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異物混入の排除とは？課題と対策・製品を解説

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フォトレジスト塗布における異物混入の排除とは？

半導体製造プロセスにおいて、フォトレジスト塗布工程での異物混入は、回路パターンの欠陥や歩留まり低下に直結する重大な問題です。この異物混入を徹底的に排除し、高精度な半導体デバイスの製造を実現することが、この技術の目的です。

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【電池業界向け】バキュームコンベア

Volkmann Japan(フォルクマンジャパン)株式会社

電池業界における電極材の供給では、粉体の飛散防止、閉塞の回避、そして正確な搬送が求められます。特に、高性能な電池製造においては、電極材の品質維持が重要となります。バキュームコンベアは、完全密閉構造により粉体の飛散リスクを低減し、詰まりにくい設計で安定した供給を実現します。省スペース設計と柔軟なレイアウトにより、既存の設備への組み込みも容易です。【活用シーン】・電池製造ラインでの電極材投入・研究開発施設での材料供給・製造工程への粉体供給【導入の効果】・粉体飛散による作業環境の改善・原料ロスと清掃コストの削減・生産効率の向上

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【半導体向け】高機能フィルターメディア『ボンメッシュ』

ニチダイフィルタ株式会社

半導体業界では、製造プロセスにおける微細な異物の混入が、製品の品質と歩留まりを大きく左右します。特に、高純度なシリコンウェーハの製造や、微細加工技術においては、空気中の微粒子や液中の不純物を徹底的に除去し、清浄度を維持することが不可欠です。異物の混入は、デバイスの性能低下や短絡、断線といった致命的な欠陥を引き起こす可能性があります。高機能フィルターメディア『ボンメッシュ』は、半導体製造プロセスにおける清浄度管理の課題に応えるために開発されました。【活用シーン】・薬液製造ライン・薬液供給ライン・ガス供給ライン・各種製造装置【導入の効果】・異物混入による歩留まり低下を抑制・製品の品質向上・ランニングコストの削減・メンテナンス性の向上

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【半導体向け】FEP/PFA被覆O-リング

株式会社エム・オー・テック

半導体製造業界では、薬液や洗浄液への高い耐性が求められます。これらの薬品は、O-リングなどのシール材を劣化させ、リークや汚染を引き起こす可能性があります。FEP/PFA被覆O-リングは、フッ素系樹脂で被覆されているため、優れた耐薬品性を発揮し、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させます。【活用シーン】・薬液を使用する装置・洗浄工程・クリーンルーム環境【導入の効果】・薬液による劣化を抑制・リークや汚染のリスクを低減・装置の稼働率向上

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【電子機器向け】小型自動ふき取り装置

東西商事株式会社

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を高めるために、精密な接着剤塗布が求められます。特に、小型化が進む電子部品においては、ディスペンサーやノズルの詰まりや汚れが、製品の性能に直接影響を与える可能性があります。手作業での清掃は、時間と手間がかかり、作業効率を低下させるだけでなく、清掃の精度にもばらつきが生じる可能性があります。当社の小型自動ふき取り装置は、ディスペンサーやノズルの清掃を自動化し、製造ラインの効率化と製品品質の向上に貢献します。【活用シーン】・電子機器製造ラインでの接着剤塗布工程・精密部品への接着剤塗布・クリーンルーム内での使用【導入の効果】・製造ラインの稼働率向上・製品の品質安定化・作業時間の短縮・人件費の削減

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【電子材料向け】MSジェットスクリーン

株式会社増野製作所

電子材料業界では、製品の品質を左右する異物混入の徹底的な排除が求められます。特に、微細な粒子を扱う電子材料においては、異物の混入は製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。MSジェットスクリーンは、原料粉を空気搬送により本体内部の網へ通過させ、網目（μｍ）によって篩上と篩下にそれぞれ分級することで、高精度な分離を実現します。【活用シーン】・電子材料製造における異物除去・微細粒子の分級・高純度化【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【半導体向け】高薬品耐性アイソレーター用グローブ

株式会社イトー

半導体製造業界のクリーン環境では、製品の品質を維持するために、異物混入や汚染を徹底的に防ぐ必要があります。特に、薬品や有機溶剤を使用する作業においては、グローブの耐薬品性と作業性が重要です。不適切なグローブの使用は、製品の品質低下や作業者の安全リスクを高める可能性があります。当社のアイソレーター用CSM・ブチルグローブは、高い薬品耐性と作業性を両立し、クリーン環境での作業効率と安全性を向上させます。【活用シーン】 * 半導体製造工程 * クリーンルーム内での作業 * 薬品を使用する作業【導入の効果】 * 製品の品質向上 * 作業者の安全確保 * 作業効率の向上

