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半導体製造装置・材料

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プロセスの安定化とは?課題と対策・製品を解説

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露光・現像におけるプロセスの安定化とは?

半導体製造における露光・現像プロセスは、微細な回路パターンをウェハー上に形成する極めて重要な工程です。このプロセスの安定化とは、製造条件の変動や外部要因の影響を最小限に抑え、常に均一で高品質なパターン形成を実現することを指します。これにより、歩留まり向上、製品性能の安定、そして製造コストの削減に繋がります。

各社の製品

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【半導体向け】高分子式露点計 TE-660TR
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半導体製造業界では、製品の品質を左右する清浄度管理が非常に重要です。特に、製造プロセスにおける微量な水分は、製品の歩留まりを低下させる原因となります。高分子式露点計 TE-660TRは、-60 ℃dpまでの低露点範囲を測定し、高精度な水分管理を実現することで、半導体製造における品質向上に貢献します。

【活用シーン】
* クリーンルーム内の露点管理
* 製造プロセスにおける乾燥空気の露点監視
* 半導体製造装置への組み込み

【導入の効果】
* 製品の歩留まり向上
* 品質管理の効率化
* 製造コストの削減

【電子機器向け】パレット管理システムで製品追跡
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電子機器業界では、製品の追跡と在庫管理が重要です。特に、部品の紛失や誤出荷は、生産効率の低下や顧客からのクレームにつながる可能性があります。当社のパレット管理システムは、QRコードと端末を活用し、パレット単位での製品追跡を可能にします。これにより、在庫管理の精度向上と、誤出荷のリスクを低減します。

【活用シーン】
・電子機器製造工場での部品管理
・倉庫での製品保管と出荷管理
・修理品の追跡

【導入の効果】
・在庫管理の効率化
・誤出荷防止
・トレーサビリティの向上

【半導体向け】精密空調機PAUシリーズ
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半導体業界では、製造プロセスにおける温度管理が製品の品質を左右する重要な要素です。特に、微細加工や高度な製造技術においては、温度のわずかな変動が歩留まりや性能に大きな影響を与える可能性があります。精密な温度管理は、製品の信頼性を確保し、不良品の発生を抑制するために不可欠です。アピステの精密空調機PAUシリーズは、温度±0.1℃、湿度±0.5%RHという超高精度な制御を実現し、半導体製造における厳しい温湿度管理のニーズに応えます。大型空調機と比較して、短時間かつ低コストでの導入が可能です。

【活用シーン】
・クリーンルーム
・検査室
・製造ライン
・研究開発施設

【導入の効果】
・温度・湿度の安定化による歩留まり向上
・製品品質の安定化
・製造プロセスの最適化
・省エネルギー化

【半導体製造向け】ガルバニ式低価格酸素濃度計
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半導体製造業界では、製品の品質を維持するために、クリーンルーム内の環境管理が重要です。特に、酸素濃度は、製品の酸化や劣化に影響を与えるため、厳密な管理が求められます。不適切な酸素濃度管理は、歩留まりの低下や製品不良につながる可能性があります。Model 201LC/2001LCは、ppmレベルおよびパーセントレベルでの酸素濃度測定が可能であり、クリーンルームの酸素濃度管理に貢献します。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の酸素濃度監視
・製造プロセスにおける酸素濃度のモニタリング
・ガス供給ラインの酸素濃度測定

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・製造コストの削減

【半導体向け】計測におけるトレーサビリティ
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半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、計測の正確性が不可欠です。特に、微細加工技術が求められる分野においては、計測結果のトレーサビリティが重要となります。不確かな計測は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。本資料は、計測におけるトレーサビリティ、不確かさ、校正の重要性など、基礎知識を分かりやすく解説します。

【活用シーン】
・半導体製造プロセスの品質管理
・研究開発における計測データの信頼性確保
・製造現場での計測器の適切な管理

【導入の効果】
・計測データの信頼性向上
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【研究開発向け】HIWINウエハアライナー
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研究開発分野における試作工程では、ウエハの正確な位置合わせが、実験の再現性や精度の向上に不可欠です。特に、微細加工や高度なデバイス製造においては、ウエハの位置ずれが、実験結果の信頼性を大きく損なう可能性があります。HIWINウエハアライナーは、高速・高精度なアライメント性能により、試作工程における課題を解決します。

