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表面パーティクル汚染とは？課題と対策・製品を解説

ウェーハプロセスにおける表面パーティクル汚染とは？

パワーデバイスおよびパワーモジュール製造におけるウェーハプロセスでは、微細な異物（パーティクル）がウェーハ表面に付着することが、製品の性能低下や歩留まり悪化の主要因となります。この汚染は、デバイスの電気的特性に悪影響を与え、最終製品の信頼性を損なう可能性があります。

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バッチ式プラズマ処理装置

株式会社日立ハイテク

「バッチ式プラズマ処理装置」はLCP・PTFE等の貼付け前処理、デスミア・ドライフィルムの残渣除去に使用可能です。世界各国の量産工場で200台以上稼働実績があります。＜製品特長＞１．高速、高均一両面処理２．豊富な実績３．面内均一冷却 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

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スプレイ塗布による薄膜形成が可能なスプレーノズル

株式会社アトマックス

■【半導体製造分野：精密コーティング用途でも活躍！】少量の液を精密に微粒化噴霧できるため、半導体や電子部品製造工程における「スプレイ塗布による薄膜形成」が可能。スプレイコーティングは制御が簡単で、機器構成が他の塗布システムに比較してシンプル。厚塗り～薄膜まで、ひとつのノズルで条件範囲の幅が広いところが特徴です。 ■『アトマックスノズル』が選ばれるポイント・【独自技術・シンプルな構造】：高粘度・スラリーでも目詰まりがありません。・【高性能・高機能】　　　　　：超微粒子（5μm）の噴射が可能です。・【小型・軽量】　　　　　　　：取り付け場所や用途を選びません。・【優れたメンテナンス性】　　：構成部品は2点のみ。フィルターなし。・【優れた省エネ性能】　　　　：噴射気体の消費量を大幅に削減します。 ※製品の特長は、下記「ＰＤＦダウンロード」よりカタログをご覧ください。

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誘電体製品　チタン酸化合物「チタン酸Ca他」ジルコン酸化合物

三共精粉株式会社

当社では長年の分級・粉砕技術によりより分散性を高めた粒子径の製品を提供しており、また、酸洗浄によるｐH調整や、各種表面処理のご要望も受け付けております。これにより、より多くの電子材料製品群への使用検討が可能となっております。

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昭和電工パッケージング株式会社電子材料

株式会社レゾナック・パッケージング

当社では、需要の高まるリチウムイオン電池用の外装材やシリコンウェハー用の無塵袋などの製造を行っております。スマートフォンをはじめ、タブレット端末や電気自動車などに不可欠な「リチウムイオン電池用外装材」をはじめ、アルミ箔と樹脂フィルムの複合材「アルミラミネートフィルム」、主にシリコンウェハーや電子部品を入れる袋の「シリコンウェハー用無塵袋」などを取り揃えております。ご要望の際は、お気軽にお問い合わせ下さい。【特長】 ■食品・医薬品の鮮度や安全を守るための製品を製造 ■用途に合わせて様々なラインアップをご用意 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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小型ガス精製器用ジャケットヒーター

株式会社ピー・ジェイ

(株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。

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電極材料分散装置（小型卓上ミキサー）

プライミクス株式会社

フィルミックス(R)は、これまでの高速攪拌機では難しかったシャープな粒度分布とナノメートルサイズへの微粒子化を実現できるナノ粒子分散用ミキサー（分散攪拌装置）です。リチウムイオン電池、キャパシタなど電池デバイス製造において秒単位の乳化、分散により開発時間を大幅短縮します。 56-L型は卓上でバッチ運転も連続運転も可能なモデルです。バッチで条件が決まったら、ラインを組んでの連続実験ができます。研究開発から少量生産までこの1台でコンパクトにご利用可能です！ ◆◇━━━━━━━━━━━ 　　　テスト受付中！ ━━━━━━━━━━━━◇◆ 分散や均一化にお困りの材料がございましたら、ぜひお試しください！ただいまバッテリーと燃料電池の製造に関する小冊子を2冊まとめてプレゼント中！　◎『電池デバイス対策小冊子』　　　◎『燃料電池MEA製造に関する小冊子』 ※テスト、小冊子をご希望の方はお気軽にお問い合わせください。

