金属材料の表面不動態層とは？課題と対策・製品を解説

金属業界では、製品の品質管理と性能向上のために、金属材料の正確な組成分析が不可欠です。特に、合金の組成比率や不純物の検出は、製品の強度や耐食性に大きく影響します。不適切な組成分析は、製品の品質低下や事故につながる可能性があります。PlasmaQuant 9200シリーズは、比類ない分解能と最高の検出限界により、金属材料の正確な組成分析を可能にし、お客様の品質管理を支援します。

【活用シーン】
・金属材料の品質管理
・合金組成の分析
・不純物分析

【導入の効果】
・正確な組成分析による品質向上
・不良品の削減
・顧客からの信頼獲得

研究機関における実験では、信頼性の高い結果を得るために、高品質な材料が不可欠です。特に、薄膜形成実験においては、ターゲット材の品質が実験結果を大きく左右します。タンタル(Ta)ターゲットは、高耐熱性、優れた耐蝕性、良好な導電性を持ち、実験の効率化と精度の向上に貢献します。当社のタンタル(Ta)ターゲットは、高品質な材料と高度な製造技術により、研究開発を強力にサポートします。

【活用シーン】
・PVD/CVDプロセスを用いた薄膜形成実験
・高エネルギー・スパッタリング実験
・半導体デバイスの研究開発
・耐食性材料の研究

【導入の効果】
・高品質な薄膜の形成
・実験結果の信頼性向上
・実験効率の向上
・研究開発の加速

『LMT-S-700シリーズ』は、当社の顕微鏡用サーモコントローラの
豊富な技術と実績により、広範囲な温度制御を正確に行うことができる
特注型 微小電流測定用サーモコントローラーです。

半導体パッケージ、液晶、ベアチップ、プリント基板、医薬品等各種素材の
熱変形、電気特性、光学特性を顕微鏡下による観察、測定、計測が可能です。

【特長】
■幅広い温度範囲での正確な温度制御
■均一な表面温度
■幅広い適応性
■高品質で低価格
■特注品の製作

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

真空関連の消耗部品から構成部品、半導体製造装置の部品
グラファイト、セラミックス、タングステン、モリブデン、タンタル、ニオブ、ニッケル、アルミ、ステンレスなど幅広く対応します。

『VoXER』は、成分分析の結果をもとに合金を判定する
ハンドヘルド蛍光X線分析機です。

大型タッチパネルを採用しており、簡単な操作で分析可能。
持ち運び自由で、分析場所を選びません。

ワンタッチカートリッジ交換式で、メンテナンスが容易です。

【特長】
■信頼の分析結果・裏付け
■直感的なUIを搭載
■どこでもポータブル
■非破壊で分析できる
■短時間で分析できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『HRシリーズ』は、研究に使える卓上型前扉式高速焼成炉です。

ニ珪化モリブデンヒーターによる高速昇温で、
卓上型のコンパクト設計。また、使用温度、使用サイズに
合わせたバリエーションをご用意しております。

【特長】
■研究に使える高速高温焼成
■ニ珪化モリブデンヒーターによる高速昇温
■卓上型のコンパクト設計
■使用温度、使用サイズに合わせたバリエーションを用意
■OP不活性ガス導入装置取り付けにより「還元焼成」にも対応可能　など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『PMG-5T』はコンデンサーからの放電によりパルス磁界を発生させる装置です。
MHループ測定への応用などに使用されます。PC制御により全て自動で測定できます。

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

真空機器・装置、理化学機器・装置においてグローバルな視野を持ち、
常に時代の先端を見つめ、新しい技術と商品ニーズを先取りし、
ユーザー様の役に立つ製品を提供し続けている、株式会社パスカルの
総合カタログです。

従来のイオン散乱表面分析装置では不可能だった、絶縁体表面の極性判別や
構造解析、元素同定、さらに電場・磁場中での【その場分析】を可能にした
飛行時間型原子散乱表面分析装置「TOFLAS-3000」をはじめ、
「真空薄膜形成装置」や「表面分析装置」などをラインアップしています。

