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微細加工の精度向上とは？課題と対策・製品を解説

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微細加工技術

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レーザー加工における微細加工の精度向上とは？

レーザー加工における微細加工の精度向上とは、レーザー光を用いて材料を加工する際に、より微細な形状や高精度な寸法を実現することを目指す技術分野です。これにより、電子部品、医療機器、光学部品など、高度な精密性が求められる製品の製造が可能になります。

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【小型ロボット向け】微細プレス加工

株式会社エクセル電子

小型ロボット業界では、限られたスペースの中で、高い信頼性と長寿命が求められます。特に、可動部分やセンサー類に使用される電子部品においては、接触不良や異物混入による故障は、ロボット全体の動作に影響を及ぼすため、重要な課題です。当社の微細プレス加工は、接点形状をドーム状にすることで、低接触圧下での安定化を実現し、異物挟み込みのリスクを低減します。【活用シーン】 ■微弱電流を扱う精密センサー【導入の効果】 ■低接触圧下における導通信頼性の向上 ■異物挟み込みによる接触不良リスクの低減

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【精密加工向け】ACS-4-5による高速化

藤倉コンポジット株式会社

精密加工では、精密な操作が求められます。特に、精密加工機において微細な動きが求められる場面では、シリンダの摩擦抵抗が操作精度に大きく影響します。摩擦が大きいと、位置決め誤差や振動が発生し、正確な操作を妨げる可能性があります。エアベアリングシリンダは、摩擦抵抗ゼロを実現し、滑らかな動きを提供することで、精密加工機の性能向上に貢献します。【活用シーン】・加工ヘッド・ステージ位置制御【導入の効果】・高精度な位置決め・滑らかな動作・製品の品質向上

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【電子機器向け】高精度プレス加工

株式会社ニチベイパーツ

電子機器業界では、製品の小型化が進むにつれて、部品の精密な加工が求められます。特に、限られたスペースに多くの機能を詰め込むためには、部品の精度が製品の品質を左右します。高精度なプレス加工は、部品の小型化と同時に、製品の信頼性向上にも貢献します。【活用シーン】・小型電子機器の部品製造・精密な形状が求められる部品の製造・省スペース化を実現する部品の製造【導入の効果】・部品の小型化と高精度化を実現・歩留まりの向上・コスト削減

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【精密加工向け】超小型複動エアベアリングシリンダ

藤倉コンポジット株式会社

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【電子機器向け】ミクナスファインエンジニアリング

NPO諏訪圏ものづくり推進機構

電子機器業界では、製品の小型化と高性能化が常に求められています。特に、薄型化を実現するためには、精密な部品加工技術が不可欠です。ミクナスファインエンジニアリングは、創業70年の経験と、時計部品で培った微細加工技術を活かし、超精密な電子部品の量産を可能にしています。これにより、お客様の製品の薄型化と高性能化に貢献します。【活用シーン】・スマートフォン・ウェアラブルデバイス・薄型テレビ【導入の効果】・製品の小型化・高性能化・信頼性の向上

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【ナノテクノロジー向け】高純度溶剤

日本乳化剤株式会社

ナノテクノロジー分野における合成プロセスでは、不純物の混入が製品の品質を大きく左右します。特に、金属不純物は反応の阻害や製品の性能劣化を引き起こす可能性があります。高純度溶剤は、これらの問題を解決し、高品質なナノ材料の合成を可能にします。当社の高純度溶剤は、pptレベルの金属管理を実現し、お客様の合成プロセスを強力にサポートします。【活用シーン】・ナノ材料合成・ナノ粒子分散・薄膜作製【導入の効果】・高純度溶剤の使用により、合成反応の効率が向上し、高品質なナノ材料が得られます。・金属不純物による悪影響を抑制し、製品の信頼性を向上させます。・pptレベルの金属管理により、高度な品質管理が可能です。

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【精密加工向け】ACS-13.5-5 エアベアリングシリンダ

【精密加工向け】エアベアリングシリンダ

【精密加工向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888

ピーアイ・ジャパン株式会社

精密測定の分野では、ナノレベルの精度が求められる測定や、過酷な環境下での測定が不可欠です。温度変化や振動、真空環境下など、様々な外的要因が測定精度に影響を与えるため、安定した動作と高い耐久性が重要になります。PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、これらの課題に対し、高い剛性と耐環境性能で応えます。【活用シーン】・走査型プローブ顕微鏡（SPM）・半導体製造装置・光学素子の精密位置決め【導入の効果】・サブナノメートルの分解能による高精度な位置決め・過酷な環境下での安定した動作・長寿命化によるメンテナンスコスト削減

