イオン注入装置の安定稼働とは？課題と対策・製品を解説

『イオン注入装置　ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、 Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。 ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、 元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の 不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。 部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、 これらの問題を未然に防ぐ必要があります。 高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。 【特長】 ■各メーカーのイオン注入装置に対応 ■OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供 ■新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

セミバック株式会社より、「イオンゲージチューブ」のご案内です。

両極とも真空管を採用している為、安定したプラズマ生成が可能になりました。

福興システムの取り扱う『簡易型APC駆動電源』についてご紹介します。 当製品は、簡単な操作でレーザーダイオード(LD)のACC(定電流)/ APC(定光出力)駆動が可能。また、インターフェースはRS232Cと USBを標準装備しています。 尚、ジョグダイヤル、照光式スイッチ、トグルスイッチにより 操作が行えます。 【特長】 ■小型 ■軽量 ■インターフェースはRS232CとUSBを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

1. DDR3 Hynix オリジナルDRAMチップ 2. DDR4 Hynix/SamsungオリジナルDRAMチップ 3. 迅速なサンプル注文の為の完璧な在庫ポートフォリオ 4. 産業用途アプリケーション向けの長期供給と固定BOM

『AT-520』は、VCSEL モジュール用の定電流/定電圧駆動電源です。 最大16チャンネル (1ボード4ch×4) の同時駆動が可能。 駆動条件はチャンネル毎に設定することができます。 また、インターフェースはRS-485とUSBを標準装備しています。 その他製品に関する詳細は、お問い合わせください。 【特長】 ■小型 ■最大16チャンネル (1ボード4ch×4) の同時駆動が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『オリジナルイオンゲージケーブル』は、接触不良や断線を起こしにくい ケーブルです。 イオンゲージ側のコネクターを廃止し、ケーブルの柔軟性と耐久性を よりよくする為の素材を選抜しました。 イオンゲージのPINに差し込む際も従来品より簡単かつ外れにくく、 ピンを1本差し替えるだけでフィラメントの入れ替えが可能です。 【特長】 ■コネクターの接触不良が減少 ■ケーブルの柔軟性がUP ■配線が容易 ■取付簡単、クリップと5本差し込むだけでOK ■フィラメントの交換もスムーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「アルミナセラミックス」は、ファインセラミックの中でも、 非常に汎用性のある素材です。 アルミナは、耐食性や耐摩耗性、機械的強度の高さに加え、高い 電気絶縁性を兼ね備えていることから、構造材料や耐摩耗材料、 電気部品などに幅広く利用。 また、強化アルミナ系は、機械的強度や放熱性、破壊靭性が高く、 特に対衝撃部材、対磨耗部材の用途に向いています。 【アルミナ系の特長】 ■サファイヤと同じ結晶、コランダム(α-Al2O2)の結晶体 ■機械的強度が高く、ダイヤモンドに次ぐ硬さを持つ ■耐磨耗性・熱伝導性・耐熱性に優れる ■電気的にも高温絶縁性や高周波特性に優れる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。