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半導体・センサ・パッケージング

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ダイシングテープの剥離対策とは?課題と対策・製品を解説

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ウェーハのダイシングにおけるダイシングテープの剥離対策とは?

ウェーハのダイシング工程では、薄くスライスされた半導体チップ(ダイ)を保持するためにダイシングテープが使用されます。このテープがダイシング中に剥がれてしまうと、ダイの破損や位置ずれ、歩留まり低下などの深刻な問題を引き起こします。そのため、ダイシングテープの剥離を効果的に防止・対策することは、半導体製造における品質と生産性を確保する上で極めて重要です。

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マニュアルテープ剥がし機は、ウエハ及び基板に貼りつけられたBG(バックグラインド)テープなどの保護テープを手動で剥がすマニュアルタイプのテープ剥がし機です。

マニュアルテープ剥がし機

当社はUACJグループで「材料調達」から「製品完成」までを担う会社です。
電子部品や半導体製造のダイシングからワイヤーボンディング、モールドまで一連の工程で使用される治工具を様々なお客様へご提供しております。40年に亘る【国内生産】の安定した品質・ワンストップ供給、蓄積してきたノウハウを用いお客様の困りごとに対してご提案させて頂きます。

【採用事例】
・マガジンのコストダウン(組立タイプのマガジンから押出し一体タイプへの提案)
・製品のリフロー工程で耐熱性アップ(樹脂製品からアルミ製品へ)
・現状使用されている治具の軽量化(現場オペレーターの重量負荷軽減)
・ダイシングリングやリングカセットの標準品をお客様仕様にカスタム
・用途別による表面処理のご提案(耐摩耗性、潤滑性、表面硬度アップなど)

半導体後工程用治具(治工具) ~マガジン・ダイシングリング・他~

テープ剥がし機は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。

■薄厚ワーク対応■
独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウエハにも対応可能。
■リトライ機能■
離動作後、センサーにより剥離確認を行います。NGの場合再び剥離動作に入り、剥がし残しを防ぎます。(回数設定可)
■アライメント機能■
剥離前にアライメントテーブルにて、オリフラ・ノッチの角度位置合せとセンタリングを行い、位置ズレによる剥離不良を防ぎます。
■タクト調整機能■
テープ剥離速度、搬送速度等をタッチパネルにて設定可能。ワークにあわせた調整が可能です。
■テープ空検知■
剥離用テープの残量をセンサで検知。残量が5m(設定変更可)になるとアラームで通知。無駄な装置停止をなくします。
■静電気対策■
イオナイザー(静電気除去器)を標準装備。

テープ剥がし機

当リポートはTAB/COFの現状におけるマーケット動向を分析、特に三社撤退の動向及び撤退前後によるテープマーケット変動、メーカーシェア動向等を明らかとしている。さらにアプリケーション需要動向としては、今後のテープマーケット成長の鍵となっていくフレキシブルディスプレイに関して、技術開発動向、マーケット予測、タイプ別マーケット予測、開発参入メーカー、アプリケーション展望、技術・マーケット将来展望等を分析している。AMOLED、LCD、PDPマーケットも分析することにより将来におけるテープマーケットの将来を明らかとしている。

TAB/COFマーケット分析と新アプリケーション将来需要探索

『エレグリップテープ(ダイシングテープ)』は、半導体・電子部品・
光学部品製造におけるダイシング工程においてワークを固定する時に使用され、
チップの多様化、高品質化に伴い、高い技術が求められるテープです。

また、シリコンやガリ砒素などの半導体(化合物半導体)や
封止パッケージ基板、セラミックス、ガラス、水晶など、
多種多様なワークに、幅広い用途で使用されています。

【特長】
■経時安定性に優れる(Tシリーズ)
■優れた粘着性(追従性)
■EMC(エポキシモールドコンパウンド)などの難接着ワークにも対応
■エキスパンド性に優れ、ピックアップが容易

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

エレグリップテープ(ダイシングテープ)

2011年末にMCS、SamsungTW、住友金属鉱山三社のCOF及びテープビジネスからの撤退が表面化しました。撤退領域、時期はやや異なる部分があるものの各社ともCOFは2012年6月までに撤退する計画です。
一気に生産能力は大幅に削減されます。また三社トータルでは約25%のシェアを持つCOFにおいて、大きなフリーの需要が発生することとなります。
各社間の競合は既に始まっていますが2012年下期以降COマーケットは大きく変動することが予測されます。
当リポートにおきましては、2012年下期以降のCOFの需要予測、生産能力推移、生産稼働率推移等を分析。また撤退三社のユーザー動向として、供給先ユーザーそしてその供給量を調査、既存COFメーカーにおけるシェア獲得の可能性を分析、下期におけるメーカーシェアの予測を実施。さらに撤退メーカー三社のポジショニングを明らかとすることで、今後のテープサブストレートマーケットを展望したものとなっています。