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接着剤、レジスト用洗浄剤『パインアルファ ST-890R』

荒川化学工業株式会社

『パインアルファ ST-890R』は、エポキシ系、アクリル系接着剤など、一般的な溶剤では除去、剥離が困難な樹脂汚れに対して、極めて高い洗浄効果を発揮します。 REACH規制非該当であるため、NMP （1 メチル 2 ピロリドン）などの溶剤の代替品として好適です。また、非危険物（非引火性）であるため環境、安全面で優れ安心してご利用頂けます。各種電子部品の製造工程、治工具の洗浄などに利用可能です。【特長】 ○洗浄性　独自の配合技術によりエポキシ、アクリル等のポリマーに対する、膨潤・溶解作用を高め、難溶性樹脂に対しても非常に優れた洗浄効果を発揮します。 ○リンス性（すすぎ性）　完全水溶性のため、リンス残りが起きません。 ○高安全性、優れた環境適性　オゾン層破壊係数、地球温暖化係数ゼロ　消防法、有機溶剤中毒予防規則、水質汚濁防止法、大気汚染防止法 etcに該当しません。　非危険物タイプの洗浄剤のため取扱いが容易です。

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卓上型アライナー『AA2568』

アテル株式会社

『AA2568』は、5、6、8インチウェハ対応アライナーです。ウェハセンタリングはポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持。スピンドルで吸着、光センサによる位置決めが可能です。 2相ステッピングモータを使用しています。【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め　スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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導電ペースト用添加剤（増粘剤・分散剤）紹介

MP五協フード＆ケミカル株式会社

導電性ペーストは、銀(Ag)や銅(Cu)、カーボン等の導電性フィラーを分散しペースト状のインキの総称である。近年では抵抗器やコンデンサーのような製品だけでなく、メンブレンスイッチ、液晶や有機ELで使用される薄膜トランジスタやメモリの形成、集積回路、太陽電池や各センサーへの使用も進められるようになり、近年の製品には必要な材料となってきております。弊社で取扱している導電ペースト向けの製品をご案内させていたきます。導電性ペーストの補助的材料である「増粘・分散剤」製品をご紹介いたします [代表製品] EC (エチルセルロース) PVP (ポリビニルピロリドン） HPC (ヒドロシプロピルセルロース） HEC (ヒドロキシエチルセルロース) キサンタンガム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい

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整水工業株式会社『超純水装置』

整水工業株式会社

『超純水装置』は、純水装置あるいは逆浸透(RO)膜装置などにより製造した水(純水)を原水として、残留するイオン類、有機物(TOC成分)、微粒子、菌体、そしてガス(溶存酸素など)を極限まで除去・低減した超純水を製造する装置です。超純水製造能力として、数100L/hr～数10m3/hrまで幅広く設計製作します。【特長】 ■比抵抗値18MΩ・cm以上の超純水が得られる ■精密な水質分析に基づき運転管理を診断しメンテナンスを行います ※詳細についてはお問合せください。

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特殊紙管　[半導体製品用]

渡部紙工株式会社

防塵紙を使用した紙管容器です。プラスチックや木材に匹敵する強度をもち、軽量で無公害・リサイクル可能・地球環境に優しく、優れた紙の特性が見直されている今、暮らしの空間から農業・工業までの全産業分野で活用されています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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LED製造関連機器　撹拌・脱泡機シリーズ

株式会社マルコム

株式会社マルコムの『撹拌・脱泡機シリーズ』は、2つの撹拌方式とシリンジ・カップ対応で、あらゆる材料の撹拌・脱泡が可能です。「シリンジ専用撹拌機シリーズ」は、20年前にソルダペースト用に開発した独自の自転角可変方式を採用、自転公転を組み合わせた歳差運動により、他方式では不可能な強い撹拌効果が得られます。シリンジのまま蛍光体・分散剤・封止剤を均一に撹拌・脱泡可能で、工程の短縮実現と材料の無駄を排除することでコストダウンに貢献します。「カップ用撹拌機シリーズ」は、自転・公転により、強力に攪拌・脱泡を行います。使いやすさを追求した独自の機能が満載です。撹拌と同時にサブミクロンの気泡を取り除く真空タイプと、自転公転で均一撹拌と脱気を行う大気タイプをご用意しております。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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オゾン発生装置『スタンダードタイプ（QOシリーズ）』

