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異物混入の防止とは？課題と対策・製品を解説
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フォトマスク作成における異物混入の防止とは？
フォトマスクは、半導体チップの回路パターンをシリコンウェハーに転写するための原版です。その微細なパターンに異物が付着すると、チップの欠陥につながり、製品の歩留まり低下や性能劣化を引き起こします。そのため、フォトマスク作成工程における異物混入の防止は、高品質な半導体製造に不可欠な要素です。
各社の製品
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【半導体クリーン環境向け】Grace-TRAP
【精密機器向け】コストを抑えたシンプルなメタルマスク用収納棚
【半導体向け】オールステンレス エアリークテスター FLS
【半導体材料向け】ウェーハ表面のゼータ電位測定
【半導体向け】メタルマスク管理のお困りごとを解決！
【半導体向け】U-TIGHTSEAL（U-タイトシール）
半導体製造業界では、高度な清浄度が求められ、微細なパーティクルの混入が製品の品質を大きく左右します。
特に、真空環境や高圧環境下で使用されるガスケットは、高い気密性と耐久性が不可欠です。
従来のガスケットでは、熱サイクルや圧力変動により気密性が損なわれることがあり、
これが製品の歩留まり低下や装置の停止につながる可能性があります。
U-TIGHTSEALは、高い弾性復元力と幅広い材料選択肢により、これらの課題に対応し、半導体製造プロセスにおける信頼性を向上させます。
【活用シーン】
・クリーンルーム環境
・真空チャンバー
・高圧ガス配管
・半導体製造装置
【導入の効果】
・高い気密性の維持
・異物混入のリスク低減
・装置の稼働率向上
・製品の品質向上
【半導体製造向け】メタルマスク用収納棚650×550×30mm用
【半導体製造業界向け】ダウンフローエボリューション（DFE）
半導体製造工程においては、粉塵の発生が避けられず、作業環境の悪化や健康被害のリスクが課題となっています。また、粉塵による設備の故障や製品の品質低下も問題となります。
ダウンフローエボリューション（DFE）は、これらの課題に対し、より効果的な集塵性能とメンテナンス性の向上で応えます。
【活用シーン】
・金属研磨作業
・切削作業
・研削作業
【導入の効果】
・作業環境の改善
・設備保全コストの削減
【特長】
・フィルター負荷を低減したエアフロー技術
・払落し性能が大幅に向上したフィルタークリーニング
・効果的なパフォーマンスと簡単メンテナンスの新デザインフィルター
【当社の強み】
1915年創業のドナルドソンは、100年以上にわたり、フィルトレーションソリューションを提供してきました。日本国内に製造工場とテクニカルセンターを併設し、お客様のグローバル展開をサポートします。
【半導体向け】コストを抑えたシンプルなメタルマスク用収納棚
【半導体製造向け】メタルマスク用保管棚
半導体製造の現場では、メタルマスクをクリーンな環境で適切に保管し、必要な時にスムーズに取り出せることが重要です。特にクリーンルーム内では、手袋を着用した状態での扱いやすさや、限られたスペースでの保管効率、異物混入に配慮した設備が求められます。当社のメタルマスク用保管棚は、スライド式の仕切りにより、取り出しやすさと省スペース性を両立。ステンレス製でクリーンな環境にも配慮し、メタルマスクの保管・管理をしやすくします。
【活用シーン】
・クリーンルーム内でのメタルマスク保管
・製造ライン近傍での保管、管理
・手袋着用時のメタルマスクの出し入れ
・限られたスペースでの整理整頓
【導入の効果】
・メタルマスクの破損リスク低減
・省スペースでの保管効率向上
・出し入れ作業のしやすさ向上
・クリーンな保管環境づくりに貢献
【電子・精密部品向け】圧縮空気清浄度測定
電子・精密部品業界では、製品の品質と信頼性を確保するために、製造環境におけ る微細な汚染物質の管理が不可欠です。特に、圧縮空気は製品の製造工程で直接または間接的に使用されることが多く、その清浄度が製品の性能に大きく影響します。異物混入は、製品の不良や性能低下を引き起こす可能性があります。当社では、JIS B 8392等の規格に基づき、圧縮空気の清浄度測定・評価を行い、お客様の品質管理をサポートします。