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【ディスプレイ向け】薄物プラスチック・樹脂フィルム抜き加工

第一商工株式会社

ディスプレイ業界、特に光学分野では、製品の小型化、軽量化、高精度化が進んでおり、それに伴い、薄物プラスチックや樹脂フィルムの精密な加工が求められています。光学特性を損なわない正確な抜き加工や、曲げ加工、両面テープ貼りといった複合的な加工技術が、製品の品質を左右する重要な要素となります。第一商工の薄物プラスチック・樹脂フィルム抜き加工は、これらのニーズに応え、お客様の製品開発をサポートします。【活用シーン】・ディスプレイの保護フィルム・光学レンズの固定部品・タッチパネル関連部品・バックライトユニット部品・各種センサー部品【導入の効果】・高品質な製品の提供・製品の信頼性向上・設計自由度の向上・コスト削減・短納期対応

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【半導体マスク向け】φ0.02穴あけ加工

三和クリエーション株式会社

半導体業界では、マスクの微細な穴加工が、製品の品質と性能を左右する重要な要素です。特に、高密度化が進む半導体集積回路においては、マスクの正確な穴径と位置精度が求められます。穴径が不正確な場合、回路の形成に問題が生じ、製品の歩留まり低下につながる可能性があります。三和クリエーションのφ0.02穴あけ加工は、半導体マスクの製造において、高品質な製品を提供します。【活用シーン】・半導体マスクの微細穴加工・プローブカード向け・微細穴加工を求められるお客様【導入の効果】・高精度な穴加工による製品品質の向上・歩留まりの向上・多様な材質への対応

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【微細加工】高低温エアシリンダ

藤倉コンポジット株式会社

微細加工分野では、高度な安全性と信頼性が求められ、過酷な温度環境下でも精密な動作が可能な部品が不可欠です。特に、μレベルの微細加工には、耐熱性と精密な制御が両立するエアシリンダの需要が高まっています。当社の高低温エアシリンダは、-60℃～200℃の温度範囲で使用できる配合を施したダイヤフラムを採用し、過酷な環境下でも安定した動作を実現します。【活用シーン】・微細加工装置・精密加工ヘッド・高温環境下の産業用ロボット・耐熱試験装置【導入の効果】・過酷な温度環境下での安定した動作・製品寿命の向上・精密な位置決めと制御・高い信頼性と安全性

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【家電向け】フィルム抜・曲げ加工

第一商工株式会社

家電業界の筐体部品においては、絶縁性や耐久性が求められます。製品の小型化が進む中で、部品の精度も重要です。絶縁不良や形状の不備は、製品の安全性や性能に影響を与える可能性があります。当社フィルム抜・曲げ加工は、お客様のニーズに合わせた最適な加工方法をご提案します。【活用シーン】・家電製品の筐体内部の絶縁対策・電子部品の保護カバー・操作パネルや表示部の保護フィルム【導入の効果】・絶縁性、耐久性の向上・部品の精度向上による製品品質の安定化・短納期対応による開発期間の短縮

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【電子部品向け】LTC6050 超精密レーザー加工機

有限会社ランテクノロジー

電子部品業界では、小型化・高密度化が進み、微細加工技術の重要性が増しています。特に、精密な形状や微細な穴あけ加工は、製品の性能や信頼性を左右する重要な要素です。従来の加工方法では、精度や効率に限界があり、歩留まりの低下やコスト増につながる可能性がありました。LTC6050は、最小ビーム径Φ10μmによるハイレベルの微細加工を実現し、電子部品の高品質化に貢献します。【活用シーン】・シム、パッキン、バネなどの微細金属部品加工・エッチング材の加工・極薄素材から薄板までの加工【導入の効果】・高精度な加工による製品品質の向上・加工時間の短縮による生産性向上・多様な材料への対応による製品開発の可能性拡大

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【スマートフォン部品向け】LTC6050

有限会社ランテクノロジー

スマートフォン部品業界では、小型化と高機能化が進み、精密な金属部品の加工が不可欠です。特に、限られたスペースの中で高い精度が求められる部品においては、微細加工技術が製品の性能を左右します。LTC6050は、最小ビーム径Φ10μmによるハイレベルの微細加工を実現し、スマートフォン部品の品質向上に貢献します。【活用シーン】 * スマートフォン内部の精密部品加工 * 小型コネクタ、シールドケースなどの加工 * 薄型・軽量化を実現する部品の製造【導入の効果】 * 高精度な部品加工による製品品質の向上 * 歩留まりの向上 * 設計自由度の向上

