高圧ガス中の不純物とは？課題と対策・製品を解説

ガス製造業界では、製品の品質を維持するために、製造プロセスにおけるガスの純度管理が重要です。特に、腐食性ガス中の水分は、製品の品質劣化や製造設備の腐食を引き起こす可能性があります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定し、ガスの純度を維持するのに役立ちます。

【活用シーン】
・ガス製造プロセスにおける水分管理
・品質管理部門でのガス純度測定
・製造設備の腐食防止

【導入の効果】
・製品の品質向上
・製造設備の長寿命化
・メンテナンスコストの削減

研究機関における実験では、ガスの漏れを正確に検知することが、実験の信頼性を確保する上で重要です。特に、水素ガスを使用する実験においては、微小な漏れが実験結果に大きな影響を与える可能性があります。HDA-0100 seriesは、0.5 ppmから5000 ppmまでの広範囲な水素濃度を測定できるため、様々な実験環境での利用に適しています。小型軽量で持ち運びにも便利です。

【活用シーン】
・水素ガスを利用した実験
・ガス漏れ検査
・研究室での安全管理

【導入の効果】
・高感度測定による実験の正確性向上
・迅速なガス漏れ検知による安全性の確保
・持ち運びやすさによる実験場所の柔軟性向上

研究機関における基礎研究では、ガスの微量成分を高精度に測定することが、実験の再現性や信頼性を高める上で重要です。特に、微量な水分やCO、CO2、NH3などの濃度測定は、実験結果に大きな影響を与える可能性があります。SPARKシリーズは、高性能CRDSテクノロジーを採用し、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
* ガス分析が必要な研究
* 高純度ガスを使用する実験
* 微量成分の正確な測定が必要な研究

【導入の効果】
* 高精度な測定による実験データの信頼性向上
* 校正不要による運用コスト削減
* 広範囲な測定範囲による多様な研究への対応

半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。

【活用シーン】
・高純度ガス製造時の品質保証
・ボンベ充填時のガス品質確認
・バルク輸送や中継点でのガス品質管理

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・測定時間の短縮
・生涯コストの削減

宇宙開発における環境制御では、宇宙船内や実験環境のガス成分を正確に把握することが重要です。微量な水分や有害ガスの存在は、機器の故障や実験の失敗につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDS技術により、これらの微量ガスを高精度に測定し、安全な環境維持に貢献します。

【活用シーン】
・宇宙船内環境モニタリング
・実験環境におけるガス分析
・高純度ガス供給システムの品質管理

【導入の効果】
・高精度なガス分析による安全性の向上
・機器故障のリスク軽減
・実験の成功率向上

研究開発分野における実験では、正確な気体・液体の制御が不可欠です。特に、サンプルの移送や精密な圧力制御が求められる場面では、ポンプの性能が実験結果に大きく影響します。不適切なポンプ選定は、実験の失敗や精度の低下につながる可能性があります。KNF NPK012シリーズ 揺動ピストン型ガスポンプは、コンパクトながら高い性能を発揮し、研究開発における様々な実験ニーズに対応します。

【活用シーン】
・分析用液体および気体サンプルの移送
・医療技術における吸入装置
・真空技術におけるチャッキング

【導入の効果】
・高精度な実験結果の実現
・多様な実験への対応
・信頼性の高いデータ取得

研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。

不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。
SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。

また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。

【活用シーン】
・ガス分析
・反応実験
・材料合成
・燃料電池の研究

【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・研究効率の向上
・高圧ガス関連の手続き簡素化

研究開発分野における実験では、精密なガス制御が求められます。特に、反応プロセスの最適化や、サンプルの保護において、正確な圧力調整は不可欠です。不適切な圧力管理は、実験結果の再現性を損ない、貴重な時間と資源を無駄にする可能性があります。KNF N96シリーズ 真空・コンプレッサーは、減圧と陽圧の両方の特性をバランス良く備え、実験の効率化に貢献します。

【活用シーン】
・ガス分析
・真空蒸着
・反応容器内の圧力制御

【導入の効果】
・実験プロセスの最適化
・再現性の高い実験結果
・多様なガスへの対応

研究機関における実験では、安全性が最優先事項です。特に可燃性ガスを使用する実験においては、ガスの漏洩や引火のリスクを最小限に抑える必要があります。従来のポンプでは、防爆性能が不十分な場合があり、実験の安全性を脅かす可能性がありました。KNF N630Exシリーズ防爆型ガスポンプは、可燃性ガスや雰囲気下での使用を可能にし、実験の安全性を向上させます。