株式会社石森製作所

『スタンダードタイプ（QOシリーズ）』は、半導体製造向けのオゾン発生装置です。オゾン発生部は石英2重管を使用。外部オゾン濃度信号により、オゾン濃度を制御します。ご要望の際はお気軽にご相談ください。【特長】 ■応答特性が迅速 ■長寿命 ■高信頼性 ※詳細についてはお気軽にお問い合わせください。

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【半導体製造装置部品】　アルミ部品加工事例

株式会社タアフ

株式会社タアフが行った『半導体製造装置部品』のアルミ加工事例をご紹介します。材質はA5052を使用し、白のアルマイト処理を施したベースを製作いたしました。サイズは8X70X150となっています。当社はアルミ・ステンレス・鉄から鋳物まで様々な素材から精密部品を加工しています。製作内容やお見積りのご相談等、興味を持っていただけましたら何でもお気軽にお問合せ下さい。【事例】 ■品名：ベース（1） ■材質：アルミ（A5052） ■サイズ：8X70X150 ■処理：アルマイト（白） ☆★☆★☆★☆★☆★☆★☆★ カタログ【精密部品加工事例集】にて半導体製造装置部品をはじめ全11点を公開しています。ぜひダウンロードしてご覧ください。

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日本触媒の微粒子　ナノ～ミクロン・無機／有機／複合粒子

株式会社日本触媒

当社では、高屈折率ナノフィラーなどの用途に使用可能な「ジルコスター」をはじめ、「シーホスター KEシリーズ」や「ソリオスター RAシリーズ」など、様々な製品を多数ラインアップしております。日本触媒の微粒子は、独自の技術で開発したもので、ナノ～ミクロンサイズの様々な素材の微粒子（無機粒子、有機無機複合粒子、有機粒子）を取り揃えています。これらの微粒子は、高度な品質が要求される電子材料分野を中心に全世界で幅広く利用されています。【ラインアップ】無機粒子　■ジルコスター　　　　　　（ジルコニアナノ粒子）　■シーホスター KEシリーズ　（シリカ微粒子）有機無機複合微粒子　■ソリオスター RAシリーズ有機微粒子　■エポスター MAシリーズ（アクリル系、アクリル-スチレン系微粒子）　■エポスター MXシリーズ（アクリル系微粒子）　■エポスターシリーズ　　（メラミン系、ベンゾグアナミン系粒子） ※詳しくはイプロス内の各製品ページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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『流路まるごと事例集』排気ラインの副生成物対策 ※無料進呈中

株式会社キッツエスシーティー

大手バルブメーカーKITZグループの一員である当社は、⽇々進化するエレクトロニクス産業おいてタイムリーな提案こそがお客様にとっての価値と考え、新製品開発とサービス向上に取り組み、お客様と共に成⻑を⽬指します。 CVDやMOCVDの後段、除害装置の前段での副生成物の堆積に起因するトラブルにお悩みではないでしょうか。 KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。ホームページ：https://www.kitzsct.com/contact/product/?utm_source=Ipros&utm_medium=web&utm_campaign=Arbooth

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量子ドットコーティング剤

オプトシリウス株式会社

量子ドットコーティング剤はLEDや照明、ディスプレイ、バイオメディカル、太陽光発電に使われる量子ドットにアクリル系UV硬化樹脂/シリコン系樹脂を混合した最新製品です。 UV硬化樹脂と混合される前に、特別な処理をすることで、今までは難しかった基礎研究・開発試作が簡単になります。取扱の樹脂は粘度が低く、紫外線で硬化出来るので、主にコーティング用途に適しております。【ここが選ばれるポイント】 ●本製品を用いることで容易に量子ドットのコーティング層を形成すること可能。 ●基礎研究・開発および試作の用途に最適。 ●温度やUVに対して優れた安定性

