酸化膜品質の向上とは？課題と対策・製品を解説

『断熱リング』は、半導体製造工程で使用される拡散炉・CVD炉用高温断熱材です。

外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命。外被材組成は
Al2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと細く柔軟性に優れています。

ニチビにしかない高グレード品として、さらに低不純物素材を使用した
先端ニーズ品があります。

【特長】
■外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命
■酸化ホウ素を含有しないアルミナ長繊維を使用した特許製品
■石英チューブや炭化ケイ素チューブの形状に合わせて縫製加工する
■低不純物素材を使用した先端ニーズ品がある
■外被材組成はAl2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと
　細く柔軟性に優れている

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高温窒素パージホットプレート「PH-212-600型」は、窒素パージ高温（600℃）対応の 高温ヒーター仕様です。ダイボンディング、はんだ付けなど、幅広いアプリケーションにも対応（生産、試作、評価、分析など）しています。ワーク、アプリケーションに合わせて、チャンバー構造、ガス噴出しパターンなどがカスタマイズ可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。

かつての半導体熱処理は、ファーネス（断熱）が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。

また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

SiCのアニール前処理として最適なカーボン成膜をPBIIで、アニール処理をRTAで、アニール前後処理を弊社で行うことができます。

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、
急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。

PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。
超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。

PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、
その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。

【特長】
■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応
■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用できる
■高温下でも高い電気絶縁性を維持できる
■靭性があるため割れにくい
■化学的に安定

※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

『パルセラム BT』は、蓚酸塩法で合成されたチタン酸バリウム
（BaTiO3）です。

古くからコンデンサの材料として使用され、特に積層セラミックス
コンデンサ（MLCC；Multi Layer Ceramics Capacitor）の誘電体原料として
長年使用されています。

当社では微粒化タイプの他、粒子径が2.0μm以上の大粒子タイプも
取り揃えておりますので、お気軽にお問い合わせください。

【特長】
■高い誘電率
■組成比（Ba/Ti 比）の安定したチタン酸バリウムが得られる
■高純度品の合成が可能
■粒度のそろった粒子が得られる

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

UL認証・CEマーク取得済　SEMI・S2/S3適合
高純度石英インラインヒーター

【特徴】
○インコネルヒーターを使用したインラインヒーター
○外装はテフロン(PTFE)を使用
○高温にならないので、窒素パージ、CDA冷却装置などは不要
○耐圧性に優れる。(4.2Kg/cm2)
○コンパクトサイズ
○縦置き／横置き共に設置可能
○3kw〜18kwと多彩なラインナップ

●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。

ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ
高速昇温性、配熱分布や放射波長により
基板や電極材料の特性にマッチした熱処理を行うことができる

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

液晶パネル製造などに使用する現像液、剥離液・溶剤の加熱に特化したヒーター

【特徴】
○表面温度の均一性と安全対策に充分対処
○表面温度のばらつきが少なく、温度劣化を起こす薬液の管理が容易になる
○安全を確保するため、アルミ鋳込みヒーターを採用し接液部に万一不具合が
　発生しても、発熱体に影響が及ばない構造
○温度劣化をおこす薬液には、安全な表面温度になるように設計
○端子函は安全増し防爆構造に準拠
●薬液槽との取り合いは、サニタリーフェルールを標準としていますが
　ご要望に合わせ、ＪＩＳフランジ、特殊フランジに対応可能です
　お気軽にお問い合わせ下さい

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例（高速昇降温加熱）のご紹介です

【特徴】
○使用光源：ハロゲンランプヒータ
○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射される
　輻射光により、高温/急速昇降温といった加熱特性に優れた熱源
○半導体や耐用電池の熱処理プロセスにおいて
　酸化膜形成、不純物拡散、シリサイド形成、電極焼成など
　多くの工程で使用される

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。伝統と豊富な実績を持つウシオ社の

『LMS蛍光体』は、白色LEDに使用される希土類励起の
シリケート系蛍光体です。

結晶化度はYAGに比べ優れており、白色LEDに向けて幅の広い励起帯域を
持っているためUVチップや青色チップ、さらには青緑チップも
お使い頂けます。

様々な色温度や指標に対応可能となるように、現在発光ピーク波長を
基準として多彩なラインアップをご用意しております。

【特長】
■優れた化学安定性
■毒性・放射性物質を含まない
■環境に対して安全

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。