切断時間の短縮とは？課題と対策・製品を解説

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、配管の接続精度が重要です。特に、精密な配管接続が求められる場面では、溶接開先加工の精度が製品の品質を左右します。不適切な開先加工は、溶接不良を引き起こし、製品の性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。日本アイ・アールがレンタルするパイプ開先加工機『チューブ端切削フライス盤』は、精密な開先加工を実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。

【活用シーン】
* クリーンルーム内での配管工事
* 精密機器製造ラインでの配管接続
* 研究開発施設での実験用配管の製作

【導入の効果】
* 溶接品質の向上
* 作業時間の短縮
* コスト削減

半導体製造業界では、ウェーハや基板の搬送において、高い精度と信頼性が求められます。特に、クリーンルーム環境下での搬送は、異物混入を防ぎ、歩留まりを向上させるために重要です。単軸ロボットの故障は、生産ライン全体の停止につながり、大きな損失を招く可能性があります。HIWIN単軸ロボットは、これらの課題に対し、高精度な位置決め性能と高い信頼性で貢献します。

【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・基板搬送
・部品のピッキングと配置
・クリーンルーム内での搬送

【導入の効果】
・搬送時間の短縮
・位置決め精度の向上
・歩留まりの改善
・生産性の向上

半導体業界における精密搬送では、ウエハや基板の正確な位置決めと高速搬送が求められます。特に、製造プロセスの効率化と歩留まりの向上が重要な課題です。HIWINトータルソリューションは、直動・回転部品だけでなく、モーターやドライバーなどの電子部品を組み合わせた産業用ロボットや超精密位置決めステージを提供し、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・ウエハ搬送
・基板搬送
・検査装置
・組み立て工程

【導入の効果】
・製造プロセスの効率化
・歩留まり向上
・コア技術への集中
・工数削減

電子機器業界では、製品の安定供給のため、納期厳守が不可欠です。部品の調達から製品の納品まで、いかにスムーズに、そして遅延なく行うかが、ビジネスの成否を左右します。国際物流における煩雑な手続きや、複数の業者とのやり取りは、納期遅延のリスクを高める要因となります。当社の『国際物流のワンストップサービス』は、国際輸送から保管、配送までを一元化し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・電子機器部品の輸出入
・完成品の海外への輸送
・在庫管理と配送の最適化

【導入の効果】
・納期遅延リスクの低減
・リードタイムの短縮
・コスト削減

半導体製造業界では、製造プロセスの高速化が常に求められています。特に、ウェーハ搬送や精密位置決めといった工程では、高い加速度と正確な動作が不可欠です。従来のギア駆動方式では、バックラッシュやギアの摩擦が高速化の妨げとなる可能性があります。HIWIN DDモーターは、ダイレクトドライブ方式を採用し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・精密位置決め
・高速搬送ロボット

【導入の効果】
・高速化による生産性向上
・高精度な位置決め
・メンテナンス頻度の削減

電子部品業界において、量産体制の構築は、コスト削減と品質維持の両立に不可欠です。特に、モーターシャフトなどの精密部品の研削加工においては、高い精度と耐久性が求められます。従来の超硬合金製ワークレストでは、摩耗による交換頻度が高く、生産効率を低下させる要因となっていました。当社のダイヤモンド（PCD/コンパックス）ワークレストは、長寿命と高精度な研削を実現し、量産体制を支えます。

【活用シーン】
・モーターシャフトなどの量産センターレス加工
・高精度な研削加工が必要な電子部品製造

【導入の効果】
・超硬合金製ワークレストと比較して300倍の耐摩耗性UP
・交換頻度の削減による生産効率向上
・再研磨・交換修理対応によるコスト削減

半導体業界では、製造プロセスの効率化と品質向上が常に求められています。特に、ウェーハやチップなどの精密部品の搬送においては、正確な位置決めと高速な動作が不可欠です。搬送の遅延や位置ずれは、生産性の低下や不良品の発生につながる可能性があります。HIWIN 直交ロボット KKシリーズは、簡単な操作と組立て、優れたコストパフォーマンスにより、半導体製造における搬送工程の効率化に貢献します。