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株式会社ナノ新素材　製品カタログ

株式会社ナノ新素材

当カタログは、株式会社ナノ新素材が取り扱う製品をご紹介しています。当社は、独自の先端技術を用いて金属及び金属酸化物の超微粒子の粉末、ゾル、ペーストのナノスケール製品商業化に成功いたしました。原材料の調達から最終検査まで一貫体制のもとで製造された製品は世界中のエレクトロニクス、ディスプレイ、半導体、特殊フィルム等多様な産業分野に適用されています。【掲載内容】 ■理念 ■ANPについて ■沿革 ■TCOターゲット ■銀ナノインク・ペースト ■半導体用CMPナノスラリー ■機能性素材 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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プラスチックトレー　真空成形トレー

第一合成株式会社

液晶、半導体分野における工程に適したプラスチックトレー【特徴】 ○低発塵性　　摩擦による粉塵の発生を抑えることが可能 ○着色性　　白色を含め各種の着色が可能 ○機械的特性　　剛性と耐衝撃性のバランスが優れる ○帯電防止（ブリードタイプ）・射出成形トレーも製作可能 ○3種類のラインナップ　導電性タイプ・持続型帯電防止タイプ・非持続型帯電防止タイプ ※詳しくはカタログダウンロードまたは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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NC4U13xBシリーズ日亜 UV-LEDチップ紫外線

ブライト株式会社

・ハイパワーのフラグシップモデル N C 4 U 1 3 x A の後継品 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【資料】高品質バッテリーの前処理

日本プラズマトリート株式会社

当資料は、Openair-Plasmaを使った高品質バッテリー製品の表面洗浄と活性化について掲載しています。リチウムイオン電池（LIB）をはじめ、アプリケーションやセル加工におけるメリットなどをご紹介します。【掲載内容（抜粋）】 ■Openair-Plasmaによる洗浄と活性化　処理が速く、機能的で酸化物フリー ■LIBとは ■アプリケーション ■プロセスエンジニアリング ■LIB生産におけるメリット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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オールポリエチレンカートリッジフィルター　TCEタイプ

アドバンテック東洋株式会社

半導体、液晶ディスプレイなどの電子工業業界のレジスト濾過用として開発した、オールポリエチレンカートリッジフィルターです。【特長】 ■カートリッジフィルターの構成材料をすべてポリエチレンとした、低溶出のカートリッジフィルターです。 ■極めてシャープな孔径分布を有するメンブレンフィルターを採用し、従来のＰＴＦＥメンブレンに比べ、高い濾過精度を実現しました。 ■電子工業界で使用される有機溶剤などに対してもクリーン性に優れます。 ※詳しくはお問い合わせください。

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多層ボトル『ハイパーピュアボトル』

コダマ樹脂工業株式会社

『ハイパーピュアボトル』は、半導体用高純度薬品容器として新たな成形技術により生まれた高品質・高精度な多機能容器です。「6種7層」という圧倒的なバリア機能により、高耐久でハイクリーンな多層ボトルを実現。最内層は素材の選択が可能であり、従来ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品もご使用いただけます。【特長】 ■従来のクリーン原料に比べてパーティクルが1/10以下 ■電子工業薬品で懸念される金属溶出も限りなく抑えられる ■HDPE単層に比べ、バリア性能が格段に向上 ■ポリエチレン容器では収納不可能であった薬品も使用可能 ■改ざん防止機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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6SVGシリーズ UV-LED Power SMD 紫外線

ブライト株式会社

ナイトライド・セミコンダクター株式会社　製ハイパワーUV-LED ・NS365L-6SVG　365nm 690mW If500mA 3.8V（Tyｐ）・NS375L-6SVG　375nm 710ｍW If500ｍA 3.8V（Typ) ・NS385L-6SVG　385nm 950ｍW If500ｍA 3.8V (Typ) ・NS395L-6SVG　395nm 900ｍW If500ｍA 3.6V (Typ) ・NS405L-6SVG 405nm 900ｍW If500ｍA 3.6V (Typ) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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電池用スラリー・電池用電極の試作・開発の受託

