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プロセスの安定化とは？課題と対策・製品を解説

露光・現像におけるプロセスの安定化とは？

半導体製造における露光・現像プロセスは、微細な回路パターンをウェハー上に形成する極めて重要な工程です。このプロセスの安定化とは、製造条件の変動や外部要因の影響を最小限に抑え、常に均一で高品質なパターン形成を実現することを指します。これにより、歩留まり向上、製品性能の安定、そして製造コストの削減に繋がります。

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【電子機器向け】パレット管理システムで製品追跡

株式会社サノテック

電子機器業界では、製品の追跡と在庫管理が重要です。特に、部品の紛失や誤出荷は、生産効率の低下や顧客からのクレームにつながる可能性があります。当社のパレット管理システムは、QRコードと端末を活用し、パレット単位での製品追跡を可能にします。これにより、在庫管理の精度向上と、誤出荷のリスクを低減します。【活用シーン】・電子機器製造工場での部品管理・倉庫での製品保管と出荷管理・修理品の追跡【導入の効果】・在庫管理の効率化・誤出荷防止・トレーサビリティの向上

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【半導体製造向け】磁石ユニット（磁石組立品）

青山特殊鋼株式会社

半導体製造業界のウェハ搬送工程では、微細な製品を安定して移動させるための高精度な磁場制御が求められます。特に搬送時の振動抑制や磁気漏洩の防止は、製品の歩留まり向上に直結する重要な要素です。不適切な磁場設計は、搬送精度の低下や周辺機器への悪影響を招く恐れがあります。当社の磁気ユニットは、独自の磁場解析と構造解析に基づき、お客様の搬送システムに最適な磁気回路を設計・提供することで、これらの課題解決に貢献します。【活用シーン】・清浄さが求められるクリーン仕様・ウェハ搬送装置の駆動・保持ユニット・磁気浮上式搬送システムの磁気回路構成・搬送時の磁気漏洩対策が必要な環境【導入の効果】・高精度な磁場分布による搬送の安定化・シミュレーションによる磁気漏洩の最小化・用途に合わせた最適な磁石材質・寸法の選定

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【半導体ファウンドリ】装置保守の属人化解消・知見活用支援サービス

株式会社ジェムコ・コーオペレーションズ

半導体ファウンドリ業界では、製造装置の微細化・複雑化に伴い、ダウンタイムを最小限に抑える安定稼働が極めて重要です。しかし、保守業務が熟練工の経験や勘に依存している場合、特定の作業者不在時に対応が遅れ、稼働率低下のリスクが生じます。本サービスは、熟練工の判断基準を整理・形式知化することで、若手技術者への円滑な技術移管を実現し、組織的な保守体制を構築することでダウンタイムの短縮を支援します。【活用シーン】・熟練工の引退に伴う保守技術の断絶防止・特定の作業者しか対応できない装置メンテナンスの標準化・若手技術者への保守教育の効率化と体制構築【導入の効果】・暗黙知の形式知化による保守技術の継承加速・属人化解消による装置稼働の安定化・専門人材の役割再設計による保守チームの組織力強化

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【半導体向け】露光装置で微細化プロセスを支援！

株式会社三明

半導体業界では、デバイスの高性能化に伴い、微細化技術が不可欠です。微細化プロセスにおいては、高精度な露光技術が求められ、製造プロセスの品質と歩留まりを左右します。露光装置の選定は、製品の信頼性向上、歩留まり改善に繋がります。当社露光装置は、MEMSデバイスの研究開発から少ロット・多品種、量産まで対応し、お客様の微細化プロセスを強力にサポートします。【活用シーン】・MEMSデバイス製造・半導体ウェーハへのパターン露光・微細加工プロセス【導入の効果】・高精度な露光による歩留まり向上・多様なデバイスへの対応・ローコストでの量産体制構築

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【半導体向け】基板トレサビ印字 CO2レーザマーカー

株式会社堀内電機製作所

半導体業界では、ウェーハの製造プロセスにおけるトレーサビリティの確保が重要です。ウェーハIDを正確に印字することで、製造工程の追跡、品質管理、不良品の早期発見が可能になります。特に、微細加工技術が進む中で、正確なID管理が製品の歩留まりと信頼性を左右します。当社の基板トレサビ印字 CO2レーザマーカーは、ウェーハにIDを印字することで、トレーサビリティを向上させます。【活用シーン】・ウェーハへのロット番号、製造情報、日付などの印字・製造ラインでのウェーハID印字・検査工程でのID読み取り【導入の効果】・トレーサビリティの向上による品質管理の強化・製造プロセスの効率化・不良品の早期発見と対応・製品信頼性の向上

