高密度基板の検査とは？課題と対策・製品を解説

タカヤ株式会社は、超高速検査で実装基板の様々な不良を確実に検出する
フライングプローブテスタの新モデル「APT-2400F/APT-2600FDシリーズ」を発表しました。

微細な部品配置や接続を高精度にチェックできる 最先端クラスの検査技術を搭載し、
わずかな不良やリスクも見逃さず、製品の品質向上を強力にサポートします。

また、当社独自の制御機構とセンシング技術により、
変動しやすい環境下でも信頼性の高い検査を実現し、
リコールリスクの低減といった品質管理への貢献が期待できます。

さらに、誰でも直感的に操作できるユーザーフレンドリーなインターフェースを採用、
特に労働力不足が深刻化する現場において 負担軽減を図りながらも
高い検査精度を確保でき、生産性の向上に寄与します。

※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

MKTタイセーが取り扱う『コンタクトプローブ』をご紹介します。

社内腕時計部品加工技術を基とした高精度品で、半導体向け製品、合金材を
使用した低抵抗値化製品、高電流対応製品、高周波対応プローブ(～3GHz)対応。

また、カタログに無い仕様の製品についても社内加工設備や経験を基に
お客様のご要望に沿ったカスタム仕様（先端形状、材質、メッキ、バネ荷重、
寸法等の変更）にも対応しております。

【特長】
■社内腕時計部品加工技術を基とした高精度品
■低抵抗値化製品、高電流対応製品、高周波対応プローブ(～3GHz)対応
■お客様のご要望に沿ったカスタム仕様にも対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

清光接点金属株式会社では、試作・研究のためのコンタクトプローブや
小ロットの生産など、お客様の仕様にあったコンタクトプローブの製作を
行っております。

特にタングステンニードルを得意としております。

また、各種材料メーカーの代理店をしておりますので、回路の素材に
あわせた材料の選定・提案などを行うことも可能です。

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。
一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(強酸化剤)を一定の濃度と比率で混合する工程です。
過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃度をオンラインで常時監視する必要があります。このように、CMPスラリーが常に規格内であることを確認し、必要に応じて混合物を調整することで、製品の歩留まりを抑制します。

『HYT-4007』は、高密度実装に対応したハイポジション（円筒ビーズ）
仕様のチェック端子です。

ゆったりした実装基板にはローポジション仕様もあり、使い分けが可能。
スプリングが逆三角形なのでいろいろな形状のプローブでも安定した
引っ掛けが得られます。

また、部品が密集している場所でもビーズの背が高いので容易に確認できます。

【特長】
■高密度実装に対応したハイポジション（円筒ビーズ）仕様
■部品に隠れて見えづらいことがない
■ゆったりした実装基板にはローポジション仕様もあり、使い分けが可能
■ビーズ無し、小型ビーズ仕様もご用意
■プレス品になり軟化点が670℃と大幅に上昇

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『多用途接触端子』は、プリント基板をはじめ各種電子部品の
あらゆるチェックに欠かすことのできないコンタクト・プローブです。

ますます高密度・多様化するこれら電子部品の開発で、それに伴うコンタクト・プローブの性能も
それぞれにふさわしい高性能特性を要求される今日、いつでも最高の条件にあったコンタクト・プローブを提供いたします。

【特長】
○豊富な在庫と多様な要求に応じて少ロットからのカスタム仕様の製作
○迅速対応できる体制を確立
○信頼を育む高精度・高品質の傑作
○妥協を許さぬ技術至上の思想から生まれた製品

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

海外の超一流メーカーでATE基板の製造を行います。
プローブカード、パフォーマンスボード、バーンインボードなど実績多数です。
AW設計対応（国内）も可能です。

東洋電子技研株式会社で取り扱っている『プリント基板検査用治具』を
ご紹介いたします。

接触接点技術、5層ハウジング構成、自社オリジナルプローブピンにより、
安定した電気接続、優れたメンテナンス性、耐久性を実現。

高密度基板検査用治具の「V-500シリーズ」や「V-600シリーズ（セパレート方式）」、
高機能基板検査用治具の「V-4000FB」をラインアップしています。

詳細については、ぜひ関連リンクをご覧ください。

【特長】
＜V-500シリーズ＞
■先端部の振れを抑える構造で、コンタクト位置精度が極めて高精度
■接触接点技術及び、5層ハウジング構成によりプローブピンの
　交換メンテナンスを容易にし、製作時の短納期化も実現

