レジストの消費量削減とは？課題と対策・製品を解説

電池業界では、電極材料の均一な塗布が、電池の性能を左右する重要な要素です。電極材料の塗布ムラは、電池の容量低下や寿命短縮につながる可能性があります。ソニア社製『超音波スプレーノズル』は、ピエゾの振動を利用して液体を霧化し、均一な塗布を実現します。塗布液の飛散や跳ね返りを抑え、材料の無駄を削減します。 【活用シーン】 ・電池電極材料の塗布 ・研究開発における少量塗布 ・試作段階での塗布 【導入の効果】 ・塗布の均一性向上 ・材料の無駄削減 ・作業環境の改善

『RSコータ』は、独自スリットダイで自由に円形塗布ができる装置です。 円形以外にも四角形、八角形等基板形状に依存しない自由な塗布形状が可能。 φ300mmウエハへの塗布に要する時間は僅か30秒と高いスループットを誇り、 バブルレスで優れた品質を実現します。 【特長】 ■高粘度液の厚膜塗布が可能（数100μmの厚塗りも1回で塗布可能） ■パターンへの埋め込み性に優れる（ボイドも少ない） ■EBR（Edge Back Rinse）不要で工程数を削減 ■圧倒的な省液性を実現（塗布液使用量はスピンコータの1/3以下） ■洗浄液の使用量及び廃液量も大幅に削減でき、よりエコな生産が可能に ■異形材料への塗布、異形状の塗布が可能 システム提案も対応いたします。 プロセスフロー例： ロードポート（EFEM） → アライメント →コータ → BAKE → CP → ロードポート（EFEM) 乾燥プロセス Option：VCD（真空乾燥装置） 焼成プロセス Option：Cure Oven等との組合せも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く塗布いたします。 ポリイミドの使用温度や保存温度に対応するため、シリンダに対応したディスペンサータイプのスピンコーターの実績もございます。 塗布量削減と均一な厚膜を可能とした回転カップ式スピンコーターが高価な高粘度ポリイミドにはお勧めです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社は、超精密スプレーコーターによる受託コーティングから装置設計販売、 装置レンタルまでトータルサービスをご提供いたします。 スプレー塗工に適した材料開発・販売も実施。 特に材料開発に関しては、タッチパネル、レンズ等、益々、樹脂化が進む中、 積極的に開発に取り組んでおります。 各種レジスト(MEMS)、ポリイミド、ナノカーボン、接着剤、各種ペースト等、 低粘度から高粘度材料まで、様々な材料のコーティングに関しご相談下さい。 【特長】 ■クリーンルーム内で材料毎の条件最適化 ■材料塗着効率約85%を実現 ■材料ロス低減にも実力を発揮 ■研究開発機から量産機までカスタマイズ製作 ■オリジナルノズルによる、安定吐出、高速ノズルスピード、高霧化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。