【活用シーン】
・電子部品製造工場
・クリーンルーム内での精密部品製造
・圧縮空気を利用する各種製造工程
【導入の効果】
・製品表面への汚染物質付着リスクの低減
・製造工程における不良品の削減
・製品の品質向上と信頼性確保
【半導体向け】320角t=15mm用メタルマスク収納棚
半導体分野の 試作・評価では、試験機用メタルマスクを傷つけず、版違いや条件違いを整理しながら管理できることが重要です。
一方で、320×320×15mmクラスのメタルマスクは一般的な保管棚では合いにくく、現場ごとの仮置きや簡易的な管理に頼りやすいサイズでもあります。
本製品は、そうしたニッチな保管課題に対応する320角t=15mm専用のメタルマスク収納棚です。
1枚ずつ仕切って管理しやすい構造と、スライド式圧縮収納により、必要なマスクを取り出しやすくしながら省スペース保管を実現します。
保管設備を一から工夫する手間を抑え、試作評価や条件確認といった本来業務に集中しやすい環境づくりに貢献します。
【半導体製造向け】大型鋳物部品、金型への硬質クロムめっき処理
【ロボティクス向け】メタルマスク管理のお困りごとを解決！
ロボティクス業界では、製品の品質と信頼性を高めるために、高精度な部品の製造が求められます。特に、メタルマスクは、微細なパターンを正確に転写するために不可欠であり、その管理が重要です。メタルマスクの取り扱いが不適切だと、製造プロセスに悪影響を及ぼし、製品の品質低下につながる可能性があります。当社のメタルマスク専用仕切り棚は、静電防止手袋での作業を容易にし、収納スペースを効率化することで、高精度なロボティクス製品の製造をサポートします。
【活用シーン】
・クリーンルームでのメタルマスク保管
・静電対策が必要な環境での作業
・製造ラインのレイアウト変更
【導入の効果】
・静電防止手袋着用時の作業効率向上
・収納スペースの有効活用
・異物混入リスクの低減
・レイアウト変更への柔軟な対応
【半導体製造装置向け】Nバルブ チタン
【半導体業界向け】サビに強いステンレス製パレットラック
【半導体製造向け】ハーメチックシールコネクタ
【半導体向け】コンプレッサー内フィルター（ショートタイプ）
【研究開発向け】コストを抑えたシンプルなメタルマスク用収納棚
【ろ過フィルター搭載】エアーブローガン
圧縮空気・窒素用のエアーダスターガンです。
先端に付属している0.01μｍの中空糸膜ろ過フィルタが、
コンタミや水滴を捕捉します。
その為、清浄なエアーブローが実現でき、ワークに異物を付着させるリスクを低減できます。
金属製のエアーガンと比較すると高価ですが、
樹脂製でサビの心配がなく、小型で軽量です。
ユーザー様からは、軽くて扱いやすいとのお声を頂いております。
摺動部へのグリース不使用、二重梱包のクリーンルーム仕様の為、
半導体業界で多くご使用頂いておりますが、一般工業仕様もございます。
最近では、医療器具のエアーブロー用途でご使用頂いております。
■製品に関するお問合せ
・産業フィルター営業部 東日本営業所
TEL：03-5568-9281
・産業フィルター営業部 西日本営業所
TEL：06-6533-0360
エアー使用量1/5削減も！水滴除去率99％以上の省エネエアノズル
ご使用中のエアノズルが、どのくらい電気代を消費しているかご存知ですか？
一般的に、工場全体の20～30%をコンプレッサーエアーが占めているとも言われております。
当社のエアノズル『Hayate』をご利用いただいたお客様より、
「ランニングコストが削減できた」や「水滴除去率が向上した」といったお喜びのお声をいただきました。
「水滴・異物除去したい」「騒音を減らしたい」「ランニングコスト削減したい」などで
お困りの方はサンプル製品を無料貸出中です。お問い合わせよりご連絡ください。
【お客様からのお声】
■水滴除去率が向上した
■印字不良・検査不良が低減した
■電気代も含めたランニングコストが低減できた
■3ヵ月で初期投資を回収できた
■騒音低減により労働環境が改善された
■省スペースで設置できた
★投資回収サンプル資料も進呈中