【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・チップ搬送
・基板搬送

【導入の効果】
・生産性の向上
・不良品の削減
・コスト削減

電子機器業界では、製造工程の効率化が、コスト削減と納期短縮に不可欠です。特に、部品点数の増加や複雑化する工程において、生産リードタイムの長さは、在庫の増加や機会損失につながる可能性があります。この動画では、在庫管理の基本として、生産リードタイムの短縮について解説しています。

【活用シーン】
・電子機器の製造工程における在庫管理
・部品の調達から製造、納品までのリードタイム短縮

【導入の効果】
・在庫金額の削減
・製品の供給体制の安定化
・顧客満足度の向上

半導体業界における搬送工程では、製品の品質維持と生産性の向上が求められます。
特に、部品の搬送においては、正確な位置決めと異物混入の防止が重要です。
不適切な搬送は、製品の破損や歩留まりの低下につながる可能性があります。
当社の自動化装置は、これらの課題に対応し、搬送工程の最適化を実現します。

【活用シーン】
・搬送
・部品の組み立て工程への供給
・検査装置への搬入

【導入の効果】
・搬送時間の短縮
・異物混入のリスク低減
・生産性の向上

半導体業界では、微細加工技術の進化に伴い、高品質な製品を低コストで、かつ短納期で調達することが求められています。特に、歩留まりの向上と製造リードタイムの短縮は、競争力を左右する重要な要素です。不良品の発生を抑制し、安定した品質を維持することも不可欠です。当社の自動加工機による一貫生産は、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・微細加工部品の製造
・高品質な金属フィルターの製造
・コスト削減と納期短縮

【導入の効果】
・不良率の低減
・コスト削減
・納期短縮

半導体業界では製品の小型化・高性能化に伴い、高品質な部品を低コスト、かつ短納期で調達することが求められます。特に微細化が進む中で、異物混入や品質のばらつきは歩留まりを大きく左右する重要な課題です。当社の自動加工機による一貫生産は、これらの課題に対し、安定した品質と納期短縮を実現します。

【活用シーン】
・半導体製造工程におけるフィルター利用
・微細加工部品の製造
・高品質・低コストの部品調達

【導入の効果】
・不良率の低減
・コスト削減
・納期短縮
・安定供給

半導体業界では、製造工程における治具の精度と納期が、生産効率を大きく左右します。特に、微細加工が求められる半導体製造においては、治具の材質や加工精度が製品の品質を左右する重要な要素となります。急な部品の調達や、設計変更への迅速な対応が求められる場面も少なくありません。当社では、プラスチック切削加工による治具の短納期対応を実現し、お客様の生産効率向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体製造ラインにおける治具の製作
・試作段階での治具の迅速な提供
・緊急時の部品供給

【導入の効果】
・短納期対応による生産リードタイムの短縮
・高精度な加工による製品品質の向上
・多様な材質への対応による最適な治具の提供

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、配管の精密な加工が求められます。特に、クリーンルーム環境下での作業や、微細な部品の接続においては、正確な切断と溶接が不可欠です。不適切な加工は、製品の歩留まり低下や品質問題につながる可能性があります。MF6i-50は、管、ブランチ、ヘッダー端部の溶接開先機械加工を高速かつ正確に行うことで、半導体製造における配管加工の課題を解決します。軽量でありながら頑強な設計で、工場内だけでなく現場での使用にも対応します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での配管加工
・微細部品の接続作業
・品質管理が厳しい工程

【導入の効果】
・加工時間の短縮
・高品質な溶接開先の実現
・歩留まりの向上
・作業効率の改善

半導体製造業界では、ウエハの高速搬送における高い精度と信頼性が求められます。製造プロセスにおける搬送の遅延や不正確さは、生産効率の低下や不良品の増加につながる可能性があります。HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】は、これらの課題に対し、高精度かつ高速な搬送性能を提供することで、生産性の向上に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内でのウエハ搬送
・製造装置へのウエハ供給
・検査工程へのウエハ搬送