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【微細・精密加工向け】パッシブ除振台

藤倉コンポジット株式会社

微細な精密加工を行う装置においては、外部からの振動が実験結果に大きな影響を与える可能性があります。超精密加工機や製造プロセスにおいては、高精度な測定や加工が求められ、わずかな振動も測定誤差や品質の低下につながる可能性があります。パッシブ除振台は、これらの課題に対し、振動を効果的に抑制し、安定した環境を提供することで、研究開発の精度向上に貢献します。【活用シーン】・ナノレベルの精密加工装置・走査型プローブ顕微鏡（SPM）【導入の効果】・プロセス制御の信頼性向上・加工の再現性向上・高品質なナノレベルの加工精度向上

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【ゲームコントローラー向け】フォトエッチング加工スペーサー

株式会社ピーワン

ゲームコントローラー業界では、製品の小型化、高機能化に伴い、内部構造の精密さが求められます。特に、操作性や耐久性に影響する部品間の隙間調整は重要です。スペーサーの精度が低いと、操作性の低下や故障の原因となる可能性があります。フォトエッチング加工によるスペーサーは、バリのない精密な加工を実現し、コントローラーの品質向上に貢献します。【活用シーン】・ゲームコントローラーの内部構造・ボタンやスティックの配置調整・基板と筐体の隙間調整【導入の効果】・コントローラーの操作性向上・製品の耐久性向上・設計の自由度向上

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ナノインプリント

株式会社アシストナビ

当社では、ホールパターン、ラインパターン50nm以下の超微細パターン付き Ni及び石英モールドをご提供します。また、半導体レーザー技術によりサブミクロンオーダーのラインやピラーパターンのモールド作成ができます。ぜひご相談ください。【概要】 ■Niモールド　・Ni電鋳による微細金型　・ホール、ピラー、ラインパターンなど50nm以下の微細モールドの　　提供が可能 ■石英モールド　・UV転写用に石英モールドの提供が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【液晶構成部材など】特殊光学フィルム打ち抜きプレス加工

オーティス株式会社

スマートフォンやカーナビなどのディスプレイに使用されている液晶バックライトユニットの構成部材である拡散・遮光・反射等の機能を持った特殊光学フィルムや両面テープのプレス加工を行っております。弊社では生産現場はすべてクラス１0，０００～１０0，０００のクリーンルームとなっており、光学フィルムのプレス加工に対する精度・クリーン度の要求にお答えできます。バリの発生といった不具合にも、様々な機能性材料の加工経験と分析、刃物の条件出しにより最適な加工条件を導き出すことで不具合を抑え、品質の良い、歩留まりの高い加工が行えます。中国、マレーシアの工場にも日本と同じ設備を導入しており、日本と同様の品質で量産が可能となっています。

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各種パターニング加工

テクノプリント株式会社

エッチング技術でACF・有機EL・各種TEG・MEMS・太陽電池等へ小ロット1枚の試作から量産までのパターン加工の対応。ガラス・PC、PET、PI等各種フイルム基材の加工もお受けいたします。また基材及び成膜手配からもお受け致します。当社が行っている『各種パターニング加工』についてご紹介いたします。貼り合わせ加工（空セル製作等）をはじめ、感光性樹脂パターニング、 ITOヒーター加工など、さまざまな加工技術を保有。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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複合加工（微細貫通穴、掘り込み等）

武蔵野ファインガラス株式会社

当社で行う「複合加工（微細貫通穴、掘り込み等）」についてご紹介します。フォトレジストを配線保護の目的で使用することが可能。すでに配線の完了した基板にフォトレジストで保護層をパターニングし、掘り込みや貫通穴加工を行えます。また、レーザー改質＋エッチングで加工した貫通穴は、エッジ部がほぼ垂直になり、部品を挿入する穴の場合、部品を入れやすくする為に貫通加工後にザグリ加工することができます。【加工例（一部）】 ■配線保護での加工・フォトレジストを配線保護の目的で使用可能・すでに配線の完了した基板にフォトレジストで保護層をパターニングし、　掘り込みや貫通穴加工を行える・フォトレジストは、無機または有機アルカリで剥離することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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微細・精密な穴あけ・切断用レーザ『PRELAS-1212AJ』

株式会社アマダ（アマダグループ）

『PRELAS-1212AJ』は、高精度を実現する高剛性フレーム構造により、超精密加工に対応できるマシンです。超高輝度シングルモードファイバーレーザ発振器を搭載。これにより、極細かつ高エネルギー密度なビームを作り出すことに成功しました。また、銅・真鍮・アルミなどの高反射材および、めっき材などの難加工材の加工が行えます。【特長】 ■高品質ビームで極細カーフを形成 ■ファイバーレーザ搭載で高反射材・難加工材を加工 ■位置決め精度±5μmを実現する駆動システム ■スマートフォン感覚で使える「AMNC 3i」を搭載