【掲載内容　抜粋】
■真空装置、コンポーネント
■表面分析装置
■低温関連機器
■アジレント社製真空機器(旧バリアン)
■その他真空関連製品　　　　　　　　ほか

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『TOFLAS-3000』は、入射プローブとしてイオンではなく電気的に中性な
原子ビームを用いた飛行時間型原子散乱表面分析装置です。

本製品を使用することにより、半導体，金属のみならず絶縁体表面の
組成および原子配列の解析も可能です。
また、帯電（チャージアップ）の問題も解決します。

【特長】
■金属、半導体はもとより絶縁体の表面分析にも威力を発揮
■試料表面の元素の同定が可能
■表面下数層の原子構造解析が可能
■試料表面の極性判別が可能
■表面での動的過程のリアルタイムモニタリングに対応
■電場・磁場中でも影響なく測定が可能

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コンパクトな上、高温まで急速昇温可能な小型高温炉です

『AXCVC10T』は、上下駆動部をスライドブッシングを使用することにより
正確な稼動が可能なコンパクト真空チャンバーです。

NW(クイックフランジ)を上下及び側面に設置しており、あらゆる真空用
部品(真空計等)に対応。

また、前面大口径ハッチの採用でチャンバーの内部のオペレーションが
容易になっております。

【特長】
■前面ハッチはレバー式を採用にて締め付けが容易
■転倒防止のため最下部に着脱式板を取付
■レベルアジャスターの採用により上下稼動化(±12mm)
■取外し可能な覗き窓を採用
■『AXCVC10T』専用架台付

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当社では、どこでも・誰でも・簡単に高温環境下の交流ホール効果測定が
できる『HALS-H II』を取り扱っております。

本製品は、パワー半導体材料や、太陽電池材料、ガスセンサー材料など、
半導体材料の基礎特性評価にご利用いただけます。

ご要望の際はお気軽にお問合せください。

【特長】
■低価格
■高性能

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システム インスツルメンツ社より「SIS-50」のご案内です。

当社で行っている「調査分析」についてご紹介いたします。

熱処理・FPP等の品質管理/保証として、分析機器を保有。
有償でも承ります。

X線回折分析装置を用いて、残留応力測定や残留オーステナイト
％量測定を実施。また、走査型電子顕微鏡にて表面観察(SEM)
や簡易元素分析(EDS)も行っております。

【X線回折による各測定の特長】
■非破壊分析
■深さ数十ミクロンまでの試料採取データ
■試料の微小部分の局所的残留応力分析が可能

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『ECstat-302-QCM』は、水晶振動子マイクロバランス (QCM) 法は、電極上への吸着や析出およびそれらの溶出に伴う質量変化をngオーダーで測定できる高感度な質量センサーです。電極表面で起きる種々の現象を、電気化学と質量変化の両面から同時に計測することができます。


【特長】
■コンパクトなEQCMシステムが構築が可能
■微小な質量変化を共振周波数、粘弾性変化を共振抵抗として同時に測定が可能
■9 MHz水晶振動子に加え、30 MHzまでの高速・高感度測定が可能


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『HBH-20』は、バルク材試料に直流磁界を印加し、BHループをはじめ、
様々な測定・解析を行う装置です。

当社の高性能電磁石を使用し、コンパクトな設計になっています。
また、PC制御によりすべての測定を自動的に行うことが可能です。

【特長】
■BHループなど様々な測定・解析
■高性能電磁石を使用
■コンパクト設計
■PC制御による自動測定

※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社プロスタッフでは、EBフィラメントやハースライナーなど、
『各種装着部品』の製作をいたします。

