ウェーハ反り・歪みの低減とは？課題と対策・製品を解説

「ROLL to ROLL式　真空加熱乾燥機」は非接触温度センサーとハロゲンランプによる高精度な温度管理により、熱膨張のダメージを最小限に抑えた極板・フィルム向けの真空乾燥装置です。また、Roll to Roll方式を採用していますのでロール全長に渡り、均一かつ高速で乾燥が可能です。 【特長】 ■熱膨張による物理ダメージの最小化 ■100ｍｍ～1000ｍｍまでの幅広いワークも乾燥可能！ ■非接触温度センサーとハロゲンランプによる高精度な温度管理 ※テスト乾燥ご希望の方は、お問い合わせ内容に「テスト乾燥希望」とご記載下さい。 ※製品の詳細はダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

当社では、『ウエハーボンディング用支持基板』を取り扱っております。 高出力・高信頼性を要求されるパワー関係に好適な「純Mo」をはじめ、 圧延・プレス加工が容易な「Cu-Mo」やWの低熱膨張性とCuの高熱伝導性を 兼ね備えた「Cu-W」をラインアップ。 半導体材料の熱膨張係数に近く、高熱伝導率を誇ります。 【特長】 ■ウエハーボンディング用 ■高熱伝導率 ■半導体材料の熱膨張係数に近い ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。