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【抜き加工製品紹介】デジタルカメラのボタン

智昌加工株式会社

当社の「抜き加工製品」についてご紹介します。抜き加工の種類には、テープ抜き、フィルム抜き、クッション抜き、厚物抜きがあります。フィルム系抜き加工で作製している「デジタルカメラのボタン」をはじめ、両面テープを貼り合せ、抜き加工で作製している「アルミ抜き加工品」などをラインアップしています。【抜き加工製品例】 ■厚物抜き加工品 ■デジタルカメラのボタン ■フィルム系抜き加工品 ■アルミ抜き加工品 ■パソコン内部部品留めテープ ■デジタルカメラのレンズ部品 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ファイバーレーザー加工機FMC280の加工サンプル無料進呈中

コムネット株式会社

【金属加工サンプルを無料進呈中！】ファイバーレーザー加工機のコンパクトモデル GCCシリーズ『 FMC280』で加工した薄板金属の切断加工の品質をお確かめいただくために、加工サンプルと製品のご提案書を無料進呈しております。『FMC280』は、コンパクトサイズで美しいカッティングエッジを生み出すファイバーレーザー加工機です。優れたコストパフォーマンスに加え、卓越した出力クオリティを実現。 GCCの長年にわたり培った経験から、金属加工の業界で使いやすいシステムとなっています。【この提案書でわかること】 ■加工可能な材料 ■金属刃物との加工品質の違い ■レーザー加工機に必要な周辺機器 ■必要なソフトウェア ■お客様導入事例 ■金属加工サンプルギャラリー ※『PDFダウンロード』ボタンより、FMC280のご提案書をお申し込みいただいた方に加工サンプルを無料進呈いたします。

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基板エッチング、貼り合わせ加工

平井精密工業株式会社

当社の「基板エッチング、貼り合わせ加工」は、片面加工約2.0mmまで対応可能となっております。複合加工では、断面のテーパーを抑制。異形条も再現可能。材質の厚みをより増すことができます。（要相談）【加工能力】 ■片面エッチング ■両面エッチング ■複合加工エッチング＋α ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ウエハー加工（CVD、スパッタ、フォトリソ、エッチング）受託

株式会社九州セミコンダクターKAW

試作・開発・量産まで、ウエハー加工に関する受託加工を行っております。社内加工では成膜加工（CVD、スパッタリング）・フォトリソ・エッチング加工を行うことが出来、それ以外の加工は協力企業での加工となります。成膜は、ウエハー上に数百ナノ～数ミクロンの絶縁膜、金属膜を形成。フォトリソは、マスクに描かれたミクロン単位のパターンをウエハー上のレジスト膜に転写しパターニング。エッチングは、形成された膜、またはシリコン等を化学反応で削り、パターンを形成します。テスト用、評価用パターンウエハーの製作も行っています。成膜を行った膜付きウエハーや、ウエハー単体での販売も行っております。お気軽にお問合せください。

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＜微細加工の受託サービス＞電子ビーム(EB)描画加工

株式会社FKDファクトリ

当社では、微細加工の受託サービスとして「電子ビーム(EB)描画加工」を行っております。 EB描画はその名の通り、フォトマスクを用いることなく、デバイスパターンを直接描画するマスクレス露光技術です。 BE描画に精通したエンジニアが丁寧にヒアリングし、必要に応じて前後のプロセスも含めて提案させていただきます。【特長】 ■フォトマスクが不要 ■デバイスパターンの変更が容易 ■100nm以下の超微細パターンの形成が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社PARAM　会社案内

株式会社PARAM

株式会社PARAMは、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用する並列型マルチコラム・マルチビームを用いた電子ビーム技術開発会社です。近い将来、微細加工技術は5nm以下が必要とされ、用途は人工知能チップはじめ多くの分野で、開発から量産技術として必要とされています。当社は各種電子ビーム要素技術と関連技術で皆さまのお役に立てるように精一杯尽力いたします。【事業内容】 ■真空用オゾン供給器・除外器の製造販売 ■電子ビームコラムの設計・製造・開発受託 ■電子ビーム制御用電子回路の開発受託 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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微細加工用ポジ型フォトレジスト電着処理剤『ハニレジストAP』