各種真空測定子・水晶振動子(金・銀・アロイ)(5MHz・6MHz)の
販売及び、再生加工も承ります。

また、真空用オイル(ロータリーポンプ油・拡散ポンプ油)も
取り扱っております。

【ラインアップ】
■各種装着部品：EBフィラメント、EBパーツ、ハースライナー
■測定部品
■光学用治具：治具(ドーム)、治具等
■イオン銃パーツ
■真空用オイル・真空グリス

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当社では、地金の純度、プラチナを分析する小型で低価格の蛍光X線分析装置
『EDX800』を取り扱っています。

操作方法は簡単。
チャンバー内に、測定したい対象物を置いてPCで測定開始操作をすれば
60秒以内で地金の判定が可能です。

【仕様】
■型式：EDX800
■本体寸法：L416ｍｍ×W370ｍｍ×H360mm
■重量：約40Kg
■分析時間：約1分
■測定元素：Au、Ag、Pt、Pd、Cu

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めっきなど金属表面処理は装飾性を向上するものから機能性を
付与するなど様々な用途で使用されています。しかし、表面に
異物が付着するとそれら機能に問題が発生します。

当社では、金属表面処理加工品などを表面及び断面から
観察分析を行っています。

さらに断面をArガスによるスパッタエッチングすることで
めっき皮膜の結晶を観察することができます。

表面処理の異常でお困りが有りましたら御連絡ください。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高温その場測定用チャンバ『ISM-H』は、高温において残留応力ならびに材料組織の変化を追跡します。
高度なリアルタイム評価技術が誰でも簡単に実施できる試験方法に変わります。
応力測定、構造解析、極点図、相分率などの分析用途に適しています。

【特徴】
○熱処理ならびに実機供用を想定した高温環境を再現
○多種様々なプロセスを施工した大型サンプルにも対応
○特許出願中

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

30KV対応でコンパクトな制御電源です。

『belec compact port HLC』は、ハイブリッド分光光学系システムを
搭載した金属材料分析装置です。

各種金属材料の鋼種判別をはじめ、グレードチェック、PMIテストや
現場での金属材料の定性・定量分析等に最適な装置です。

温度安定型分光器の採用により、周囲の温度に影響を受けず、高精度な
分析が可能です。

また、オプションにてDuplex Steelの分析にかかせない窒素の分析も
可能にします。

【特長】
■ハイブリッド分光光学系システム搭載
■温度安定型分光器採用
■高精度な分析が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。

【特徴】
○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。
○コーティング/エッチングモード搭載
〇デバイスの電極膜付けにも使用可能

『PHI Quantes』は、エネルギーの異なる硬X線（Cr Kα線）と従来の
軟X線（Al Kα線）の2線源を搭載し、微小領域から大面積まで高感度な分析が
可能な走査型デュアルＸ線光電子分光分析装置 (XPS)です。

2種類のX線源は短時間･自動で切り替えが可能。
試料の同一箇所を分析することができます。

【特長】
■走査型デュアルモノクロX線源
■2線源による容易な同領域測定
■ターンキー帯電中和
■自動分析
■高耐圧アナライザ

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空＜低温＞プローバーシステムSB-MCPSシリーズは、多種の低温・高温オプションをご用意し、様々な温度領域に対応するプローバーです。
プローバーシステムは標準システムの他に低温・RF・磁場を合わせたスピントロニクス向けのプローバーや、測定スペースに合わせた省スペース・ミニ型のプローバー、電磁石や赤外線カメラを搭載したプローバーなど製作実績もございます。
ご希望される測定に必要な機能・性能にあわせカスタマイズし、ご提案することも可能です。

当製品は、クリーンで強力な熱風をノズルから吹出して、試料片の
湿式研磨後やエッチング処理後の試料面を瞬時に乾燥させることができる
試料乾燥機です。

試料のクラックやインクルージョン等から滲み出す水分の蒸発による
酸化やダスト付着を防止します。

また、汚れた空気中でも、空気吸入孔のフィルターで除去することが
可能です。

【特長】
■瞬時乾燥
■酸化及びダスト付着を防止
■空気吸入孔のフィルターで除去

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の
卓上型マグネトロンスパッタ装置です。

基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで
構成される金属薄膜用スパッタ。

RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの
拡張オプションにより、研究ステージに合せて
グレードアップしていただくことが可能です。