三菱鉛筆株式会社

当社では、「電池用スラリー・電池用電極」の試作・開発の受託を承っております。配合はお客様のご指定、また当社から材料・配合のご提案も可能。好適な分散装置・プロセスを選定、数Kg～Pilot Scaleまで対応可能です。また、スラリー作製と塗工を同一サイト内で完結、スラリー作製のみ、塗工のみの受託も承ります。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【貴社ご要望に応じたお手伝い】 ■電池用材料選定 ■分散工程 ■塗工工程 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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クリーンヒーター「IRP型」

日本ヒーター株式会社

クリーンヒーター「IRP型」は、遠赤外線放射セラミックヒーターを組み合わせてユニット化した、サイズ・容量を選べるステンレスケース製パネル型ヒーターです。発塵の要素が無く、熱衝撃に強く耐冷熱サイクルに優れています。【仕様】 ○パネル１枚にセラミックヒーターエレメント電源電圧200V電力400W 　（100mm×200mm）を組み合わせて使用できる ○磁器（セラミック）に釉薬（遠赤外線放射セラミックス）をコーティング ○連続使用温度は５００度℃ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【深紫外LED】UV LED

レイトロン株式会社

当社では、深紫外を含む紫外線LEDを取り扱っております。深紫外LEDは「DEEP UV LED」とも呼ばれています。深紫外のLEDは波長が265～285nmとなっており、殺菌用に効果があるため殺菌、除菌用途に好適。また、ハイパワー品もシリーズ化しておりますので、効率的に殺菌、除菌が行えます。詳しい仕様をご希望の方はご連絡いただければ各仕様書をお送りします。お気軽にお問い合わせください。【ラインアップ】 ■セラミックパッケージ　6.0mm ■セラミックパッケージ　3.5mm ■アルミパッケージ　3.5mm ■プラスチック 5450　PKG 5.4x5.0mm ■プラスチック 3528　PKG 3.5x2.8mm ■TO18 キャンパッケージ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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アクリアシリーズ納入実績　電子部品メーカー　洗浄水

株式会社プライムネット

プライムネットではお客様の使用目的や要求水質、原水条件に応じて最適な水処理システムをご提案いたします。お客様の要求を元に、最小限の設備をご提案、イニシャルコストを大幅に抑えることが出来ます。自社で設計・開発・製造を行っておりますため、お客様の要求仕様に合わせた装置のカスタムを得意としております。また、導入後も造水量を増やしたい、さらに純度の高い水が欲しいといったお客様の要求にもお応えしております。自社で設計製造しているからこそできる特徴です。【特徴】 ○生産水量：583Ｌ/h ○水質：1μS/cm 詳しくはお問い合わせ下さい。

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ナイロンメンブレンカートリッジフィルター　TCNMタイプ

アドバンテック東洋株式会社

ナイロン製メンブレンフィルターを使用した、耐薬品性に優れたクリーンなカートリッジフィルターです。メディア自体が親水性のため、水溶液の濾過にもアルコールなどによるプレウェットの必要がありません。【特長】 ■親水性メディア水など表面張力が高い液体の濾過でも、アルコールなどによるプレウェットの必要が無く、濾過初期の薬液の廃棄量の削減や作業効率のアップが期待できます。 ■高いクリーン性メディア自体が親水性のため湿潤剤を含んでおらず、クリーン性に優れています。また、全製品出荷前に超純水によるフラッシングを実施していますので、溶出は極めて低レベルで、電子工業界で使用されるPGMEAに対してもクリーン性に優れています。 ■高い信頼性全製品完全性試験を実施済みで、信頼性の高いカートリッジフィルターです。　　　　　　　 ※詳しくはお問い合わせください。

