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超微細パターンへの塗布とは?課題と対策・製品を解説

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レジスト塗布における超微細パターンへの塗布とは?
プリント配線板(PCB)の開発において、電子部品の高密度化・高性能化に伴い、回路パターンも超微 細化が進んでいます。レジスト塗布は、この微細な回路パターンを形成する上で不可欠な工程です。感光性樹脂であるレジストを基板上に均一に塗布し、露光・現像を経て不要な部分を除去することで、目的とする回路パターンを形成します。特に、数マイクロメートル以下の超微細パターンへの塗布は、高度な技術と精密な制御が求められます。
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