【活用シーン】
・半導体デバイスの研究開発
・MEMSデバイスの試作
・光学デバイスの試作

【導入の効果】
・実験の再現性向上
・歩留まりの改善
・研究開発期間の短縮

【半導体向け】露点計モニターボックス TKZH001Y
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半導体業界では、製造プロセスの品質を維持するために、空気中の水分量を厳密に管理することが重要です。微量の水分でも、製品の歩留まりや性能に悪影響を及ぼす可能性があります。露点計モニターボックス TKZH001Yは、露点計の表示器として、半導体製造環境における清浄度管理をサポートします。

【活用シーン】
・クリーンルーム内の露点監視
・製造装置への露点計接続
・乾燥空気供給ラインの水分管理

【導入の効果】
・露点計の設置と運用が容易になります。
・清浄度管理に必要な情報を一元管理できます。
・製品の品質安定に貢献します。

【産業用ロボット向け】SMTネジ端子ライトアングルタイプ
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産業用ロボット業界では、高精度な位置決めが求められます。ロボットアームの正確な動作は、製品の品質と生産効率を左右する重要な要素です。特に、基板実装においては、部品の正確な配置が不可欠であり、わずかなズレが不良品の発生につながる可能性があります。当社のSMTネジ端子ライトアングルタイプは、自動実装プロセスに対応し、高精度な位置決めを実現することで、産業用ロボットの性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・基板対基板、基板対パネルの固定
・L字ブラケットの置き換え

【導入の効果】
・自動実装プロセスへの対応
・高精度な位置決めによる品質向上
・作業効率の改善

【半導体製造向け】連結して増設できるメタルマスク収納棚
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半導体製造業界では、メタルマスクの保管効率が生産性に大きく影響します。特に、多品種少量生産のニーズが高まる中、増え続けるメタルマスクをいかに効率的に管理するかが課題となっています。保管スペースの最適化、取り出しやすさの向上は、作業効率を高め、生産リードタイムの短縮に繋がります。当社の連結できるメタルマスク用収納棚は、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
* クリーンルーム内でのメタルマスク保管
* 増産に伴う保管スペースの拡張
* メタルマスクの整理整頓による作業効率向上

【導入の効果】
* 保管スペースの有効活用
* メタルマスクの取り出しやすさ向上
* 作業効率の改善による生産性向上

【半導体向け】露光装置で微細化プロセスを支援!
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半導体業界では、デバイスの高性能化に伴い、微細化技術が不可欠です。微細化プロセスにおいては、高精度な露光技術が求められ、製造プロセスの品質と歩留まりを左右します。露光装置の選定は、製品の信頼性向上、歩留まり改善に繋がります。当社露光装置は、MEMSデバイスの研究開発から少ロット・多品種、量産まで対応し、お客様の微細化プロセスを強力にサポートします。

【活用シーン】
・MEMSデバイス製造
・半導体ウェーハへのパターン露光
・微細加工プロセス

【導入の効果】
・高精度な露光による歩留まり向上
・多様なデバイスへの対応
・ローコストでの量産体制構築

【半導体向け】基板トレサビ印字 CO2レーザマーカー
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半導体業界では、ウェーハの製造プロセスにおけるトレーサビリティの確保が重要です。ウェーハIDを正確に印字することで、製造工程の追跡、品質管理、不良品の早期発見が可能になります。特に、微細加工技術が進む中で、正確なID管理が製品の歩留まりと信頼性を左右します。当社の基板トレサビ印字 CO2レーザマーカーは、ウェーハにIDを印字することで、トレーサビリティを向上させます。

【活用シーン】
・ウェーハへのロット番号、製造情報、日付などの印字
・製造ラインでのウェーハID印字
・検査工程でのID読み取り

【導入の効果】
・トレーサビリティの向上による品質管理の強化
・製造プロセスの効率化
・不良品の早期発見と対応
・製品信頼性の向上

【電子機器向け】クラウド型生産管理システム『GEN』
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電子機器業界の部品管理では、正確な在庫数の把握と、適切なタイミングでの部品補充が重要です。過剰な在庫は保管コストを増大させ、不足は生産の遅延を招く可能性があります。クラウド型生産管理システム『GEN』は、在庫管理機能を備え、リアルタイムな在庫状況の可視化を実現します。これにより、適切な部品管理が可能となり、コスト削減と生産効率の向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子機器製造業における部品管理の効率化
・リアルタイムな部品在庫状況の把握
・過剰在庫・在庫不足の防止

