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半導体製造装置・材料

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プロセスの安定化とは?課題と対策・製品を解説

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露光・現像におけるプロセスの安定化とは?

半導体製造における露光・現像プロセスは、微細な回路パターンをウェハー上に形成する極めて重要な工程です。このプロセスの安定化とは、製造条件の変動や外部要因の影響を最小限に抑え、常に均一で高品質なパターン形成を実現することを指します。これにより、歩留まり向上、製品性能の安定、そして製造コストの削減に繋がります。

​各社の製品

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産業用ロボット業界では、高精度な位置決めが求められます。ロボットアームの正確な動作は、製品の品質と生産効率を左右する重要な要素です。特に、基板実装においては、部品の正確な配置が不可欠であり、わずかなズレが不良品の発生につながる可能性があります。当社のSMTネジ端子ライトアングルタイプは、自動実装プロセスに対応し、高精度な位置決めを実現することで、産業用ロボットの性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・基板対基板、基板対パネルの固定
・L字ブラケットの置き換え

【導入の効果】
・自動実装プロセスへの対応
・高精度な位置決めによる品質向上
・作業効率の改善

【産業用ロボット向け】SMTネジ端子ライトアングルタイプ

電子機器業界の部品管理では、正確な在庫数の把握と、適切なタイミングでの部品補充が重要です。過剰な在庫は保管コストを増大させ、不足は生産の遅延を招く可能性があります。クラウド型生産管理システム『GEN』は、在庫管理機能を備え、リアルタイムな在庫状況の可視化を実現します。これにより、適切な部品管理が可能となり、コスト削減と生産効率の向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子機器製造業における部品管理の効率化
・リアルタイムな部品在庫状況の把握
・過剰在庫・在庫不足の防止

【導入の効果】
・部品管理コストの削減
・生産効率の向上
・正確な部品管理による機会損失の防止

【電子機器向け】クラウド型生産管理システム『GEN』

半導体製造業界では、ウエハの正確な位置合わせが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術が進む中で、位置合わせの精度はますます重要になっています。位置ずれは、回路パターンの不良やデバイスの性能低下を引き起こす可能性があります。HIWINウエハアライナーは、高速・高精度な位置合わせを実現し、半導体製造における品質向上に貢献します。

【活用シーン】
・ウエハの搬送
・露光装置への位置合わせ
・検査装置への位置合わせ

【導入の効果】
・位置合わせ時間の短縮
・歩留まりの向上
・製造コストの削減

【半導体製造向け】HIWINウエハアライナー

研究開発分野における試作工程では、ウエハの正確な位置合わせが、実験の再現性や精度の向上に不可欠です。特に、微細加工や高度なデバイス製造においては、ウエハの位置ずれが、実験結果の信頼性を大きく損なう可能性があります。HIWINウエハアライナーは、高速・高精度なアライメント性能により、試作工程における課題を解決します。

【活用シーン】
・半導体デバイスの研究開発
・MEMSデバイスの試作
・光学デバイスの試作

【導入の効果】
・実験の再現性向上
・歩留まりの改善
・研究開発期間の短縮

【研究開発向け】HIWINウエハアライナー

半導体業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、計測の正確性が不可欠です。特に、微細加工技術が求められる分野においては、計測結果のトレーサビリティが重要となります。不確かな計測は、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。本資料は、計測におけるトレーサビリティ、不確かさ、校正の重要性など、基礎知識を分かりやすく解説します。

【活用シーン】
・半導体製造プロセスの品質管理
・研究開発における計測データの信頼性確保
・製造現場での計測器の適切な管理

【導入の効果】
・計測データの信頼性向上
・製品の品質向上
・歩留まりの改善

【半導体向け】計測におけるトレーサビリティ

IoTデバイスの無線検証においては、電波の品質を正確に把握し、問題点を迅速に特定することが重要です。電波干渉や信号の歪みは、デバイスの通信性能を低下させる原因となります。MXO3オシロスコープは、高速波形取込みと高確度な測定能力により、無線信号の異常を詳細に分析し、IoTデバイスの信頼性向上に貢献します。