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【半導体クリーンルーム向け】PFAスリーブ

株式会社ハギテック

半導体製造業界のクリーンルーム環境では、微粒子や化学物質による汚染が製品の品質を大きく左右します。特に、配線保護に使用する部材は、清浄度を維持し、アウトガスを抑制することが重要です。PFAスリーブは、耐薬品性、耐熱性、防炎性に優れており、クリーンルーム環境下での使用に最適です。PFAモノフィラメントから編組されており、高い清浄度を保ちながら、配線を保護します。【活用シーン】・クリーンルーム内の配線保護・半導体製造装置内のケーブル保護・化学薬品を使用する環境でのケーブル保護【導入の効果】・クリーンルーム環境の維持・製品の品質向上・ケーブルの保護と長寿命化

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【半導体向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を左右する微量粉体の正確な供給が求められます。特に、高精度なプロセスにおいては、異物混入は歩留まりを大きく低下させる要因となります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造により異物混入リスクを低減し、微量粉体の精密な供給を実現します。【活用シーン】・半導体製造プロセスにおける微量粉体の供給・クリーンルーム環境下での粉体ハンドリング・高精度な計量が必要な工程【導入の効果】・異物混入リスクの低減による歩留まり向上・高精度な供給による製品品質の安定化・洗浄性の向上によるメンテナンス性の向上当社は、粉粒体の貯蔵・供給・計量・輸送及びその周辺機器の設計、製作・販売までの一切を行っています。粉の扱い実績は46年以上です。お客様に最高の粉体ハンドリング技術を提供します。

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【半導体製造向け】塗るだけフッ素コーティング剤

株式会社フロロテクノロジー

半導体製造業界では、クリーンルーム環境の維持が非常に重要です。微細な塵や埃が製品の品質を著しく低下させる可能性があるため、徹底した防汚対策が求められます。また、製造プロセスにおける湿気や薬品の影響も、製品の信頼性を損なう要因となります。当社のフッ素コーティング剤は、これらの課題に対し、防汚性、撥水性、防湿性を付与することで、クリーンルーム環境を維持し、歩留まり向上に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の設備や部品の防汚対策・半導体製造装置の撥水・防湿保護・ウェハー搬送用治具の汚れ防止【導入の効果】・異物付着による不良率の低減・装置メンテナンス頻度の削減・製品の品質向上

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【半導体製造向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

半導体製造業界では、微細な異物混入が製品の品質に大きな影響を与えるため、原料の安全な取り扱いが不可欠です。特に、精密な製造プロセスにおいては、異物混入による歩留まりの低下や製品不良は、大きな損失につながる可能性があります。タッチレスバルブフィーダは、異物混入リスクを低減し、安全な粉体供給を実現します。【活用シーン】・半導体製造工程における原料供給・クリーンルーム内での粉体供給【導入の効果】・異物混入リスクの低減・歩留まりの向上・製品品質の安定化

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【半導体向け】コンプレッサー用メッシュフィルター

株式会社バンテック

半導体業界では、製造プロセスのクリーン度が製品の品質を大きく左右します。コンプレッサーから供給される空気中の微粒子や不純物は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。当社のコンプレッサー用メッシュフィルターは、これらの課題に対応し、高いクリーン度を維持するために設計されています。金網を溶接することで、濾過面積を最大化し、効率的な異物除去を実現します。【活用シーン】・半導体製造工場のクリーンルーム・フォトレジスト塗布工程・真空成膜工程【導入の効果】・コンタミによる不良率の低減・製品品質の向上・製造プロセスの安定化

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【電子材料向け】フレコンディスチャージャ

赤武エンジニアリング株式会社

電子材料業界では、製品の品質を維持するために、粉体の取り扱いにおける発塵と残量低減が重要です。特に、微細な粉体を使用する工程では、発塵による環境汚染や製品への異物混入が、品質低下につながる可能性があります。また、フレコンバッグ内の粉体残量が多いと、材料の無駄が発生し、コスト増につながります。フレコンディスチャージャは、排出部を密閉することで発塵を防止し、フレコン受け部の振動と繰り返し膨張・収縮により粉体残量を低減します。これにより、電子材料の製造プロセスにおける品質向上とコスト削減に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内での粉体排出・精密な配合が求められる工程・異物混入を徹底的に防ぎたい工程【導入の効果】・発塵による作業環境の悪化を防止・製品への異物混入リスクを低減・粉体材料の無駄を削減・製造コストの削減

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【電子機器製造関連設備向け】テフロン（PFA）フローサイト

