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表面粗さの改善とは?課題と対策・製品を解説

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超音波加工における表面粗さの改善とは?

超音波加工は、微細・精密加工分野で広く利用される技術ですが、加工面の表面粗さが課題となることがあります。本説明では、この表面粗さの改善に焦点を当て、その課題と解決策、そしてそれを支援する製品について解説します。

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《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取

《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取
■リフトオフ・有機剥離プロセスで豊富な導入実績 ■種々の基板状態に応じたプロセスマージンの広いシステムを構築可能 ■多種の剥離/リフトオフツールの同時搭載可能  基板状態(品種/工程等)で、ツールの選択/併用使用可能  ◎ ■低ダメージ・汎用基板の超音波処理として、<BLT型超音波>を搭載  ◎BLT型超音波:周波数=38KHz、振動振幅=1μ以下(P-P) ■強固なレジスト剥離/リフトオフに好適な超高振幅型<ホーン型超音波>を搭載可能  ◎ホーン型超音波:周波数=38KHz、振動振幅=Max20μ(P-P) ■均一性の高い超音波処理を実施  ◎定在波ムラ…原理上あり得ません(直接波だけでの超音波処理)  ◎超音波振動面内のムラ…素子直上部(強)と素子間部(弱)の強/弱ムラは、 <基板回転>と超音波の<スキャン最適化>で解消 ■バリ除去や研磨後洗浄にも応用展開実施済み ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

マイクロブラスト加工

マイクロブラスト加工
当社では、半導体関連部品や電子部品などに用いられる脆性材料(ガラス・セラミックス・シリコンウエハ・カーボン等)への微細加工に適したマイクロブラスト加工を行っております。 マイクロブラストとは、紫外線硬化性樹脂フィルムをラミネートしたワークを露光・現像によりフォトリソ処理した後、微細研磨材を制御しながら吹き付けて加工する技術です。 加工をご希望の方は、可能な範囲でご希望の加工内容についてご相談ください。 【特長】 ■自社オリジナルブラストノズル ■直圧式(加圧式) ■サイクロン式 研磨材循環機構 ■スクリューフィーダー式 研磨材供給機構 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『マイクロブラスト加工』※事例付き資料進呈

『マイクロブラスト加工』※事例付き資料進呈
当社では、微細パターンをフォトリソ処理したワークに微細研磨剤を吹き付けて加工する『マイクロブラスト加工』を行っています。 マイクロブラスト加工は、ガラス、ファインセラミック、シリコン、カーボンなどの脆性材料に対しても均一で精密な微細加工が可能で、半導体関連部品や電子部品の製作に好適です。 また、当社では各種マシニング、研磨、レーザー加工等の加工技術も持ち合わせておりひとつの製品で多くの工程(工法)を必要とする部品の加工も一貫して行うことが可能です。 充実の設備を有する自社工場にて、試作から量産まで幅広いご要望を承ります。 ★「PDFダウンロード」より、加工事例を掲載した資料をご覧いただけます。 【掲載事例(抜粋)】 ◎Siウエハ 微細加工 形状:ザグリ溝、穴混在 形状サイズ:溝幅0.05mm、穴径0.2mm ワークサイズ:φ100 ◎セラミック 微細加工 形状:ピン、穴混在 形状サイズ:上段ピン0.2mm、下段ピン0.5mm ワークサイズ:φ300 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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超音波加工における表面粗さの改善

超音波加工における表面粗さの改善とは?

超音波加工は、微細・精密加工分野で広く利用される技術ですが、加工面の表面粗さが課題となることがあります。本説明では、この表面粗さの改善に焦点を当て、その課題と解決策、そしてそれを支援する製品について解説します。

​課題

加工痕の残存

超音波振動による工具の微細な打痕が表面に残り、粗さが増大する。

材料の剥離・欠損

加工中に材料の一部が剥離したり、微細な欠損が生じ、表面品質を低下させる。

加工条件の最適化不足

加工周波数、振幅、送り速度などの条件設定が不適切だと、表面粗さが悪化しやすい。

工具摩耗による影響

工具の摩耗が進むと、加工面の状態が悪化し、表面粗さのばらつきが生じる。

​対策

加工条件の精密制御

超音波周波数、振幅、送り速度、加工圧力を最適化し、安定した加工を実現する。

高精度工具の採用

表面粗さの向上に特化した、高精度で耐久性の高い加工工具を使用する。

加工液の選定と管理

適切な加工液を選定し、清浄度を保つことで、材料の剥離や工具の摩耗を抑制する。

加工プロセスの最適化

多段階加工や仕上げ加工を導入し、最終的な表面粗さを目標値まで引き上げる。

​対策に役立つ製品例

高精度超音波発生装置

安定した高周波振動を生成し、加工の均一性と表面品質の向上に寄与する。

特殊形状加工工具

微細な加工痕を残しにくく、材料の剥離を抑制する設計の工具。

高性能加工液

潤滑性、冷却性、洗浄性に優れ、加工面の保護と清浄度維持をサポートする。

加工条件最適化ソフトウェア

過去の加工データや材料特性に基づき、最適な加工条件を提案するシステム。

⭐今週のピックアップ

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