高スループット化の実現とは？課題と対策・製品を解説

半導体業界では、ウェーハの品質管理と歩留まり向上のため、高精度な検査が不可欠です。特に、微細な欠陥や異物の検出は、製品の信頼性を左右する重要な要素となります。従来の検査方法では、検査速度や分解能に限界があり、タクトタイムの増加や検査精度の低下を招く可能性がありました。PIglide IS A-311は、エアベアリングとリニアモータの組み合わせにより、高速かつ高精度なウェーハ検査を実現し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ表面の異物検査 ・パターン寸法測定 ・欠陥検出 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・検査精度の向上 ・歩留まりの改善

『ismart60G』は、最大ワーク90×250mmまでと多品種に対応した 捺印機です。 マガジンにセットされたダイバカット済みリードフレームを順次取り出し、 リードフレームに捺印されたID（QRコード）を読み取り、上位コンピュータ と通信しその情報をもとに各PKGにレーザ捺印及びID（QRコード）を行う。 その後、捺印の画像検査を行い、カセット収納までを自動で行います。 【特長】 ■多品種対応（最大ワーク：90×250mm） ■Keyence レーザマーカ（MDK-1000） ■2次元IDリーダ装置による捺印制御及びトレーサビリティ管理 ■500万画素による全数外観検査 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

基板マーキング装置は、シリアルナンバー、原産地、工程管理用の 二次元コードや文字をレーザーマーカでダイレクトにマーキング可能な レーザ式基板マーキング装置です。 多彩な機能が搭載されていることに加え、トレーサビリティシステムとの 連携が可能となるオプション類も充実しています。 【特長】 ■プリント基板上の任意位置に微細な文字や2次元コード、図形を高速にマーキング ■スタンプ方式に比べ、印字品質が安定 ■ファイバレーザの場合、金属やセラミックなど多様な素材に対応可能で、 　CO2レーザに比べてより高精細な印字が可能 ■Excelを使用し基板製造ラインから離れた自席で生産と並行して 　フレキシブルな印字プログラムを作成 ※ファイバレーザは高周波利用設備対象外のため許可申請が不要で 　従来機に比べて導入が容易です。 ※Microsoft、Excelは、米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標または商標です ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。