株式会社アルティベイト（旧社名：東葛テクノ株式会社）

電子機器の製造工程では、各種薬液や洗浄液などを使用する設備において、流体状態を把握することが工程管理の一助となります。 PFA樹脂製フローサイトは、透明性に優れたフッ素樹脂を採用し、配管内の流体を目視確認する用途に適した製品です。ガラス製サイトグラスと比較し、破損リスク低減が期待できる点も特長の一つです。【活用シーン】・電子部品製造工程の薬液ライン・洗浄工程用配管・製造設備の確認用ライン【導入の効果】・流体状態の可視化による工程確認性の向上・破損リスク低減への配慮・保守・点検作業の効率化【適合規格】食品衛生法

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【ディスプレイ向け】低金属化サービス

株式会社ナード研究所

ディスプレイ業界では、高画質化を実現するために、材料の純度、特に金属不純物の低減が重要です。金属不純物は、表示のムラや輝度低下を引き起こし、製品の品質を損なう可能性があります。当社の低金属化サービスは、レジスト材料や有機EL材料に含まれる金属成分をppm～ppbレベルまで低減し、ディスプレイの高画質化に貢献します。【活用シーン】・有機ELディスプレイ・液晶ディスプレイ・その他高画質ディスプレイ【導入の効果】・表示品質の向上・製品の信頼性向上・歩留まりの改善

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【半導体製造向け】水質管理システム（濁度）

グリッドリンク株式会社

半導体製造業界では、製品の品質を左右する超純水の水質管理が非常に重要です。特に、微細な異物や不純物の混入は、製品の歩留まりを低下させる大きな要因となります。当社の水質管理システム（濁度）は、超純水製造プロセスにおける濁度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知することで、高品質な製品製造をサポートします。【活用シーン】・超純水製造プロセスにおける濁度監視・純水供給ラインにおける水質管理・製造ラインへの異物混入リスクの低減【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【電子部品向け】ジャイロミキサー『HS-GY-1』

宝泉株式会社 / Hohsen Corp.

電子部品業界において、コーティングは製品の保護と性能向上に不可欠です。均一なコーティングは、製品の品質を左右する重要な要素であり、塗布ムラや気泡の混入は、製品の不良や性能低下につながる可能性があります。ジャイロミキサー『HS-GY-1』は、一斗缶などの容器を回転させて液体材料を撹拌・混合することで、均一なコーティング液の調合を可能にします。自動操作により、誰でも簡単に高品質なコーティング液を調合できます。【活用シーン】・電子部品のコーティング液調合・塗料、インク、接着剤などの混合・研究開発における少量混合【導入の効果】・均一な混合によるコーティング品質の向上・作業時間の短縮と効率化・材料の無駄を削減し、コスト削減に貢献

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【電子機器向け】レヒラー社製エアーノズル

ティックコーポレーション株式会社

電子機器業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における異物混入の防止が重要です。特に、精密な電子部品においては、微細な塵や埃が製品の性能に悪影響を及ぼす可能性があります。オープンパイプによるエアーブローでは、騒音や空気消費量の問題も発生します。レヒラー社製エアーノズルは、これらの課題を解決します。【活用シーン】・電子基板の清浄・電子部品の表面清浄・製造ラインでの異物除去【導入の効果】・製品の品質向上・不良品の削減・作業環境の改善

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【電子部品向け】異物混入のお悩み解消！ステンレス製撹拌機

ユニコントロールズ株式会社

電子部品業界では、製品の品質を維持するために、製造プロセスにおける異物混入対策が重要です。特に、微細な部品を扱う工程においては、異物の混入が製品の不良や性能低下につながる可能性があります。当社のステンレス製撹拌機は、クリーンな環境での使用を前提に設計されており、異物混入のリスクを低減します。【活用シーン】・電子部品製造における液体の混合・溶解工程・異物混入が許されない工程【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・顧客からの信頼獲得

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【電子材料向け】タッチレスバルブフィーダ

赤武エンジニアリング株式会社

電子材料業界では、製品の品質を左右する異物混入のリスクを最小限に抑えることが重要です。特に、高純度な材料を扱う場合、微細な異物の混入が製品の性能劣化や歩留まりの低下につながる可能性があります。タッチレスバルブフィーダは、非接触構造と容易な洗浄性により、異物混入リスクを低減し、高純度な材料供給を可能にします。【活用シーン】・半導体製造・ディスプレイ材料製造・高機能フィルム製造【導入の効果】・異物混入リスクの低減・製品品質の向上・歩留まりの向上・清掃性の向上・効率的な品種切替

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【電子業界向け】グローバルフィルターカートリッジフィルター

