放熱対策の複雑化とは？課題と対策・製品を解説

『静電チャックサポーター』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 接着剤を使用せず、電界制御のみで、薄型ウェハーの補強・固定が可能。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能で、 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。 【特長】 ■極薄ワークを吸着保持して補強 ■薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■さまざまなプロセスへの投入ができる ■厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

液体の気化と毛細管現象を利用した冷却部品をご紹介します。 本サンプルではエッチングが得意とするハーフ加工により、ケース側に 液体を封入する為の中空構造、フタ側に放熱性を高める為のフィン構造を 形成しています。 【製品仕様】 ■材質：無酸素銅 ■外形サイズ：80×50mm ■厚み：0.5mm×2層 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超小型、軽量、高性能な小型人工衛星用高耐放射線２軸太陽センサです。2019年から現在までに数百以上の軌道上実績を有するものです。