【導入の効果】
・部品管理コストの削減
・生産効率の向上
・正確な部品管理による機会損失の防止

【IoT 無線検証向け】MXO3 オシロスコープ
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IoTデバイスの無線検証においては、電波の品質を正確に把握し、問題点を迅速に特定することが重要です。電波干渉や信号の歪みは、デバイスの通信性能を低下させる原因となります。MXO3オシロスコープは、高速波形取込みと高確度な測定能力により、無線信号の異常を詳細に分析し、IoTデバイスの信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・無線LAN、Bluetooth、Zigbeeなどの無線通信評価
・電波干渉の特定と対策
・信号品質の評価
・プロトコル解析

【導入の効果】
・無線通信のトラブルシューティング時間の短縮
・製品開発サイクルの短縮
・製品の品質向上

【半導体製造向け】HIWINウエハアライナー
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半導体製造業界では、ウエハの正確な位置合わせが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術が進む中で、位置合わせの精度はますます重要になっています。位置ずれは、回路パターンの不良やデバイスの性能低下を引き起こす可能性があります。HIWINウエハアライナーは、高速・高精度な位置合わせを実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・ウエハの搬送
・露光装置への位置合わせ
・検査装置への位置合わせ

【導入の効果】
・位置合わせ時間の短縮
・歩留まりの向上
・製造コストの削減

【電子部品向け】MBW973 鏡面冷却式露点計
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電子部品業界の品質管理において、製品の信頼性を確保するためには、湿度管理が重要です。特に、吸湿性の高い部品や、湿度の影響を受けやすい製造プロセスにおいては、正確な露点測定が不可欠です。不適切な湿度管理は、製品の性能劣化や不良品の発生につながる可能性があります。MBW973 鏡面冷却式露点計は、高精度な露点測定により、電子部品の品質管理を支援します。

【活用シーン】
・電子部品製造におけるクリーンルーム内の湿度管理
・半導体製造プロセスにおける露点管理
・品質管理部門での製品検査

【導入の効果】
・高精度な露点測定による品質向上
・不良品発生率の低減
・製造プロセスの最適化
・製品の信頼性向上

【半導体向け】メタルマスク用収納棚
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半導体業界では、メタルマスクの保管環境が製品の品質に大きく影響します。特に、微細なパターンが施されたメタルマスクは、埃や傷から保護し、正確な位置管理が求められます。当社のメタルマスク用収納棚は、これらの課題に対応し、メタルマスクを安全に保管するためのソリューションです。

【活用シーン】
・クリーンルーム内での保管
・製造ラインへのスムーズな供給
・メタルマスクのサイズに合わせてカスタマイズ

【導入の効果】
・メタルマスクの破損リスクを低減
・作業効率の向上
・保管スペースの有効活用

卓上型超音波洗浄機 WTC-600-40/WTC-1200-40
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■卓上型で大出力(600W/1200W)
■大型器具、機械部品などに対応した洗浄が可能となりました。
■操作部に光電式センサ及び音声ガイドを採用。
■濡れた手や汚れた手でスイッチに接触せずに音声ガイドにより確認しながら操作できます。
■発振周波数及び設定した出力にて自動追尾
■安定した洗浄力が得られます。また、発振異常時用のアラーム表示付です。
■排水ドレインコック以外にもオーバーフロー用ドレイン取付穴を設置
■循環システムへの拡張が容易になりました。

非接触 ローシェア ポンプタンクミキサー PTM-1/3/4
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PTMポンプミキサーは、お客様に用意いただいたタンク内部のミキシング(攪拌)とタンクから別の場所への移送を一台のコンポーネントでおこなう、革新的なシステムです。
攪拌はポンプの吐出噴流を用います。ポンプは、弊社の磁気浮上型ベアリングレスポンプシステムをベースにしており摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な非接触ポンプ兼ミキサーです。
磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。
インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。

ケミカルサーキュレータ
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日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。

当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度に
コントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため
酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。

また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており
溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため
剥離による能力低下もありません。

【特長】
■薬液の温度を高精度にコントロール
■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度
■国際保護規格IP31に適合
■漏液センサ、温度スイッチを内蔵
■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