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【半導体製造装置向け】RedHawk Linux

コンカレント日本株式会社

半導体製造装置の分野では、高度な制御と精密な動作が求められます。製造プロセスにおけるわずかな遅延やエラーは、製品の品質低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。リアルタイムOSは、これらの課題に対し、正確なタイミング制御と高い信頼性を提供することで、製造効率の向上に貢献します。RedHawk Linuxは、5マイクロ秒未満のイベント応答を保証し、半導体製造装置のミッションクリティカルな環境に安全性を提供します。【活用シーン】・半導体製造装置の精密制御・ウェーハ搬送システムのリアルタイム制御・検査装置の高速データ処理【導入の効果】・製造プロセスの安定化・歩留まりの向上・装置の高性能化

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【電子部品向け】安全を確保した化学吸着剤

株式会社ジェイエムエス

電子部品業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造工程における環境管理が重要視されます。特に、洗浄工程においては、微細な汚染物質の除去が製品の性能に直接影響を与えます。不適切な環境下での洗浄は、部品の故障や性能低下の原因となり得ます。当社の化学吸着剤「Purafil SP」は、酸化材に過マンガン酸ナトリウムを使用し、従来の過マンガン酸カリウム製剤と比較して酸化剤の充填量を増やし、酸化力を強化しています。安全性を確保しながら、窒素酸化物、ホルムアルデヒド、亜硫酸ガスなどを酸化反応で除去し、洗浄工程における環境を清浄に保つことが可能です。【活用シーン】・電子部品の洗浄工程における空気清浄・製造ライン周辺のガス除去・クリーンルーム内の環境維持【導入の効果】・洗浄工程における汚染リスクの低減・製品の品質安定化・製造環境の改善

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【半導体製造向け】装置保守の属人化解消・知見活用支援サービス

株式会社ジェムコ・コーオペレーションズ

半導体製造業界では、微細化・複雑化する製造装置の保守において、熟練工の経験や勘に頼る場面が多く、技術継承が重要な課題となっています。特定の作業者に依存した保守体制は、装置のダウンタイム長期化や品質維持のリスクを招く可能性があります。本サービスは、熟練工が持つ装置保守の判断基準を整理・形式知化することで、若手技術者への円滑な技術移管と、組織的な保守体制の構築を支援します。【活用シーン】・熟練工の引退に伴う保守技術の断絶防止・特定の作業者しか対応できない装置メンテナンスの標準化・若手技術者への保守教育の効率化と体制構築【導入の効果】・暗黙知の形式知化による保守技術の継承加速・属人化解消による装置稼働の安定化・専門人材の役割再設計による保守チームの組織力強化

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【半導体製造装置向け】装置保守の属人化解消・知見活用支援サービス

株式会社ジェムコ・コーオペレーションズ

半導体製造装置メーカーでは、装置の微細化・複雑化に伴い、保守業務における熟練工の経験や勘への依存が課題となっています。特定の作業者に依存した保守体制は、装置のダウンタイム長期化や品質維持のリスクを招く可能性があるため、技術の標準化と円滑な継承が不可欠です。本サービスは、熟練工が持つ判断基準を整理・形式知化することで、若手技術者への技術移管と組織的な保守体制の構築を支援します。【活用シーン】・熟練工の引退に伴う保守技術の断絶防止・特定の作業者しか対応できない装置メンテナンスの標準化・若手技術者への保守教育の効率化と体制構築【導入の効果】・暗黙知の形式知化による保守技術の継承加速・属人化解消による装置稼働の安定化・専門人材の役割再設計による保守チームの組織力強化

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【電子部品向け】ラベルプリンター【Bepop】ロット管理に！

マックス株式会社

電子部品業界では、製品のトレーサビリティ確保のため、正確なロット管理が求められます。特に、製造から出荷までの各工程で、正確なロット情報を記録し、迅速に識別できる表示が必要です。不適切な表示や管理は、誤出荷や品質問題につながるリスクを高めます。ラベルプリンター【Bepop】は、現場で必要なロット管理ラベルを、必要な時に必要な数だけスピーディに作成できます。【活用シーン】・製造ラインでの部品識別・在庫管理におけるロット番号表示・出荷時の製品トレーサビリティ確保

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【半導体向け】露点計モニターボックス TKZH001Y

株式会社テクネ計測

半導体業界では、製造プロセスの品質を維持するために、空気中の水分量を厳密に管理することが重要です。微量の水分でも、製品の歩留まりや性能に悪影響を及ぼす可能性があります。露点計モニターボックス TKZH001Yは、露点計の表示器として、半導体製造環境における清浄度管理をサポートします。【活用シーン】・クリーンルーム内の露点監視・製造装置への露点計接続・乾燥空気供給ラインの水分管理【導入の効果】・露点計の設置と運用が容易になります。・清浄度管理に必要な情報を一元管理できます。・製品の品質安定に貢献します。