【活用シーン】
・無線LAN、Bluetooth、Zigbeeなどの無線通信評価
・電波干渉の特定と対策
・信号品質の評価
・プロトコル解析

【導入の効果】
・無線通信のトラブルシューティング時間の短縮
・製品開発サイクルの短縮
・製品の品質向上

【IoT 無線検証向け】MXO3 オシロスコープ

ナノテクノロジーの進化に伴い、半導体製造の現場においては、
これまで以上に高純度の清浄環境や設備装置が求められています。

このような分析需要に対応すべく、当社はハイスペックな『PFAボトル』を
提供致します。

当製品は、元来金属イオンが少ない材質ですが、独自の洗浄技術により
極限まで金属イオンを削減しています。

【特長】
■独自の技術で洗浄
■過酷な環境でも金属イオン溶出を極微量に抑えられる
■金属イオンが少ない材質
■極限まで金属イオンを削減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『高純度 酸洗浄 PFAボトルパック』

海外製のバルブで、
「含有物質調査の回答に時間がかかる」「4M変更の管理が難しい」「破損や漏れ等、信頼性に不安が有る」「誤操作による事故リスクがある」
─こうした課題にお困りではありませんか?

ハマイの【国内製造ボールバルブ】なら、
調達から組立まで一貫生産することで、スピード対応と品質安定を実現。
実際に多くの大手メーカー様で、業務改善や事故防止に繋がっています。

▼導入事例
・建設機械メーカー様:破損トラブル激減、事故ゼロ化に貢献
・石油プラントメーカー様:誤操作防止で労災リスクを解消
・半導体製造装置メーカー様:1週間で調査書類を提出、品質管理負担を大幅軽減

詳細は下記の「カタログをダウンロード」よりぜひご確認ください。

【無料進呈】海外製の不満を解決!国内製バルブの改善成功事例集

株式会社ユニバーサルより、「USLフッ素樹脂製ウエハー洗浄ホルダー」のご案内です。

USLフッ素樹脂製 ウエハー洗浄ホルダー

『HyperLith(TM)』は、スカラ計算と厳密解、
EUVおよびDUVテクノロジーに対応したソフトウェアです。

LiveView GUIで概略のシミュレーション結果を予測。

また、GDSエクスポートの新機能により、プログラムした一連の
パターンをGDSファイルにエクスポートできるようになったので
テストマスクの作成に役立てることができます。

【特長】
■Polarization、Aberrations、Resistをサポ―ト
■ハードウェア加速処理機能、並列処理機能、分散処理計算機能のサポート
■WindowsとLinuxをサポート
■.simファイルとしてEM-Suiteへexport

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ソフトウェア『HyperLith(TM)』

完全禁油を誇るハマイのボールバルブ。
そんなバルブメーカーとして禁油が必要な理由等を解説した基礎知識の資料です。

【掲載内容】
・使用業界、使用事例集
・一般的な禁油品の説明
・非禁油品を使用した場合の問題

【資料進呈中】禁油処理の基礎知識・選定ガイド集

■マルチミラーランプハウス採用により均一性の高い照度分布。
■各種自動機構部採用により操作性が向上したセミオートでの使用も可能。
■アライメント顕微鏡は三眼鏡筒を採用。モニターでのアライメントも可能(オプション)。

マスクアライナー

『GX-40D』は、それぞれ個別に圧力調節が行える上下8本の
ノズルパイプを採用した現像装置です。

主に、ドライフィルムレジスト現像や液状レジスト現像の研究開発などの
用途に適しています。

【特長】
■それぞれ個別に圧力調節可能な上下8本のノズルパイプ
■水平方向のノズルパイプオシレーション
■カラー液晶のタッチパネルで操作が簡単
■薬液処理時間を入力すれば、コンベアスピードを自動調節
■薬液の出し入れがしやすい、サイドタンクとドレン口の高さ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

現像装置『GX-40D』

オンラインTOC計 Sievers M500eは、電子産業におけるSieversの長年の分析技術を発展させた、3世代目のオンラインTOC計です。Sieversの無試薬型ガス透過膜式導電率測定技術を採用し、TOC 1ppb未満の精度、再現性、安定性を実現しました。
●ガス透過膜式導電率測定方式で妨害イオンを除去
●無試薬測定のためランニングコストを大幅に削減
●分析時間を最大50%短縮(旧モデルと比較)