【導入の効果】
・搬送時間の短縮による生産性向上
・高精度な位置決めによる歩留まり向上
・部品点数削減によるメンテナンス工数軽減

半導体業界の精密加工においては、高い精度と品質が求められます。微細な加工が製品の性能を左右するため、工具の選定は非常に重要です。コスト削減も重要な課題です。当社海外製切削工具は、高品質な材料を使用し、日本製と同等の品質を保ちながら、コストダウンを実現します。

【活用シーン】
・半導体製造における精密加工工程
・高精度が求められる部品加工

【導入の効果】
・工具にかかる費用のコストダウン
・高精度加工の実現
・工具寿命の延長と耐摩耗性の向上

電子機器業界の工程管理では、製造プロセスの迅速な把握と、異常発生時の即時対応が重要です。特に、多岐にわたる工程と、複雑な作業フローを持つ現場では、情報伝達の遅延や見落としが、生産性の低下や品質問題につながる可能性があります。シルウォッチは、腕時計型受信器による確実な通知と、必要な人だけを呼び出す機能を備え、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・製造ラインでの作業者呼び出し
・工程の進捗状況の共有
・設備異常の通知
・品質管理における緊急連絡

【導入の効果】
・工程管理の効率化
・生産性の向上
・品質の安定化
・情報伝達の迅速化

光ファイバー業界では、光信号の伝送効率を最大化するために、ガラスディスクの精密な加工が求められます。特に、光ファイバー接続部分に使用されるガラスディスクにおいては、高い精度での寸法管理と表面処理が、信号の減衰を防ぎ、安定した通信を可能にするために不可欠です。不適切な加工は、光の損失や反射を引き起こし、通信品質を低下させる可能性があります。当社のガラス加工ディスクは、外形1インチから12インチまで、厚みは100μ～30tまで対応し、光ファイバーの性能を最大限に引き出すための精密加工を提供します。

【活用シーン】
・光ファイバーコネクタ
・光ファイバー部品
・光通信機器

【導入の効果】
・光信号の伝送効率向上
・通信品質の安定化
・製品の信頼性向上

電池材料業界では、材料の品質と生産効率が重要です。特に、粉体材料のふるい工程においては、目詰まりや付着、凝集といった問題が、品質の低下や生産性の停滞につながる可能性があります。これらの問題を解決し、効率的な生産体制を構築することが求められています。当社の超音波粉体ふるい器は、これらの課題を解決し、貴社の生産効率向上に貢献します。

【活用シーン】
・電池材料の製造工程における粉体ふるい
・ハイメッシュふるいによる微細粒子の分級
・異物除去による品質向上
・ホッパーやシューターでの粉体供給

【導入の効果】
・目詰まりや付着、凝集の抑制
・ふるい分け時間の短縮
・収率の向上
・製品品質の安定化

半導体業界では、ウェーハ製造における多様なニーズへの対応と、製造プロセスの効率化が求められています。特に、製造工程の遅延やライン停止は、納期遅延や顧客満足度の低下につながる可能性があります。リアルタイム生産最適化スケジューラーは、工程進捗や突発的な変更に1クリックで対応し、計画を自動的に立案します。これにより、リードタイムを短縮し、納期遵守率の向上に貢献します。

【活用シーン】
・ウェーハ製造工程における、部品供給の遅延発生時
・生産ラインの急な変更時
・作業者の欠勤発生時

【導入の効果】
・リードタイム短縮
・納期遵守率向上
・計画変更工数の削減

製薬・食品・半導体・液晶・ロボット等の各種産業分野において高品質なFA装置を
数多く納入している株式会社サンテックの『液晶・ガラス関連設備』をご紹介します。

「大型総合ガラス基板搬送設備」は、エア浮上CV、光学位置決め装置、高速移載装置、
ロボットローダー、バッファ装置、基板旋回装置などで構成されるクリーンルームでの
大型ガラス基板搬送ラインです。