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【IoT 無線検証向け】MXO3 オシロスコープ

丸文通商株式会社

IoTデバイスの無線検証においては、電波の品質を正確に把握し、問題点を迅速に特定することが重要です。電波干渉や信号の歪みは、デバイスの通信性能を低下させる原因となります。MXO3オシロスコープは、高速波形取込みと高確度な測定能力により、無線信号の異常を詳細に分析し、IoTデバイスの信頼性向上に貢献します。【活用シーン】・無線LAN、Bluetooth、Zigbeeなどの無線通信評価・電波干渉の特定と対策・信号品質の評価・プロトコル解析【導入の効果】・無線通信のトラブルシューティング時間の短縮・製品開発サイクルの短縮・製品の品質向上

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【半導体製造向け】連結して増設できるメタルマスク収納棚

株式会社ヨシカワ

半導体製造では、クリーンルーム内の限られたスペースで、開発や試作の進行に合わせてメタルマスクを整理・保管する必要があります。連結式なら、保管量の増減に応じて段階的に拡張できます。

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【半導体製造向け】組立支援プロジェクションアッセンブリーシステム

三共精機株式会社

半導体製造業界の検査補助においては、微細な部品の正確な配置や、複雑な手順の確実な実行が求められます。特に、検査工程での誤りは製品の品質に直結し、重大な不良につながる可能性があります。経験の浅い作業者でも、指示された通りに正確な作業を行うことが重要です。プロジェクションアッセンブリーシステムは、これらの課題に対し、作業指示の可視化と作業結果のデータ化により、検査補助の精度向上と効率化を支援します。【活用シーン】・半導体部品の検査補助・微細部品の正確な配置指示・複雑な検査手順のナビゲーション【導入の効果】・検査ミスの削減・作業時間の短縮・作業品質の安定化

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【産業用ロボット向け】SMTネジ端子ライトアングルタイプ

株式会社アクアス

産業用ロボット業界では、高精度な位置決めが求められます。ロボットアームの正確な動作は、製品の品質と生産効率を左右する重要な要素です。特に、基板実装においては、部品の正確な配置が不可欠であり、わずかなズレが不良品の発生につながる可能性があります。当社のSMTネジ端子ライトアングルタイプは、自動実装プロセスに対応し、高精度な位置決めを実現することで、産業用ロボットの性能向上に貢献します。【活用シーン】・基板対基板、基板対パネルの固定・L字ブラケットの置き換え【導入の効果】・自動実装プロセスへの対応・高精度な位置決めによる品質向上・作業効率の改善

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【半導体向け】必要機能に絞ったシンプルなメタルマスク用収納棚

株式会社ヨシカワ

半導体製造の現場では、メタルマスクをクリーンに保管し、必要な時にスムーズに取り出せることが重要です。とはいえ、保管量によっては大型棚までは不要で、まずは整理しやすい収納設備を導入したい場合もあります。当社のメタルマスク用収納棚は、650×550×30mmの枠付きメタルマスクを30枚/台収納可能。スライド式の仕切りにより、手袋着用時でも出し入れしやすく、省スペースでの保管をサポートします。【別タイプもご用意しています】・多枚数を保管したい場合：52枚収納タイプ　棚1台の価格だけでなく、1枚あたりの保管コストを抑えたい場合に適しています。・必要な分から段階的に導入したい場合：連結式タイプ　初期投資を抑えながら、保管枚数の増加に合わせて増設できます。

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【研究開発向け】HIWINウエハアライナー

ハイウィン株式会社

研究開発分野における試作工程では、ウエハの正確な位置合わせが、実験の再現性や精度の向上に不可欠です。特に、微細加工や高度なデバイス製造においては、ウエハの位置ずれが、実験結果の信頼性を大きく損なう可能性があります。HIWINウエハアライナーは、高速・高精度なアライメント性能により、試作工程における課題を解決します。【活用シーン】・半導体デバイスの研究開発・MEMSデバイスの試作・光学デバイスの試作【導入の効果】・実験の再現性向上・歩留まりの改善・研究開発期間の短縮

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【半導体製造向け】UL182 長尺高可動ワークステーション