【特長】
■初期導入コストを抑え、後の拡張で高性能化が可能
■基本仕様でアルゴン用MFCを備えており、ガス流量を精密に制御
■成膜方向は試料へのゴミ付着を防止するためにデポアップを採用
■卓上タイプながら真空シール性の高いSUSチャンバを採用

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ECstat-302』は、当社P/GスタットECstat-301および充放電装置ECAD-1000の後継機として開発した電気化学装置です。

本装置は、コンパクトでありながら多機能であり幅広い電気化学測定や充放電測定にも対応可能です。

【特長】
■優れたコストパフォーマンス
■コンパクトデザイン
■高感度、最小電流分解能　100pA
■広い電流レンジと制御電圧　3μA～30mA（5レンジ）、±6.4V
■多彩な測定項目(13項目)　など

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『SAICAS　EN・NN』は、被着体の剥離強度とせん断強度を測定する装置です。

せん断強度などの物性測定以外にも、従来では困難であった異種材料の
界面近傍の状態観察、塗膜や混合材の深さ方向への切削面の観察による
均一、不均一などの分散状態の解析、耐候性試験後の表層からの内面まで
劣化状態の追跡などが可能です。

【測定モード】
■定荷重モード ：一定の垂直荷重を保って切削する方法
■定速度モード ：一定の速度を保って切削する方法

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、粉体・薄膜・バルクなど各種磁性材料の磁化曲線、透磁率を
高感度・高精度で測定できる『振動試料型磁力計』を取り扱っております。

磁化器により磁化された試料を一定振幅、一定周波数にて振動させ、
近傍の検出コイルの誘起起電力の大きさから、磁化の強さを求めることが可能。

また、取り扱いも簡単で、サンプルセット後測定条件を入力すれば、
すぐに測定を開始できます。

【主な特長】
■コンピュータ集中制御・高速測定
■簡単な測定・解析
■好適なハードウェア
■サンプルホルダー
■広範囲な温度測定が可能（オプション）
■低磁界測定装置（オプション）

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。

『SB-MCPSシリーズ』は、豊富なオプションで
低温から高温まで対応可能な真空プローバーシステムです。

液体窒素冷却ユニット(80K～500K)をはじめとして、液体ヘリウムフロー型
冷却ユニット(5K台～300K)、高温ユニット(室温～600K)などの
低温・高温オプションをご用意しています。

極低温から、高温までの温度を選択することが可能です。

【仕様】
■温度範囲：室温
■サンプルサイズ：ロ20mm
■移動量：X軸 ±25.0mm、Y軸 ±15.0mm、Z軸 ±12.5mm
■コネクター : BNCコネクター
■架台寸法：W550mm×D550mm

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『ELFIN』は、電場や物体に働く力の計算に有効な積分要素法に基づいた
電場解析ソフトウェア（電界解析ソフトウェア）です。

単なる静電場解析だけでなく、電位や電荷の時間変化、物体の運動を
考慮した解析も可能です。

空間をメッシュ分割する必要がなく、物体の運動を考慮することが
容易に可能です。数値積分ではないので要素表面の近くでも高精度の
結果が得られます。

【特長】
■空間メッシュ不要
■要素近傍でも高精度
■境界条件不要
■粗い分割でも高精度

※詳しくはホームページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※関連リンクのホームページに価格表、解析事例、無料のデモ版があります。

belec compact port HLCは、ポータブルタイプでハイブリッド分光光学系システムを搭載した第6世代分光光学系システム6GSO System (6th Generation Spectrometer Optic System)を採用した、小型・ポータブルタイプの発光分光分析装置です。
新開発のアルゴンUVプローブを使用することで、カーボンはもちろん、リン、硫黄、ボロン、スズまで分析可能です。（検出限界：C 0.003%、P 0.005%、S 0.005%、B0.0005%）
また、窒素光学系オプションを使用することで、デュープレックススチールの分析に不可欠な窒素も0.05%の検出限界にて分析が可能です。