そのほか、「ガラスパッカー・アンパッカー」をはじめ、「エアー浮上搬送装置」や、
「ワイヤーカセットバッファ装置」などをラインアップしています。

【ラインアップ】
■大型総合ガラス基板搬送設備
■ガラスパッカー・アンパッカー
■エアー浮上搬送装置
■ワイヤーカセットバッファ装置
■ガラスパネル検査装置
■ガラスパネル搬送ロボット

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SMB-812-40280』は、長尺シリコンインゴットをバンドソーにより
両端コーン部の分断と定寸ブロックの切断及びブロック毎の
サンプリング切断を行う、半導体自動切断機です。

ブロックやサンプルにはレーザー／インク印字を行い、
物流仕分のLAN結合システムも可能。

また、全自動ローダー・アンローダーは別途仕様により対応いたします。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【仕様】
■インゴットサイズ：8",12"×2,800l／500kg
■ブロック長：100～450mm
■サンプル厚：1.2～5.0mm
■ユーティリティー：10kVA／220V／50A／60Hz
■寸法 a b h：8,200／4,650／3,500mm
■機械重量：19,400kg

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当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。

「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、
「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。

【掲載内容】
■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)
■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm)
■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)
■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代)
■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。
高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

株式会社ラジカル　精密加工事業部では、光通信ネットワークの主要技術である光多重伝送システムのキーコンポーネント「V溝アレイ」を台湾で製造しています。V溝アレイは光ファーバーを整列させる基板です。加工はサブミクロンの精度が必要です。ガラス、セラミックの超精密加工も少量からお受けいたします。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

『TCR-5C／TCR-15C』は、実験・研究用の小型シリコン単結晶育成装置(CZ法)です。

ステンレス製缶体内は、アルゴンガス雰囲気を制御可能。
発熱体はカーボンヒーターによる、抵抗加熱式です。

尚、炉内の温度制御は熱電対制御方式又は、電力制御方式となります。
その他の詳細は、お問い合わせください。

【構成】
■単結晶引き上げ炉
■制御盤
■手元装置ボックス
■電源ボックス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体製造用材料（特殊ガラス）の加工・販売・卸業を手掛けている当社では、
板、インゴット関連の在庫品を豊富に取り揃えています。

合成石英インゴット溶融石英インゴット等各サイズの在庫多数。

さらに！！

使いたいサイズはあるけど、こんなにいらない。。。

その際にはインゴットをスライスして提供することも可能です!!

大きいサイズは欲しいけど薄いものが欲しい・・・
インゴットではなく、円板として何枚も欲しい・・・

弊社ではお客様のニーズに合った提供を出来うる限りご協力致します!!

是非一度、御相談下さいませ！！



【取り扱い材料（一例）】
■石英ガラス
■パイレックスガラス
■テンパックスガラス
■鉛ガラス
■各金属ガラス

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

当社では、精密機器・電子部品の製造を得意として派遣業務を行っております。

福利厚生も充実しており昇給、賞与といった当社独自の仕組みで
働く皆さんへ利益を還元。

ほかにも季節毎や現場毎のレクリエーションや親睦会を費無料で定期的に
開催しておりキャリアアップの為の研修も年1 回以上実施しております。

【派遣利用のメリット】
■法定福利厚生費なし
■法定外福利厚生費なし
■求人広告費なし
■賞与なし

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

パワー半導体GaNでは、ナノメートル（1mmの100万分の1）単位のごく微小な粗さも
性能を左右するため、従来では円柱を作った後の結晶加工は必須でした。

適切な実験条件を見つけるためには、まずは傾向を見るだけでも、1因子ごとに
最低でも2通りの条件で実験をする必要があるため、5因子の場合だと、最低でも
32回の実験が必要です。

その傾向をもとに何十通りもの実験条件を試して、適切な結果を導き出す因子の
組み合わせを探します。そのため、従来の実験を中心とした最適化手法だと、
かなりの実験回数が必要でした。