株式会社アクアス

半導体製造ライン、特にウェハー搬送においては、精密な作業とリアルタイムでの情報確認が求められます。限られたスペースで、オペレーターが常に最適な位置でモニターとキーボードを操作できる環境は、作業効率とミスの削減に直結します。しかし、固定式の機器では、作業者の姿勢や搬送ラインの状況に応じて、機器の位置調整が困難な場合があります。当製品UL182長尺高可動ワークステーションは、このような課題に対し、モニターとキーボードを一体で設置し、必要な作業位置まで大きく引き出すことが可能です。これにより、オペレーターは常に快適な姿勢で作業に集中でき、ウェハー搬送プロセスの安定化に貢献します。【活用シーン】・ウェハー搬送ラインでのリアルタイム監視・クリーンルーム内での機器操作・限られたスペースでの作業効率向上【導入の効果】・オペレーターの作業負担軽減・操作ミスや確認漏れの削減・生産ラインの安定稼働支援

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【電子部品向け】MBW973 鏡面冷却式露点計

株式会社テクネ計測

電子部品業界の品質管理において、製品の信頼性を確保するためには、湿度管理が重要です。特に、吸湿性の高い部品や、湿度の影響を受けやすい製造プロセスにおいては、正確な露点測定が不可欠です。不適切な湿度管理は、製品の性能劣化や不良品の発生につながる可能性があります。MBW973 鏡面冷却式露点計は、高精度な露点測定により、電子部品の品質管理を支援します。【活用シーン】・電子部品製造におけるクリーンルーム内の湿度管理・半導体製造プロセスにおける露点管理・品質管理部門での製品検査【導入の効果】・高精度な露点測定による品質向上・不良品発生率の低減・製造プロセスの最適化・製品の信頼性向上

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【半導体向け】精密空調機PAUシリーズ

株式会社アピステ

半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、微細加工や高度な製造技術においては、温度のわずかな変動が歩留まりや性能に大きな影響を与える可能性があります。精密な温度管理は、製品の信頼性を確保し、不良品の発生を抑制するために不可欠です。アピステの精密空調機PAUシリーズは、温度±0.1℃、湿度±0.5％RHという超高精度な制御を実現し、半導体製造における厳しい温湿度管理のニーズに応えます。大型空調機と比較して、短時間かつ低コストでの導入が可能です。【活用シーン】・クリーンルーム・検査室・製造ライン・研究開発施設【導入の効果】・温度・湿度の安定化による歩留まり向上・製品品質の安定化・製造プロセスの最適化・省エネルギー化

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設備把握と保全迅速化｜半導体×Orizuru 3D

株式会社コアコンセプト・テクノロジー

半導体業界では、クリーンルーム内の特殊設備を安定稼働させるために、設備情報の正確な把握と迅速な保全対応が重要です。特に、図面が残っていない設備では、構造確認や必要部品の特定に時間を要し、保全業務の負担が大きくなります。Orizuru 3Dは、3Dデータから設備情報を直感的に把握できる環境を提供し、保全対応や部品確認の迅速化を支援します。【活用シーン】・クリーンルーム内の老朽化した設備の部品調達・図面がない場合の部品特定・3Dデータからの部品手配【導入の効果】・2D図面作成が不要になり、調達業務の効率化・部品調達時間の短縮・設備の安定稼働に貢献

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【半導体製造向け】ガルバニ式低価格酸素濃度計

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム内の環境管理が重要です。特に、酸素濃度は、製品の酸化や劣化に影響を与えるため、厳密な管理が求められます。不適切な酸素濃度管理は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。Model 201LC/2001LCは、ppmレベルおよびパーセントレベルでの酸素濃度測定が可能であり、クリーンルームの酸素濃度管理に貢献します。【活用シーン】・クリーンルーム内の酸素濃度監視・製造プロセスにおける酸素濃度のモニタリング・ガス供給ラインの酸素濃度測定【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・製造コストの削減

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【半導体向け】計測におけるトレーサビリティ

ビカ・ジャパン株式会社

半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、計測の正確性が不可欠です。特に、微細加工技術が求められる分野においては、計測結果のトレーサビリティが重要となります。不確かな計測は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。本資料は、計測におけるトレーサビリティ、不確かさ、校正の重要性など、基礎知識を分かりやすく解説します。【活用シーン】・半導体製造プロセスの品質管理・研究開発における計測データの信頼性確保・製造現場での計測器の適切な管理【導入の効果】・計測データの信頼性向上・製品の品質向上・歩留まりの改善

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【半導体向け】重量物搬送AMRソリューション Roboware