Sievers 500RLe型の後継機種です。
正確性、効率性を向上させ、安定した超純水(UPW)の生産をサポートします。

オンラインTOC計 Sievers M500e型

当社のFPD搬送ロボットを使ったローダアンローダシステムを
ご紹介いたします。

各工程では、カセットステージ、基板のアライメント、旋回ターン、
基板を天地反転するターンオーバー等のユニットが必要になり、
必要に応じた専用のユニットを含めてラインを構築。

液晶基板製造工場で、ARRAY、CF、CELL工程でインデクサや
インラインシステムの納入実績があります。

【特長】
■適したレイアウトでのインラインシステム構築を提案
■ご要望タクトに適切な装置レイアウトを提案
■装置や周辺装置やロボット取り合い決定に貢献
■IoTによる全体オートメーションの構築
■装置間の通信や情報収集、管理を含む装置間インタフェース仕様

※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

FPD製造装置ローダアンローダ及び搬送システム

【用途に応じたラインアップ】
原水、RO水、回収水、UF/EDI、ユースポイントなど、各工程に対応

半導体向け超純水製造装置の水質監視装置(TOC・ホウ素)

【主な特長】
・全機能がコンパクトに一体化
・独自のアライメントシステムを搭載。
・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助と生産管理。
・上位通信システム対応可能。
・量産用としてのべ500台以上の販売実績。



Ø150mm対応露光装置

スプリング式ロック機構付きボールバルブ『TSS-140』は、スプリングロックに加え、
キーロックによる二重の安全機構を搭載したフルボアボールバルブです。

開閉のどちらの状態でも上下の向きを問わずしっかりロックでき、
ヒューマンエラーや振動・衝突による誤動作を防止可能。
バルブ一体型のロック機構のため、省スペースでの使用が可能です。

南京錠(別売)を使用したロックアウトにも対応し、
装置や設備配管の安全対策に貢献します。

【特長】
■内蔵スプリングにより全開・全閉状態でしっかりロック可能
■ロック機構が一体化しており設置スペースを取らない
■南京錠を使用したロックアウト運用が可能
■国内の量産体制により低コストを追求
■書類対応にも迅速に対応(含有成分の調査等トレーサビリティ完備)
■厳密な開閉管理が必要な半導体製造装置等で求められる事が有る、
 ロックアウト・ハスプ等にも対応。

※詳しくは資料をご覧ください。
※製品サンプル貸出可。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【解説動画あり】振動・衝突による開閉事故を防ぐボールバルブ

当社では、オシロスコープ等のプローブを実装基板等へ接触・維持させる
プローブポジショナ『PSシリーズ』を取り扱っております。

水平、垂直など様々な設置状態の基板に迅速で安定した、
ハンドフリー・プロービングを可能にします。

また当社「PVシリーズ」より関節数を削減してシンプルで
扱いやすい構造となっています。
(1アーム辺りの固定部数が「PVシリーズ」の6箇所に対して3箇所)

【特長】
■コンパクトながらアームを伸ばせば⼤型の基板にも対応可能
■C型クランプ(別売)の使⽤による作業台への直接取付も可能 など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

オシロスコープ用プローブポジショナ『PSシリーズ』

Scuba 3sは、残留塩素やpH、シアヌル酸など最大9項目の水質を簡単に測定できる、スマートで多機能な水質測定器です。プールやスパ、温浴施設などの水質管理における「簡単に測定したい」「スマホにデータを送りたい」といったニーズに応えます

プールテスター Scuba3s

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。

【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。

●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
 ノズルの移動が任意に設定可能。

●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。

※詳細は【資料請求】まで

スピン現像装置

当社では、超高圧ジェットによる洗浄を行う『LCD超高圧洗浄装置』を
取り扱っております。

20MPaの超高圧ジェットで、洗浄力アップ。

その他、回転ブラシにより洗浄を行う『LCDブラシ洗浄装置』も
ご用意しております。

【特長】
■独自の搬送システムでスモールLCD(0.4t/30×30mm)基板を枚葉搬送
■エアナイフシステムによりワークを完全乾燥 など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