【活用シーン】
・可燃性ガスを使用する実験
・爆発性雰囲気下でのガス供給
・研究室でのガス分析

【導入の効果】
・実験中の爆発リスクを低減
・安全な実験環境の実現
・研究データの信頼性向上

化学業界では、安全性が最優先事項であり、可燃性ガスや爆発性雰囲気下での作業は特に注意が必要です。反応促進プロセスにおいては、ガスの供給や混合が不可欠であり、適切なポンプの選定が重要となります。不適切なポンプは、爆発事故のリスクを高める可能性があります。KNF N630Exシリーズ防爆型ガスポンプは、可燃性ガス環境下での安全な運用を可能にし、反応促進プロセスを効率的にサポートします。

【活用シーン】
・可燃性ガスを使用する化学反応プロセス
・爆発性雰囲気下でのガス供給
・研究開発におけるガス混合

【導入の効果】
・爆発リスクの低減
・プロセスの安全性向上
・効率的な反応促進

石油化学業界におけるガス分析では、製品の品質管理と安全性の確保が重要です。特に、製造プロセスにおける微量成分の正確な測定は、製品の品質を左右し、事故のリスクを低減するために不可欠です。従来の分析方法では、測定に時間がかかったり、精度に課題があったりすることがありました。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーを採用し、高精度かつ迅速なガス分析を実現します。

【活用シーン】
* 石油化学プラントでのガス分析
* 製造プロセスにおける品質管理
* 高純度ガス製造時の品質保証

【導入の効果】
* 製品品質の向上
* 製造プロセスの最適化
* 安全性の向上

『LC-450A』は、低濃度から100%の酸素濃度を1台で測定できる高性能な
酸素濃度計です。

独自の超小型ジルコニアセンサを搭載し、長時間にわたって安定かつ
高精度な測定を実現。

酸素センサに特殊加工を施すことで耐久性も向上しています。
また、操作が簡単でかつ小型化しており、半導体・液晶装置をはじめ
各種装置に組込みに最適です。

【特長】
■幅広い濃度域での測定
■センサの耐久性を向上
■ACワイド電源
■コンパクトで設置が容易
■RoHS指令対応品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、サンプルガスと希釈ガスをマスフローコントローラで整え、
希釈設定を制御する装置です。

各種ガスを一定流量供給する装置(ガス定流量供給装置)や2種類以上の
ガスの流量を調整。
任意の濃度のガスを製造・供給します。

ガス流量、精度、チャンネル数などお客様のご要望に対応。
カスタマイズいたします。

【特長】
■希釈設定を制御
■各種ガスを一定流量供給する装置や2種類以上のガスの流量を調整
■任意の濃度のガスを製造・供給
■お客様のご要望に対応
■カスタマイズ可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

露点-80℃のウルトラ・ドライ　“ppbの世界”を実現する異次元モデルの一体型　ガス循環精製装置です。

【特　長】
BX 5000 正面パネル循環運転・再生運転の状態を正面パネルにてご確認頂けます。
使用頻度の少ないバルブ類を背面に設置しスッキリとしたデザインに仕上げました。

※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

『FPI-1GTR』は、不純物を極限まで除去できるガスクロマトグラフです。

電源BOXを標準装備し、構造をシンプル化。
1週間で納品可能です。※複数台ご発注の場合はご相談下さい。

【特長】
■不純物を極限まで除去（除去対象：CH4など）
■電源BOX一体型
■1週間で納品可能　※複数台ご発注の場合はご相談下さい。
■国内生産
■安全機能、過昇温防止機能
■RoAS対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

MS-40GT 型ポータブルヘリウムリークディテクターは、デュアルマグネットを採用した180°磁場偏向型質量分析官の搭載により、従来と比べ、素早く精度の高いヘリウムガス検知を可能とした、小型ポータブルヘリウムリークディテクターです。

■製品用途例
1：ご使用真空設備の漏れ箇所調査用装置として
2：半導体製品への漏れ試験（リーク試験）装置として
3：高い気密性を要する航空機部品の気密性確認試験装置として
4：防水機能、気密性を必要とする自動車部品への漏れ試験装置として
5：食品用包装材（アルミパウチ等）の気密性確認試験の検査装置として
6：ヘリウムリーク試験設備への組み込み用装置として
7：その他ヘリウムガス検知を必要とする用途に
8：クリーンルーム内を初めとする、清浄環境での検査用途に（MS-40GTDry）

