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半導体・センサ・パッケージング

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超薄型チップのハンドリングとは?課題と対策・製品を解説

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チップマウントにおける超薄型チップのハンドリングとは?

半導体・センサ・パッケージング業界において、近年ますます小型化・薄型化が進む超薄型チップを、基板上へ正確かつ安定的に実装する技術を指します。この技術は、高性能化、省スペース化、低消費電力化といった製品の進化に不可欠です。

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 最小面積2.75 x 1.85mmのMEMSマイクに薄型0.9mm厚のタイプが新登場。低周波(20Hz~)対応品は、ノイズキャンセル等のマイクアレイにも最適です。

デジタル(PDM)タイプでは、新たに小型3.5 x 2.65 x 0.98mm品を、低消費電流のローパワーモード搭載でリリースです。

新たなMEMSマイクロホン | CMMシリーズ

改善されたオーディオ品質、パフォーマンス、そして高い信頼性を誇るCUIのCMMシリーズは、非常にコンパクトで、2.75 x 1.85 x 0.95 mmという低プロファイルのフットプリントのハウジングが特徴です。このMEMSマイクロフォンはリフローはんだにも対応しており、表面実装が必要となる場所では設計者にさらなる柔軟性を提供します。スマートフォン、タブレット、スマートホームデバイス、ウェアラブル向けの音声録音やボイスキャプチャに最適です。
CUIのMEMSマイクロフォンは全方向性で、上部または下部のポート位置にアナログまたはデジタルのパルス密度変調(PDM)出力があります。CMMシリーズの各モデルは、円形または長方形のフォームファクターで、-44 dBから-26 dBまでの感度定格と57 dBAから65 dBAまでのシグナルノイズ比を備えています。このMEMSマイクロフォンは、低減された耐震感度、最低で80マイクロアンペア(µA)の低電流、そして、-40°Cから+105°Cまでの広範な動作温度範囲も提供します。

MEMSマイクロフォン【CMMシリーズ】

『静電チャックサポーター』は、極薄ワークを吸着保持して補強する
静電チャックキャリアです。

接着剤を使用せず、電界制御のみで、薄型ウェハーの補強・固定が可能。

コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能で、
厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。

【特長】
■極薄ワークを吸着保持して補強
■薄型ウェハーの補強・固定が可能
■さまざまなプロセスへの投入ができる
■厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

静電チャックサポーター

1991年に設立されたSUNRISEは、JEDECトレイの世界的なリーディングメーカーです。
台湾に本社を構え、世界中の主要なOSAT(半導体後工程受託製造)、ファウンドリー、
ODM(相手先ブランドによる設計・製造)、ファブレス企業にサービスを提供しています。

当社は、半導体業界の厳しい要求に応えるため、高品質で革新的かつカスタマイズされたソリューションの提供に尽力しています。

当社は、ISO 9001、ISO 14001、ISO 14064、ISO 14067の認証を取得しております。

SUNRISEは、優れた製品と高品質なサービスにより、世界の半導体製造分野で高い評価を得ています。

ICトレー SUNRISE PLASTICS INDUSTRY

ファスフォードテクノロジ「SiPボンダ(DB830plus+)」は、SiP組立に特化した300mmウェハ対応のDB800を更に進化させた高速・高性能ダイボンダです。
中間ステージ採用による高品質・高生産性を実現し、多段積層対応の位置補正を備えたビジョンシステムを搭載しています。
積層時のパーティクル軽減のクリーン化対応により、薄ダイ・多段積層に最適なダイボンダです。

【特長】
○高品質・高生産性
○多段積層対応
○薄ダイボンディング技術
○クリン化技術

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

ファスフォードテクノロジ「SiPボンダ(DB830plus+)」

【マニピュレータハンドによる微細チップ用オートマチックチップソーター】
・自社開発の把持ピックアップ方式が吸着ピックアップ方式による不良(チッピング・汚れ)軽減を実現
・ウェハーtoトレー、トレーtoウェハー、ウェハーto GEL Pack 等のチップ移載に対応
・8インチウェハー対応で巾600mmの超コンパクト設計
・マッピングデータ対応
・高速画像処理による高精度な自動アライメント機能搭載
・各種カスタマイズ対応可能(例:高精度ディスペンスロボット)

チップソーター 

従来の電極スイッチは電極とスイッチを別々に実装し、ズレが生じるのが課題としてありました。
本開発品はズレを解消するため、当社が長年培ってきたパッケージング技術の応用で電極とスイッチを一体化し1つのパッケージとしました。また機器に対して別々に実装する必要がなく、機器の省スペース化にも貢献する製品となっています。

<用途>
スマートウォッチ等ウエアラブル機器の心電図機能 など

【特長】
■スイッチとECG電極一体型
■小型で省スペースに貢献
■高クリック感触

※詳しくはPDFカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※本製品は開発中の製品となります

【開発中】電極一体型スイッチ

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チップマウントにおける超薄型チップのハンドリング

チップマウントにおける超薄型チップのハンドリングとは?

半導体・センサ・パッケージング業界において、近年ますます小型化・薄型化が進む超薄型チップを、基板上へ正確かつ安定的に実装する技術を指します。この技術は、高性能化、省スペース化、低消費電力化といった製品の進化に不可欠です。

課題

微細チップの破損リスク

超薄型チップは非常に脆く、わずかな衝撃や圧力で容易に割れたり欠けたりするリスクが高いです。

位置決め精度の低下

チップが小さく薄いため、従来のハンドリング方法では正確な位置への配置が困難になり、実装不良の原因となります。

静電気によるダメージ

超薄型チップは静電気に弱く、帯電した物体に触れるだけで内部回路が破壊される可能性があります。

異物付着による歩留まり低下

微細なチップ表面に微細な異物が付着すると、実装不良や機能不全を引き起こし、生産歩留まりを著しく低下させます。

​対策

非接触搬送技術の導入

エアフローや静電チャックなどを利用し、チップに物理的な接触を最小限に抑えることで、破損リスクを低減します。

高精度ビジョンシステムとの連携

高解像度カメラと画像処理技術により、チップのエッジや特徴点を正確に認識し、ミリ単位以下の精度で位置決めを行います。

静電気対策の徹底

帯電防止素材の使用、イオナイザーの設置、適切なアース接続など、製造環境全体で静電気対策を施します。

クリーン環境での作業

クリーンルームでの作業、特殊な清浄度管理、異物除去装置の活用により、チップ表面の清浄度を維持します。

​対策に役立つ製品例

精密吸引ノズル

チップの材質や形状に合わせて最適化された吸引力と素材により、非接触に近い状態でチップを保持し、破損を防ぎます。

自動位置決めマウンター

高精度カメラと高度なアルゴリズムにより、チップの微細な位置ずれをリアルタイムで補正し、正確な実装を実現します。

静電気除去装置

製造ライン全体に設置し、発生する静電気を中和することで、チップへのダメージリスクを排除します。

クリーン搬送ユニット

清浄度の高い環境でチップを搬送し、外部からの異物付着を防ぐことで、実装歩留まりを向上させます。

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