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超精密仕上げの実現とは?課題と対策・製品を解説

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研削・研磨加工における超精密仕上げの実現とは?
研削・研磨加工における超精密仕上げとは、ナノメートルオーダーの表面粗さや形状精度を達成することを目指す技術です。これは、半導体製造、光学部品、医療機器など、高度な性能が要求される分野において不可欠なプロセスであり、製品の機能性、信頼性、寿命を大きく左右します。
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【PMMA試作事例】LEDレンズ
微細(ナノ・マイクロ)加工紹介ハンドブック
協同インターナショナルの微細(ナノ・マイクロ)加工に関する設備情報とナノインプリントへの応用事例を
ハンドブックにまとめました!
微細加工プロセスを単一工程から全工程までのご希望に合わせたプロセスを受託することができ、半導体や電子デバイス等の分野で活用されるナノインプリントプロセスについて金型作製~インプリントまでワンストップで提供可能です。
また、セラミックス(アルミナ、イットリア等)や樹脂などの新素材のプラズマ耐性を評価するサービスも実施しております。
微細加工設備紹介とナノインプリントへの応用事例をまとめたハンドブックを進呈中です!
【掲載内容】
■設備・対応プロセス紹介
■微細加工技術試作例
■ナノインプリントとは
■アプリケーション
■モールド作製 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微細精密加工機 iQ300 ナノ制御で磨きレス(設備紹介)
牧野フライス製作所の『iQ300』は、ナノオーダーの制御分解能とサブミクロン単位の加工精度を誇る、最高峰の微細精密加工機です。光学部品金型、超精密コネクタ、医療機器などの製造現場で絶対的な信頼を得ています。
【主な特長】
■徹底した熱変位対策
ベッドやコラム内に冷却液を循環させる「機体液循環構造」や「断熱構造」により、環境温度の変化に機体を完全同調。長時間の連続運転でも寸法変化を極限まで 抑制します。
■ナノ駆動による磨きレス加工
1.25nmの高分解能スケールと独自の形状制御技術「スーパーGI.5」を搭載。複雑な三次元形状でも移動軸のブレを的確にコントロールし、高硬度鋼の直彫りでナノメートルオーダーの優れた表面粗さを達成。手作業による磨き工程を大幅に削減します。
■高度な微細工具管理
工具交換時のつなぎ面段差を0.8μm以内に抑える自動測定装置を標準装備。複数工具を使う複雑な微細加工も高品位に仕上げます。オートワークチェンジャ(AWC)による夜間無人運転などの自動化・多軸化オプションも豊富です。
ウエハー加工(CVD、スパッタ、フォトリソ、エッチング)受託
試作・開発・量産まで、ウエハー加工に関する受託加工を行っております。
社内加工では成膜加工(CVD、スパッタリング)・フォトリソ・エッチング加工を行うことが出来、それ以外の加工は協力企業での加工となります。
成膜は、ウエハー上に数百ナノ~数ミクロンの絶縁膜、金属膜を形成。
フォトリソは、マスクに描かれたミクロン単位のパターンをウエハー上のレジスト膜に転写しパターニング。
エッチングは、形成された膜、またはシリコン等を化学反応で削り、パターンを形成します。
テスト用、評価用パターンウエハーの製作も行っています。
成膜を行った膜付きウエハーや、ウエハー単体での販売も行っております。お気軽にお問合せください。
クロスエッジ微細加工【シリコン製品】
微細・精密 同心度・同軸度に技あり!
【PMMA試作事例】LEDキャップレンズ
高温高アルカリ染色用シリコーン消泡剤『 AF 187』
『ASAHI SILICONE AF 187』は、広い温度範囲(常温~高温)において
優れた分散安定性と消泡持続性を有する自己乳化型のシリコーン消泡剤です。
特に高温及びアルカリ性の強い発泡においてもエマルジョンが
破壊されずに消泡性が持続。
また、液流染色用として好適であり、染色用途以外にも、
内添用途ハジキの発生が問題となる場合にも有効です。
【特長】
■低温から高温まで幅広い温度範囲で優れた消泡効果が 得られる
■高温化での耐オイルスポット性に優れている
・染色布へのシミ問題を大幅に改善
■広範囲のPH 領域(高アルカリ領域)で使用可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フォトエッチング
MEMSや表示デバイス等における要素技術であるフォトエッチング・精密写真技術を用いた微細加工を少量の試作より承ります。ガラス基板、Siウエハ、フィルム、セラミックス等の基板上に薄膜を形成し、フォトリソグラフィー方式により微細なパターンを一貫加工にて形成致します。一枚からの試作に対応可能です。ダイシング、バンプ形成等の試作も対応いたします。また、リフトオフ加工にて、誘電体膜や多層膜のパターン化も可能です。基板サイズは任意にて対応可能。Siウエ ハやガラス基板のエッチングも可能です。短納期にて対応(要御相談)、リジッド、FPC基板にも対応いたします。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
株式会社オジックテクノロジーズ 『精密電鋳』 技術紹介
「精密電鋳」技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成
要素となる微小機構部品を製作する手法です。
写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、
高性能なめっき皮膜を精度良く形成します。
当社オリジナル商品NIPOLYNやめっきと組合わせ可能で、トレンチや
ホールの埋め込みなどバリエーションが豊富にあります。
【特長】
■200μm以上厚膜を製作可能
■高硬度なニッケル皮膜を実現(>600Hv)
■低電着応力で残留応力が少ない電鋳皮膜
■ボイドなどの欠陥がない緻密な電鋳皮膜
■精度の良い加工精度
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超精密金型 製造サービス
ナノインプリント