■MS-40 GT、S-40GTDryが対応可能なヘリウムガスリーク試験種の一例をご紹介しています。
その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

　0〜100％の範囲で高精度に計測できるため、幅広い用途に使用できます。乾電池で連続9000時間（約1年）以上計測できます。清浄空気中において簡単に自動校正ができます。グラフ表示ソフトによりパソコンで視覚的な濃度監視ができ、またそれらのデータをエビデンスとして残せます。
　高機能型では、低濃度側・高濃度側警報点を適切に設定し外部出力を利用することで、ある範囲内での酸素濃度維持管理が可能となるほか、データロギング（予約機能付）も行えます。
　全機種回転灯とのセット品を用意しています。
　ユーザ用警報信号接点も対応可能です。

日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。

○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立
○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム
○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現
○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要
○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合
○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応
○コンパクトで場所を取らない設計
○システムを容易に統合可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

「MC-9G/8Gシリーズ」は、酸素濃度の測定と制御用に開発したコンパクトなO2コントローラーです。
ワンタッチ自動空気校正や、豊富な制御出力などの使いやすい機能を搭載しました。
測定値を無線通信できるため、制御室、クリーンルームなどの密室間でも測定値を監視することができます。

【特徴】
○7種類の制御出力で自由自在にコントロール
○自己診断機能で安心管理
○ワンタッチ自動校正
○充実のデータ取得性

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

QL型水素ガス発生器はSPE純水の電気分解により、高純度水素ガスを発生します。軽量、安全、高効率、省エネに優れ、ガスクロマトグラフ（GC）、導電性検出器、原子発光分光分析装置などの分析装置の燃料ガス、キャリアガスや、物理·化学実験用、研究用水素源としてご使用いただけます。

『QDシリーズ』は、二筒交互吸着式の超低露点エアードライヤーです。

大気圧露点-60℃、-75℃の乾燥エアーを連続供給することが可能で、
クリーンドライエアー(CDA)が必要な際に好適。

手軽に高乾燥度のドライエアーが得られますので窒素ガスの代用としての
使用も可能です。コンパクトなので研究室や実験室での使用に適しています。

【特長】
■自己再生方式でメンテナンスフリー
■乾燥剤・吸着剤の交換は不要
■油分やゴミ用のミストクリーナーやクリーンフィルター付き
■露点計量証明書付き
■標準タイプの他に大型機種として50L/min以上も製作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ガス量測定装置』は、アルミダイカスト製品の含有ガス量を製品実態の
まま測定できる装置です。

生産現場において製品中のガス量を測定し、測定結果を生産ラインに
フィードバックが可能。

また、品質管理においては、ガス量を製品の評価基準として使用することができます。

オプションのガスクロ装置と接続することで、ガス分析も可能となる製品です。

【特長】
■ガス量がデジタル表示で見やすい
■製品実態のまま測定可能（但しサイズには限りがあります）
■全自動なので操作は簡単

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

乾燥保管用入口／出口弁にセンサーを搭載！
広い測定範囲を手軽に素早く測定可能！
サンプリングシステム搭載で低価格！

こんな方におすすめです。
　・高品質で低価格のものを選びたい。
　・簡単に素早く、しかも性格に計測したい。
　・１台で複数の機種に幅広く対応させたい。

主な特徴
　特徴１：測定ガスに接続し、電源を投入するだけでサンプルガスの
　　　　　露点に追随し変化を始めます。
　特徴２：センサー１次側にサンプリング時に必要なフィルター、
　　　　　レギュレーター、流量計を搭載。
　特徴３：露点表示部は、赤色ＬＥＤを採用。
　　　　　暗い現場でも正確に確認できます。

MS-50GT 全自動コンソール型ヘリウムリークディテクターは、試験工程の視認を容易とするGUI タッチパネルモニターと、フォア用、テストポート用を担当するロータリー真空ポンプを独立して搭載し、素早い試験処理能力と単独でのグロス～ファインリークまでの広範囲ヘリウムリークテストを可能としたヘリウムリークディテクターとなります。

