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現像液の効率利用とは?課題と対策・製品を解説

露光・現像における現像液の効率利用とは?
半導体製造プロセスにおける露光工程後、フォトレジストを溶解・除去する現像工程で使用される現像液を、無駄なく最大限に活用すること。これにより、製造コストの削減、環境負荷の低減、および生産性の向上が期待される。
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