LCD超高圧洗浄装置

『桜』は、得意先・仕入先・外注先がスムーズに連動し、スピーディーな
操作・検索が特長の電子部品商社向け販売管理システムです。

販売開始から約20年、お客様の継続率100%を維持しています。

販売・購買や在庫管理などの処理を一連の流れで処理することで、
業務の効率化やリアルな在庫管理を可能にし、スムーズな顧客対応が
可能になります。

また、受注から納品までの情報を全社でリアルタイムに把握・共有でき、
業務プロセス全体の処理速度が向上します。

【特長】
■受注作成が簡単
■適正な在庫管理
■日次更新なし(リアルタイム)
■安く買うことができる
■データの有効活用

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、HPからお気軽にお問い合わせ下さい。

電子部品商社向け/販売管理システム『桜』

日本エクセル株式会社では『ケミカルサーキュレータ』を取り扱っております。

当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液の温度を高精度に
コントロール可能。ゴムOリングが直接液に触れないシール構造のため
酸性液、アルカリ性液など薬液毎のシール材質の選定が不要です。

また、冷却加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており
溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため
剥離による能力低下もありません。

【特長】
■薬液の温度を高精度にコントロール
■電子冷熱方式のため、室温付近の温度コントロールに適し且つ高精度
■国際保護規格IP31に適合
■漏液センサ、温度スイッチを内蔵
■高メガピット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応え

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

ケミカルサーキュレータ

『裏面アライメントシステム(IRAS)』は、MPA、PLAに搭載する事により、
ウェハーの裏面をアライメントできるユニットです。

MPA、PLAを裏面露光装置として使用する為に製作。
新規で裏面露光装置のご購入を考えているユーザー様に適しています。
ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。

【概要】
■主要追加部品
 ・マスクアライメント用CCDカメラ
 ・ウェハー裏面アライメント用近赤外線CCDカメラ
 ・画像解析用モニター&パソコン
 ・裏面カメラユニットステージ
 ・その他
■対応機種:MPA600Series、PLASeries
■設置期間:1.5週間
■近赤外線仕様もあります

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

裏面アライメントシステム(IRAS)



■3本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング

■オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

大気環境用アライナ『EG-303 シリーズ』

自社開発の回折光減小光学系、WECシステム採用

露光装置 MA/BA8 Gen4 Pro

フルボア・ステンレス製ボールバルブのベーシックモデル「TSS-01」を禁油化。
部品ごとに脱脂洗浄を実施、油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。

■【特長】

・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行
・TSS-01型がベースの禁油仕様モデル
・耐食性・耐熱性に優れるSCS14を使用

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブはこれまで、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

【完全禁油】フルボアステンレス製ボールバルブ TSS-30型

日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。

当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の
高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて
います。

さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため
不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への
対応が可能です。

【特長】
■加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用
■溶出金属イオンによる汚染の心配がない
■表面保護膜不要のため、剥離による能力低下がない
■酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能
■薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

ケミカルヒータ

中村科学器械工業株式会社で取り扱う、電子フッ素化液『CFL7200』を
ご紹介いたします。

電子洗浄剤、絶縁冷却材。電子部品、精密光学機器、半導体装置などの
精密洗浄、冷熱衝撃実験液、熱交換冷媒、伝熱、潤滑材などに使用可能。

ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。

【規格指標(抜粋)】
■Name:Perfluoroisobutyl Ethyl ether
■Code:CFL7200
■Benchmarking:3M Novec 7200
■CAS:163702-06-5
■Vapor Pressure:14.5kPa(25℃)

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

電子フッ素化液『CFL7200』

株式会社エム・エー・シーテクノロジーの洗浄再生事業部では、
『精密洗浄サービス(ウェット洗浄)』を行っております。

半導体製造装置の部品を中心にこれまで培ってきた知識・経験を活かし、
母材・生成物の状況に応じて薬剤を選定し、ウェット洗浄サービスを展開。

また、イオン注入、スパッタ、CVD装置の構成部品を中心に精密洗浄を行い、
拡散炉、エッチング、リソグラフィ工程の精密洗浄も対応可能です。

【対象材質品目】
■石英
■セラミック
■ステンレス
■モリブデン
■タングステン等の各種金属や樹脂部品

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

精密洗浄サービス(ウェット洗浄)

ウエハロードポートHLPシリーズは、 8インチ・ 12インチ製品の搬入出に対応する共用型ロードポートです。
FOUP/FOSBに直接接続でき、 8インチオープンカセット用のアダプター(8OCA)をオプションで選択可能です。

