寸法・形状の測定とは？課題と対策・製品を解説

ピエゾパーツの『膜厚モニタークリスタル』は、真空成膜時に使用され
物理膜厚を検知するセンサーです。

専門メーカーによる発振のばらつきを抑えたセンサーを提供しており、
5MHzと6MHzの2タイプが用意されています。

特殊品として、結晶の軸方向を特定することで水晶の温度特性や副振動を
改善し精度を向上させることが出来る「両面オリフラ加工品」や、
鏡面研磨をすることによって発振強度を高めることが出来る
「ポリッシュ加工品」があります。

【特長】
■5MHzと6MHzの2タイプ
■両面オリフラ加工品やポリッシュ加工品あり
■より発振のバラつきを抑えたセンサー

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『MVX-818』は、X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認や
パターン座標測定を行う、X線透過式2次元測定機です。

露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・
変形の分析が可能。
CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども
測定ができ、工程ごとの分析を1台で行う事ができます。

【特長】
■多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバック
■X線カメラのズーム機能
■大パターンから小パターンの高精度な測定が可能
■安定した測定

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高解像度赤外線ＣＭＯＳカメラとリアルタイムエンハンスソフトウェアによりVCSELの酸化部を鮮明な画像で表示する赤外線透過顕微鏡システムです！！

～特徴～
●反射/透過照明での不鮮明画像をリアルタイムエンハスサソフトで鮮明な画像に改善表示します。
●VCSELの酸化部や境界部の画像観察、保存が可能。
●画面上での寸法計測、面積計測が可能。
●反射照明光の波長を変化させることが可能。

コンポジット素子は、セラミックスに溝加工処理を行い、その溝の中に樹脂を充填した構造となります。通常の圧電素子では、例えば空気から水、生体のように音速の違う物体(環境)から物体に超音波を照射する場合、超音波は音響インピーダンス(=密度*音速)の壁に阻まれ、効率良く照射することができません。コンポジット素子は、圧電素子の体積を減らすことで密度を下げ、結果として音響インピーダンスを小さくすることができます。
従来よりも柔軟で曲がるコンポジット素子を作製しました。

【用途例】
◆非破壊検査
◆海洋機器
◆流量計
◆医療機器

※詳しくはお気軽にお問合せ下さい。

蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は５ＭHzと６MHz、電極膜材料は金（Au）と銀（Ag）を揃えております。
弊社販売品については再生もお受けいたします。

【SR-SCOPE DMP30】は、プリント回路基板上の銅の厚さを迅速かつ高精度に非破壊で、基板裏面にある銅層の影響を受けずに測定することができる電気抵抗式の膜厚測定器。堅牢で近代的な新しいデザイン、デジタルプローブと新しいアプリケーションソフトウェアにより、プリント基板表面の銅の膜厚測定に好適。保護等級IP64のアルミ製の筐体、落下などから筐体を保護するソフトバンパー、強化ガラスの液晶ディスプレイを搭載した頑丈な筐体を採用。また、光・音・振動による上下限値設定時のフィードバック通知機能、交換可能なリチウムイオンバッテリー、USBまたはBluetoothによるPC通信を可能としてデータ転送や測定値評価など、数多くの機能を搭載。

※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問合せください。