三共精機株式会社

半導体業界では、微細な異物混入を防ぎながら、重量のある部材や資材を正確かつ安全に搬送することが求められます。特に、クリーンルーム内での搬送においては、人の移動による汚染リスクを低減し、安定した生産ラインを維持することが重要です。 Robowareは、最大1.5tクラスの重量物搬送に対応したAMR・AGVを活用し、これらの課題を解決します。【活用シーン】・クリーンルーム内での工程間搬送・重量のある半導体材料や装置の搬送・ピッキング、仕分け、保管作業の自動化【導入の効果】・クリーン度を維持した安全な搬送・搬送作業の省人化と効率化・生産ラインの安定稼働と生産性向上

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【半導体向け】高分子式露点計 TE-660TR

株式会社テクネ計測

半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度管理が非常に重要です。特に、製造プロセスにおける微量な水分は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。高分子式露点計 TE-660TRは、-60 ℃dpまでの低露点範囲を測定し、高精度な水分管理を実現することで、半導体製造における品質向上に貢献します。【活用シーン】 * クリーンルーム内の露点管理 * 製造プロセスにおける乾燥空気の露点監視 * 半導体製造装置への組み込み【導入の効果】 * 製品の歩留まり向上 * 品質管理の効率化 * 製造コストの削減

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【電子機器向け】クラウド型生産管理システム『GEN』

株式会社CMC Solutions

電子機器業界の部品管理では、正確な在庫数の把握と、適切なタイミングでの部品補充が重要です。過剰な在庫は保管コストを増大させ、不足は生産の遅延を招く可能性があります。クラウド型生産管理システム『GEN』は、在庫管理機能を備え、リアルタイムな在庫状況の可視化を実現します。これにより、適切な部品管理が可能となり、コスト削減と生産効率の向上に貢献します。【活用シーン】・電子機器製造業における部品管理の効率化・リアルタイムな部品在庫状況の把握・過剰在庫・在庫不足の防止【導入の効果】・部品管理コストの削減・生産効率の向上・正確な部品管理による機会損失の防止

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【電子部品製造向け】制御不要の直角方向転換機「マジックローラQ」

株式会社東邦大信

電子部品製造業界において、基板搬送では、生産ラインの連続性と正確な位置決めが求められます。特に、限られたスペースでの効率的なレイアウト構築や、搬送中の基板へのダメージ抑制が重要視されます。従来の搬送ラインでは、直角方向への転換時に停止や昇降が必要となり、サイクルタイムの増加や複雑な制御が課題となるケースがありました。「マジックローラQ」は、停止・昇降なしで直角方向への90度転換を可能にし、これらの課題を解決します。【活用シーン】・限られたスペースでの搬送ラインレイアウト構築・基板の連続的な搬送・自動化された生産ライン【導入の効果】・サイクルタイムの短縮による生産性向上・搬送ラインの省スペース化・搬送物への負担軽減

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【電子機器向け】rBOM導入事例集

DAIKO XTECH株式会社

電子機器業界における部品管理では、正確な在庫管理と効率的な調達が求められます。特に、多品種少量生産や製品サイクルの短い製品においては、部品の過不足や納期遅延が、生産効率の低下や機会損失につながる可能性があります。rBOM導入事例集は、これらの課題に対し、一元管理による業務効率化を実現した事例を紹介します。rBOMの導入は、部品管理の最適化に貢献します。【活用シーン】 * 部品表の作成と管理 * 在庫管理の効率化 * 調達業務の最適化【導入の効果】 * 部品の過不足を削減 * 納期遅延のリスクを低減 * 生産効率の向上

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微細穴加工を安定化する高密度ロールブラシ

株式会社共伸技研

フィルムに微細な穴をあける有孔機では、針ロールによる加工時にフィルムがズレたり、破れたりすることがあります。特に薄いフィルムや柔らかいフィルムでは、針の圧力が局部的にかかることで、安定した穴あけ加工が難しくなる場合があります。共伸技研では、有孔機の針ロールに対向する受け側部品として、高密度ロールブラシの製作に対応しています。ロールブラシの毛がフィルムをやさしく支えながら、針の圧力を分散することで、フィルムのズレや破れを抑え、安定した穴あけ加工に貢献します。また、加工条件に応じて毛材やブラシ密度を調整でき、耐熱性が求められる用途ではPFA（テフロン系フッ素樹脂）やPPSなどの耐熱毛材にも対応可能です。

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【半導体製造向け】HIWINウエハアライナー

ハイウィン株式会社

半導体製造業界では、ウエハの正確な位置合わせが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術が進む中で、位置合わせの精度はますます重要になっています。位置ずれは、回路パターンの不良やデバイスの性能低下を引き起こす可能性があります。HIWINウエハアライナーは、高速・高精度な位置合わせを実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。【活用シーン】・ウエハの搬送・露光装置への位置合わせ・検査装置への位置合わせ【導入の効果】・位置合わせ時間の短縮・歩留まりの向上・製造コストの削減

