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金属材料の表面不動態層とは?課題と対策・製品を解説

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化学・材料・製造における金属材料の表面不動態層とは?
金属材料の表面に自然に、あるいは意図的に形成される、腐食や化学反応から金属本体を保護する緻密な酸化物や化合物の層のこと。この層の存在と特性は、金属材料の耐久性、機能性、そして最終製品の性能に大きく影響します。
各社の製品
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【半導体向け】レーザ加工装置『LASER BLENDER』
【研究機関向け】タンタル(Ta)ターゲット
研究機関における実験では、信頼性の高い結果を得るために、高品質な材料が不可欠です。特に、薄膜形成実験においては、ターゲット材の品質が実験結果を大きく左右します。タンタル(Ta)ターゲットは、高耐熱性、優れた耐蝕性、良好な導電性を持ち、実験の効率化と精度の向上に貢献します。当社のタンタル(Ta)ターゲットは、高品質な材料と高度な製造技術により、研究開発を強力にサポートします。
【活用シーン】
・PVD/CVDプロセスを用いた薄膜形成実験
・高エネルギー・スパッタリング実験
・半導体デバイスの研究開発
・耐食性材料の研究
【導入の効果】
・高品質な薄膜の形成
・実験結果の信頼性向上
・実験効率の向上
・研究開発の加速
メタル炉|研究機関向け
【半導体向け】断面試料作製装置『IB-19510CP』
半導体業界では、デバイスの高性能化に伴い、微細構造の正確な観察が不可欠です。SEMやFE-SEMを用いた観察において、高品質な断面試料作製は、正確な解析の基盤となります。イオンビーム加工による試料作製は、加工によるダメージを最小限に抑え、高精度な観察を可能にします。当社『IB-19510CP』は、高速加工と仕上げ加工を組み合わせることで、高スループットと高品質な断面を実現し、半導体デバイスの微細構造観察を強力にサポートします。
【活用シーン】
・半導体デバイスの断面観察
・微細構造の解析
・品質管理
【導入の効果】
・高スループット化による分析時間の短縮
・高品質な断面試料の作製による正確な解析
・試料ダメージの軽減
【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価
各種蒸着部材
コンパクト真空チャンバー『AXCVC10T』
電気化学装置『ECstat-302』
蛍光X線分析装置『EDX800』
ALSモデル600Fシリーズ 電気化学アナライザー
テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。
4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。
電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率(複素屈折率)の
周波数依存性を得ることができます。
【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア:THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
振動試料型磁力計(VSM)
東栄のVSMは、独自技術である加振機構とVSM専用の信号処理系の開発により、小型・高性能・低価格を実現しています。
電磁石の冷却は全モデルで水を使用しない空冷式であり、省エネ・省スペース、さらに、サンプル交換後は全てPC上からの操作により、誰でも簡単に使用可能です。
VSM は、磁性材料の磁気特性を評価できるスタンダードな装置であり、磁性薄膜、磁性粉体、磁性固体などの磁性材料開発・物性評価に最適です。
【東栄VSMの特徴】
■水を使わない電磁石の空冷技術
■ワンクリックでスタート
■独自開発の加振システム
■VSM専用ロックインアンプ
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せ下さい。
手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター
表面・界面物性解析装置『SAICAS EN・NN』