日本フィルトレーショングループ株式会社

電子業界では、半導体製造プロセスにおいて、超純水の清浄度が製品の品質を左右します。微粒子や微生物などの不純物は、製品の歩留まりを低下させるだけでなく、性能劣化や故障の原因にもなります。グローバルフィルターのカートリッジフィルターは、これらの課題に対し、高いろ過性能で超純水の清浄度を維持し、安定した製品品質をサポートします。【活用シーン】・半導体製造・液晶パネル製造・電子部品洗浄【導入の効果】・製品の歩留まり向上・製品の品質安定化・製造コストの削減

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【半導体向け】純水供給用ポンプ

グルンドフォスポンプ株式会社

半導体業界では、製造プロセスにおける不純物の混入を極限まで抑えるために、高品質な純水供給が不可欠です。純水の質は、製品の歩留まりや性能に直接影響するため、安定した供給と高い信頼性が求められます。グルンドフォスのポンプは、これらの要求に応えるべく、高い耐久性と省エネ性能を備え、半導体製造における純水供給の課題解決に貢献します。【活用シーン】・半導体製造工場の純水供給システム・研究開発施設における純水供給・クリーンルーム内での純水循環【導入の効果】・安定した純水供給による歩留まり向上・省エネ性能による運用コスト削減・高い信頼性によるダウンタイムの最小化

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【半導体向け】低金属化サービス

株式会社ナード研究所

半導体業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の高純度化が不可欠です。特に、レジスト材料や有機エレクトロニクス材料においては、金属不純物の混入がデバイスの性能劣化や歩留まり低下につながる可能性があります。当社の低金属化サービスは、これらの課題に対し、長年の実績に基づいた精製技術で対応します。【活用シーン】・レジスト材料の高純度化・有機EL材料の金属不純物除去・半導体製造プロセスにおける材料のクリーン化【導入の効果】・デバイスの性能向上・歩留まりの改善・製品の信頼性向上

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【フォトマスク向け】近接型メガソニック PA10-Q60AE-S

株式会社プレテック　静岡製作所

フォトマスク業界では、製造プロセスにおける微細なパーティクルの除去が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な課題です。特に、ウェハーやフォトマスクの洗浄においては、サブミクロンレベルの異物除去が求められます。不適切な洗浄は、デバイスの性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。当社洗浄ユニット『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』は、基板直近での洗浄を可能にし、サブミクロンのパーティクルを除去することで、これらの課題に対応します。【活用シーン】・シリコンウェハーの洗浄・フォトマスクの洗浄・CMP後の洗浄・枚葉式洗浄【導入の効果】・高い洗浄性能による歩留まり向上・製品の品質向上・洗浄時間の短縮

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【半導体製造向け】小型自動ふき取り装置

東西商事株式会社

半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に供給するために、製造プロセスの各段階での歩留まり向上が重要な課題です。ディスペンサーやノズルに付着した異物は、製品の不良や性能低下を引き起こし、歩留まりを悪化させる要因となります。当社の小型自動ふき取り装置は、これらの課題に対し、ディスペンサーやノズルの自動清掃を実現することで、歩留まりの改善に貢献します。【活用シーン】・半導体製造ラインにおける接着剤、エポキシ樹脂、グリス等の塗布工程・クリーンルーム内での使用・微細な部品への塗布【導入の効果】・異物混入による不良品の発生を抑制・安定した製品品質の確保・清掃作業の自動化による作業効率の向上・ランニングコストの削減

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【半導体向け】焼結金網フィルター

株式会社バンテック

半導体製造においては、薬液の純度が製品の品質を大きく左右します。薬液中に不純物が混入すると、歩留まりの低下や製品不良を引き起こす可能性があります。焼結金網フィルターは、薬液中の微細な異物を高い精度で除去し、高品質な半導体製造を支えます。【活用シーン】・フォトレジスト、現像液、エッチング液などの薬液濾過・CMPスラリーからの研磨剤除去・洗浄液からのコンタミ除去【導入の効果】・歩留まり向上・製品品質の安定化・装置の長寿命化

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【半導体クリーンルーム向け】ネオマパイプカバー

旭化成建材株式会社

半導体製造のクリーンルーム環境では、微細な塵埃や水分の混入が製品の品質に深刻な影響を与える可能性があります。配管からの結露は、カビや細菌の発生源となり、クリーンルームの清浄度を損なう大きな要因です。ネオマパイプカバーは、トップレベルの断熱性能により、配管表面での結露発生リスクを低減し、クリーンな環境を維持します。【活用シーン】・クリーンルーム内の配管・半導体製造装置の冷却水配管・空調設備の配管【導入の効果】・結露によるカビや細菌の発生を抑制・クリーンルームの清浄度を維持・製品の品質向上に貢献

