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ボンディングパッドの損傷防止とは?課題と対策・製品を解説
ボンディングパッドの損傷防止とは?課題と対策・製品を解説
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ワイヤーボンディングにおけるボンディングパッドの損傷防止とは?
ワイヤーボンディングは、半導体チップと外部回路を電気的に接続する重要な工程です。ボンディングパッドは、この接続を行うための微細な金属領域であり、その損傷は製品の信頼性低下に直結します。本稿では、ボンディングパッドの損傷を防止するための課題と対策、そしてそれを支援する製品について解説します。
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