ハニー化成株式会社

『ハニレジストAP』は、ハニー化成の長年に亘り培われてきた、当社が世界に先駆けて開発したアルミ建材用電着塗装技術（電着樹脂合成技術、電着液管理技術、電着プロセス技術）を基本とし、開発された微細加工用ポジ型レジスト電着処理剤です。プリント基板やCOF・TCPへの Reel to Reelによる高速処理（通電時間10秒で膜形成が可能）・微細加工が可能です。スルーホール内の処理能力にも優れ、3次元構造に対する塗膜形成が容易に行えます。【特長】 ■高速処理 ■高解像度 ■均一な塗膜厚 ■アルカリ現像、アルカリ剥離タイプ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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開発製品　※ウエハプロセスから実装までワンストップ対応

シチズンファインデバイス株式会社

★異種材料接合金属を接着剤として用いることで、異種材を、安定した溶解によって強固に接着できます。高温・高真空下で処理することで、均一な金属融解を実現します。金属を用いることで、耐薬性が高く、医療機器の接合に好適です。めっきを使うことで、接着する範囲を指定することができ、高い接着精度を実現できます。 ★マイクロプレートアンカー効果で狙った位置に最適な形状で検体を保持します ★精密治具・精密金型半導体MEMS技術を駆使した高精密なツールです。その他、液体パーティクルカウンターやMEMS製品などの開発製品を揃えております。詳細資料がほしい方は資料請求をお願いします。

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フォトエッチング加工

セントラル光学株式会社

『フォトエッチング加工』は、フォトリソグラフィー加工ともいわれる微細加工です。金属膜(クロムCr、アルミニウムAl、銅Cuなど)はもちろんARコートや IRカットコートなどの誘電体膜のパターン化も可能。校正用チャート、レチクル、メモり、解像チャート、写真撮影用のソフトフォーカスフィルタやクロスフィルタなどを製造しています。【特長】 ■最大□200mmまで対応可能 ■加工精度において不利なウェットエッチングで在りながら高精度の　パターニングを提供 ■優れたコストパフォーマンスと短納期に対応 ■誘電体膜のパターン加工やフィルム基板にもパターン形成も対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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くし形電極加工（オーダメイドでパターンチップを作成します）。

安達新産業株式会社

こんなことにおこまりではありませんか？・薄膜加工・パターン加工を別々に発注し、納期管理が大変。・図面に落としていないが、相談に乗ってくれませんか？・細かい配線を実現したいが、成膜材料のアドバイスがほしい。・パターン加工だけでも、受けて頂けますか？・ラインアンドスペース(L/S)が、10μmでも対応できますか？ ■微細加工技術フォトリソグラフィ、エッチング、メタルマスクによる微細パターニングを実現しております。お客様のご要望に応じて、ベストな加工方法やレジストを選択致します。但し、成膜物質や基板、膜厚や薄膜の積層構成などの条件すり合わせが必要です。サブμmやnmレベルのパターンについてもご相談ください。 ■少量試作も可能です。ものづくりにおいては、仮説～検証のサイクルは必須工程です。どれだけシミュレーション技術が発達したとしても、検証は省くことが出来ません。ゆえに安達新産業では、特性検証のための試作は喜んで請け負います。まずはお問い合わせください。

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複合金属加工(切削・ヘッダー・プレス)

株式会社エクセル電子

当社で行う、「複合金属加工(切削・ヘッダー・プレス)」についてご紹介いたします。スマートフォンの充電端子など、小型形状の金属部品加工をお客様の用途に合わせたカタチで実現しつつ、一般的な加工に比べて生産性の向上やコストダウンに貢献します。ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。【基本情報(抜粋)】 ■材料・鉄鋼系ステンレス鋼(SUS303) ・銅系黄銅(C2600、C2700) ■加工：切削、ヘッダー、プレス、複合プレス【活用シーン】 ■次世代スマートフォンやウェアラブル端末の超小型精密端子 ■車載用センサーや通信モジュールの微細金属部品 ■精密医療機器や産業用ロボットの微細メカ部品【導入の効果】 ■大幅なコストダウンと材料歩留まりの改善 ■生産リードタイムの短縮と大量生産への対応 ■設計の自由度向上と部品の統合化 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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書籍【CM0708】マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

株式会社AndTech

書籍【CM0708】マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 ■□■書籍内容■□■ コスト面や生産性で優れるウエット、微細化に優れるドライ、そしてそれらの応用展開から構成される本書は、研究開発から生産現場まで広い範囲でお役に立てます! 太陽電池におけるテクスチャー形成、3次元実装における TSV(シリコン貫通ビア)形成など、最新のエッチング技術を掲載! 予想通りにエッチングができずにお困りなら、是非とも本書をご参考下さい! ■詳細は、お問い合わせ下さい。