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配管のコンタミ最少に貢献できる継手　クリーンガス配管　ユニット

イハラサイエンス株式会社

従来、ナット式のメタルガスケットシール継手を使用する配管は以下のような問題があります。・銀メッキの剥離による、パーティクルの発生・締めつけの際に配管が供回りし、配管位置がズレる・狭い場所で施工性の悪い施工時に発生する配管のねじれから、シール面が傷つき、パーティクルが発生します。全ての原因は、ナットで締め付ける構造にあります。イハラは施工方法のナットを締めるという常識をなくしました。結果として・コンタミが出ない継手施工・省スペース化に貢献・狭いスペースでも施工が可能に

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炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」

株式会社渡辺商行

高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。【材料】高純度反応焼結炭化ケイ素　TPSS 【特徴】　・高温から低温プロセスまで幅広いユーザーニーズに対応　・高純度、高強度、高耐食性　・高温での使用が可能（～1350℃）　・パーティクル発生を抑制製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化けい素膜をコーティングしたグレードも提供しており、特に、精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300mmウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献しています。 ※詳しくはお問い合わせください

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炭酸ガス注入システム, CO₂バブラー , 短納期, コンパクト

アジアファインテック株式会社

二酸化炭素は大気状態で体積比重が低く、水によく溶け、DIWの水質を悪化させることなく比抵抗を下げることができます。静電気による“異物付着”防止に効果があります。

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クリーニング装置『ROBO-STICKY MCシリーズ』

株式会社FTMテクニカルサービス

『ROBO-STICKY MCシリーズ』は、基板先端ジャンプ機構を標準装備したクリーニング装置です。クリーンローラ駆動部のギヤーやベルトを無くし、非接触でクリーンローラを駆動するMDC駆動方式を採用し、装置の発塵対策を行いました。従来機の薄板に強い特長を継承した上で、操作性、メンテ性も一段と向上した装置となりました。【特長】 ■MDC駆動方式を採用 ■板厚40μの基板もOK ■クリーンローラ1本にクリーニングテープ1本を使用 ■クリーニングテープとクリーンローラは引き出し式 ■基板先端ジャンプ機構が標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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電子材料

稲垣薬品興業株式会社

当社では、半導体製造工程で使用される薬剤や消耗品、精密部品の洗浄剤を提供しております。その他、金属加工及び表面処理に使用される各種薬剤およびメッキ廃水処理剤や、原材料及び食品添加物から衛生管理面で必須なサニテーション商品などを提供。また、医薬品原料関連、化粧品原料関連、試薬関連、プール・スパ・温泉関連、防疫薬剤関連、リネン・クリーニング関連、塗料・印刷関連も取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【取扱品目】 ■高純度薬品 ■フッ素系溶剤 ■リチウムイオン電池材料 ■イオン液体　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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Milli-Q IQ 7005/10/15 微量元素分析タイプ

メルク株式会社ライフサイエンス（シグマアルドリッチジャパン合同会社）

当社で取り扱う、ICP-MS(極微量元素分析)、半導体洗浄用完全水銀フリー超純水製造装置『Milli-Q IQ 7005/10/15およびMilli-Q IQ 7000 微量元素分析タイプ』をご紹介いたします。当製品の精製ユニットでの超純水精製に加え、Milli-Q IQ Element によりホウ素を含む極微量の金属を極限まで除去。これにより、水由来のバックグラウンドを抑えられ、極微量元素分析において安定した結果を出すことができます。【特長】 ■極微量元素分析ワークフローに合わせた設計 ■コンタミネーション防止 ■メンテナンスの最小化 ■圧倒的な使いやすさ ■タッチスクリーンで簡単操作 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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上面基板クリーニング装置『NC-250』

株式会社ナガオカ製作所

『NC-250』は、基板表面に付着したクズ・ゴミをブラシによりクリーニングする装置です。ブラシ＋エアーブローによりクリーニングを行い、上面からのエアーブローによりスルーホール内のゴミを除去。ブラシユニットの清掃及びブラシ交換は、簡単に取り外しが行える構造となっています。また、ブラシと基板が接触するため、従来では基板の厚みによりブラシ高さ調整が必要でしたが、基板厚追従により調整が不要となりました。【特長】 ■基板表面に付着したゴミをブラシ＋エアーブローによりクリーニングを行う ■ブラシユニットは運転モードに合わせて自動で昇降動作を行う ■上面からのエアーブローにより、スルーホール内のゴミを除去 ■ブラシユニットの清掃及びブラシ交換は、簡単に取り外しが行える構造 ■基板搬出側の上面にイオナイザーが標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体製造工場事例［室圧制御機器］室圧コントローラ　PECX