HIWIN ウエハロードポート

リソグラフィ・シミュレータは、数値計算により、露光光学系による結像およびフォトレジストの感光・現像の過程をコンピュータ上に表現し、現像後のフォトレジストの形状を算出します。リソグラフィの研究、開発、そして製造に欠かすことのできないツールとなっています。

リソグラフィシミュレータ PROLITH

ご予算、用途に応じてご用意しています。。

カスタム品もご相談に応じます。

小型現像装置

『CS型ケミカルフィルタ』は、フィルタメディアに通気性に優れた基材を
使っており低圧損を実現した、FFU搭載に最適なケミカルフィルタです。

イオン交換樹脂を使用しているので、超純水製造装置と同じ原理で、
酸・アルカリガスを除去し、高い除去効率を実現します。

また、粒状活性炭を充填していますので、吸着率がとても大きく、
高沸点有機物除去に有効です。

さらに、サイジング加工が容易なメディアになり、ユーザーのニーズに合わせて
自由な設計が可能です。お気軽にご相談下さい。

【特長】
■FFU搭載に最適
■イオン交換樹脂採用
■高い除去効率
■高沸点有機物除去に最適

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

フィルタ『CS型ケミカルフィルタ』

禁油仕様のステンレス製3方ボールバルブ。下側からの流体を左右切換えや閉止が可能。部品ごとに脱脂洗浄を行い、
乾燥後、素手で油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより、国内の自社工場で生産されています。

■【特長】

・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行
・耐食性・耐熱性に優れた、SUS316を使用
・レバーハンドルの操作によって閉止が可能

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブはこれまで、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ
大量供給実績(OEM)を誇る業界トップクラスの高性能ボールバルブです。
各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

【完全禁油・縦3方弁】ステンレス製ボールバルブ CSS-11型

BPS-4Hポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。
磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。
インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。
電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。

このポンプには、2種類の基本システムがあります。
単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するPLCを省略できます。拡張型は、PLCインターフェースが内蔵され、外部信号で速度を設定、または、流量や圧力センサを用いた精密な流量または圧力制御が可能です。

詳しくはお問い合わせください。

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

『ELラック』は、比較的大型の基板用に適した簡易なL型基板立てです。

ミゾ深さが3mmと浅いため、基板エッジ部分の余白が狭くても実装部品
にぶつからないので安心。

高強度構造になっているので、30kgまでの高荷重に耐えられます。

この他にも、組立式(出荷時には、組立済み)のL型簡易基板立ての
「SGLラック」もラインアップしております。

【特長】
■耐薬品性が良好(材質は、導電性PP)
■在庫販売しているので、短納期・低価格
■表面抵抗値は、10^4~10^8Ω/□を半永久的に維持
■出荷単位は、10ヶ入り/ケース

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

卓上用『L型ラック』

禁油仕様のステンレス製縦3方ボールバルブ。下側からの流体を左右切換えや閉止が可能。
部品ごとに脱脂洗浄を行い、乾燥後、素手で油分を一切使用せず組上げ、個包装で出荷します。

ハマイの最新バルブテクノロジーにより生産されています。

■【特長】

・グリス等の油分を除去した完全禁油を実現
・低コストを実現するロット生産
・即納体制を実現する常時メーカー在庫の保有
・禁油処理証明書等、各種書類の迅速な発行
・閉止が出来るLポートの縦3方弁

■【プロが認める製品クオリティ】

ハマイのボールバルブはこれまで、各種大手メーカーを中心に、様々な産業機器や工作機械へ大量供給実績(OEM)を誇る
業界トップクラスの高性能ボールバルブです。各社の純正部品に採用されるなど、ボールバルブへ求めるあらゆるニーズに、
最高の製品クオリティでお応えします。

★【オーダーメイド/カスタマイズに対応しています】

詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<第二営業>まで
お問合せください。

【禁油仕様・縦3方弁・閉止可能】ステンレス製 ボールバルブ

PTMポンプミキサーは、お客様に用意いただいたタンク内部のミキシング(攪拌)とタンクから別の場所への移送を一台のコンポーネントでおこなう、革新的なシステムです。
攪拌はポンプの吐出噴流を用います。ポンプは、弊社の磁気浮上型ベアリングレスポンプシステムをベースにしており摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な非接触ポンプ兼ミキサーです。
磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。
インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。