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【現像装置】均一な処理と搬送安定性を実現する高信頼モデル

株式会社トーア電子

『現像装置』は、露光処理後のパターニング現像を行う装置です。当社独自のスプレー配列により、基材全体を均一に処理可能。さらに、基材の蛇行やスリップによるレジスト損傷を防ぎ、常に安定した現像品質を確保します。また、現像チャンバーの蓋を大きく開口できる設計とし、メンテナンス性に優れた構造を実現しました。【特長】 ■ 均一な現像処理を実現 ■ スリップレス搬送で安定処理 ■ 蛇行によるレジスト損傷を軽減 ■ 優れたメンテナンス性 ※詳細は下記よりお問い合わせください https://toagrp.co.jp/contact

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精密洗浄サービス(ウェット洗浄)

株式会社エム・エー・シーテクノロジー

株式会社エム・エー・シーテクノロジーの洗浄再生事業部では、『精密洗浄サービス(ウェット洗浄)』を行っております。半導体製造装置の部品を中心にこれまで培ってきた知識・経験を活かし、母材・生成物の状況に応じて薬剤を選定し、ウェット洗浄サービスを展開。また、イオン注入、スパッタ、CVD装置の構成部品を中心に精密洗浄を行い、拡散炉、エッチング、リソグラフィ工程の精密洗浄も対応可能です。【対象材質品目】 ■石英 ■セラミック ■ステンレス ■モリブデン ■タングステン等の各種金属や樹脂部品 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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含有調査・トレーサビリティ対応！国内製造の完全禁油ボールバルブ

株式会社ハマイ

「仕様が変わっていた」「含有調査の資料が出せない」「納期が読めない」――。そんな海外製品の不安も、ハマイなら国内製造の徹底管理で応えます。当社のボールバルブは、国内自社工場で製造・組立・洗浄まで一貫対応。半導体製造装置に求められるトレーサビリティと完全禁油品質を両立し、安心してご利用いただけます。【特長】・国内製造：小径バルブでは希少な「純国産」。・完全トレーサビリティ：組立から出荷まで自社一貫管理。・完全禁油対応：部品組立前に徹底洗浄、油脂の残留ゼロ。・短納期対応：在庫を持っているため、すぐ入手可能（※）・安全性強化：ロックアウト機能付きバルブもラインナップ。 ※数量が纏まる場合はご相談下さい。【導入事例集を無料進呈中】半導体製造装置での導入事例集を公開中！PDFよりダウンロードください。 ※オーダーメイド／カスタマイズにも対応詳しくは、［東京本社］TEL 03-3492-6655＜受付担当／第二営業＞までお問合せください。

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現像装置『GX-40D』

株式会社山縣機械

『GX-40D』は、それぞれ個別に圧力調節が行える上下8本のノズルパイプを採用した現像装置です。主に、ドライフィルムレジスト現像や液状レジスト現像の研究開発などの用途に適しています。【特長】 ■それぞれ個別に圧力調節可能な上下8本のノズルパイプ ■水平方向のノズルパイプオシレーション ■カラー液晶のタッチパネルで操作が簡単 ■薬液処理時間を入力すれば、コンベアスピードを自動調節 ■薬液の出し入れがしやすい、サイドタンクとドレン口の高さ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ケミカルサーキュレータ

日本エクセル株式会社

日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度にコントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため剥離による能力低下もありません。【特長】 ■薬液の温度を高精度にコントロール ■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度 ■国際保護規格IP31に適合 ■漏液センサ、温度スイッチを内蔵 ■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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FPD製造装置ローダアンローダ及び搬送システム

日本電産サンキョー株式会社

当社のFPD搬送ロボットを使ったローダアンローダシステムをご紹介いたします。各工程では、カセットステージ、基板のアライメント、旋回ターン、基板を天地反転するターンオーバー等のユニットが必要になり、必要に応じた専用のユニットを含めてラインを構築。液晶基板製造工場で、ARRAY、CF、CELL工程でインデクサやインラインシステムの納入実績があります。【特長】 ■適したレイアウトでのインラインシステム構築を提案 ■ご要望タクトに適切な装置レイアウトを提案 ■装置や周辺装置やロボット取り合い決定に貢献 ■IoTによる全体オートメーションの構築 ■装置間の通信や情報収集、管理を含む装置間インタフェース仕様 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フィルタ『CS型ケミカルフィルタ』