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「Agilent Medalist i1000D」は、次世代に対応した業界最小クラスの高性能PCB製造ライン向けインサーキット・テスタです。
さらに、バウンダリ・スキャン・テスト、オンボード・プログラミング、ライブラリ・ベースのデジタル・テスト、パーピン・プログラマブル・デジタル・ドライバ／レシーバなど、真のデジタル・テスト・カバレージを提供します。

【特徴】
○業界最高水準のテストカバレッジを実現可能
○低コスト治具で柔軟なデジタルテスト
○アジレントの最新技術を搭載

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ピカリング社製120, 122, 124の各シリーズは、4mm角 垂直実装タイプの画期的な信号用リードリレーです。
その業界最小のフットプリントで驚異的な超高密度実装を実現、ATE装置の小型化に絶大な威力を発揮します。

業界での最高密度実装を実現する4mm角パッケージ
パワーに応じた3種類のラインナップ（5Ｗ, 10Ｗ, 20Ｗ）
Ａ接点タイプ／ノーマリーオープンタイプ（1 Form A NO）
高速スイッチング時間を実現、高速テストシステムに対応
絶縁抵抗10^12Ωオーダーの高アイソレーション

「IBシリーズ」は、10ｍΩ以下タイプから50ｍΩ以下タイプまでの低接触抵抗を実現したソケット不要の一体型コンタクトプローブです。

「IFシリーズ」は、狭ピッチでのプローピングを可能とします。
フレキシブルに動くガイドチューブ内をタングステンワイヤーが可動する構造を利用し、胴体部を扇状に広げて固定、先端部を狭ピッチに配列することができます。

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当社にて、基板検査治具の設計・製作した事例を
ご紹介いたします。

表面に実装済の部品を避けながら裏面の導通検査が可能。

標準品を採用して必要なところを改造し、最小限の部品で
機能持たせるように工夫いたしました。

【加工の際に工夫した点/技術的に難しかった部分】
■加工：プローブを挿入する穴の精度、焼けを防ぐための加工条件を設定
■組立：4層になっていて、それぞれの座標を正確に出さないと齧って
しまいスムーズに動作しない
■設計：標準品を採用して必要なところを改造し、最小限の部品で
　　　　機能持たせるように工夫

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プロセス分析計での包括的な測定例を一覧で紹介

従来のスプリングプローブからVBPC方式にプローブと電極を変えることにより､ハイコストパフォーマンスと狭ピッチ対応を実現しました。

『NP(ニードルプローブ)』は、基板(プリント・半導体パッケージ)の導通検査治具に使用されているプローブです。確かな加工技術に裏付けられた豊富な先端形状をご用意。また、はがれにくいメッキ処理を施しております。

【特長】
■こだわりの微細加工
■シャープエッジ
■独自性を追求した段付きコーティング(オプション)

※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

BGA搭載基板にも対応したJTAGボードテストツール
・JTAGによる高密度実装基板の検査
・ハンダブリッジ、オープン故障を瞬時に診断
・基板のレイアウト図で故障箇所を表示
・オンボードフラッシュメモリ、PLD書き込み
・持ち運び可能なUSBコントローラ
・充実した『安心』のユーザーサポート

当資料は、パターン番号方式について掲載しております。

資料内の図で、回路を測定する場合、1パターン(生基板の状態で、電気的に
つながってるパターン)に1ポイントの番号を付けてその番号により
測定する部品の座標データを入力する方式をご紹介。

図で説明しており、参考にしやすい一冊となっております。
是非、ご一読ください。

【掲載内容(抜粋)】
■基盤実装・品質・技術
■パターン番号方式について

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『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロ
セッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。
本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。

また、当社では高精度で安定した品質のプローブを製造し、微細なMEMS
スプリングプローブの加工から検査まで行っていますので、
お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】
■独自構造
■半導体ウエハ検査に最適
■超ファインピッチに対応
■低抵抗・低インダクタンスを実現