それに対して、アイクリスタル社の、結果から学習・探索し、条件を提示する
アプローチでは、実験回数を19回に抑えることができました。

しかもそれは後工程を省略できるほどの加工精度と、目標以上。追加の設備投資が
不要になったことのメリットの大きさは言うまでもありません。

ここでも適切とされた条件は、技術者が試したことのなかった組み合わせであり、
AIと人間の協働の価値を表している事例と言えます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社の「加工部門」についてご紹介いたします。

大型薄物が大得意で、技術と経験をもって、薄板を自由自在に操り、多様な
機械設備で大型部品からの小物まで様々な大きさの加工が可能。

また、アルミはもちろんのこと、ステンレス、鉄、銅など多種の材質の
加工ができ、4高速マシニング機と独自の加工方法で、高精度の品物を
短時間で加工することも可能です。

【加工技術】
■大型薄物が大得意で、薄板を自由自在に操る
■多様な機械設備で大型部品からの小物まで様々な大きさの加工が可能
■アルミはもちろんのこと、ステンレス、鉄など多種の材質の加工が可能
■高速マシニング機と独自の加工方法で、高精度の品物を短時間で加工
■オリジナルのネットワークシステムを構築し、さらにスピーディで
　確実な加工を実現

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『AMC-8000』は、シリコン・GaAs等の各種半導体板、液晶基板・マ
スク等のガラス材の断面観察試料片を無研磨・短時間で作製する破
断装置です。

ローラーカッターを用いたケガキ加工+専用工具による破断システムを
採用し、無研磨・完全ドライカットを実現しています。

エアー吸収は不要で、ユーティリティは100V電源のみとなります。

【特長】
■簡易操作
■破断システム採用
■高精度な断面試料作製
■エアー吸引不要
■ユーティリティ100V対応

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

在来工法で民間需要が減少しているメタルラス（一般建材）製造機の改変を行い、今後も需要が見込めるリチウム一次用の基材として使われる「芯体」を製造。画期的なコスト競争力の強化を行いました。

【コスト削減の理由】
・5ライン×２台　回転数270rpmでの稼働開始で生産性120％UP！
・機械の24時間連続加工で日夜安定した温度を保つことで、高品質を実現！
・材料を送り出しラス加工し製品（芯体）完成までを一貫ラインにて製造

※詳細はカタログをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

新興製作所では世界のトレンドになりつつある固定砥粒工法での量産加工が可能！
単結晶、多結品の2種類の材料で
ソーラー用シリコンウェハーを固定砥粒方式(ダイヤモンドワイヤー)で製造しています。

現在、固定砥粒方式での歩留りは、
量産ベースで95%異常を達成し、400万枚/月以上のシリコンウェハーが製造されております。

【主な対応素材】
窒化アルミ AlN / アルミナ Al2O3 / サファイア /炭化ケイ素 SiC/
銅 Cu/モリブデン Mo/タングステン　W/銅モリブデン/銅タングステン/
石英ガラス / ニオブ酸リチウム LiNbO3 / タンタル酸リチウム LiTaO3 /
チタン酸バリウム BaTiO3 / ジルコニア ZrO2 /窒化ケイ素 Si3N4 /
超硬材(SK材)/ セラミックマトリックス複合材料 (CMC)

※詳細はPDFカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社のソーワイヤー事業では、太陽電池等の電子材料のスライス加工に
使用されている電着ダイヤモンドワイヤーの製造販売を行っています。

太陽電池がグリットパリティを達成するには、固定砥粒方式
（電着ダイヤモンドワイヤー使用）でのスライスが必要不可欠であり、
「高性能」かつ「低価格」な電着ダイヤモンドワイヤーが求められています。

私達は、その高性能・低価格の電着ダイヤモンドワイヤーの技術を
提供することで、太陽電池の普及に貢献しています。

【特長】
■高速加工かつ凝集ダイヤモンド除去工程不要
■高品質で安価なダイヤモンドワイヤー提供が可能
■ダイヤモンドを凝集無く均一にピアノ線に電着固定できる
　分散技術を持っている
■お客様に応じたダイヤモンドワイヤーの製作が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体製造装置に使われるペースプレートで約Φ340ｍｍ、厚さ8ｍｍの部品の鋳造及び加工を行なっています。