株式会社ダン・タクマ

『CS型ケミカルフィルタ』は、フィルタメディアに通気性に優れた基材を使っており低圧損を実現した、FFU搭載に最適なケミカルフィルタです。イオン交換樹脂を使用しているので、超純水製造装置と同じ原理で、酸・アルカリガスを除去し、高い除去効率を実現します。また、粒状活性炭を充填していますので、吸着率がとても大きく、高沸点有機物除去に有効です。さらに、サイジング加工が容易なメディアになり、ユーザーのニーズに合わせて自由な設計が可能です。お気軽にご相談下さい。【特長】 ■FFU搭載に最適 ■イオン交換樹脂採用 ■高い除去効率 ■高沸点有機物除去に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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オンラインUPWホウ素計 Sievers Boron Ultra

セントラル科学株式会社

超高感度検出：0.010～100 ppb B、定量下限0.030 ppb B 迅速な測定：3分または6分の測定サイクル選べる流路構成：1流路／2流路モデル直感的な操作：10.1インチのマルチカラータッチスクリーン高い防塵・防水性能：IP45等級取得多様な出力対応：アナログ出力、RS-232、Modbus TCP/IPなど

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リソグラフィシミュレータ　PROLITH

リソテックジャパン株式会社

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

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スピン現像装置

株式会社メープル

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。【特長】 ●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。 ●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して　ノズルの移動が任意に設定可能。 ●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。 ※詳細は【資料請求】まで

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大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

株式会社ダイヘン

■３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング ■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ソフトウェア『HyperLith(TM)』

株式会社インターソフト

『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、 EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。 LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連のパターンをGDSファイルにエクスポートできるようになったのでテストマスクの作成に役立てることができます。【特長】 ■Polarization、Aberrations、Resistをサポ―ト ■ハードウェア加速処理機能、並列処理機能、分散処理計算機能のサポート ■WindowsとLinuxをサポート ■.simファイルとしてEM-Suiteへexport ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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LCD超高圧洗浄装置

株式会社山縣機械

当社では、超高圧ジェットによる洗浄を行う『LCD超高圧洗浄装置』を取り扱っております。 20MPaの超高圧ジェットで、洗浄力アップ。その他、回転ブラシにより洗浄を行う『LCDブラシ洗浄装置』もご用意しております。【特長】 ■独自の搬送システムでスモールLCD（0.4t/30×30mm）基板を枚葉搬送 ■エアナイフシステムによりワークを完全乾燥　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『静電容量式タッチパネル受託加工』のご案内

ウインドゥ・タッチ株式会社

当社では、静電容量式タッチパネルのITOパターン・周縁電極回路の形成加工をロールtoロール、または枚葉で写真法を用いて加工を行っております。少量生産から試作規模まで対応いたしますので、ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【概要】 ■フィルム材料幅：330mm幅 ■ITOパターン：L/S-30μm/30μm 　材料は原則客先支給　電極回路パターン：二層 ITO/Cu…L/S-30μm/30μm 　　　　　　　　　　感光銀ペースト…L/S-30μm/30μm ■標準納期：2週間(生産量の多少で若干変動要) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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不純物の混入を防ぐ　完全禁油ボールバルブ　純水装置等に実績有

株式会社ハマイ

禁油製品が長納期でお困りの方へ。高品質な禁油ボールバルブを今すぐお手元へ。【禁油処理って何？】一般的な製品では、円滑に動かす為に、ボールバルブ内部に潤滑油を使用しております。その潤滑油を除去する処理です。【禁油の目的】潤滑油のような不純物・油分の混入が問題になる清浄環境で使用致します。純水装置等のご使用に適しています。【ハマイの禁油製品の特徴】 ●部品組立前の洗浄処理で、グリスの洗い残しが有りません。 ●ロット生産で在庫保有。 ●更なる清浄環境で使用の方にも対応可（完成品再洗浄・クリーンルーム下作業等） ●黄銅・ステンレス製品でご準備有り。 ●省スペース用の蝶ハンドルもラインナップ。【ハマイのボールバルブについて】ハマイの産業用ボールバルブは、これまで主に車載・半導体製造装置・一般産業用において、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ大量供給実績（ＯＥＭ）を誇る業界屈指の高性能ボールバルブです。各社の純正部品に採用される等、独自機能の開発や、ボールバルブへ求めるニーズに、圧倒的なクオリティでお応え致します。

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ケミカルヒータ

日本エクセル株式会社

日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いています。さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能です。【特長】 ■加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用 ■溶出金属イオンによる汚染の心配がない ■表面保護膜不要のため、剥離による能力低下がない ■酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能 ■薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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HIWIN ウエハロードポート

ハイウィン株式会社

ウエハロードポートHLPシリーズは、 8インチ・ 12インチ製品の搬入出に対応する共用型ロードポートです。 FOUP/FOSBに直接接続でき、 8インチオープンカセット用のアダプター(8OCA)をオプションで選択可能です。

