定した画像処理を可能にします。【活用シーン】・高解像度カメラ・画像処理装置・医療用画像診断装置【導入の効果】・画像ノイズの低減・画質の向上・システムの安定性向上

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【電子機器向け】製造業のAI活用の実態レポート

ダッソー・システムズ株式会社

電子機器業界では、製品の品質管理において、不良品の早期発見が重要です。不良品の発生は、コスト増、顧客からの信頼失墜につながる可能性があります。AI技術を活用することで、不良品の検出精度を向上させ、製造プロセス全体の効率化を図ることが求められています。本資料では、AIの導入が進む製造業界の実態をエグゼクティブ104人への調査結果からご紹介。貴社のAI活用を進めるヒントとして是非ご活用ください。【活用シーン】 * 電子機器の製造ラインにおける外観検査 * 部品の異常検知 * 製造プロセスの品質管理【導入の効果】 * 不良品の発生率を低減 * 製造コストの削減 * 顧客満足度の向上

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【半導体検査向け】超硬合金ニードルピン

三和クリエーション株式会社

半導体業界の検査工程では、微細な欠陥や異物を正確に検出することが求められます。特に、高密度化が進む半導体デバイスにおいては、プローブピンの精度が検査の信頼性を左右します。不適切なプローブピンは、誤った検査結果やデバイスの損傷につながる可能性があります。当社の超硬合金ニードルピンは、高い精度と耐久性を実現し、半導体検査における課題解決に貢献します。【活用シーン】・プローブピンとしての使用・微細異物の検出・材料解析における特定部位の採取【導入の効果】・高精度な検査の実現・検査時間の短縮・デバイスの信頼性向上

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【半導体製造装置向け】ピエゾナノポジショナー

PIジャパン株式会社

半導体製造工程では、ウェーハ加工や検査工程においてナノメートルレベルの精密な位置決めが求められます。特に微細化が進む半導体プロセスでは、位置決め精度が製品品質や歩留まりに大きく影響します。 P-611.XZ / P-611.2は、44 mm × 44 mmのコンパクトな設計ながら、最大120 µmの動作量と0.2 nmの高分解能を実現するピエゾナノポジショナーです。高精度フレクシャガイド機構とPICMA(R)ピエゾアクチュエータにより、半導体製造装置や検査装置における安定したナノポジショニングを可能にします。【活用シーン】・半導体製造装置・ウェーハ検査装置・ナノ加工・微細加工装置・光学アライメント装置【導入の効果】・ナノレベルの位置決めによる歩留まり向上・高精度ポジショニングによる検査精度向上・コンパクト設計による装置組込みの容易化・高い再現性による安定したプロセス制御

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【電子部品向け】ジャイロフラットスクリーン

株式会社増野製作所

電子部品業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な部品や材料を扱う工程においては、異物の混入は製品の不良や性能低下に直結する深刻な問題です。ジャイロフラットスクリーンは、精密な篩分けにより、異物混入リスクを低減し、高品質な電子部品製造をサポートします。【活用シーン】・電子部品製造における材料の異物除去・微細部品の選別・製造工程における品質管理【導入の効果】・異物混入による不良品の発生率を低減・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【電子機器向け】シート状被覆熱電対

石川産業株式会社

電子機器業界では、基板の温度管理が製品の性能と信頼性を左右します。特に、CPUなどの発熱源に近い部分や、基板と他の部品との隙間など、正確な温度計測が難しい箇所での温度管理が重要です。温度計測の精度が低いと、製品の誤動作や故障につながる可能性があります。当社のシート状被覆熱電対は、基板の温度を正確に計測し、製品の品質向上に貢献します。【活用シーン】・CPU表面・基板と他の部品との隙間・電子機器の温度試験【導入の効果】・正確な温度計測による製品の品質向上・故障リスクの低減・製品開発における温度設計の最適化

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【半導体向け】FLEXSCHE - 生産計画システム

株式会社BREXA Technology（旧社名：アウトソーシングテクノロジー）

半導体業界では、歩留まりの向上が収益性に直結します。製造プロセスにおける計画の最適化は、不良品の発生を抑制し、歩留まりを向上させるために不可欠です。FLEXSCHEは、高度なスケジューリング機能により、生産計画の精度を高め、歩留まり改善に貢献します。【活用シーン】・製造ラインのボトルネック特定と解消・リアルタイムなスケジュール調整による柔軟な対応・不良品発生時の迅速な原因究明と対策【導入の効果】・歩留まりの向上によるコスト削減・生産効率の向上・納期遵守率の向上

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木目まで不良にしない検査へ―Gemini eye

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

木板や住宅建材の外観検査では、木目や色味の違いは良品として残したい一方で、表面キズや汚れは見逃せません。木目まで不良として拾ってしまうと、確認工数や手直し判断が増えてしまいます。『Gemini eye』は、良品を学習し、“いつもと違う”箇所を検出する外観検査AIです。少量の良品データから検討でき、不良品を大量に集める必要はありません。木板のキズなど、自然な個体差がある対象でも、良品の範囲を保ちながら外観不良を検出します。異常箇所はヒートマップで表示され、どこを不良と判断したかを現場で確認可能。判定結果は画像・数値・グラフで見られ、検査基準の共有や品質確認の説明にも役立ちます。未知不良の検出に加え、既知不良の種類別表示にも対応可能。撮像機器の選定から検査装置まで相談でき、目視検査のばらつき低減や自動化を検討できます。【特長】 ■木目・色味のばらつきに対応 ■表面キズ・汚れなどを検出 ■異常箇所をヒートマップ表示 ■撮像機器・検査装置まで提案 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【半導体向け】超精密電子部品・検査装置の量産