岡谷精立工業株式会社

半導体の微細化で製造設備に求められる厳しいクリーン環境を、部屋と設備内の空気圧を微差圧制御することで効率的に実現するようになりました。【特徴】 ○オールインワン　タイプでコンパクト化 ○制御性を向上し高精度化 ○操作性を向上 ○利便性を向上 ○通信機能を向上 ○現地工事が容易 ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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FOUPロードポート『TAS300 Type-4E』

TDK株式会社

『TAS300 Type-4E』は、徹底した装置クリーン化設計と配線・配管部の稼動時非接触を実現したFOUPロードポートです。微小なバーティクル発生を極限まで抑制。PWP試験において世界最高レベルとなっております。またFOUPごとの微差(公差)に対応する独自機構が、FOUPとロードポートの衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性をも実現します。【特長】 ■業界最高レベルのクリーン度を実現 ■高い互換性　各社FOUPに対応 ■メンテナンス性を向上 ■高信頼性・高耐久 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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【独創技術】　超高信頼性　篩　スーパーマイクロシーブ

株式会社セムテックエンジニアリング

■ この技術を使うと SEM写真のような高精度・高開口率・高強度の　『超高信頼性篩』を製作することが出来ます ■ 機能性粒子と呼ばれる直径Φ５μｍ以下の粒子を製造する際　混在する微量の粗粒子を個数レベルで取り除くに使われます ■ 採用例 1　液晶パネル　スペーサ　　プラスチック粒子　採用例 2　液晶パネル　異方性導電膜　（ACF 粒子）　応用例 3　電池シール材　ＩＣパッケージ　機密封止材　　応用例 4　機能性粒子用途開発　粒子製造工程品質管理‥等 ■ 最小穴径 Φ５μｍ・ピッチ１５μｍ　（篩 Φ５～５０μｍ製作可能） ■ 板厚５０～１００μｍ ■ 材質ニッケル　硬度 HV ５００～６００　非常に頑丈

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（事例集進呈中）昇華精製とは？│高精密材の不純物除去、高純度化

福井キヤノンマテリアル株式会社

「昇華精製」とは物質の昇華・蓄積の温度差を利用して精製をする方法のことです。有機EL材料などの真空蒸着を用いるものは、一般的に昇華精製を行うことで、金属不純物や真空度を汚染する残留溶媒を除去しています。他にも、精製対象物が有機溶媒に難溶で、カラムや再結晶法などでは精製ができない場合は、昇華精製を利用して不純物・溶媒除去、純度UP、成分分離、金属成分の低減などを行います。

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クリーニング装置『ROBO-STICKY RBシリーズ』

株式会社FTMテクニカルサービス

当社が取り扱う、クリーニング装置『ROBO-STICKY RBシリーズ』をご紹介いたします。「MC-2000RB」は、クリーンローラとダブルにドッキングする事により強力な除塵効果を発揮します。「GT-2890RB」は、基板上の塵や埃を集塵機で吸引しながらブラシローラで除去します。【MC-2000RB 特長】 ■クリーンローラとドッキングにより強力な集塵効果を発揮 ■耐摩耗性に優れた50μmの極細ナイロンブラシを採用 ■基板を傷つける事なく表面の塵や埃をかき落とす ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スピンドライヤー（乾燥機）

ジャパンクリエイト株式会社

〜概要〜・フタにULPA又は、HEPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入することによりチャンバー内のクリーン度を飛躍的に向上。・クレドールの交換により4〜8インチウエハーの乾燥が出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。

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重量物位置決め微調整紙『すべるんペーパー（無塵紙タイプ）』

あすまる本舗株式会社

『すべるんペーパー』は、大型機械などの重量物を設置する際に重ねて敷くことで、前後左右自在に、スーっと滑らせることができ、細かい位置調整を簡単に行うことができる重量物位置決め微調整紙（スライディングペーパー）です。クリーンルーム用の無塵紙タイプです。一般的に"滑る＝危険"ですが、工夫すれば"滑る＝便利"になります。安全を第一に注意してお使いください。【特長】 ■微調整重量は10トン未満 ■微調整範囲は100mm以内 ※接地面が凹凸な場合、うまく滑らないことがあります。（鉄板などを敷き、平らにして使用してください）　長い距離移動には適しません。　重量物の下に敷くため、ジャッキ等が必要となります。

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透明帯電防止剤：カーボンナノチューブ使用：UVコーティング