オンラインUPWホウ素計 Sievers Boron Ultra
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超高感度検出:0.010~100 ppb B、定量下限0.030 ppb B
迅速な測定:3分または6分の測定サイクル
選べる流路構成:1流路/2流路モデル
直感的な操作:10.1インチのマルチカラータッチスクリーン
高い防塵・防水性能:IP45等級取得
多様な出力対応:アナログ出力、RS-232、Modbus TCP/IPなど

【半導体製造装置で実績有】禁油処理ボールバルブ【短納期】
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禁油製品が長納期でお困りの方へ。高品質な禁油ボールバルブを今すぐお手元へ。

【禁油処理って何?】
一般的な製品では、円滑に動かす為に、ボールバルブ内部に潤滑油を使用しております。
その潤滑油を除去する処理です。

【禁油の目的】
潤滑油のような不純物・油分の混入が問題になる清浄環境で使用致します。

【ハマイの禁油製品の特徴】
●部品組立前の洗浄処理で、グリスの洗い残しが有りません。
●ロット生産で在庫保有。
●更なる清浄環境で使用の方にも対応可(完成品再洗浄・クリーンルーム下作業等)
●黄銅・ステンレス製品でご準備有り。
●省スペース用の蝶ハンドルもラインナップ。


【ハマイのボールバルブについて】
ハマイの産業用ボールバルブは、これまで主に車載・半導体製造装置・一般産業用において、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ大量供給実績(OEM)を誇る業界屈指の高性能ボールバルブです。各社の純正部品に採用される等、独自機能の開発や、ボールバルブへ求めるニーズに、圧倒的なクオリティでお応え致します。

現像装置『GX-40D』
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『GX-40D』は、それぞれ個別に圧力調節が行える上下8本の
ノズルパイプを採用した現像装置です。

主に、ドライフィルムレジスト現像や液状レジスト現像の研究開発などの
用途に適しています。

【特長】
■それぞれ個別に圧力調節可能な上下8本のノズルパイプ
■水平方向のノズルパイプオシレーション
■カラー液晶のタッチパネルで操作が簡単
■薬液処理時間を入力すれば、コンベアスピードを自動調節
■薬液の出し入れがしやすい、サイドタンクとドレン口の高さ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

【完全禁油】フルボアステンレス製ボールバルブ TSS-30型
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フルボア・ステンレス製ボールバルブのベーシックモデル「TSS-01」を禁油化。
部品ごとに脱脂洗浄を実施、油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。

■【特長】

・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行
・TSS-01型がベースの禁油仕様モデル
・耐食性・耐熱性に優れるSCS14を使用

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブはこれまで、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

『静電容量式タッチパネル受託加工』のご案内
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当社では、静電容量式タッチパネルのITOパターン・周縁電極回路の
形成加工をロールtoロール、または枚葉で写真法を用いて加工を
行っております。

少量生産から試作規模まで対応いたしますので、
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【概要】
■フィルム材料幅:330mm幅
■ITOパターン:L/S-30μm/30μm
 材料は原則客先支給
 電極回路パターン:二層 ITO/Cu…L/S-30μm/30μm
          感光銀ペースト…L/S-30μm/30μm
■標準納期:2週間(生産量の多少で若干変動要)

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マスクアライナー
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■マルチミラーランプハウス採用により均一性の高い照度分布。
■各種自動機構部採用により操作性が向上したセミオートでの使用も可能。
■アライメント顕微鏡は三眼鏡筒を採用。モニターでのアライメントも可能(オプション)。

有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
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基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
本体側面にキャニスター缶を収納可能。

DeviseNet MFCサポートソフト『龍馬(RYOMA)』
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『龍馬(RYOMA)』は「簡単につなげて、中身を確認するツールが欲しい」
というユーザーの声を製品にしたデバイスネットマスフローサポートツールです。

MFCが間違いなく配線されているか?個々のMFCは正しく設定されているか?
当製品を使えば、PCでこれらの確認を行うことが可能です。

また、見るだけではありません。実際にガスを流して確認することもできます。

【特長】
■ソフトをインストールして付属のUSB変換ケーブルをつなぐだけ
■MFCの中身が見える
■様々な機器情報が判る
■接続機器の内容も保存でき、照合までできる
■実際にガスを流して確認することも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

HIWIN ウエハロードポート
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ウエハロードポートHLPシリーズは、 8インチ・ 12インチ製品の搬入出に対応する共用型ロードポートです。
FOUP/FOSBに直接接続でき、 8インチオープンカセット用のアダプター(8OCA)をオプションで選択可能です。