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体業界では、デバイスの小型化・高性能化に伴い、超精密な加工技術が不可欠です。微細な部品の正確な製造は、製品の信頼性や性能を左右します。ミクナスファインエンジニアリングは、時計部品で培った微細加工技術を活かし、超精密な電子部品や半導体検査装置の量産を実現します。創業以来70年間培ってきた幅広い経験と、生産合理化技術の向上により、お客様のニーズに応えます。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける精密部品の製造・半導体検査装置の製造・電子部品の製造【導入の効果】・高品質な電子部品の安定供給・半導体デバイスの性能向上・生産効率の改善

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【半導体向け】オーク製作所の光応用装置

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

半導体業界における微細化技術の進展は、製品の高性能化に不可欠です。微細加工においては、高い精度と均一性が求められ、製造プロセスにおける光の利用が重要になります。光応用装置は、微細加工における露光、検査、測定といった工程で、高い精度と効率性を実現するために不可欠です。【活用シーン】 * フォトリソグラフィにおける露光 * ウェーハの検査 * 微細構造の測定【導入の効果】 * 高精度な加工の実現 * 歩留まりの向上 * 生産性の向上

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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03

PIジャパン株式会社

半導体分野では、ウェーハやマスクの位置決めにおいて、高い精度と安定性が求められます。特に検査工程や微細加工では、わずかな位置ずれが測定誤差や歩留まり低下につながり、製品品質に大きく影響します。 V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式を採用し、高速応答かつ高精度なZ軸制御を実現。さらに、高剛性クロスローラーガイドと非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュのない安定した位置決めと高い再現性を確保します。最大150 Nの高荷重対応および空圧式カウンターバランスにより、重量物の精密位置決めにも最適です。【活用シーン】・半導体検査装置・ウェーハ検査・計測装置・精密測定機器【導入の効果】・高精度位置決めによる測定精度の向上・高速応答によるタクトタイム短縮・高剛性ガイドによる安定した動作・高荷重対応による用途拡張・セルフロック機能による安全性向上

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【カジノ向け】大型7セグメントLED

名豊電機株式会社

カジノ業界では、配当情報を正確かつ迅速に表示することが重要です。お客様は、一目で配当額を理解できる、視認性の高い表示を求めています。誤った表示は、顧客からの信頼を損なう可能性があります。当社の大型7セグメントLEDは、38mm～127mmの文字高さで、遠くからでもはっきりと数字を表示できます。【活用シーン】・カジノの配当表示【導入の効果】・視認性の高い表示で、情報を正確に伝達・ローコストで導入可能

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ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

半導体デバイスの微細化・高集積化に伴い、検出困難な微細な欠陥や、従来とは異なるパターンの欠陥が増加しており、従来の検査手法では見逃すリスクが高まっています。

検査時間の増大とスループット低下

高精度な検査を実現しようとすると、検査に要する時間が増加し、製造ライン全体の生産効率（スループット）が低下する可能性があります。

データ量の爆発的増加と解析負荷

高解像度での検査は膨大な画像データを生成し、その解析には高度な計算能力と専門知識が必要となり、迅速な不良判定の妨げとなります。

人為的ミスの排除と客観性の確保

目視検査や経験に依存する部分が残ると、検査員の熟練度によるばらつきや、疲労によるミスが発生しやすく、検査結果の客観性を担保することが困難です。

対策

AI・機械学習による画像解析

大量の検査画像データをAIに学習させることで、人間では識別困難な微細な欠陥や、未知の欠陥パターンを自動で高精度に検出します。

検査アルゴリズムの最適化

欠陥の種類やウェーハの状態に応じて、最適な検査パラメータやアルゴリズムを動的に適用することで、検査精度とスピードの両立を図ります。

データ処理・管理基盤の強化

高速なデータ処理能力を持つインフラと、効率的なデータ管理システムを導入し、膨大な検査データを迅速に解析・活用できる体制を構築します。

自動化・標準化された検査プロセス

検査プロセス全体を自動化し、検査基準を明確に定義・標準化することで、人為的なミスを排除し、一貫した高精度な検査を実現します。

対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

深層学習モデルを用いて、ウェーハ画像から微細かつ複雑な欠陥を高精度に識別・分類し、不良品検出の精度を飛躍的に向上させます。

高速画像処理システム

並列処理技術やGPUを活用し、膨大な検査画像をリアルタイムに近い速度で処理・解析することで、検査時間の短縮とスループット向上に貢献します。

インテリジェント検査システム

AIが検査結果を学習し、継続的にアルゴリズムを最適化することで、新たな欠陥パターンにも対応し、検査精度の維持・向上を自動で行います。

データ統合・分析管理ツール

検査データ、製造データ、材料データなどを一元管理し、高度な分析機能を提供することで、欠陥の原因究明や再発防止策の立案を支援します。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

不良品検出精度の向上とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

各社の製品

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上

ウェーハ検査における不良品検出精度の向上とは？

​課題

微細化・複雑化する欠陥への対応

検査時間の増大とスループット低下

データ量の爆発的増加と解析負荷

人為的ミスの排除と客観性の確保

​対策

AI・機械学習による画像解析

検査アルゴリズムの最適化

データ処理・管理基盤の強化

自動化・標準化された検査プロセス

​対策に役立つ製品例

深層学習型欠陥検出ソフトウェア

高速画像処理システム

インテリジェント検査システム

データ統合・分析管理ツール

課題

対策

対策に役立つ製品例