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バケット式スチームトラップ 『ER25型』
『ER25型』は、蒸気と復水の比重差を利用し、開放バケットの浮力で弁が作動し、
飽和温度の復水を間欠的に排出するバケット式スチーム トラップです。
弁部には弊社独自技術のSCCV機構を採用。
さらに、スーパーディスチャージャー機能(差圧増幅弁機構)により、
コンパクトな本体で高排出量、高耐久性を実現しました。
食品、染色、クリーニング、空調、原子力など、
幅広い業種の大型熱交換器などの機器装置に適しています。
【特長】
■当社独自のバルブと強靭なスーパーレバー装置、ステンレス製内部部品を
使用しているため、抜群の耐久力
■二重の気水分離機構（Ｕ字通路と下向きバケットの働き）により
確実な気水分離が行え、蒸気の巻き込み漏洩なし
■高排出量のERシリーズ
■エアベントの働きで蒸気障害、空気障害なし（高温空気や非凝縮性ガスも排除可能）
■高い背圧許容度（90％）
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【無償レンタルキャンペーン】実際に使ってHayateで成功体験！
✅エアノズルの見直し、まだ後回しにしていませんか？
・異物や水滴が取り切れない…
・エア使用量が多くて電気代が気になる…
・騒音が大きく、作業環境が悪い…
そんなお悩みがあるなら、今すぐ『Hayate』を
試してみませんか？
✅Hayateとは？
『Hayate』は、層流状（ラミナーフロー）エアで異物、
水滴を効率よく除去しながら、 従来ノズルの最大1/5の
エア消費量を実現した、次世代エ アノズルです。
✅今なら無償レンタルで、導入前に“実際の効果”を
体験いただけます！
・異物除去・水滴除去の実力を「ご自身の現場」で確認
・使い勝手・エアの勢い・静音性をリアルに実感
・現行設備との比較検証も可能
✅ご希望の方はお気軽に！
「レンタル希望」と明記の上、ご連絡ください。
貴社に最適な『Hayate』をご提供させていただきます！
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レンタル後、実際に「こんなに除去できるのか！」
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まずは“試してみる”だけでOKです。お気軽にご相談ください！
エアノズル『Hayate』に水滴除去、水切りはお任せください！
ダイヤフラム式スチームトラップ『DX1型』
スピンタイプ洗浄装置『WULFシリーズ』
『WULFシリーズ』は、高精細フォトマスクに対応したスピンタイプの
洗浄装置です。
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備、ワーク回転の遠心力とオゾン水、
アンモニア添加水素水吐出により、検出限界レベルまで有機物・金属イオン・
異物を除去可能なユニット。
また、各洗浄液を切り換えて洗浄することにより、ワーク上の不純堆積物を
高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツールです。
【特長】
■ハイクリーン化と歩留向上に寄与
■検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能
■ワーク上の不純堆積物を高速除去する とともに廃液管理も安全な環境対応ツール
■RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
■機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【 口コミ・レビュー】基板製造メーカー様からのご評価
基板製造ラインの除塵工程にて、Hayateシリーズを本格導入しました。
従来使用していたエアノズルでは除塵率が約50％程度で頭打ちとなって
おり、微細異物の残留や再付着による品質課題が続いていました。
Hayateを初めてテストした際、まず感じたのは風の質そのものの違いです。
従来使用していたエアノズルとは異なり、Hayateは指向性のある薄いエアを
安定して供給してくれるため、対象面に対して安 定して風が届いています。