【特徴】
○温度安定型分光器の採用
→周囲の温度に影響を受けず高精度な分析が可能
○オプションにてDuplex Steelの分析にかかせない窒素の分析も可能
○マルチベースアプリケーションにも最適

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

『LIBS』は、炭素の測定が可能なハンドヘルド型分析計です。

小型軽量、バッテリー駆動のため、現地での連続的な分析作業が可能。
放射線を使用せず測定が迅速で、分析結果がその場で確認できます。

また、分析痕はごく軽微なグラインダー仕上げで消失し、蛍光X線では
測定不可能な「C」「Be」なども測定できます。

【特長】
■「C」「Be」なども測定可能
■Al合金の分別（2000系、5000系など）が可能
■小型軽量、バッテリー駆動のため、
　現地での連続的な分析作業が可能
■測定が迅速で、分析結果がその場で確認可能
■分析痕はごく軽微なグラインダー仕上げで消失（溶発深さ：～50μm程度）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。

4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。

電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の
周波数依存性を得ることができます。

【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築

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『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロール
システムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、
シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの
四探針測定器です。

また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル
「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。

【特長】
■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
■高スループット化によるCoOの低減
■2ロードポート対応
■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載
■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能

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『Beneq TFS 200』は、学術研究および企業のR＆Dに適した、
高い柔軟性を誇るALD研究プラットフォームです。

マルチ・ユーザーの研究環境で起こり得るクロスコンタミを
最小限に抑えるよう特殊設計されています。

また、ウェーハや平面物体、粒子、多孔質バルク材、および非常に高いアスペクト比を
特長とする複雑な3次元物体に、上質の成膜をすることを可能にする
技術ソリューションを提供いたします。

【取扱製品(一部)】
■3Dおよびバッチ生産
■研究設備
■半導体装置
■空間ALD装置

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当社は、様々な装置を用いて表面を分析し、あらゆる問題を解決、
また技術開発に役立てています。

あらゆる分析から問題点を見つけ出し対策につなげ、
形状測定や皮膜の分析から物性を評価します。
また、皮膜中元素や環境規制物質の定量分析も行います。

【取扱品目】
■問題解決
■物性評価
■成分分析

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電気化学測定の最も汎用的なモデルです。上位機種へのアップグレード（例: 600F→660F）、700Fシリーズへのアップグレード（例: 600F→700F）、ピコアンペアブースター（高感度測定）、パワーブースター（大容量電流測定）によるカスタマイズなど将来的に選択肢が広がります。

東栄のVSMは、独自技術である加振機構とVSM専用の信号処理系の開発により、小型・高性能・低価格を実現しています。
電磁石の冷却は全モデルで水を使用しない空冷式であり、省エネ・省スペース、さらに、サンプル交換後は全てPC上からの操作により、誰でも簡単に使用可能です。
VSMは、磁性材料の磁気特性を評価できるスタンダードな装置であり、磁性薄膜、磁性粉体、磁性固体などの磁性材料開発・物性評価に最適です。

【東栄VSMの特徴】
■水を使わない電磁石の空冷技術
■ワンクリックでスタート
■独自開発の加振システム
■VSM専用ロックインアンプ

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『ALP-250型』は、半導体デバイス、MEMSデバイス・自動車部品、金属、
塗装、樹脂、セラミックス等、様々な分析・解析等で観察面を作成する為に
設計・作成された研磨装置です。