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液晶保護フィルム　成型加工

株式会社松本製作所

・業界弱電・家電 IT・携帯電子部品・仕様素材：樹脂ロット：1～上限なし精度：その他 ※詳細はお問い合わせ、もしくはPDFをダウンロードしてください。

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＜微細加工の受託サービス＞ドライエッチング加工

株式会社FKDファクトリ

当社では、微細加工の受託サービスとして「ドライエッチング加工」を行っております。小片～□300mmの基板サイズに対応。R＆D用デバイスから試作・小規模生産に対応し、貴社のデバイス開発をサポートいたします。ドライエッチングに精通したエンジニアが独自のデータベースを基に、多様なご要望にお応えいたします。【特長】 ■□300mmの大型基板に対応 ■丸基板はφ12インチまで対応可能 ■経験豊富なプロセスエンジニアによる丁寧なヒアリングを基に方針を決定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フォトエッチング

豊和産業株式会社

MEMSや表示デバイス等における要素技術であるフォトエッチング・精密写真技術を用いた微細加工を少量の試作より承ります。ガラス基板、Siウエハ、フィルム、セラミックス等の基板上に薄膜を形成し、フォトリソグラフィー方式により微細なパターンを一貫加工にて形成致します。一枚からの試作に対応可能です。ダイシング、バンプ形成等の試作も対応いたします。また、リフトオフ加工にて、誘電体膜や多層膜のパターン化も可能です。基板サイズは任意にて対応可能。Siウエハやガラス基板のエッチングも可能です。短納期にて対応（要御相談）、リジッド、FPC基板にも対応いたします。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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精密クーラントろ過システム

濾過精工株式会社

当社の『精密クーラントろ過システム』は、工作機械などで使用するクーラント（油性、あるいは水系の加工液）に混入するスラッジ（磁性体、非磁性体の切削屑）をフィルター・エレメント（立体濾紙）で捕集・除去し、クーラントの初期状態を可能な限り保持する循環式ろ過装置です。特許を取得した当社独自の“精密”で“円滑”なろ過及び逆洗浄で、レンズ、光学製品、電子部品など、加工に極めて高度な正確さを要求される分野で、クーラントの清浄・長寿化に貢献しています。精密加工には必要不可欠やクーラント液。加工機、加工工具だけで無く、クーラント液が最後の砦として、精密加工を支えます！たかがろ過…されどろ過！いま一度精密加工に必要なクーラント液の循環を見直しませんか。製品の品質、作業環境、クーラント液寿命が大きく変わります。また、SDGsの遂行、精密加工現場の環境改善にも寄与致します。

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ITO膜の剥離加工事例　「レーザ微細加工の受託加工」

東成エレクトロビーム株式会社

材質：ITO膜付ガラス膜厚：90nm／除去幅：約20μm／パターンサイズ：約5mm×5mm 東成エレクトロビーム株式会社では、微細加工用レーザを駆使し、微細な穴あけや切断、溝加工等をお請けいたします。レーザ波長（IR、SHG、THG）の選択が可能です。材質は、ステンレス各種、チタン、モリブデン、タンタル、ニオブ、アルミニウム、銅、鉄、セラミックス、ガラス、樹脂材等、様々な材質に適応。お気軽にご相談ください。【特徴】 ○金属のバリ発生を抑制 ○樹脂材の熱ダレを抑制 ○100μ以下の穴あけ詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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特殊成膜技術「オスミウムコーティング」

株式会社大和テクノシステムズ

高精度に加工、清浄化したアパーチャープレートにオスミウムを成膜することで、アパーチャープレートのチャージアップを防止することが可能です。オスミウムは高硬度、高融点であり、導電性の薄膜です。プラズマCVD法にて成膜するため、微細な穴の内部まで均一でなめらかな膜を形成することが出来ます。【特徴】 ○膜厚 50nm ○良導電性 ○すぐれた耐熱性詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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MEMS受託～開発から量産まで一貫対応～

シチズンファインデバイス株式会社

時計生産で培った微細加工をベースに、MEMS・機能薄膜・パッケージング技術を合わせたソリューションを提供できます。医療・半導体・情報通信・航空宇宙などの幅広い分野に貢献しています。アンカー効果で狙った位置に好適な形状で検体を保持する「マイクロプレート」の提供や、超微細加工で液体を制御する検査・創薬用チップ「マイクロ流路」の設計、成形から接合、検査まで一貫対応します。【特長】 ■機能薄膜 ■ウエハプロセスから実装までワンストップ対応【技術】 ■接合封止：実装からパッケージングまで一貫製造が可能です。　例）セラミックパッケージとガラスリッドをAuSn接合で封止 ■微細加工：お客様のニーズに合わせた設計が可能です。例）シリコン型の加工等 ■機能薄膜：薄膜種類が多種多様です。例）光学薄膜、電極膜、撥水・疎水膜、磁性膜、はんだ膜等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型イオンビームエッチング装置

