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接合強度の安定化とは?課題と対策・製品を解説

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チップマウントにおける接合強度の安定化とは?
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電子部品業界では、製品の小型化と高性能化が進む中、接合技術の高度化が不可欠です。特に、高温環境や振動にさらされる電子部品においては、接合部の信頼性が製品寿命を左右します。APTは、その特性を活かし、高品質な接合材料の製造に貢献します。APTを使用することで、接合部の強度向上、耐熱性の向上、長期的な信頼性の確保が期待できます。
【活用シーン】
・電子部品の製造
・半導体パッケージング
・電子機器の組み立て
【導入の効果】
・接合強度の向上
・耐熱性の向上
・製品の信頼性向上
・歩留まりの向上
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。
【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・精密研磨装置
・半導体製造装置の位置決め
【導入の効果】
・高精度な位置決めを実現
・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献
・クリーンルーム環境に対応
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。
【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・精密研磨装置
・半導体製造装置の位置決め
【導入の効果】
・高精度な位置決めを実現
・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献
・クリーンルーム環境に対応
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。
【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・精密研磨装置
・半導体製造装置の位置決め
【導入の効果】
・高精度な位置決めを実現
・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献
・クリーンルーム環境に対応
半導体パッケージ業界では、製品の小型化、高性能化に伴い、異種材料の接合技術が重要になっています。特に、信頼性の高い封止は、製品の長期的な性能維持に不可欠です。従来の樹脂系接着剤では、耐薬品性や長期信頼性に課題がありましたが、当社のAuSnはんだによる封止技術は、優れた耐薬品性に加え高真空環境下でも安定した封止性能を発揮し、過酷な使用条件にも対応可能です。熱処理によるAuSnはんだ工法では、均一な融解によって隙間なくシーリングできるため、安定した封止接合を実現します。
【活用シーン】
・半導体パッケージの封止
・高真空環境下での使用
・耐薬品性が求められる環境
【導入の効果】
・高い信頼性の確保
・製品寿命の延長
・小型化、高性能化への貢献
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。
【活用シーン】
・ウェーハ搬送
・精密研磨装置
・半導体製造装置の位置決め
【導入の効果】
・高精度な位置決めを実現
・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献
・クリーンルーム環境に対応
”NANO”は、同社の特許であるアライメント技術を用いて、
超高精度に個片化されたチップをウエハ/サブストレート/チップへ、
ボンディングを可能にした装置です。
また、ボンディング時のレーザー照射方法に特徴を持ち、
ボンディング時の振動を抑制した機構を搭載しております。
【特徴】
・アライメント精度:±0.3µ@3σ
・アライメント技術(特許)
・ボンディング時の接合方法
・振動抑制機構の搭載
・光通信関係やシリコンフォトニクス関連での豊富な導入実績
・MEMSセンサー、LiDAR、VCSEL etc 豊富な導入実績あり
・R&D向けや量産工場での導入経験豊富
【装置主要仕様】
・アライメント精度:±0.2µ@3σ
・サイクルタイム:20 to 30 sec(材料により変動)
・ダイサイズ:0.1mm to 20mm
・サブストレートサイズ:MAX 300 x 300 mm
・ボンディングフォース(荷重):10g to 2kg
・接合方法:共晶はんだ、エポキシ、UV硬化樹脂、レーザー接合
※超音波接合は非対応
株式会社テクサスは、日本電産トーソク株式会社のダイボンダ技術を継承し、その技術を基軸に半導体製造装置の自動化を実践させて頂いております。
安全第一主義経営を実践し、コト前管理を徹底し、行動指針に乗っ取り行動を興します。
【製品案内】
○DBD4200R / EBD4200R
○DBD4600S / EBD4600
○DBD3580SW
○EBD4350S
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
『真空封止装置』は、半導体・電子部品など、チップレベルで
アッセンブルしていく必要のあるデバイスの、各種接合・封着を
おこなうことができます。
共晶接合・ろう接・熱圧着接合・各種拡散接合等の
ボンディングプロセスの開発から量産に対応。
ワークを均一に加熱・加圧できるため、良好な封着が得られます。
【特長】
■4~6吋角サイズ(100~150m/m)エリア範囲の各種封止が可能
■ワークを均一に加熱・加圧できるため、良好な封着が得られる
■理想的な加熱・冷却コントロールシステムを開発
■真空から加圧雰囲気まで、任意の圧力制御が可能
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。








