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微細・精密加工向け|166社の製品一 覧

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レーザー微細加工では、わずかな位置ズレや姿勢誤差が加工品質を大きく左右します。
H-815 ヘキサポッドは、6軸同時制御によるサブミクロン精度の位置決めと高い再現性により、
加工点・焦点位置・ワーク姿勢を常に最適な状態に保持。安定した加工品質を実現します。
【活用シーン】
・加工ばらつきの低減
・半導体製造装置への組み込み
・高精度な検査工程
【導入の効果】
・製造プロセスの安定化
・微細パターンの再現性向上
・24時間365日の安定稼働
電子機器業界では、製品の小型化が進むにつれて、部品の精密な加工が求められます。特に、限られたスペースに多くの機能を詰め込むためには、部品の精度が製品の品質を左右します。高精度なプレス加工は、部品の小型化と同時に、製品の信頼性向上にも貢献します。
【活用シーン】
・小型電子機器の部品製造
・精密な形状が求められる部品の製造
・省スペース化を実現する部品の製造
【導入の効果】
・部品の小型化と高精度化を実現
・歩留まりの向上
・コスト削減
電子部品業界の基板検査や部品検査では、高い位置決め精度と高速なスキャン動作が求められます。特に、微細化が進む電子部品の検査においては、安定した繰り返し精度と滑らかな走行性能が、検査品質や処理能力に大きく影響します。
PIglide IS A-311 は、エアベアリングによる非接触支持とリニアモータ駆動を採用した高精度XYステージです。機械的摩耗やスティックスリップを排除することで、高速かつ滑らかなスキャン動作を実現し、基板検査やウェハ検査における検査時間の短縮と精度の安定化に貢献します。
【活用シーン】
・基板検査
・ウェハ検査・電子部品検査
・レーザー加工・マーキング工程
【導入の効果】
・高速スキャンによる検査時間の短縮
・安定した位置決めによる検査精度の向上
・検査プロセスの効率化・再現性向上
レーザー加工分野では、焦点位置の精密な制御が加工品質を大きく左右します。特に微細加工や高精度マーキングにおいては、Z軸方向のわずかな焦点変動が加工幅やエネルギー密度に影響を及ぼします。
V-308 Voice Coil PIFOCは、最小10 nm分解能と最大7 mmの移動範囲を備えたZ軸フォーカスドライブです。ダイレクトドライブ方式により滑らかで高速な応答を実現し、レーザー加工ヘッドや光学系の精密なフォーカス制御をサポートします。さらに、最大1 kgまでの重力補償機能により、重量のある光学モジュールにも対応可能です。
【活用シーン】
・レーザーマーキング装置のフォーカス制御
・レーザー微細加工装置のZ軸位置決め
・ガルバノスキャナ光学系の焦点補正
・研究開発用レーザー加工システム
【導入の効果】
・焦点制御精度の向上による加工品質安定化
・高速応答による加工プロセスの最適化
・重量補償機能による安定した光学系制御