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

コンタクトプローブで数十年培った技術を半導体検査用に集約！
ショートプローブ

【特徴】
○ファインピッチ化、高速化する検査環境にいち早く対応し
○世界中のユーザから高い評価を受けている高性能ショートプローブ
○カスタマイズが容易
○主な種類
・1.0mmピッチ用ショートプローブ
・0.8mmピッチ用ショートプローブ
・0.65mmピッチ用ショートプローブ
・0.5mmピッチ用ショートプローブ
・0.4mmピッチ用ショートプローブ
・超短尺ショートプローブ
※上記以外もおつくりしております。　詳しくはお問い合せください。

「PTH-1/PTH-2」は、パソコンで簡単にプログラムできる汎用ハーネステスタ
です。

順送りモードがあり、「PTH-1」は56芯、「PTH-2」は64芯まで設定可能。

必要なアタッチメントもご用意可能ですので、ぜひご相談下さい。

【特長】
■パソコンで簡単にプログラム可能
■56芯、64芯まで設定可能
■順送りモード有

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インクス株式会社は、精密プローブ、精密部品、精密モデル(desktopZERO
など)を提供しております。　

プローブ事業では、スプリングプローブ、高周波プローブ、積層型プローブ
など、独創技術で高性能を実現。高性能を追求するため、自動機は使用せず
ハンドメイドで製作しています。

また製品事業では、基盤となるプレス技術に、コンシューマ事業で培った
経験・知識・ノウハウを組み入れ、お客様の困ったを解決致します。

【事業内容】
■プローブ事業：精密プローブの設計・試作・量産・販売
■製品事業：精密部品の設計・試作・量産・販売
■コンシューマ事業：民生商品の企画・設計・製作・販売

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

現在、小さなバネが需要は急増しています。各種接点バネ・コネクターバネ、そして医療用カテーテル他に使用するコイル状のバネなど用途はさまざまです。その中でもミクロの世界が求められているのが半導体検査装置に用いるバネです。
半導体の電子回路に電流が流れているかを検査する役目を果たします。それは外径Ф100μm以下の最微細バネで、国内でも生産できる企業は限られています。

日本スプリングプローブ株式会社では、超微細ピッチ対応ピンブロックを取り扱っております。

当社は、多層フレキシブル各種プリント基板及び、
部品実装基板のテストに欠かすことのできない各種フィクスチュアをはじめ、
自動搬送装置、性能試験機、高低温環境試験機等、プリント基板関連機器に関する
さまざまなニーズにお応えしています。

【ラインアップ】
■プリント基板関連検査機器　 SE-118A（操作パネル無）
■プリント基板関連検査機器　 SE-108A（操作パネル付）
■電子モジュール全自動検査装置
■電子ユニット環境試験装置
■ICT検査プレス装置

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『コンタクトプローブ』は、狭ピッチ電極の電子部品検査に適した超極細径
のワイヤプローブです。

導体部には、パラジウム合金や、銅銀合金、タングステン、レニウムタング
ステン、ベリリウム銅などを使用。

当社独自のコーティング製法と剥離製法により、優れた絶縁性とコーティング
境界面のシャープ化を実現しています。

【特長】
■当社独自の製法により、極小部位への先端加工を実現
■当社独自のコーティング製法と剥離製法により、優れた絶縁性とコーティング
　境界面のシャープ化を実現
■特殊な表面処理により、絶縁コーティング表面の滑性を向上
■パラジウム合金は、導体が酸化しにくい特長があり、接触抵抗の安定性が向上
■酸化を嫌う半導体検査などに好適
■30μmの極細径から対応可能

※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高密度高集積化が更に進んでいるウェハーや電子部品、基板、パネルディスプレイ等の検査に極小ピッチが必要な治具に最適。0.3mmピッチから対応します。

当社で取り扱う、高速S＆R式電気検査装置『STAR REC M6V SW』を
ご紹介いたします。

省スペース化対応L/UL一体型で、M6シリーズ史上最高クラスの
高速/高精度化を実現。

LULはご要望仕様に合わせたご提案が可能です。
ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■省スペース化対応L/UL一体型
■高速/高精度対応モデル
■AGVシステム対応

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