【資料進呈中】禁油処理の基礎知識・選定ガイド集
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完全禁油を誇るハマイのボールバルブ。
そんなバルブメーカーとして禁油が必要な理由等を解説した基礎知識の資料です。

【掲載内容】
・使用業界、使用事例集
・一般的な禁油品の説明
・非禁油品を使用した場合の問題

液晶・半導体関連装置 設計・製造サービス
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当社は、基板WET洗浄装置(枚葉、スピン)をはじめ、基板DRY洗浄装置
(エキシマUV)、レジストコーター、HP/CPなどさまざまな液晶・半導体
関連装置の設計・製造を行っています。

また、インクジェット関連装置、自動車関連装置、半導体関連装置なども
取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【ラインアップ】
■基板WET洗浄装置(枚葉、スピン)
■基板DRY洗浄装置(エキシマUV)
■レジストコーター、HP/CP
■搬送ロボットシステム、ストッカー
■検査装置

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

リソグラフィシミュレータ PROLITH
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リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

含有調査・トレーサビリティ対応!国内製造の完全禁油ボールバルブ
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「仕様が変わっていた」「含有調査の資料が出せない」「納期が読めない」――。
そんな海外製品の不安も、ハマイなら国内製造の徹底管理で応えます。

当社のボールバルブは、国内自社工場で製造・組立・洗浄まで一貫対応。
半導体製造装置に求められるトレーサビリティと完全禁油品質を両立し、安心してご利用いただけます。

【特長】
・国内製造:小径バルブでは希少な「純国産」。
・完全トレーサビリティ:組立から出荷まで自社一貫管理。
・完全禁油対応:部品組立前に徹底洗浄、油脂の残留ゼロ。
・短納期対応:在庫を持っているため、すぐ入手可能(※)
・安全性強化:ロックアウト機能付きバルブもラインナップ。

※数量が纏まる場合はご相談下さい。

【導入事例集を無料進呈中】
半導体製造装置での導入事例集を公開中!PDFよりダウンロードください。

※オーダーメイド/カスタマイズにも対応
詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

2Uサーバーケース 『ET258-32』
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2.5インチ、32スロットのHDDトレー取り出し可能な仕様です。

プールテスター Scuba3s
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Scuba 3sは、残留塩素やpH、シアヌル酸など最大9項目の水質を簡単に測定できる、スマートで多機能な水質測定器です。プールやスパ、温浴施設などの水質管理における「簡単に測定したい」「スマホにデータを送りたい」といったニーズに応えます

【資料】NWフランジ用QDS, ヘリコ&デルタ
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当社では、NWフランジ用(KFフランジ用)ヘリコフレックス・デルタシール・
QDS(クイックディスコネクトシステム・専用クランプ)を取扱っています。

当資料では、ヘリコフレックス・デルタシール+QDSのラインアップや
その仕様をご紹介しています。

【掲載内容】
■NW呼径
■DN呼径
■シール仕様
■QDS仕様

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【半導体産業/電子産業向け】TOC計 Sievers M9e
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Sievers M9eは、独自のガス透過膜式導電率測定方式と幅広い測定範囲(0.03 ppb〜50 ppm)により、さまざまなアプリケーションに対応できます。オプションのターボモード(分析時間4秒)は回収水監視に役立ちます。
Sievers M9e の特長:
・機差のマッチング
・超低濃度域の安定性
・自動操作(校正 / 検証 / データ分析など)
・12か月の校正安定性
・用途に応じて選べる3モデル(ラボ型/ポータブル型/オンライン型)
・サンプル導電率測定機能(オプション)により、TOCと導電率を同時に測定できます
・オートサンプラー(オプション)により、最大63本(40mL)のサンプルを自動で分析できます。

オンラインTOC計 Sievers M500e型
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オンラインTOC計 Sievers M500eは、電子産業におけるSieversの長年の分析技術を発展させた、3世代目のオンラインTOC計です。Sieversの無試薬型ガス透過膜式導電率測定技術を採用し、TOC 1ppb未満の精度、再現性、安定性を実現しました。
●ガス透過膜式導電率測定方式で妨害イオンを除去
●無試薬測定のためランニングコストを大幅に削減
●分析時間を最大50%短縮(旧モデルと比較)