株式会社トリニティーではお客様のニーズに合わせ、各種半導体向けの
シリコンウェーハをご提案させて頂きます。

前工程向け「モニターウェーハ」や、後工程向け「ダミーウェーハ」等をラインアップ。
それ以外にも各種膜付きウェーハ、高抵抗値ウェーハ、低抵抗値ウェーハ等各種仕様のウェーハをご提供可能でございます。

ウェーハの詳細スペック、数量、その他仕様についてもお気軽にお問合せ・ご相談下さい。

【特長】
・2"、3"、4"、5"、6"、8"、12"各サイズにてお取扱いしております。
・膜付、高/低抵抗値、P/N型等豊富な仕様の在庫を取り揃えております。

※詳細につきましては、カタログをダウンロードして頂くかお問い合わせフォームよりご連絡下さいませ。

当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、
常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。

非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します。

当社が長年培った超高真空技術を注ぎ込み、高い操作性と
メンテナンス性を達成しております。

【特長】
■非加熱のため熱膨張率の異なる材料も接合可能
■一組あたりの接合時間は約5～10分程度
■メンテナンス終了後約12時間で装置復帰
■各種材料での多数の接合実績
■生産現場での多数の納入実績

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。

■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。

■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、
反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、
レチクル搬送が可能。

■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジクランプ方式・ベルヌーイ方式の
3種に対応可能。

■ベルヌーイハンドは、TAIKOウェハ外周裏面部の接触把持に対応予定。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

本製品はφ300mm(12")石英ガラスウエハを、ステージ1～ステージ2の
キャリア間で自動的に枚葉で移載を行うシステムです。

タクトタイム・移載時間は6分30秒/25枚以下。

ウエハ移載仕様について、基本はカセット下部は取出、上段は収納です。

【各部仕様(抜粋)】
■ステージ1(ローダー)
・装置正面左側ステージ
・対応キャリア：オートドアFOSB(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)
　FOUP SEMI規格品(ウエハ収納ピッチ 10mm×25枚)
・センサ機能：カセット内のウエハ在荷確認用透過式マッピングセンサを設置

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

本装置は、自動バックアップやミラーリングの機能を内蔵した、SSDで、旧式のPCやワークステーション、制御用・産業用コンピュータにそのまま搭載可能です。従来のHDDをSSD化することで安定高速化が可能となります。IDEやSCSI、SATA等の旧規格に対応し、簡単に交換が可能です。

『ピッチ系CFRP』は軽量・高剛性の特長があり、ウエハ搬送ハンドの軽量化や、荷重たわみの低減を可能とします。
また、ピッチ系CFRPを使用したウエハ搬送ハンドは振動減衰が速く、装置のタクトタイム短縮に貢献しています。

【ウエハ搬送ハンドにCFRPを使用するメリット】
■比弾性率（弾性率÷重量）が大きく、ハンドの軽量化・薄肉設計・たわみ低減が可能
■振動減衰性に優れ、高速駆動・タクトタイム短縮が可能
■導電性を高めることで、帯電防止が可能

【よくあるニーズ】
■装置内のスペースが狭いので、ハンドの厚みを薄く、たわみを小さくしたい
■ワークの重量が重くなるので、ヤング率の高い材料を採用したい
■高速で駆動したいので、ハンドの軽量化が必要
■タクトタイム短縮のために、ハンドの振動を速く抑えたい

【三菱ケミカルでできること】
炭素繊維やプリプレグの製造、販売だけでなく、これらの材料を用いた製品設計が可能です。
また、成形・加工・組立・コーティング・検査まで一貫して対応できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、ガラス基板に高品質かつ高速に穴あけ加工ができる
加工サービスを承っております。

超短パルスレーザによるガラス改質と、化学エッチングプロセスの
ハイブリッド加工により、高品質と高速加工を両立。

チッピングなしで異形切断加工もでき、テーパーレスで自由形状の
穴あけ加工が可能です。

【特長】
■超短パルスレーザと独自技術のエッチング技術により、
　テーパーレスで自由形状の穴あけ加工が可能
■チッピングなしで異形切断加工も出来る
■高品質と高速加工を両立