非接触 ローシェア ポンプタンクミキサー PTM-1/3/4

液晶パネルの洗浄槽です。
テレビやパソコンのディスプレイに使用されている液晶パネルを構成している薄いガラスを洗浄する装置の一部です。
材質は全て塩ビです。
切削加工、接着、曲げ加工、溶接、全ての加工要素が含まれています。

詳しくはお問い合わせください。

半導体 液晶パネル洗浄装置

半導体の微細化で製造設備に求められる厳しいクリーン環境を、部屋と設備内の空気圧を微差圧制御することで効率的に実現するようになりました。

【特徴】
○オールインワン タイプでコンパクト化
○制御性を向上し高精度化
○操作性を向上
○利便性を向上
○通信機能を向上
○現地工事が容易

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

半導体製造工場事例[室圧制御機器]室圧コントローラ PECX

本資料では、ハンドルにまつわるオーダーメイド製品の改善事例を紹介致します。

工場・装置に広くボールバルブは使用されていますが、
合わない既存品を無理矢理使用していませんか?

今まで使用しているから問題無いと諦めず、
効率向上・生産性向上の為に、
御社の環境に最適なボールバルブの特注品をお勧め致します。

ハマイでは、ボールバルブの特注品製造を行っております。
本資料のハンドル以外にも、ボディ本体・樹脂材、また完全オーダーメイド迄対応致します。

特注品は高い・一注文辺りのロット数が必要になりハードルが高いとお考えの方にも、
国産ならではの柔軟性で少ロットから対応致します。

【資料内容例】
■スペース不足
■清浄環境
■流量管理
■安全対策


ボールバルブの改善事例集【ハンドル変更】

■卓上型で大出力(600W/1200W)
■大型器具、機械部品などに対応した洗浄が可能となりました。
■操作部に光電式センサ及び音声ガイドを採用。
■濡れた手や汚れた手でスイッチに接触せずに音声ガイドにより確認しながら操作できます。
■発振周波数及び設定した出力にて自動追尾
■安定した洗浄力が得られます。また、発振異常時用のアラーム表示付です。
■排水ドレインコック以外にもオーバーフロー用ドレイン取付穴を設置
■循環システムへの拡張が容易になりました。

卓上型超音波洗浄機 WTC-600-40/WTC-1200-40

2.5インチ、32スロットのHDDトレー取り出し可能な仕様です。

2Uサーバーケース 『ET258-32』

当社は、基板WET洗浄装置(枚葉、スピン)をはじめ、基板DRY洗浄装置
(エキシマUV)、レジストコーター、HP/CPなどさまざまな液晶・半導体
関連装置の設計・製造を行っています。

また、インクジェット関連装置、自動車関連装置、半導体関連装置なども
取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【ラインアップ】
■基板WET洗浄装置(枚葉、スピン)
■基板DRY洗浄装置(エキシマUV)
■レジストコーター、HP/CP
■搬送ロボットシステム、ストッカー
■検査装置

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

液晶・半導体関連装置 設計・製造サービス

部品単位から、システムアップまでご提供!カスタムにも即応可。
標準バスバックボードを含むラック総合カタログを差し上げます。

【掲載商品】

◆VMEダブルハイトシステムラック

◆VMEサブモジュールラックシステム

◆VMEシステムボックス

◆VMEモジュールユニット

◆VME開発支援ユニット

◆シングルハイトサブラック

◆ダブルハイトサブラック

◆オートディジーチェーンVME-J1バックボード

◆VME-J1バックボード

◆オートディジーチェーンVME-J1バックボード・・・など

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=====詳細はお問い合わせください=====

優れたバスラック&ボード製品総合カタログ

「仕様が変わっていた」「含有調査の資料が出せない」「納期が読めない」――。
そんな海外製品の不安も、ハマイなら国内製造の徹底管理で応えます。

当社のボールバルブは、国内自社工場で製造・組立・洗浄まで一貫対応。
半導体製造装置に求められるトレーサビリティと完全禁油品質を両立し、安心してご利用いただけます。

【特長】
・国内製造:小径バルブでは希少な「純国産」。
・完全トレーサビリティ:組立から出荷まで自社一貫管理。
・完全禁油対応:部品組立前に徹底洗浄、油脂の残留ゼロ。
・短納期対応:在庫を持っているため、すぐ入手可能(※)
・安全性強化:ロックアウト機能付きバルブもラインナップ。

