現像液の効率利用とは？課題と対策・製品を解説

電子機器業界の部品管理では、正確な在庫数の把握と、適切なタイミングでの部品補充が重要です。過剰な在庫は保管コストを増大させ、不足は生産の遅延を招く可能性があります。クラウド型生産管理システム『GEN』は、在庫管理機能を備え、リアルタイムな在庫状況の可視化を実現します。これにより、適切な部品管理が可能となり、コスト削減と生産効率の向上に貢献します。

【活用シーン】
・電子機器製造業における部品管理の効率化
・リアルタイムな部品在庫状況の把握
・過剰在庫・在庫不足の防止

【導入の効果】
・部品管理コストの削減
・生産効率の向上
・正確な部品管理による機会損失の防止

『D-701』は、液状フォトレジスト及び、ドライフィルム等のアルカリ
可溶型フォトレジストに対して適切な現像液です。

高解像度のため、パターン不良減少。(レジスト低膨性)
スカムなどの残渣除去が非常に強いです。

【特長】
■レジストの溶解量が多い(液寿命の増加)
■現像機の洗浄が非常に楽にできる
■溶液タイプの為、建浴が容易にできる

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『現像装置』は、露光処理後のパターニング現像を行う装置です。

当社独自のスプレー配列により、基材全体を均一に処理可能。
さらに、基材の蛇行やスリップによるレジスト損傷を防ぎ、常に安定した現像品質を確保します。

また、現像チャンバーの蓋を大きく開口できる設計とし、メンテナンス性に優れた構造を実現しました。

【特長】
■ 均一な現像処理を実現
■ スリップレス搬送で安定処理
■ 蛇行によるレジスト損傷を軽減
■ 優れたメンテナンス性

※詳細は下記よりお問い合わせください
https://toagrp.co.jp/contact

ご予算、用途に応じてご用意しています。。

カスタム品もご相談に応じます。

基板をマニュアルでチャックにセットし、スプレー現像、リンス、スピン乾燥します。

当社では、薬液供給装置（システム）・半導体洗浄装置の
製造・販売を手がけており、お客様への丁寧なヒアリングにもとづき、
その要望を満たす仕様のご提案をいたします。

当社製品の特長といたしまして、供給元となるキャニスタータンク、
ポリタンク等は、ご使用中のものに合わせられます。
また、酸系、アルカリ系、有機系など使用液による選択が可能です。

【選ばれる理由】
■ご要望に合わせたフルオーダーメイド製作
■セミオーダーメイドにも対応
■既存機の改造にも対応可能
■修理やメンテナンスも可能

※詳細については、お気軽にお問い合わせください。

基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
本体側面にキャニスター缶を収納可能。

『クリンケム5』は、原液を投入し機械を回すだけでスラッジを除去する
現像機洗浄剤です。

複数回使用可能なことにより、その都度廃液する必要がなく廃液処理代を
抑えることが可能。また、薬品のランニングコストも抑えられます。

除去方法は剥離ではなく、溶解、分解。従って、洗浄後のスラッジ脱落が
起こり難くく、洗浄時にノズルを取り外す必要もないため、そのまま配管と
同時に洗浄することができます。

【特長】
■1液簡単作業
■短時間処理
■溶解洗浄により洗浄直後のスラッジ脱落がない
■以前の薬剤、方法と比較して洗浄力数段UP
■複数回使用できることによるコストメリット

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ガラス基板を回転させながら基板上に塗布されたレジスト膜の
現像から純水によるリンスまで自動で処理を行います。

【特長】
●現像液パージ機構を設けており、現像液の品種替えが、容易に行えます。

●ノズル左右移動にロボットを採用。0〜400?oの広範囲に対して
　ノズルの移動が任意に設定可能。

●ノズル上下位置が0〜500?oの広範囲に任意に設定可能。

※詳細は【資料請求】まで

『GX-40D』は、それぞれ個別に圧力調節が行える上下8本の
ノズルパイプを採用した現像装置です。

主に、ドライフィルムレジスト現像や液状レジスト現像の研究開発などの
用途に適しています。

【特長】
■それぞれ個別に圧力調節可能な上下8本のノズルパイプ
■水平方向のノズルパイプオシレーション
■カラー液晶のタッチパネルで操作が簡単
■薬液処理時間を入力すれば、コンベアスピードを自動調節
■薬液の出し入れがしやすい、サイドタンクとドレン口の高さ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。