※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社SCREEN SPE クォーツの保有するいわき工場のスライス事業では、
主に液晶用大型マスクブランクス材料の切断加工を行っています。

その他、高歩留まり・高面精度が要求される結晶材料の切断まで、あらゆる
機能材料のスライス加工に対応します。

独自の切断方式でソーマークの発生を抑え、高い平面度で次工程の負荷
低減をお約束します。

【事業内容】
■液晶用大型マスクブランクス材料の切断加工

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超小型・低周波数の水晶ブランクスも僅か数１０分～１時間以内でベベル加工出来、マルチヘッド搭載によりスループットが大幅に向上します。

「GaN(ガリウムナイトライド)」とは、5G基地局の電源としても採用が
期待されている、パワー半導体です。薄切りの円盤のウエハとして使われるのが
一般的ですが、最初に製造する状態は円柱形です。

GaNの円柱は、下から空いた穴からGaNの原料となるガスを噴出し、結晶を
成長させます。実際の穴は100個以上で、無限の組み合わせがあります。

シミュレーションをすると、それにかかるのは1条件なんと6時間。1000通りやると
6000時間=250日とかなりの時間が奪われてしまいます。

そこで活躍するのが、アイクリスタル社の「プロセスインフォマティクス」です。

ランダムに作った1000通りのシミュレーション結果をAIに学習させることで、
計算時間を大幅に短縮します。その時間なんと、1条件につきわずか1秒。

AIにより計算時間を大幅に短縮できたことで、10000通りもの条件を
たった3時間程度で計算可能に。これによりガス条件・穴の配置を最適化でき、
成長速度をなんと3倍にすることに成功しました。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社は、ポット・プランジャーなどの超硬部品に対応できます。

品質への要求が高まる中、国内の多くの半導体製造装置メーカーから
ご好評を頂いております。

また、丸・角のゲートピースを全加工にて対応可能。高品質にて大量生産
対応ができます。

小ロットの特注品にも短納期対応が可能です。
ご用命の際はお問合せください。

【特長】
■ポット・プランジャーなどの超硬部品に対応
■丸・角のゲートピースを全加工にて対応できる
■高品質にて大量生産ができる
■小ロットの特注品にも短納期対応が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

硬脆性材料加工用ダイヤモンドホイール『USM』は、液晶用ガラス、石英、
サファイアなどの高速・高精度加工に適した有気孔メタルボンドです。

砥粒保持力が高く、砥面には良好なボンドテールを生成。
ボンドテールは、研削屑排出の促進やクーラント供給能力の向上、
砥粒の切込み量を増加させるなどの点に効果があり、研削性を高める
ことにつながります。

【特長】
■高速・高精度加工に好適
■1ミクロン級の超微細気孔を持つボンドマトリクスによる高い研削性能

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ニッコーシ株式会社では、半導体材料である高品質な
「シリコンウェハー」を､低価格､短納期で安定供給しております｡

当社では、当製品のほかにもアクチュエータをはじめ、コイルなどを
取り揃えております。

【特長】
■高品質な製品を提供
■低価格で提供
■短納期対応が可能（生産日数：15日間）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

晨星興産社より、『シリコンウェハ加工』のご案内です。

株式会社三幸精機工業は、マシニングセンタによる高精度加工を強みとし、
半導体・医療装置部品などの精密部品を製作しています。

【対応素材・仕上げ】
・アルミ・無酸素銅・SUS・チタンなど幅広く対応
・平面度5μ以内の仕上げ

【事例概要】
■52S：12t×Φ320
■切削加工仕上げ時の精度
■平面度・平行度 5μ以下

＜　ワンストップの高精度加工なら三幸精機工業　＞
弊社では、部品調達から仕上げまで一括対応。調達工数削減と安定した品質を実現します。

下記のカタログダウンロードボタンから会社案内もご確認ください。