※数量が纏まる場合はご相談下さい。

【導入事例集を無料進呈中】
半導体製造装置での導入事例集を公開中!PDFよりダウンロードください。

※オーダーメイド/カスタマイズにも対応
詳しくは、[東京本社]TEL 03-3492-6655<受付担当/第二営業>まで
お問合せください。

含有調査・トレーサビリティ対応!国内製造の完全禁油ボールバルブ

『インフラレッド CH型』は、特殊セラミックによる表面加工のため、
高温でも発塵しない完パネル型遠赤外線ヒータです。

クリーンルームに好適です。
また、ヒータ接合枠がなく、温度分布の均一化を実現いたしました。

ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。

【対応用途】
■電子工業
■情報産業用製品の加熱
■プラスチック工業
■バイオテクノロジー工業

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

パネル型遠赤外線ヒータ『インフラレッド CH型』

当社では、各種プロセスには欠かせない各種紫外線ランプを
取り扱っております。

液晶パネル、PDP、プリント基板製造工程における露光用ランプとして
使用されている「超高圧水銀ランプ」、樹脂の硬化、インキの乾燥などで
使用される「水銀キセノンランプ」など様々な製品をラインアップ。

ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。

【ラインアップ】
■超高圧水銀ランプ
■水銀キセノンランプ
■キセノンランプ
■低圧水銀ランプ
■高圧水銀ランプ
■メタルハライドランプ

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

様々な使用用途に応じたご提案を!『UV(紫外線)ランプ』

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露光・現像におけるプロセスの安定化

露光・現像におけるプロセスの安定化とは?

半導体製造における露光・現像プロセスは、微細な回路パターンをウェハー上に形成する極めて重要な工程です。このプロセスの安定化とは、製造条件の変動や外部要因の影響を最小限に抑え、常に均一で高品質なパターン形成を実現することを指します。これにより、歩留まり向上、製品性能の安定、そして製造コストの削減に繋がります。

課題

微細パターン形成におけるばらつき

回路パターンの微細化が進むにつれて、露光時の光量や焦点のわずかなずれ、現像液の濃度や温度の変動が、パターン形状のばらつきや欠陥に直結しやすくなっています。

環境要因による影響

製造ライン内の温度、湿度、清浄度などの環境変化が、露光・現像プロセスに影響を与え、再現性の低下や歩留まりの悪化を招く可能性があります。

材料特性のばらつき

フォトレジストや現像液といった材料のロット間や経時変化による特性のばらつきが、プロセスの安定性を損ない、予期せぬ不良を引き起こすことがあります。

装置の経年劣化とメンテナンス不足

露光装置や現像装置の部品の経年劣化、定期的なメンテナンス不足は、性能の低下や予期せぬ故障に繋がり、プロセスの安定稼働を妨げます。

​対策

精密なプロセス制御とモニタリング

露光時の光量、焦点、現像時の温度、時間、液量などをリアルタイムで高精度に制御し、異常を早期に検知・修正するシステムを導入します。

クリーンルーム環境の徹底管理

温度、湿度、粒子数などを厳密に管理されたクリーンルーム環境を維持し、外部からの汚染や環境変動の影響を最小限に抑えます。

材料品質管理とトレーサビリティ

使用する材料の品質を厳格に管理し、ロットごとの特性評価やトレーサビリティを確保することで、材料起因のばらつきを抑制します。

予防保全と定期的な装置校正

装置の定期的な点検・メンテナンス計画を策定し、予防保全を実施するとともに、定期的な校正により装置性能を維持・管理します。

​対策に役立つ製品例

高精度プロセス制御システム

露光・現像装置の各パラメータをリアルタイムで監視・調整し、微細な変動を補正することで、パターン形成の均一性を高めます。

環境モニタリング・制御装置

クリーンルーム内の温度、湿度、粒子数などを常時監視し、設定値からの逸脱を自動で補正することで、安定した製造環境を提供します。

材料特性評価・管理サービス

フォトレジストや現像液などの材料特性を詳細に評価・分析し、ロットごとのばらつきを管理することで、プロセスの再現性を向上させます。

装置予知保全・診断ツール

装置の稼働データやセンサー情報を分析し、故障の兆候を事前に検知することで、計画的なメンテナンスを可能にし、突発的な停止を防ぎます。

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