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微細・精密加工

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表面粗さの非接触測定とは?課題と対策・製品を解説

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検査・評価における表面粗さの非接触測定とは?

微細・精密加工業界において、製品の品質を保証するために不可欠な表面粗さの検査・評価を、対象物に触れることなく行う技術です。これにより、加工された微細な構造やデリケートな表面を傷つけることなく、高精度な測定が可能となります。目的は、製品の機能性、信頼性、外観品質の向上と、製造プロセスの効率化です。

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【電子部品向け】エアベアリング A-311
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電子部品業界の基板検査や部品検査では、高い位置決め精度と高速なスキャン動作が求められます。特に、微細化が進む電子部品の検査においては、安定した繰り返し精度と滑らかな走行性能が、検査品質や処理能力に大きく影響します。

PIglide IS A-311 は、エアベアリングによる非接触支持とリニアモータ駆動を採用した高精度XYステージです。機械的摩耗やスティックスリップを排除することで、高速かつ滑らかなスキャン動作を実現し、基板検査やウェハ検査における検査時間の短縮と精度の安定化に貢献します。

【活用シーン】
・基板検査
・ウェハ検査・電子部品検査
・レーザー加工・マーキング工程

【導入の効果】
・高速スキャンによる検査時間の短縮
・安定した位置決めによる検査精度の向上
・検査プロセスの効率化・再現性向上

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検査・評価における表面粗さの非接触測定

検査・評価における表面粗さの非接触測定とは?

微細・精密加工業界において、製品の品質を保証するために不可欠な表面粗さの検査・評価を、対象物に触れることなく行う技術です。これにより、加工された微細な構造やデリケートな表面を傷つけることなく、高精度な測定が可能となります。目的は、製品の機能性、信頼性、外観品質の向上と、製造プロセスの効率化です。

​課題

接触式測定による表面損傷リスク

スタイラス(針)を表面に接触させる従来の測定方法では、微細な加工面や柔らかい素材に傷をつけたり、変形させたりするリスクがあります。これにより、本来の表面状態を正確に評価できない場合があります。

測定時間と生産性の制約

接触式測定は、スタイラスの移動やデータ取得に時間がかかるため、大量生産ラインでの迅速な検査には不向きです。これが生産性のボトルネックとなることがあります。

複雑形状への対応困難

微細な凹凸や複雑な形状を持つ部品の場合、スタイラスが全ての箇所に到達できず、正確な表面粗さ情報を取得することが難しい場合があります。死角が生じやすいという課題があります。

測定環境の制約とコスト

接触式測定器は、振動や温度変化に敏感な場合があり、クリーンルームなどの特殊な環境が必要となることがあります。また、スタイラスの摩耗による定期的な交換もコスト要因となります。

​対策

光学式測定技術の活用

光の反射や干渉を利用して表面形状を捉えることで、非接触での高精度な表面粗さ測定を実現します。これにより、対象物を傷つけることなく、迅速かつ正確な評価が可能です。

高速スキャンとリアルタイム解析

最新の光学式測定器は、高速なスキャン能力とリアルタイムでのデータ解析機能を備えています。これにより、生産ライン上での迅速な検査や、加工中のフィードバック制御が可能になります。

多様な測定モードと解析機能

対象物の形状や材質に応じて、様々な測定モードを選択できるシステムを導入します。また、取得したデータを詳細に解析し、表面粗さだけでなく、形状情報なども同時に評価できる機能が重要です。

自動化と省力化の推進

測定器の自動搬送システムや、AIを活用した自動判定システムを組み合わせることで、人的ミスを削減し、省力化と生産性向上を図ります。これにより、測定コストの削減にも繋がります。

​対策に役立つ製品例

レーザー顕微鏡

レーザー光を走査して表面の微細構造を捉え、非接触で高解像度の3次元形状と表面粗さ情報を取得できます。複雑な形状でも高精度な測定が可能です。

白色干渉計

光の干渉を利用して、ナノメートルオーダーの微細な表面段差や粗さを非接触で測定します。デリケートな表面の評価に適しています。

プロファイロメーター(光学式)

光学的原理に基づき、表面の断面形状を高速かつ非接触で測定します。ライン粗さや表面の凹凸を迅速に評価できます。

3Dスキャナー(高精度タイプ)

広範囲の表面形状を非接触で捉え、3次元データとして取得します。表面粗さ解析だけでなく、全体的な形状評価にも活用できます。

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