薄膜・多層膜の機能性とは？課題と対策・製品を解説

半導体業界では、製品の品質と性能を維持するために、ウェーハ上の薄膜の正確な膜厚測定が不可欠です。特に、微細化が進む中で、膜厚のわずかな差異が製品の歩留まりや性能に大きな影響を与えるため、高精度な測定が求められます。顕微分光膜厚計 OPTM seriesは、1秒/pointの高速測定と、3μmからの微小領域測定を実現し、半導体製造における膜厚測定の課題を解決します。

【活用シーン】
・ウェーハの膜厚測定
・各種フィルムの膜厚測定
・光学材料のコーティング膜厚測定

【導入の効果】
・高精度な膜厚測定による歩留まり向上
・高速測定による生産性の向上
・非破壊・非接触測定による製品への影響軽減

半導体業界における薄膜評価では、薄膜の機械的特性を正確に測定することが、製品の品質と信頼性を確保する上で不可欠です。特に、薄膜の硬度、弾性率、密着性といった特性は、デバイスの性能に直接影響するため、精密な評価が求められます。ナノビア社のナノ/マイクロインデンターは、薄膜のマイクロからナノメカニカル特性を正確に測定し、これらの課題を解決します。

【活用シーン】
・薄膜の硬度、弾性率測定
・スクラッチ試験による密着性評価
・応力対ひずみ解析

【導入の効果】
・薄膜の品質管理の向上
・デバイスの信頼性向上
・研究開発の効率化

ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する膜厚の均一性が重要です。特に、薄膜の均一性は、表示性能や耐久性に大きく影響します。膜厚測定の際に、「測りたい“その場”ですぐに測れない」「人によってバラつく測定結果」「測定精度が悪い」といった課題を抱えている企業も少なくありません。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、高品質なディスプレイ製造をサポートします。

【活用シーン】
・ディスプレイ製造工程における膜厚測定
・品質管理部門での膜厚検査
・研究開発部門での薄膜評価

【導入の効果】
・測定時間の短縮
・測定結果の安定化
・品質管理の向上

ナノテクノロジー分野では、試料やプローブの位置制御精度が実験結果の再現性を左右します。走査型プローブ顕微鏡（SPM）やナノリソグラフィー用途では、ナノメートル分解能での安定したXYZ制御が求められます。P-616 NanoCubeは、各軸100 µmのストロークを備えたコンパクトなXYZピエゾナノポジショナーです。高剛性フレクシャガイド構造によりバックラッシュのない滑らかな動作を実現し、ナノメートル分解能での高精度位置決めが可能です。

研究用途から装置組込みまで対応し、ナノスケール計測・加工・評価を支える位置制御プラットフォームとして活用されています。

【活用シーン】
・走査型プローブ顕微鏡（SPM／AFM／STM）
・ナノリソグラフィー装置
・ナノ材料評価
・ナノデバイス研究開発
・高精度試料位置決め

【導入の効果】
・ナノメートル分解能による高精度位置制御
・バックラッシュレス構造による高再現性
・高剛性設計による安定したスキャン
・コンパクト設計で真空装置や研究装置への組込みが容易

研究開発分野における材料分析では、材料の微細な構造や特性を可視化し、詳細に分析することが求められます。特に、材料の欠陥や異物の検出、組成分析においては、高感度かつ高解像度な画像取得が重要です。従来の可視光では捉えきれない情報を、近赤外線領域で捉えることで、新たな発見に繋がる可能性があります。FS-1700IRPは、可視から遠赤外(400nm～1700nm)まで受光可能な高感度近赤外線カメラです。画像鮮明化機能を本体に内蔵し、ペルチェ冷却により、安定した画質での微弱な光量の検出を可能にします。

【活用シーン】
・材料の内部構造観察
・異物や欠陥の検出
・組成分析
・非破壊検査

【導入の効果】
・高感度な画像取得による、微細な情報の可視化
・安定した画質での、正確な分析
・近赤外線領域の活用による、新たな発見の可能性
・材料開発の効率化

株式会社マニュファクチャリングソリューションでは、塗膜に対して
ナノスケールレベルの硬度・ヤング率、降伏応力、クリープ特性など
高精度な機械的的材料特性が取得可能な『ナノインデンター』を取り扱っております。

結晶塑性・薄膜マルチスケール・薄膜マイクロなどの様々な
シミュレーション評価ができます。

【特長】
■ナノスクラッチ、マイクロ3点曲げ試験に対応
■SPM像によるリアルタイム位置決め可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ハマノ精機の原反形状測定機は、原反の直径の変位量を接触して測定します。
多機能性フィルム等幅広くご使用いただけます。

『Rheogel-Eシリーズ』は、高分子フィルムやゴムシートなど
固形物の粘弾性特性を評価するための測定器です。

高い剛性を誇る高感度仕様の応力センサと、高精度・高分解能の
変位センサで試料の状態を精密に測定。

パソコンとの連携により、快適な自動運転が可能です。

【特長】
■優れた基本性能
■多様な測定を簡単にデザインしオペレーション可能
■最高温度500℃（オプション）に対応する恒温槽を搭載
■コンパクト設計
■国内メーカーによる純国産製品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