Sievers 500RLe型の後継機種です。
正確性、効率性を向上させ、安定した超純水(UPW)の生産をサポートします。

SEMICON Japan 2025出展 『クリーンルーム用等』
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産業用ヒーターの開発設計などを手がける当社では、
高温環境やクリーンルームに対応したマントルヒーターをラインアップ!
平面や円筒だけでなく複雑な形状でも、サイズを問わず製作可能です。

◎ダストの発生を抑制!『クリーンルーム用ジャケットヒーター』
■ダストを抑えた構造で、クリーンルーム内での使用に最適
■薬品・医療・食品・半導体業界や各研究所で実績多数
■平面・円筒・複雑・大型・小型など、用途に合わせて製作可能

◎省エネ『マントルヒーター』
■従来の金属ヒーターと比較して消費電力約50%削減
■複雑な形状の被加熱体も丸ごと加熱できる
■CAD(2D、3D)データによる自動裁断で優れた再現性

◎ヒーターコントロール『制御盤』
■ヒーター点数の多い配管設備でも一括して制御可能
■ヒーターの仕様や配置場所に合わせて最適な温度制御環境を実現

※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

【完全禁油】蝶型ステンレス製ボールバルブ BSS-217型
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蝶ハンドルorウィング型ハンドルのステンレス製ボールバルブ「BSS-22/126/822」を禁油化。
部品ごとに脱脂洗浄を実施、油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。


■【特長】

・BSS-22/126/822型がベースの禁油仕様モデル
・耐食性・耐熱性に優れたSUS316を使用
・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブは、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<第二営業>まで
お問合せください。

半導体向け超純水製造装置の水質監視装置(TOC・ホウ素)
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【用途に応じたラインアップ】
原水、RO水、回収水、UF/EDI、ユースポイントなど、各工程に対応

Ø150mm対応露光装置
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【主な特長】
・全機能がコンパクトに一体化
・独自のアライメントシステムを搭載。
・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助と生産管理。
・上位通信システム対応可能。
・量産用としてのべ500台以上の販売実績。



【完全禁油・3方弁】ステンレス製ボールバルブ RSS-31型
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ステンレス製3方ボールバルブのベーシックモデル「RSS-14」を禁油化。炭化水素系洗浄機で部品ごとに脱脂洗浄を行い、
乾燥後、素手で油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。

■【特長】

・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行
・耐食性・耐熱性に優れた、SUSF316を使用

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブはこれまで、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655まで
お問合せください。

半導体産業用超音波流量計『FLUXUS F501SC』
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【特長】
・非接触流量測定
・トランスデューサ配管とフレキシブルチューブ対応
 配管径:3.8”、1/2”、3/4”、1”、1 1/4”
・優れた低流速計測
・プラント運転中に設置と調整可能
・潜在的なコンタミネーションや漏れの危険性なし
 配管外側からの取付のため
・ユーザーフレンドナビゲーションプログラム
 半導体産業に適した内容

※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。

ソフトウェア『HyperLith(TM)』
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『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、
EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。

LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。

また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連の
パターンをGDSファイルにエクスポートできるようになったので
テストマスクの作成に役立てることができます。

【特長】
■Polarization、Aberrations、Resistをサポ―ト
■ハードウェア加速処理機能、並列処理機能、分散処理計算機能のサポート
■WindowsとLinuxをサポート
■.simファイルとしてEM-Suiteへexport

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【完全禁油】レバー式ステンレス製ボールバルブ BSS-43型
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レバーハンドル型ステンレス製ボールバルブ「BSS-01/820」を禁油化。
部品ごとに脱脂洗浄を行い、乾燥後、素手で油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。

■【特長】

・BSS-01/820型がベースの禁油仕様モデル
・耐食性・耐熱性に優れた、SUS316を使用
・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブは、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

小型現像装置
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ご予算、用途に応じてご用意しています。。

カスタム品もご相談に応じます。

オシロスコープ用プローブポジショナ『PSシリーズ』
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当社では、オシロスコープ等のプローブを実装基板等へ接触・維持させる
プローブポジショナ『PSシリーズ』を取り扱っております。

水平、垂直など様々な設置状態の基板に迅速で安定した、
ハンドフリー・プロービングを可能にします。

また当社「PVシリーズ」より関節数を削減してシンプルで
扱いやすい構造となっています。
(1アーム辺りの固定部数が「PVシリーズ」の6箇所に対して3箇所)

【特長】
■コンパクトながらアームを伸ばせば⼤型の基板にも対応可能
■C型クランプ(別売)の使⽤による作業台への直接取付も可能 など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

ボールバルブの改善事例集【ハンドル変更】
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本資料では、ハンドルにまつわるオーダーメイド製品の改善事例を紹介致します。

工場・装置に広くボールバルブは使用されていますが、
合わない既存品を無理矢理使用していませんか?