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耐熱・耐溶剤性特殊ラベル「耐熱ラベル」

株式会社サニー・シーリング

耐熱ラベル・耐熱シールは耐熱性、耐溶剤性に優れた特性を持つ基材、特殊粘着剤を使用し、半導体プロセスやプリント基板製造工程など、耐熱性や耐溶剤性が特に要求される過酷な環境下での生産管理、物流管理用バーコードラベル、表示用、マスキング用などで使われています。【特徴】 ○過酷な環境に耐えうる耐熱ラベル ○表面基材と特殊糊の組み合わせ詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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不活性ガス純度向上:ガス精製器（アルゴン、窒素、ヘリウムなど）

大阪ガスリキッド株式会社

不活性ガス(窒素・アルゴン・ヘリウム・ネオン・キセノン・クリプトン)中の各種不純物（O2,CO2,H2O,CO）を1ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。

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GasPro PTFE　ガスフィルター　TEM-200シリーズ

エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA（クリーンドライエア）のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されています。清浄度を確保するために、ろ過した窒素でパージされ出荷されます。様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

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パーティクルゲッター(PG)

株式会社サンリック

『パーティクルゲッター(PG)』は、特殊表面加工された銅板であり従来の溶射加工の代わりとなる製品です。薄膜形成時に使用される装置内のパーツ表面に貼ることにより、パーティクルコントロールや、装置内パーツ表面からの膜の剥離を抑制するといった効果が実証されています。【特長】 ■特殊表面加工された銅板 ■溶射加工の代わりとなる ■特殊表面加工によるパーティクルを吸着 ■エンボス加工による付着膜の残留応力を緩和 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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ウェーハプロセスにおける表面パーティクル汚染

ウェーハプロセスにおける表面パーティクル汚染とは？

課題

微細パーティクルの検出困難性

ナノメートルオーダーの微細なパーティクルは目視では確認が難しく、従来の検査方法では見逃されるリスクが高い。

プロセス由来のパーティクル発生源特定

成膜、エッチング、洗浄など、多岐にわたるプロセス工程で発生するパーティクルの正確な発生源を特定することが難しい。

クリーンルーム環境の維持コスト

高度な清浄度を維持するためのクリーンルーム設備や運用には、多大なコストがかかる。

作業者のヒューマンエラー

ウェーハハンドリングや装置メンテナンス時の作業者の不注意が、新たなパーティクル汚染を引き起こす可能性がある。

対策

高感度パーティクル検出システムの導入

レーザー散乱法などを利用し、微細なパーティクルをリアルタイムかつ高精度に検出するシステムを導入する。

プロセス最適化と発生源対策

各工程におけるパーティクル発生メカニズムを解析し、装置改良や材料変更、洗浄方法の見直しを行う。

自動化・無人化プロセスの推進

ウェーハ搬送や装置操作を自動化することで、作業者による汚染リスクを低減する。

高度な清浄度管理と教育

クリーンルーム内の環境モニタリングを強化し、作業員への定期的な清浄度管理教育を実施する。

対策に役立つ製品例

表面異物検査装置

ウェーハ表面に付着した微細なパーティクルを、高解像度で自動的に検出・画像化し、汚染箇所を特定する。

クリーン搬送システム

ウェーハを外部環境から隔離し、クリーンルーム内での搬送中にパーティクルが付着するのを防ぐための自動搬送ロボットやコンテナ。

高機能洗浄液

ウェーハ表面の有機物や無機物を効率的に除去し、かつ洗浄後のパーティクル残留を最小限に抑える特殊な洗浄剤。

環境モニタリングシステム

クリーンルーム内の温度、湿度、差圧、浮遊パーティクル数などを常時監視し、異常を検知した場合にアラートを発するシステム。

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ウェーハプロセスにおける表面パーティクル汚染とは？

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ウェーハプロセスにおける表面パーティクル汚染

ウェーハプロセスにおける表面パーティクル汚染とは？

​課題

微細パーティクルの検出困難性

プロセス由来のパーティクル発生源特定

クリーンルーム環境の維持コスト

作業者のヒューマンエラー

​対策

高感度パーティクル検出システムの導入

プロセス最適化と発生源対策

自動化・無人化プロセスの推進

高度な清浄度管理と教育

​対策に役立つ製品例

表面異物検査装置

クリーン搬送システム

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課題

対策

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