異物をしっかり飛ばせているのは結果を見ても明らかでした。
異物残存率を検査したところ、ほとんどの機種で除塵率が70％以上を達成。
ある機種では99％以上の除塵性能が確認され、これにより製品品質は大きく
向上し、おかげさまで異物起因の不良件数も大幅に減少しています。
さらに、エア消費量は従来比で50％以上削減され、騒音も体感的にかなり低減。
作業者のストレスも減り、工場内の作業環境改善にも貢献しています。
現在では、当社の除塵工程における標準仕様としてHayateを全面採用しており
品質・環境・コストの三面で導入効果を実感しています。
【GX＆省エネ】義務化されたCO2排出量取引をエアノズルで対策！
2050年カーボンニュートラルの実現に向けて、2026年度より排出量取引が日本でも本格的にスタートします。
『Hayate』とは、容器表面に付着した水滴や異物の除去性能に優れているうえに、
エア消費量を大幅に減らすことでランニングコストと環境負荷を低減、さらには低騒音化が図れるエアノズルです。
ノズルを使用している様々な業界でCO2削減の実績がございます。
無償レンタルでお試し頂け ます。この機会にCO2の排出量を見直しませんか？
【特徴・実績】
■エアの使用量は極めて少ないのに、高風速、膜状エア、長距離エアなどを独自の技術で実現している
■エアの使用量を減らせられるとコンプレッサーの負荷が減少し、CO2排出量＆電気代が削減出来る
■異物除去性能が上がるのでエアノズルの数も減らせられる
■内部構造に稼働(消耗)部品も無い為、半永久的に使用可
■除去性能が良く製品品質が向上し、工場の稼働時間を減らす事が出来る
※エア消費量・風速など実測データも掲載した解説資料を進呈中です。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
クリーンルームの設計・施工
【限定10社サンプルプレゼント】形状自在のステンレス多孔質体素材
変幻自在な形状が取れる「ステンレス多孔質体」は金属素材を拡散接合（焼結）することで、表面及び内部に多様な孔構造を持つ多孔質体です。
耐圧性、耐熱性、耐食性に優れ、石油化学・原子力・合成繊維・フィルム・食品・製薬・宇宙・航空など多様な分野で活躍するフィルタに採用されています。
※サンプルはイプロスユーザー10社限定でステンレス多孔質体のサンプルプレゼント！【製品につい てお問い合わせ】または【PDFダウンロード】をクリックして「サンプル希望」とご要望ください。
【特長】
■変幻自在な形状･孔構造！機械部品から装飾品まで！
■－270℃～500℃の極限温度域でも連続使用可能！ロケットの燃料系から発汗冷却板にも長年採用されています。
■拡散接合により製品のライフを伸ばし、ランニングコストを削減します。
■材質も一般的なSUSからInconel、Hastelloy等ご提案可能、設計から製造まで一環した体制でサポートします！
半導体関連製品(収納／保管庫)
高圧パルスジェット DP-Gun マスク・ガラス・ウェハー洗浄に
使用する水の量が少なく水膜のできにくい
既存装置にも後付可能な洗浄ノズルユニット
最大30Hzで駆動する洗浄ノズル
5〜10MPaの高圧水を発生させるポンプ
コントロールユニットの組合せ
従来の連続スプレーは、自ら作った水膜の上からスプレーで圧力を加えており、洗浄力を上げる＝圧力を上げる＝流量が増え水膜も厚くなる、という傾向がありますが、DP－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（ ＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。
断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。
ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調整での捨て水が少なく安定した水圧コントロールを実現しています。
※液体の一定量をスプレーする
測量＋スプレー塗布についてもご相談ください
※ノズル、ポンプは定期的なメンテナンスが必要となります。
洗浄ユニット『ファインソニック』
『ファインソニ ック』は、均一な音圧を実現できる洗浄ユニットです。