今まで使用しているから問題無いと諦めず、
効率向上・生産性向上の為に、
御社の環境に最適なボールバルブの特注品をお勧め致します。

ハマイでは、ボールバルブの特注品製造を行っております。
本資料のハンドル以外にも、ボディ本体・樹脂材、また完全オーダーメイド迄対応致します。

特注品は高い・一注文辺りのロット数が必要になりハードルが高いとお考えの方にも、
国産ならではの柔軟性で少ロットから対応致します。

【資料内容例】
■スペース不足
■清浄環境
■流量管理
■安全対策


【完全禁油・縦3方弁】ステンレス製ボールバルブ CSS-11型
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禁油仕様のステンレス製3方ボールバルブ。下側からの流体を左右切換えや閉止が可能。部品ごとに脱脂洗浄を行い、
乾燥後、素手で油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。

■【特長】

・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行
・耐食性・耐熱性に優れた、SUS316を使用
・レバーハンドルの操作によって閉止が可能

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブはこれまで、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H
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BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。
磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。
インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。
電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。

このポンプには、2種類の基本システムがあります。
単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。

詳しくはお問い合わせください。

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露光・現像におけるプロセスの安定化

露光・現像におけるプロセスの安定化とは?

半導体製造における露光・現像プロセスは、微細な回路パターンをウェハー上に形成する極めて重要な工程です。このプロセスの安定化とは、製造条件の変動や外部要因の影響を最小限に抑え、常に均一で高品質なパターン形成を実現することを指します。これにより、歩留まり向上、製品性能の安定、そして製造コストの削減に繋がります。

​課題

微細パターン形成におけるばらつき

回路パターンの微細化が進むにつれて、露光時の光量や焦点のわずかなずれ、現像液の濃度や温度の変動が、パターン形状のばらつきや欠陥に直結しやすくなっています。

環境要因による影響

製造ライン内の温度、湿度、清浄度などの環境変化が、露光・現像プロセスに影響を与え、再現性の低下や歩留まりの悪化を招く可能性があります。

材料特性のばらつき

フォトレジストや現像液といった材料のロット間や経時変化による特性のばらつきが、プロセスの安定性を損ない、予期せぬ不良を引き起こすことがあります。

装置の経年劣化とメンテナンス不足

露光装置や現像装置の部品の経年劣化、定期的なメンテナンス不足は、性能の低下や予期せぬ故障に繋がり、プロセスの安定稼働を妨げます。

​対策

精密なプロセス制御とモニタリング

露光時の光量、焦点、現像時の温度、時間、液量などをリアルタイムで高精度に制御し、異常を早期に検知・修正するシステムを導入します。

クリーンルーム環境の徹底管理

温度、湿度、粒子数などを厳密に管理されたクリーンルーム環境を維持し、外部からの汚染や環境変動の影響を最小限に抑えます。

材料品質管理とトレーサビリティ

使用する材料の品質を厳格に管理し、ロットごとの特性評価やトレーサビリティを確保することで、材料起因のばらつきを抑制します。

予防保全と定期的な装置校正

装置の定期的な点検・メンテナンス計画を策定し、予防保全を実施するとともに、定期的な校正により装置性能を維持・管理します。

​対策に役立つ製品例

高精度プロセス制御システム

露光・現像装置の各パラメータをリアルタイムで監視・調整し、微細な変動を補正することで、パターン形成の均一性を高めます。

環境モニタリング・制御装置

クリーンルーム内の温度、湿度、粒子数などを常時監視し、設定値からの逸脱を自動で補正することで、安定した製造環境を提供します。

材料特性評価・管理サービス

フォトレジストや現像液などの材料特性を詳細に評価・分析し、ロットごとのばらつきを管理することで、プロセスの再現性を向上させます。

装置予知保全・診断ツール

装置の稼働データやセンサー情報を分析し、故障の兆候を事前に検知することで、計画的なメンテナンスを可能にし、突発的な停止を防ぎます。

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