丸一商事有限会社

SCNT：シングルカーボンナノチューブ使用透明なコーティングが可能透過率(PETで10g/sq) Tt:90.7%(Base Film, Tt : 89.2%, Hz:3.3%) PMMA上で表面硬度：鉛筆硬度3Hで高い硬度です。コーティング方法はUVコーティングでフローコーティング（Flow Coating)

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黒金化成株式会社　事業紹介

黒金化成株式会社

黒金化成株式会社は、ファインケミカルの受託開発を主に手がける、開発支援型メーカーです。共重合用モノマー、光重合開始剤、医農薬中間体から情報電子関連材料まで幅広く利用されており、中でも変化の激しいIT関連向け電子材料の需要に対しても迅速かつきめ細かなサービスで対応しています。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【事業内容】 ■共重合用モノマー、光重合開始剤、機能性有機材料、医農薬中間体、特殊エステル、その他の有機合成中間体の製造 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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バッチ（引き出し）式　UVオゾン洗浄改質装置【オゾン分解触媒付】

コスモ技研株式会社

プラスチック部品に限らず様々な素材の密着性向上が期待できます。どこでも使えるAC100V仕様！コンパクト設計の紫外線洗浄改質装置『CUVD50U-05』☐150～350まで3タイプの製作が可能。『CUVDシリーズ』は、短波長紫外線とオゾンの効果で有機化合物の分解、洗浄及び改質を行う紫外線洗浄改質装置です。卓上型（バッチ式）の設計を採用し「ON/OFF」だけの簡単操作が可能。安心、安全！オゾン分解触媒を標準装備。【特徴】・照射時間セット・ＯＮ/ＯＦＦだけの簡単操作・安全！オゾン分解触媒標準装備・選べる３サイズ（別サイズも対応可能です。ワークサイズをお知らせください。）・どこでも使えるＡＣ１００Ｖ仕様

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ノズル

三和クリエーション株式会社

三和クリエーション株式会社で取り扱っている「ノズル」をご紹介いたします。超硬合金製の精密ノズルで、主に電子部品の吸着ノズル・封止ノズルにご使用いただいております。単丸形状では穴φ0.08～製作することが可能。楕円・異形状など、お気軽に当社までご相談ください。【仕様】 ■材質：超硬合金、非磁性超硬合金他の材質はセラミックスやSUS材での製作実績も有！ ※詳しくはPDFカタログをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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パネル型遠赤外線ヒータ『インフラレッド　CH型』

ササキテック株式会社

『インフラレッド　CH型』は、特殊セラミックによる表面加工のため、高温でも発塵しない完パネル型遠赤外線ヒータです。クリーンルームに好適です。また、ヒータ接合枠がなく、温度分布の均一化を実現いたしました。ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【対応用途】 ■電子工業 ■情報産業用製品の加熱 ■プラスチック工業 ■バイオテクノロジー工業 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

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『フラットパネルディスプレイ製造用洗浄装置』

島田テクノロジー株式会社

『フラットパネルディスプレイ製造用洗浄装置』は、島田テクノロジー株式会社が取り扱っている製品です。実績ある搬送ノウハウと洗浄ツールの最適化によりワークへのキズや割れを防止し、スマートフォン、タブレットPC向けの基板などに対応致します。また、各ユニットには豊富なノウハウで培われたツールが組み込まれ、製造工程や清浄度に合わせた最適な洗浄プロセスを可能にします。【特長】 ■薄板パネル対応 ■高スループットに対応する多彩な洗浄ツールをラインアップ ■カスタムメイド対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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連続再生式純水装置『ピュアエース R-PA-W型』

アクアプロ株式会社

『ピュアエース R-PA-W型』は、KCDIを搭載しているため、薬品再生が不要で再生用薬品、再生用水槽、中和設備が不要な連続再生式純水装置です。常に電気的にイオン交換樹脂が再生されているため連続採水が可能。二段RO膜(逆浸透膜)とKCDIの組合わせのため安定して高純度の純水を供給することができます。給水中の残留塩素除去のために、前段に自動活性炭ろ過器「KA-A型」を組合わせることが可能です。【特長】 ■連続して高純度の純水が採水可能 ■ボタンひとつで全自動運転 ■コンパクト、現地工事が簡単 ■環境負荷を低減 ■別製品との組合わせで多様なニーズに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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非接触搬送洗浄装置『DNCC-320』