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ガラス基板及び有機膜の洗浄剤 GC3000ER/EC

株式会社テクノス・ジャパン

液晶ディスプレイ（LCD）で世界をリードする韓国より、高性能かつ低価格な精密洗浄剤、信頼のBEX社製「GCシリーズ」をご提案いたします。

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マスクアライナー

ミカサ株式会社

■マルチミラーランプハウス採用により均一性の高い照度分布。 ■各種自動機構部採用により操作性が向上したセミオートでの使用も可能。 ■アライメント顕微鏡は三眼鏡筒を採用。モニターでのアライメントも可能(オプション)。

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禁油処理の基礎知識・選定ガイド集【資料進呈中】

株式会社ハマイ

完全禁油を誇るハマイのボールバルブ。そんなバルブメーカーとして禁油が必要な理由等を解説した基礎知識の資料です。【掲載内容】・使用業界、使用事例集・一般的な禁油品の説明・非禁油品を使用した場合の問題

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露光・現像におけるプロセスの安定化

露光・現像におけるプロセスの安定化とは？

課題

微細パターン形成におけるばらつき

回路パターンの微細化が進むにつれて、露光時の光量や焦点のわずかなずれ、現像液の濃度や温度の変動が、パターン形状のばらつきや欠陥に直結しやすくなっています。

環境要因による影響

製造ライン内の温度、湿度、清浄度などの環境変化が、露光・現像プロセスに影響を与え、再現性の低下や歩留まりの悪化を招く可能性があります。

材料特性のばらつき

フォトレジストや現像液といった材料のロット間や経時変化による特性のばらつきが、プロセスの安定性を損ない、予期せぬ不良を引き起こすことがあります。

装置の経年劣化とメンテナンス不足

露光装置や現像装置の部品の経年劣化、定期的なメンテナンス不足は、性能の低下や予期せぬ故障に繋がり、プロセスの安定稼働を妨げます。

対策

精密なプロセス制御とモニタリング

露光時の光量、焦点、現像時の温度、時間、液量などをリアルタイムで高精度に制御し、異常を早期に検知・修正するシステムを導入します。

クリーンルーム環境の徹底管理

温度、湿度、粒子数などを厳密に管理されたクリーンルーム環境を維持し、外部からの汚染や環境変動の影響を最小限に抑えます。

材料品質管理とトレーサビリティ

使用する材料の品質を厳格に管理し、ロットごとの特性評価やトレーサビリティを確保することで、材料起因のばらつきを抑制します。

予防保全と定期的な装置校正

装置の定期的な点検・メンテナンス計画を策定し、予防保全を実施するとともに、定期的な校正により装置性能を維持・管理します。

対策に役立つ製品例

高精度プロセス制御システム

露光・現像装置の各パラメータをリアルタイムで監視・調整し、微細な変動を補正することで、パターン形成の均一性を高めます。

環境モニタリング・制御装置

クリーンルーム内の温度、湿度、粒子数などを常時監視し、設定値からの逸脱を自動で補正することで、安定した製造環境を提供します。

材料特性評価・管理サービス

フォトレジストや現像液などの材料特性を詳細に評価・分析し、ロットごとのばらつきを管理することで、プロセスの再現性を向上させます。

装置予知保全・診断ツール

装置の稼働データやセンサー情報を分析し、故障の兆候を事前に検知することで、計画的なメンテナンスを可能にし、突発的な停止を防ぎます。

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検査・測定装置

材料

自動化・ITソリューション

製造装置

プロセスの安定化とは？課題と対策・製品を解説

露光・現像におけるプロセスの安定化とは？

各社の製品

露光・現像におけるプロセスの安定化

露光・現像におけるプロセスの安定化とは？

​課題

微細パターン形成におけるばらつき

環境要因による影響

材料特性のばらつき

装置の経年劣化とメンテナンス不足

​対策

精密なプロセス制御とモニタリング

クリーンルーム環境の徹底管理

材料品質管理とトレーサビリティ

予防保全と定期的な装置校正

​対策に役立つ製品例

高精度プロセス制御システム

環境モニタリング・制御装置

材料特性評価・管理サービス

装置予知保全・診断ツール

回路・パターン設計

フォトマスク作成

シリコンインゴット切断

ウェーハの研磨

ウェーハ表面の酸化

薄膜形成

フォトレジスト塗布

露光・現像

エッチング

レジスト剥離・洗浄

イオン注入

平坦化

電極形成

ウェーハ検査

ダイシング

ワイヤーボンディング

モールディング

課題

対策

対策に役立つ製品例