東栄の磁歪測定装置は、薄膜、帯材、バルクなど多様な試料形状に対応可能です。
試料の変位を高感度・高分解能で検出できる構成を採用し、磁性材料の基礎研究からデバイス開発まで幅広く貢献しています。
また、応力印加法などの磁歪測定手法の簡略化にも継続的に取り組んでおり、評価対象や研究目的に応じた最適な提案が可能です。

＜製品ラインナップ＞
・高感度薄膜磁歪測定装置
・薄帯磁歪測定装置

静的接触角θ/2法
対象sample size　□50mm
水滴頂点が判る頂点表示機能
USBカメラ、ステージ、照明構成
Windows11対応
液滴画像表示、保存
接触角の計算、表示
JIS R3265 「基板ガラス表面の濡れ性試験方法」準拠
WindowsPC別
バックライト、ディスペンサー標準装備

詳細お問い合わせください。

『ME-3000』は、接触式の超高精度な厚み測定装置です。

ガラス・金属・フィルム・プラスチック等の厚みをレーザーホロゲージ2本を
用いて、ワークに両面から接触させ、その距離を演算測定し測定値を
デジタル表示させます。

さらに、測定データをデジマチック・RS-232C出力にてパソコンに
入力させることができる測定装置です。

【特長】
■高精度の厚み測定が可能
■測定最小表示値：0.01μm
■測定精度：±2σ において±0.05μm以内
　※条件：ブロックゲージ1.0mm(厚み)における定点繰返し10回の測定誤差

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

環境計測器を扱うメーカーとして躍進している、株式会社佐藤計量器製作所の「取扱商品 総合カタログ」です。
物づくりは世の中の基本です。
SATOはメーカーの認識に立って物づくりをします。
本カタログには、熱中症予防に最適な熱中症暑さ指数計をはじめ、温度・湿度・気象・関連計測器を多数掲載しております。

【掲載製品】
○熱中症予防に最適な熱中症暑さ指数計
○長期間温度・湿度データ収集向け
○厨房で活躍する温度計
○毛髪式自記温度・湿度計
○メカニカル温度計（隔測・バイメタル）、他多数

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

『Gen6』は、ゲート内の微弱な信号波形の変化もより高感度で検出し、
画像化が可能な高精度超音波顕微鏡です。

異なる複数の深さを同時にスキャン可能。
最大100ゲートの計測ができます。

さらに、「SonoSimulator」搭載により、各層の界面波形を分離することが
難しいスタック・ダイや薄膜多層サンプルの解析をサポートします。

【特長】
■高速サンプリングレート
■水再循環システム
■PolyGate機能搭載
■スキャン・リファレンス標準搭載
■Windows7(64bit)対応

商号：日本バーンズ株式会社

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、ミリ波・テラヘルツ波の電波の電場の振幅と位相の空間分布を
取得するミリ波電波の受託計測サービスを提供しております。

実測による電磁波（1GHz-600GHz）の可視化で複雑な電場の状況を把握可能。
透過、反射、回折、散乱といった電波の振る舞いが分かります。

高価な計測器・専門知識がなくても問題ないため、お気軽にお問い合わせください。

【こんなお悩みの方におすすめ！】
■今まで製造してきた材料で高周波帯で使えそうな素材があるけれど、
　どうすれば世の中にアピールできるかわからない...
■実際に計測したデータを顧客に提示できたらアピールが可能なのに、
　電波が見えない...
■高周波の振る舞いがわからない。可視化ができたらいいのに...

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

キーエンスとのタイアップにより、用途にマッチングした機器の評価と選定が行えますので、
高精度で御希望の計測値が得られます。

選定した機器を使用し、HUMAN独自のシステム開発で、
御希望のアプリケーションを提供。様々な分野・用途で利用できます。


【導入検討の流れ】
システムは弊社、計測機器はメーカー（株式会社キーエンス）にて性能保証。
導入前に、計測機器を評価頂き、精度・性能を確認された上でシステム化を行います。

【導入後の流れ】
導入までは、弊社と株式会社キーエンスにて納得の行くシステムを構築。
導入後も、計測機器の関しては株式会社キーエンスにてサポート（システムサポートは弊社にて実施）


●活用資料は、PDFをダウンロードしてご覧ください。
※様々な分野、用途での対応、他社メーカーでのシステム化も対応していますので、先ずは御相談下さい。

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。

連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを
計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の
厚みを管理するように設計されています。

当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、
スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または
機械内部で使用できます。

【特長】
■目的の公差内の加工精度を保証
■サイクルタイムを短縮
■コントロールされた安定した生産を維持するための制御
■機械的な変動に対する補正
■測定結果の履歴

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。