株式会社ダン科学

『DNCC-320』は、ガラス基板を流体で浮上移動させながら、洗浄からリンス、乾燥処理まで行う洗浄装置です。本来洗浄媒体である純水等で浮上させ且つ洗浄し、垂直端面だけで駆動制御させ、川幅方面のサイズ変更も可能です。従来のローラー搬送の様なスリップ等によるキズがガラス面に付かずガラス全面に洗浄液が均一に接触流水しスプレー洗浄の様なムラがありません。【特長】 ■ガラス基板にローラー痕ゼロ ■表面、裏面同時洗浄乾燥が可能 ■薄板軽量基板（0.5t以下）の搬送に好適 ■機能水＋超音波洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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半導体工場向けイエローLEDランプ(AC直結タイプ)

株式会社ティーネット

当社では、半導体工場向けイエローLEDランプ(AC直結タイプ)を取り扱っております。イエロー蛍光灯の発光色(黄色)を、基準の色として開発した原料をもとに、国内工場で製造する2種類のオリジナルカバーは、オリジナルLED素子と組み合わせることで、レジストが反応する光を遮断。標準タイプ「BrinisAX　イエローミルキー　MTAX40YM」や高天井タイプ「BrinisAX　イエロークリア　MTAX40YCS」など様々なラインアップをご用意しております。【特長】 ■波長500nm以下の光を遮断 ■消費電力削減 ■長寿命 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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株式会社USメック　事業紹介

株式会社USメック

株式会社USメックは洗浄装置の技術とノウハウを知り尽くしたキャリアと実績で、強固な信頼性を確立しています。株式会社USメックの方針は、『お客様と一緒に考える』をテーマに、難しい問題を解く高度な技術開発を目指しております。【設計製作】 ○コンピュータを駆使して行われる機械製造設計および電気回路設計 ○部品からユニット製造、最終組み立てまで全工程を内製化 ○第二工場内にある、洗浄装置のプレゼンテーションルーム詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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フォトレジスト塗布における異物混入の排除

フォトレジスト塗布における異物混入の排除とは？

課題

微細異物の付着・混入

製造環境中の微細な塵埃や、装置・材料由来の微粒子がフォトレジスト層に付着・混入し、露光時の欠陥を引き起こす。

塗布液の品質劣化

フォトレジスト液自体の経時劣化や、保管環境の不備により、異物が発生・混入し、塗布膜の均一性や密着性を損なう。

作業者の介在による汚染

クリーンルーム内での作業者の衣服や皮膚、使用する器具などから発生する異物が、塗布工程に持ち込まれるリスクがある。

装置内部からの発生

フォトレジスト塗布装置の摩耗部品や、内部構造からの微細な剥離物、洗浄不足による残留物が異物源となる。

対策

クリーン環境の徹底管理

クリーンルームの清浄度維持、エアシャワー・クリーンベンチの活用、定期的な清掃・メンテナンスを実施し、外部からの異物侵入を防ぐ。

フォトレジスト液の厳格な管理

専用のフィルターを通したフォトレジスト液の使用、適切な温度・湿度での保管、開封後の迅速な使用を徹底し、液質を維持する。

自動化・無人化の推進

人の介在を最小限にするため、自動搬送システムやロボットアームを活用し、作業者由来の汚染リスクを低減する。

装置の最適化と保守

異物発生源となりうる部品の材質選定、定期的な点検・部品交換、徹底した洗浄・乾燥を行うことで、装置内部からの汚染を防止する。

対策に役立つ製品例

高精度フィルターシステム

フォトレジスト液を微細な異物から濾過し、塗布液の純度を維持することで、塗布膜への異物混入を防ぐ。

クリーンルーム用空気清浄装置

室内の浮遊微粒子を効率的に除去し、清浄度を維持することで、製造環境からの異物付着リスクを低減する。

自動塗布・検査装置

人の手を介さずに均一な塗布と異物検査を自動で行い、作業者由来の汚染や塗布ムラによる欠陥を排除する。

特殊素材製塗布ノズル

摩耗しにくく、微細な剥離物を発生させにくい素材で作られたノズルを使用することで、装置内部からの異物発生を抑制する。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

異物混入の排除とは？課題と対策・製品を解説

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

フォトレジスト塗布における異物混入の排除とは？

各社の製品

フォトレジスト塗布における異物混入の排除

フォトレジスト塗布における異物混入の排除とは？

​課題

微細異物の付着・混入

塗布液の品質劣化

作業者の介在による汚染

装置内部からの発生

​対策

クリーン環境の徹底管理

フォトレジスト液の厳格な管理

自動化・無人化の推進

装置の最適化と保守

​対策に役立つ製品例

高精度フィルターシステム

クリーンルーム用空気清浄装置

自動塗布・検査装置

特殊素材製塗布ノズル

課題

対策

対策に役立つ製品例