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表面・内部欠陥の抑制とは?課題と対策・製品を解説

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ウェーハプロセスにおける表面・内部欠陥の抑制とは?
パワーデバイスおよびパワーモジュール製造におけるウェーハプロセスでは、デバイスの性能、信頼性、歩留まりに直結する表面および内部の欠陥を最小限に抑えることが極めて重要です。この欠陥抑制は、最終製品の品質を保証し、製造コストを削減するための基盤となります。
各社の製品
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パワーデバイス(SiC)をチップ化
三星ダイヤモンド工業は創業以来の独自技術、SnB「スクライブ&ブレーク」工法で、シリコンカーバイト(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、アルミナ(Al2O3) 、サファイア(Sapphire)、窒化ケイ素(Si3N4)、シリコン(Si)などの基材に、金属膜やシリコーン樹脂が積層されたデバイス基板を精密に切断加工(個片化)する技術です。
MDI独自技術であるSnB「スクライブ&ブレーク」によって、カーフロスゼロ・高速・高品質・完全ドライ加工を実現します。製品取数の増加、タクトタイムの短縮が生産性の向上に繋がるほか、水を使用しないため環境に優しく、生産コストの削減が可能です。
【MDI独自技術SnB(スクライブ&ブレーク)の特徴】
■高周波デバイスやパワーデバイスに対して、安定高速切断加工が可能!
■高精度・高品質な切断加工でスト リート幅削減&小サイズ対応が可能!
■さまざまな半導体/電子部品の加工に対応!
■多層構造の複合材料にも対応!
長年培ったノウハウと理論化したシミュレーションで最適な加工方法をご提案します。
※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせ下さい。
多層ボトル『ハイパーピュアボトル』
『ハイパーピュアボトル』は、半導体用高純度薬品容器として
新たな成形技術により生まれた高品質・高精度な多機能容器です。
「6種7層」という圧倒的なバリア機能により、高耐久でハイクリーンな
多層ボトルを実現。
最内層は素材の選択が可能であり、従来ポリエチレン容器では
収納不可能であった薬品もご使用いただ けます。
【特長】
■従来のクリーン原料に比べてパーティクルが1/10以下
■電子工業薬品で懸念される金属溶出も限りなく抑えられる
■HDPE単層に比べ、バリア性能が格段に向上
■ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品も使用可能
■改ざん防止機能付き
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
LED用蛍光体『LMS蛍光体』
パーティ クルゲッター(PG)
【半導体製造装置向け】排ガス処理装置(スクラバー)
インゴット
【開発品】微粒子『MSP-Nシリーズ』
グローブボックス 〜次世代照明に〜 株式会社ケーブラッシュ商会
リチウムイオン電池・キャパシタ電極用箔材 NC-WS箔
電解箔と圧延箔の両方の長所 (電解箔の優れた結晶構造+圧延箔の優れた耐屈曲特性)をあわせ持つ両面光沢箔で、電解銅箔の概念を一変させました。この特性を生かして、リチウムイオン電池、リチウムイオンキャパシタの電極材として高い評価を頂いております。充電・放電時の繰り返しの熱履歴サイクルでの伸縮に耐える特性は圧延箔をはるかにしのぎます。圧延銅箔に匹敵する両面の平滑性とWS箔特有の結晶構造は、クラックによる破断を回避できます。幅方向 ・長手方向で厚みバラツキが少なく、薄箔でありながら長尺コイルが可能です。メーター幅での製品対応が可能な為に、大幅なコスト低減に寄与できます。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
日本触媒の微粒子 ナノ~ミクロン・無機/有機/複合粒子
当社では、高屈折率ナノフィラーなどの用途に使用可能な「ジルコスター」をはじめ、「シーホスター KEシリーズ」や「ソリオスター RAシリーズ」など、様々な製品を多数ラインアップしております。
日本触媒の微粒子は、独自の技術で開発したもので、ナノ~ミクロンサイズの様々な素材の微粒子(無機粒子、有機無機複合粒子、有機粒子)を取り揃えています。
これらの微粒子は、高度な品質が要求される 電子材料分野を中心に全世界で幅広く利用されています。
【ラインアップ】
無機粒子
■ジルコスター (ジルコニアナノ粒子)
■シーホスター KEシリーズ (シリカ微粒子)
有機無機複合微粒子
■ソリオスター RAシリーズ
有機微粒子
■エポスター MAシリーズ(アクリル系、アクリル-スチレン系微粒子)
■エポスター MXシリーズ(アクリル系微粒子)
■エポスターシリーズ (メラミン系、ベンゾグアナミン系粒子)
※詳しくはイプロス内の各製品ページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シリコン(Silicon)
株式会社新陽の主要製品である『シリコン(Silicon)』のご紹介です。
Φ2インチ~Φ6インチまでのパワーデバイス用プライムウェハーの
製造を中心に、構造用 部品材料としてΦ450mmまでの単結晶大口径シリコン
インゴット・プレートの供給と加工も行っております。
パーツはスライス、ラッピング、エッチング、ポリッシングから
マシニング加工、微細加工まで各種精密加工承ります。
【特長】
■資源が豊富
■高純度化し易く硬くて丈夫
■安定した酸化膜が形成でき、高集積化し易い
■結晶を大型化し易い
■半導体材料として幅広い分野で使用されている
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
リチウムイオン電池負極用 一酸化ケイ素(SiO)微粉末
高純度シリコン化合物から合成したシリカ粒子『ハイプレシカ』
ハイプレシカは、高純度シリコン化合物から合成した微粒子です。
硬く、耐荷重に優れたシリカ粒子や、軟らかく、デリケートな被着物に傷をつけない有機無機ハイブリッド粒子があります。ハイプレシカの特長は粒径が非常に良くそろっていること(単分散)、真球形状であること、きわめて高純度であることです。
それらの特長を生かし、液晶ディスプレイ(LCD)のスペーサー(液晶材料の入るセル の厚みを均一にするギャップ保持材)として使用され、LCDを高精細化するのに不可欠な部材となっているほか、接着層厚み調整用スペーサー、高機能樹脂充填材(半導体封止材料用、他)、高機能フィルムコーティング用粒子等、多様な分野で使用されております。
※詳しくはカタログをダウンロードして下さい。
LiB負極用 ナノ級 シリコン(Si)微粉末
【カーボン製品の用途】半導体・太陽電池
半導体分野では、高純度処理をした黒鉛材が必要とされており、シリコン
単結晶引上炉用の部材(ルツボ、ヒーター)などは不純物を嫌います。
一般的な人造黒鉛素自体は99.9%(代表値でCIP材約800ppm以下)は不純物の
ない素材となっております。
当社では、半導体関連部材・化合物半導体の製造工程、光ファイバー、
熱処理用サセプター、ダミーウ工ハー、薄膜太陽電池の製造装置部材なども、
製造しております。
【製品(抜粋)】
■高純度カーボン発熱体
■シリコン引上用ルツボ
■半導体製造装置治具
■カーボンスパッタリングターゲット
■固体高分子形燃料電池などのセパレータ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シリコンカーバイト
量子ドットコーティング剤
リチウムイオン電池用巻回機 『PEW-380』

















