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ダイシング時の欠損低減とは?課題と対策・製品を解説

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組立・パッケージングにおけるダイシング時の欠損低減とは?
パワーデバイスやパワーモジュール製造における組立・パッケージング工程では、ウェハーを個々のチップに分割するダイシング作業が不可欠です。このダイシング時に発生するチップの欠損(破損、欠け、クラックなど)を低減することは、製品の歩留まり向上、信頼性確保、そしてコスト削減に直結する重要 な課題です。
各社の製品
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ダイシング加工サービス
“ダイシング加工”は、ダイヤモンドブレードを使用して、基板をサイの
目状に切断する加工方法です。 当社では半導体ウエハーや光学ガラス部品、
セラミック等の基板を0.5mm~のサイズに加工することが可能です。
お求めの製品仕様に合わせて条件を設定いたします。
ダイシングテープの場合はコスト面で有利です。
ワックス等でのカットは外形寸法の精度追求や異形基板のダイシングに効果的です。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
【ラインアップ】
■ガラスダイシング
■セラミックダイシング
■厚物/異素材積層ウエハーダイシング
■結晶ダイシング
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スクライブ&ブレイク加工
『スクライブ&ブレイク加工』は、加工素材の物性を利用した切断加工方法です。
水を使用しないドライ加工であり、加工速度も高速化が可能。
一方で、素材の物性(特に結晶方位)に大きく影響されるため、加工のプロセス条件を見出すことが難しい側面を持っています。
また、スクライブ&ブレイク手法は、ガラスのような硬くて脆い材料を切断する
方法として古くから使われてきた手法です。
【特長】
■微細加工への対応
・薄い基板の小チップ切断にも好適
・加工時の振動も少なく、チップが飛んでしまうようなこともほとんどない
■曲線加工への対応
・応用で曲線への加工(3D加工)に対応
・レーザスクライブでは更に小さい半径での切断が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイシング切削加工サービス