2012年下期以降のCOF需給動向及びメーカー生産動向分析

● 2枚取り防止機能!
  ワークの段積みが可能になりスムーズなワーク供給を実現。
● タクト調整機能!
  ワークに合わせてのレシピ設定が可能です。
● 段取り替えはワンタッチ!
  スイッチ1つでワークに合った段取り替えを自動で行ないます。
● 工程間の搬送もスムーズ!
  専用台車によるワークの供給搬出なので工程間の持ち運びもスムーズです。

ダイシングフレーム洗浄装置

D&X株式会社では、『ダイシングテープ』を取り扱っています。

紫外線照射により粘着力が低下することで、ダイボンディング時の
ピックアップ性を高めるテープ剥離が行えるUV型のダイシング
工程用テープをご用意。

ご要望に応じた仕様変更、新タイプの開発も致しております。
少量からの試作にも対応しており、お問い合わせにてお引き合いください。

【特長】
■伸びが均一で、高エキスパンド性
■チッピングの低減
■保持力の強い粘着力
■ヒゲ発生の抑制
■高耐熱性

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ダイシングテープ

2018年、COFマーケットは高い成長を見せた。大型LCD向けが堅調な推移を見せ、さらにOLED、スマートフォン向けの新規アプリケーションが本格化したためである。特にスマートフォン向けは
急激な拡大を見せ、片面COFの需要を拡大させた。スマートフォン向けとしては、従来2メタルCOFがフレキシブルOLEDに採用される程度であったが、2018年よりスマートフォンのフルスクリーンタイプにおいて、片面COFの需要が急増した。LTPS、リジットOLEDにて同需要が拡大しており、スマートフォン分野におけるCOFの採用が本格化している。OLED向けとしても前述したフレキシブルOLED、リジットOLED向けが本格化している。さらにOLED-TV向けも拡大しつつあり、数年後には大きな需要を形成することが予測される。過去数年COFマーケットは停滞感があったが、これら新規アプリケーションにより、再び成長マーケットとして復活しようとしている。

TAB/COF マーケット アプリケーション需要分析2019

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ウェーハのダイシングにおけるダイシングテープの剥離対策

ウェーハのダイシングにおけるダイシングテープの剥離対策とは?

ウェーハのダイシング工程では、薄くスライスされた半導体チップ(ダイ)を保持するためにダイシングテープが使用されます。このテープがダイシング中に剥がれてしまうと、ダイの破損や位置ずれ、歩留まり低下などの深刻な問題を引き起こします。そのため、ダイシングテープの剥離を効果的に防止・対策することは、半導体製造における品質と生産性を確保する上で極めて重要です。

課題

ダイシング時のテープ浮き上がり

ダイシングブレードの切削抵抗や冷却液の圧力により、ダイシングテープがウェーハから部分的に剥がれ、ダイの保持力が低下する。

ダイの飛散・破損

テープの剥離によりダイが固定されなくなり、ダイシング中に飛散したり、ブレードとの接触で破損したりするリスクが高まる。

ダイシング精度への影響

テープの剥離やダイの位置ずれは、ダイシングラインからのずれを引き起こし、チップの寸法精度や配置精度を損なう。

歩留まりの低下

上記の問題が複合的に発生することで、良品ダイの数が減少し、全体の生産歩留まりが著しく低下する。

​対策

テープの密着性向上

ウェーハとダイシングテープ間の接着力を高めることで、ダイシング時の剥離や浮き上がりを抑制する。

ダイの固定強化

ダイシングテープの特性を調整したり、補助的な固定方法を導入したりして、ダイの飛散や破損を防ぐ。

ダイシング条件の最適化

切削速度、ブレードの送り速度、冷却液の流量などを調整し、テープにかかる負荷を最小限に抑える。

テープの選定と前処理

ウェーハの種類やダイシング方法に適したテープを選定し、必要に応じて表面処理やクリーニングを行う。

​対策に役立つ製品例

高接着性ダイシングテープ

特殊な粘着剤や基材を採用し、ダイシング時の高いせん断力や張力に耐えうる強力な接着力を提供する。

UV硬化型ダイシングテープ

ダイシング前にUV照射で一時的に接着力を高め、ダイシング後にUV照射を解除することで容易に剥離できる。ダイの固定性を高めつつ、後工程での剥離作業を容易にする。

ダイシングテープ用プライマー

ウェーハ表面とダイシングテープの接着界面に塗布することで、密着性を向上させ、剥離や浮き上がりを効果的に防止する。

ダイシングテープ用保護フィルム

ダイシング前にテープ表面に貼り付け、冷却液や切削屑の付着を防ぎ、テープの性能低下や剥離の原因となる汚染を抑制する。

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