アールエムテック株式会社

小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング（IBE）装置です。微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。【特長】 ○Au, Pt, 磁性材等を容易にエッチング ○テーパー加工が容易 ○基板表面温度８０℃以下での処理が可能 ○有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要 ○エンドポイントディテクター搭載可能詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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【微細　コバルト酸リチウム　厚み：15μｍ　リチウムイオン電池】

株式会社光機械製作所

【微細　コバルト酸リチウム　厚み：15μｍ　リチウムイオン電池】【材質】コバルト酸リチウム【業界・使用用途】リチウムイオン電池【材寸】厚さ15ミクロン径　φ１～５mm 【加工】超短パルスレーザー加工【特徴】こちらの製品は、コバルト酸リチウムを超短パルスレーザーで高品質にカッティングしました。リチウムイオン電池の陽極材料でもバリが発生せずする事が出来ます。本製品は超短パルスレーザーを用いたので、物理的ダメージ・熱影響が非常に抑えられるためバリの少ない、微細加工が実現出来ました。株式会社光機械製作所 ■HIKARI LASER LAB. 〒277-0882　千葉県柏市柏の葉5丁目4の6 東葛テクノプラザ 511号室 Tel. 0471-70-4866 Fax. 0471-70-4866 E-mail：info@hikarikikai.co.jp HP：https://www.hikarikikai.co.jp/

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微細構造物形成

テクノプリント株式会社

当社では、『微細構造物形成』を承っております。各種レジスト剤でμm精度の型をカスタマイズして評価基板にて提供。パターン形状は直線・円形（筒状）、アスペクト比は5：1（膜厚50μm以上）可能で、3:1までの実績を有しています。基材に凹凸のある高精度治具作製にご苦労されてませんか？ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【特長】 ■各種レジスト剤でμm精度の型をカスタマイズして評価基板にて提供 ■パターン形状は直線・円形（筒状）可能 ■アスペクト比は5：1（膜厚50μm以上）可能（3:1までの実績あり） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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プレス技術（製品）

日本ミクロン株式会社

日本ミクロン株式会社では、高度な金型技術により、通常では困難な特殊材料に対してのプレスを可能とし、組立効率を向上する多彩な集合基板を提供します。金型の材質・構造に関する当社ノウハウにより、低・高誘電率材料などの割れやすい特殊材料の打ち抜き加工を実現します。また、板厚が薄い場合は、断面もバリが少なく、精度アップが可能です。【特長】 ■高度な金型技術 ■低・高誘電率材料の打ち抜き加工を実現 ■板厚が薄い場合は精度アップが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【使用例】携帯電話/カメラレンズ

株式会社旺電舎

株式会社旺電舎は、電気鋳造(エレクトロフォーミング)技術の総合メーカーとして事業を展開している会社です。当社の製品は、カメラ付き携帯電話のレンズリング部品として数多くご採用頂いています。表面のマット感と、側面の光沢仕上げとの組み合わせが生み出すコントラストが特長です。詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【抜き加工製品紹介】携帯電話のカメラパネル

智昌加工株式会社

当社の「抜き加工製品」についてご紹介します。抜き加工の種類には、テープ抜き、フィルム抜き、クッション抜き、厚物抜きがあります。フィルム系抜き加工で作製している「携帯電話のカメラパネル」をはじめ、テープ抜き加工で作製している「テープ抜き加工品」などをラインアップしています。【抜き加工製品例】 ■絶縁スペンサー ■携帯スピーカー ■携帯電話のカメラパネル ■スマートフォンのパネル部品 ■スマートフォンカバー ■iPhone覗き見防止液晶保護フィルム ■テープ抜き加工品 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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レーザー微細加工：化学強化ガラスの切断加工

株式会社光機械製作所

超短パルスレーザーでのフィラメンテーションを利用したガラス内部へのスクライブ加工により、強化の入ったガラスでもクラック発生や破壊なく切断が可能です。微細加工により切り幅は小さく、面粗さ＜2μmの平坦な切断面が得られます。スクライブ加工は化学強化前のガラスへ適用し、割断起点とすることもできます。素材：化学強化ガラス厚み：700μｍ http://www.hikarikikai.co.jp/laser/

