スループットの向上とは？課題と対策・製品を解説

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、
長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。

基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。
また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サイズもご用意しているので、
お客様のニーズに合わせてお選びいただけます。

【特長】
■入江工研の溶接ベローズを内蔵し、ストローク10ｍｍ、15ｍｍ、20ｍｍまで規格化
■当社ベローズ式直線導入機（ILDシリーズ）に比べ、非常にコンパクトな作り

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット
450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。

半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた
高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の
半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。

ウェーブテクノロジーのフラッシュプラグラミングシステムは、基本アルゴリズム、ソケットボードを共通化し、各メーカーのマイコンやフラッシュメモリなど幅広いデバイスに対応。べリファイサイクル400ns、従来比4倍の処理速度を実現し、プログラム・ベリファイの高速処理が可能になりました。また、全自動プログラミングシステムを使うことで生産工程の自動化・大量生産ができ、最大64個の同時処理で書き込みがとてもスピーディーです。開発から量産までのサイクルの短縮、低コスト化に役立つフラッシュプラグラミングシステムの総合カタログを無料プレゼント。ご希望の方はダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

『イオン注入装置　ディスク再生サービス』は、バリアン、SEN、AMATすべての
バッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生ディスク修理、
Finger、Restraint等の部品販売も承るCore Systems社のサービスです。

ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーション
ディスクは、長時間にわたるイオン照射によりウェハへのパーティクル付着、
元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能力低下やウェハ脱着の
不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。

部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、
これらの問題を未然に防ぐ必要があります。
高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。

【特長】
■各メーカーのイオン注入装置に対応
■OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供
■新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。