卓上機で高精度、高い剛性のフレーム構造により、高精密研磨試料の
作成を実現。200rpmの安全で高回転域が可能な為、短時間で自由な研磨が
行えます。

【特長】
■様々な分析・解析等で観察面を作成する為に設計・作成
■ローラーアーム3ステーション可能なため、ある程度の量産もできる
■治具を使用せずハンディーラップでも使用可能
■200rpmの安全で高回転域が可能な為、短時間で自由な研磨が行える

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当製品は、超高真空において使用可能なビームエネルギー10eVから3000eVの
減速型コールドカソードイオン銃です。

効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の
低速イオンビームを照射可能です。

フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の
為メンテナンスサイクルを短くすることが可能。整備性に優れた新設計
ディスチャージチャンバーを採用しております。

また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。

【特長】
■減速型コールドカソードイオン銃
■高電流密度の低速イオンビームを照射可能
■フィラメントがない構造は反応性ガスを使用できる
■長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能
■整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバーを採用

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・超高速昇温型GVL298は1500℃まで１分で昇温可能。
・真空システムＩＣＦ７０フランジから、真空チャンバー内部へ赤外線を導入し、試料のみを昇温。

『MBP-55』は、チップレベルのIV/CV測定に適したコンパクトな
プローバーです。

50mm□までのサンプルサイズに対応。
シールドボックスまで装備した一体型です。

また、微小電流IV、微小容量CV測定、高周波測定に対応します。
さらにコンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易です。

【特長】
■チップレベルのIV/CV測定に好適
■50mm□までのサンプルサイズに対応
■シールドボックスまで装備した一体型

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した
セミオートプローバーです。

コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。
ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も
結露しません。

また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ
アライメント等を搭載できます。

【特長】
■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応
■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応
■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能
■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト
■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『Innov-X』は、材料を痛めることなく現地で分析を行い、非破壊かつ
スピーディに材料の含有元素を知ることが可能なエネルギー分散型
ポータブル蛍光エックス線分析計です。

測定時間は1測定あたり5～20秒程度であり、数秒後には分析結果が得られ、
測定データはポケットPCに保存可能。

分析にはファンダメンタル・パラメーター(FP)法を採用しており、
標準サンプルを必要としません。

【特長】
■非破壊にて迅速かつ信頼性の高い分析が可能
■小型軽量・バッテリー電源なので、現地での分析作業が可能
■分析にはファンダメンタル・パラメーター(FP)法を採用
■標準サンプルを必要としない
■測定時間は1測定あたり5～20秒程度

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

各種電源を一つに統合
高い安定度と低リップル
モールドされた高圧発生セクション
コロナ放電のないオペレーション
光ファイバーにて絶縁されたデジタルインターフェイス
ＣＥマーク、ＵＬ及びＳＥＭＩ準拠

『VSM』は、均一磁界中におかれた試料を一定振動数・振幅で単振動
させて、検出コイルに誘起する誘導振動力により、磁化特性を連続的に
測定する振動試料型磁力計です。

感度が高く小さな磁化をもつ試料から、大きな磁化をもつ
バルク強磁性体まで、広範囲な測定領域をもっております。

【特長】
■長時間にわたりドリフトがない
■磁界がゼロでも磁化を測定可能
■広範囲な温度領域を容易に測定可能
■測定時間を大幅に短縮可能
■試料形状に依存しないで測定できる

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

容器寸法：φ150×200H、排気系：2インチ拡散ポンプ(LN2付)+ロータリポンプ20L/min。メインバルブには2インチサイズを採用しポンプの排気能力を有効に引き出します
。真空容器の金属部、メインバルブ、3方バルブ、リークバルブはステンレス材を採用しています。

45年以上に渡るロングセラーモデル
小さなボディながらも、電極用薄膜作製から電子顕微鏡(SEM)用試料作製まで対応。
オフィスのデスクに置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!!

【特徴】
〇スモール＆コンパクト
〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式　⇒　サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。
〇間欠スパッタ機能を標準搭載
〇多彩なオプションをご用意：シャッター付前面ドア/アルミ製前面ドア/ピラニー真空計取付ポート付前面ドア etc.