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エッチング受託加工

株式会社協同インターナショナル

協同インターナショナルでは『エッチング受託加工』を承っております。回路形成/テストパターン作製/表面改質/条件出し等に必要な、さまざまなエッチング加工のニーズにお応え。ドライ(RIE、ICP)とウェットの両プロセスから適した方法を提案しお客様の課題を解決します。【特長】 ■さまざまなエッチング加工のニーズにお応え ■フォトリソ～エッチング～レジスト除去までの一連の工程も受託可能 ■膜種のエッチングテストにもフレキシブルに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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枚葉式イオンビームミリング装置『IMLシリーズ』

株式会社日立ハイテク

『IMLシリーズ』は、カセットtoカセットで処理する枚葉式イオンビームミリング装置です。エッチング高レートと低レート制御が可能。また、処理室が2室の装置もできます。お客様の用途に合わせたサンプル処理を初回無償で提供します。ウェーハサイズ、処理枚数などについては当社までお問い合わせください。【特長】 ■エッチング高レートと低レート制御が可能 ■フィラメントレスμ波ニュートラライザ（オプション） ■EPD（終点検知器）取付（オプション） ■反応性ガス対応（オプション） ■フィラメントレスRFバケット型イオン源（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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レーザー加工における微細加工の精度向上

レーザー加工における微細加工の精度向上とは？

課題

熱影響による加工精度低下

レーザー光のエネルギーが材料に吸収される際に発生する熱が、加工周辺部を溶融・変質させ、意図しない形状変化や寸法誤差を引き起こすことがあります。

レーザー光の回折・散乱

レーザー光は波長を持つため、微細な加工を行う際に回折や散乱が生じ、ビーム径が広がり加工精度が低下する可能性があります。

材料特性のばらつき

加工対象となる材料の組成、表面状態、厚みなどのばらつきが、レーザー光の吸収率や熱伝導率に影響を与え、加工結果の均一性を損なうことがあります。

加工プロセスの最適化困難

レーザー出力、加工速度、焦点位置、パルス幅など、多数のパラメータが加工精度に影響するため、最適な条件を見つけ出すことが複雑で時間を要します。

対策

超短パルスレーザーの活用

ナノ秒以下の非常に短いパルス幅を持つレーザーを用いることで、熱影響を最小限に抑え、材料の除去を効率的に行い、高精度な加工を実現します。

ビーム整形・集光技術の高度化

特殊な光学素子を用いてレーザービームの形状を最適化したり、より高い開口数で集光することで、微細なスポット径を実現し、加工解像度を向上させます。

リアルタイムモニタリングとフィードバック制御

加工中の材料表面やレーザーの状態をリアルタイムで計測し、その情報に基づいてレーザーパラメータを自動調整することで、ばらつきを抑制し安定した加工を実現します。

高度なシミュレーション技術の導入

加工プロセスを事前にコンピュータ上で詳細にシミュレーションし、最適な加工条件を予測・検証することで、試行錯誤の回数を減らし、効率的に精度向上を図ります。

対策に役立つ製品例

高精度レーザー加工装置

超短パルスレーザー光源と高精度な光学系、精密なステージ制御を組み合わせることで、微細なパターン形成や高精度な穴あけ加工を可能にします。

レーザー加工用光学レンズ

回折限界に近い集光性能を持つ特殊設計のレンズを用いることで、レーザービームのスポット径を極限まで小さくし、微細加工の解像度を高めます。

インライン計測・制御システム

加工中に材料表面の凹凸や温度分布をリアルタイムで計測し、そのデータを加工装置にフィードバックすることで、加工精度のばらつきを低減します。

加工プロセス最適化ソフトウェア

材料特性やレーザーパラメータを入力することで、最適な加工条件をシミュレーションし、高精度な加工パスを生成するソフトウェアです。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

微細加工の精度向上とは？課題と対策・製品を解説

切削加工

研削・研磨加工

レーザー加工

超音波加工

難削材加工

放電加工

検査・評価

レーザー加工における微細加工の精度向上とは？

各社の製品

レーザー加工における微細加工の精度向上

レーザー加工における微細加工の精度向上とは？

​課題

熱影響による加工精度低下

レーザー光の回折・散乱

材料特性のばらつき

加工プロセスの最適化困難

​対策

超短パルスレーザーの活用

ビーム整形・集光技術の高度化

リアルタイムモニタリングとフィードバック制御

高度なシミュレーション技術の導入

​対策に役立つ製品例

高精度レーザー加工装置

レーザー加工用光学レンズ

インライン計測・制御システム

加工プロセス最適化ソフトウェア

課題

対策

対策に役立つ製品例