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複雑形状の加工対応とは？課題と対策・製品を解説
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超音波加工における複雑形状の加工対応とは？
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『IMLシリーズ』は、カセットtoカセットで処理する
枚葉式イオンビームミリング装置です。
エッチング高レートと低レート制御が可能。
また、処理室が2室の装置もできます。
お客様の用途に合わせたサンプル処理を初回無償で提供します。
ウェーハサイズ、処理枚数などについては当社までお問い合わせください。
【特長】
■エッチング高レートと低レート制御が可能
■フィラメントレスμ波ニュートラライザ（オプション）
■EPD（終点検知器）取付（オプション）
■反応性ガス対応（オプション）
■フィラメントレスRFバケット型イオン源（オプション）
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
枚葉式イオンビームミリング装置『IMLシリーズ』
■リフトオフ・有機剥離プロセスで豊富な導入実績
■種々の基板状態に応じたプロセスマージンの広いシステムを構築可能
■多種の剥離/リフトオフツールの同時搭載可能
基板状態（品種/工程等）で、ツールの選択/併用使用可能
◎<BLT型超音波><ホーン型超音波><高圧Jet><ケミカル2流体><マルチスプレー>
■低ダメージ・汎用基板の超音波処理として、＜BLT型超音波＞を搭載
◎BLT型超音波：周波数=38KHz、振動振幅＝1μ以下(P-P)
■強固なレジスト剥離/リフトオフに好適な超高振幅型＜ホーン型超音波＞を搭載可能
◎ホーン型超音波：周波数＝38KHz、振動振幅＝Max20μ(P-P)
■均一性の高い超音波処理を実施
◎定在波ムラ…原理上あり得ません（直接波だけでの超音波処理）
◎超音波振動面内のムラ…素子直上部（強）と素子間部（弱）の強/弱ムラは、
＜基板回転＞と超音波の＜スキャン最適化＞で解消
■バリ除去や研磨後洗浄にも応用展開実施済み
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取
MEMSにおける3次元微細加工において、アルミナ等の超微粒子を吹き付ける事により、微細な切削加工を行うことが出来ます。ガラス基板やSi基板に専用のドライフィルムレジストにて微細なパターンを形成し、サンドブラストにて溝形成や穴加工を行います。また3次元測定機での計測・評価も可能です。一枚からの試作に対応いたします。高アスペクト比のパターニングが実現しました。ミクロン、ナノメートルオーダーの溝や穴加工が可能です。また、深さ 制御も対応可能です。ブラストされた面のケミカル処理や貫通孔への導通処理も対応いたします。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
サンドブラスト
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超音波加工における複雑形状の加工対応
超音波加工における複雑形状の加工対応とは？
超音波加工は、工具を超音波振動させることで、硬脆材料や難削材の加工を可能にする技術です。特に、従来の切削加工では困難な微細な凹凸や複雑な形状の加工に対応できる点が注目されています。この技術は、医療機器、光学部品、半導体関連部品など、高精度が求められる分野での応用が期待されています。
課題
工具形状の再現性限界
工具の形状をそのままワークに転写するため、工具自体が複雑な形状を持つ場合、その製造や維持が困難になることがあります。
微細構造の加工精度
非常に微細な複雑形状を加工する際、超音波振動による工具の摩耗や、加工中の微細なバリの発生が精度を低下させる可能性があります。
異種材料接合部の加工
異なる特性を持つ材料が接合された部品の複雑形状加工では、材料間の加工性の違いから均一な品質を得ることが難しい場合があります。
加工パスの最適化
複雑形状に対応するための最適な工具の動き（加工パス）を生成・制御する技術が未発達な場合があります。
対策
先進的な工具設計
CAD/CAM技術と連携し、複雑形状に対応できる多角形や特殊形状の工具を設計・製造することで、加工の自由度を高めます。
精密な振動制御
加工対象や形状に合わせて超音波振動の周波数や振幅をリアルタイムで最適化し、工具摩耗を抑制し高精度な加工を実現します。
複合加工アプローチ
超音波加工と他の加工技術（例：放電加工、レーザー加工）を組み合わせることで、それぞれの長所を活かし、複雑形状の効率的な加工を目指します。
高度なシミュレーション
加工前のシミュレーションにより、工具の摩耗、加工歪み、バリの発生などを予測し、最適な加工条件や加工パスを事前に検討します。
対策に役立つ製品例
多機能加工ヘッド
様々な形状の工具を迅速に交換でき、複雑な形状に対応するための多様な加工パスを生成・実行できる機構を備えています。
インテリジェント制御システム
加工中のセンサーデータをリアルタイムで解析し、超音波振動や工具の動きを自動で最適化することで、高精度な複雑形状加工を可能にします。
特殊形状工具製造サービス
顧客の要求する複雑形状に合わせて、高精度な工具を短納期で製造し、超音波加工の適用範囲を広げます。
統合設計・加工システム
CAD設計から加工パス生成、加工条件設定、シミュレーションまでを一貫して行えるソフトウェアとハードウェアの連携により、複雑形状加工の効率と精度を向上させます。