1W刻みの安定した出力調整が可能。各種ウエハー基板洗浄や
各種フォトマスク、磁気ディスクなどに適しております。
また、最大出力アップで洗浄エリアの拡大に貢献します。
ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。
【特長】
■均一な音圧を実現
■多彩な周波数を選択可能[750kHz/(1000kHz)/(1500kHz)/2000kHz]
■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能
■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大
■通信機能：発振器状態の監視、外部設定(PT-150MV)
■各種規格対応(FCC,CE,RoHS)
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基板・フォトマスク洗浄用治具『特注カセット・ビーカー』
『洗浄用カセット』は、基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能な
耐薬液及び耐摩耗性に優れたPTFE製カセットです。
ご要望の基板サイズ・形状・スロット数で製作が可能なほか、着脱可能な
ハンドルも製作いたします。
また、PTFE製または石英製「洗浄用ビーカー」もご用意しております。
当社では、耐薬品性、耐摩耗性に優れた特注品の設計・製作を承ります。
さまざまな設計の ご要望にお応えします。詳細はお問合せください。
【特長】
■材質：PTFE
■各種基板サイズに対応
■ご要望のサイズ、形状、スロット数で設計・製作
■1個から製作可能
■基板やフォトマスクの洗浄用途で使用可能
※詳しくは弊社ウェブサイトまたはPDF資料をご覧いただき、お気軽にお問い合わせ下さい。
（事例集進呈中）昇華精製とは？│高精密材の不純物除去、高純度化
製造工場の電気代、エアノズル『Hayate』で大幅削減しませんか
エアノズル『Hayate 』シリーズは、飲料、食品、製薬、医療器具、電子部品光学
缶・ビン製造、紙業界など幅広い業界でご愛用頂いております
●ピンポイント用【TypeC】はペットボトルのキャップ部水滴除去などで大活躍
●吐出幅を選べる【TypeF】は菓子容器、レトルトパウチ、半導体部品などで採用
●扇状パワーミストを吐出する【TypeW】は医療用容器や冷菓金型などの洗浄用
ノズルとしてご愛 用
●ガイドに沿ったエアを吐出出来る【TypeG】はエア搬送にも最適
様々な用途に是非エアノズル『Hayate』をお試しください！
【ラインアップ】
■TypeG：ガイドに沿ったエアを吐出
■TypeF：薄板状のエアを吐出、吐出幅を選べる
■TypeS：薄板状のエアを吐出
■TypeV：扇状のエアを吐出
■TypeW：扇状のパワーミストを吐出
■TypeT：円錐上のエアを吐出
■TypeC：円柱状のエアを吐出 ピンポイント用
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レイミーのAI害虫同定計数システム「AiPicsアイピクス」
レイミーのAI害虫同定・計数システムに新ブランド「AiPics」が登場！新たに歩行昆虫にも対応。
撮影専用スマホアプリ 「AiPics Capture」 を使えば、捕虫紙を撮影するだけで、
AIによる自動診断
虫種の同定
捕虫数のカウント
捕獲数のトレンドグラフ表示
ヒートマップ生成
を瞬時に実現します。
さらに、管理者向けプラットフォーム 「AiPics Manager」 では、診断結果の確認や検証が可能。
【AiPicsの特長】
1. スマホ撮影＋AI診断で誰でも簡単操作
専用アプリでトラップを撮影するだけ。独自AIが瞬時に害虫種と数を同定・計数し、クラウドに安全保存。専門知識不要で高精度なモニタリングを実現。
2. リスクの見える化と傾向分析 PCブラウザでフロアマップ管理、グラフ表示による発生傾向分析が可能。予防的対策や重点エリアへの迅速対応をサポート。
3. 飛翔＋歩行昆虫の両対応 ゴキブリやアリなど製品混入リスクの高い歩行昆虫にも対応。1つのシステムで包括的な衛生管理を実現。
精密電子部品用クリーンフィルム アプトクリーン（ソフトC）
■製品概要
中間層に発泡ポリエチレン層を有した3層構造のクリーンフィルムです。
発泡ポリエチレン層による衝撃吸収効果により、内容物を機械的衝撃から守ります。
長年の研究で低イオンコンタミ、低アウトガスの原料を使用しており、接触物への汚染を低減します。
アクリル等の樹脂板やガラス板の間紙としてキズ防止効果があります。
■製品特長
（1）中間層を発泡させクリーン性と緩衝性を実現
（2）アクリル等の樹脂板やガラスの間紙としてキズ防止効果に最適
（3）環境負荷化学物質を不使用
（4）低イオンコンタミ・低アウトガスを実現
■仕様詳細
主な用途：光沢成形品 / 液晶ディスプレイ部材
層構成：3層（ PE / PE(発泡) / PE ）
規格品サイズ
厚み：120μm
幅：100mm ～ 500mm
タッチレスモニター『STM515-RTL／STM521-RTL』
PVAスポンジ ※洗浄、吸水、吸液、塗布等２種類のPVAスポンジ
シリコンウエハやフォトマスク、ＦＰＤ用ガラス基板等で使用実績のあるPVAスポンジ「BE-Fine」と、
吸水・吸液・洗浄などに使用されるPVAスポンジ「ベルイーターＤシリーズ」の2種類をラインアップ！
【ビーファインの特長】
■気孔生成剤フリーの新製法により清浄度を向上
■引張強度、引裂き強度など物理的強度にも優れた素材
■高い気孔率を実現し、ソフトな風合いを可能に！
【ベルイーターDシリーズの特 長】
■ウエット状態(含水状態)では、柔軟性、弾力性を持ち、吸水性にも優れる
■気孔径のバリエーションが広く、目的に応じた品番選択が可能
■加工性にも優れている材料のため、様々な用途、分野で使用実績有
※詳細は、カタログをダウンロードしてご覧いただくか、
お気軽にお問い合わせください。
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フォトマスク作成における異物混入の防止
フォトマスク作成における異物混入の防止とは？
フォトマスクは、半導体チップの回路パターンをシリコンウェハーに転写するための原版です。その微細なパターンに異物が付着すると、チップの欠陥につながり、製品の歩留まり低下や性能劣化を引き起こします。そのため、フォトマスク作成工程における異物混入の防止は、高品質な半導体製造に不可欠な要素です。
課題
微細異物の検出困難性
ナノメートルオーダーの微細な異物は目視では確認が難しく、従来の検査方法では見逃されるリスクが高い。
工程内での二次汚染
クリーンルーム環境下でも、作業者の動きや装置の摩耗などにより、意図せず異物が発生・拡散する可能性がある。
材料由来の異物混入
マスク基板、感光材、現像液などの材料自体に微細な異物が含まれている場合、それが最終的な欠陥の原因となる。
静電気による異物付着
マスク基板や周辺部材は静電気を帯びやすく、空気中の微細な異物を引き寄せて付着させてしまう。
対策
高感度異物検査システムの導入
レーザー散乱法や画像解析技術を用いた高解像度な検査装置で、微細な異物を早期に検出し、除去する。
クリーンルーム環境の徹底管理
エアシャワー、クリーンルームウェアの着用、定期的な清掃・メンテナンスにより、外部からの異物侵入を最小限に抑える。
材料の厳格な品質管理
サプライヤーからの納入時に、材料の異物含有量を厳しくチェックし、基準を満たしたもののみを使用する。
静電気対策の強化
帯電防止素材の使用、イオナイザーの設置、適切な接地により、静電気による異物付着を抑制する。
対策に役立つ製品例
高解像度異物検出装置
微細な異物を高精度で検出し、位置情報とともに記録することで、原因究明と対策立案を支援する。
クリーンルーム用空気清浄システム
高性能フィルターと適切な気流制御により、クリーンルーム内の浮遊異物を効率的に 除去し、清浄度を維持する。
帯電防止用クリーンルーム消耗品
マスクや装置に付着しやすい微細異物を静電気で引き寄せない素材で作られた手袋、ワイパー、容器など。
自動洗浄・検査一体型装置
異物検出から自動洗浄までを一貫して行うことで、工程間の異物持ち込みリスクを低減し、作業効率を向上させる。
⭐今週のピックアップ
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