■製品用途例
1：ご使用真空設備の漏れ箇所調査用設備として
2：半導体製品への漏れ試験（リーク試験）装置として
3：高い気密性を要する航空機部品の気密性確認試験装置として
4：防水機能、気密性を必要とする自動車部品への漏れ試験装置として
5：食品用包装材（アルミパウチ等）の気密性確認試験の検査装置として
6：その他ヘリウムガス検知を必要とする用途に対応可
7：試験スピードの速さが求められる試験工程に対し、大きな効果を発揮致します

■MS-50GT が対応可能なヘリウムガスリーク試験種の一例をご紹介しています。
その他詳細はカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

『Falcon Trace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや
天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。

ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、
センサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が
極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能。

また、センサーの出力を水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの
平均分子量を示す出力値に分離することができるため、バックグラウンド
ガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある
場合も同時に検知ができます。

【特長】
■応答速度が極めて早い
■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ＵＨＶの装置に適合したオールメタルのリークバルブで、ピエゾ素子を用いて制御します。

『COSMOS MD.H2』は、イオン交換水を使い専用の100%チタンのプロトン
交換膜Proton Exchange Membrane (PEM)技術によって非常に高い信頼性、
更に長いライフタイムで高純度水素を生成します。

『COSMOS MD.H2』シリーズは、交換可能な乾燥カートリッジを使い、
浸出している水素ガスを乾燥し純度を高めています。

装置の再起動の際は内部に水素の漏れが無いかを自動的に検出する機能を
有しており、各装置パラメータは最大限の安全性を確保しながら、安定的に
高純度水素を供給できるように設計しています。

【特長】
■流量：110、170、260、300、400、500、600cc/min
■純度＞99.9996%
■排気圧力7bar(101.5psi)以上
■100%専用チタニウム多層プロトン交換膜(PEM)セル：
　超寿命/高純度ガス精製　など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『1000シリーズ』は、マスフローコントローラーの基本機能に特化した
アナログ低価格モデルの高性能ガス流量制御器です。

各種分析・成膜・理化学などの実験研究・製造用途など幅広い分野で
ご使用頂けます。

また、流量設定と表示のみのシンプル設計で操作が簡単な表示設定器付
専用電源「PA01」もご用意しております。

【特長】
■低価格
■コンパクトサイズ
■スタート時のオーバーシュートを抑制
■バルブ型式：ノーマルオープン
■流量制御範囲：5～100％F.S.

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高周波加熱型昇温脱離分析装置IH-TDS1700は、超高真空中で試料を電磁誘導加熱することにより、試料から脱離する分子を四重極質量分析計（QMS）でリアルタイム観測する分析装置です。超高真空であるためバックグラウンドが低く高感度な測定が可能です。大気や発生ガスなどによる副反応の影響も大幅に抑えられているため 理想的な状態で試料からの脱離分子を観測することができます。

加熱効率の良い金属サンプルの場合、1700℃以上の加熱が可能です。また、鋼鉄材料の水素脆化因子となる鋼中拡散性水素の低温TDS測定も可能です。

装置本体の制御はPLC(Programmable Logic Controller)により自動で行われ、インターフェースにタッチパネルを採用しております。

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。

ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。
精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。

この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した
「MCS／MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」
などのラインアップをご用意しています。

【特長】
■100msの制御応答
■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度
■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ
■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載
■混合ガスにも対応
■バックライト付き液晶表示器を標準搭載

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『GBJV080は、メインボックス、パスボックス共に真空ガス置換できる
タイプのグローブボックスです。

ガス置換用操作バブルは、パネルに集中配置されており、ボックス内での
手作業中は、フットスイッチ式内圧調整器を使用することで、絶妙な内圧
も制御可能。

また、メインボックス内照明、内部試料棚、内部コンセント2口、予備ポート、
専用架台を標準装備しています。

【特長】
■メインボックス・パスボックス共に真空置換できるタイプ
■フットスイッチ式内圧調整器付き
■手作業中も絶妙な内圧の制御が可能
■メインボックス内照明、内部試料棚、内部コンセント、予備ポート
　専用架台を標準装備
■ガス置換用操作バブルはパネルに集中配置

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『魔法のニップル』は、当社が独自に開発した0.2%BeCu合金材料の
特性を生かしたアイディア製品です。

ヌードBAゲージまたはEXゲージのヘッドを当製品に入れてチャンバに
取り付けるだけでご使用いただけます。

当製品でゲージ周囲を囲むと、フィラメントから放射された熱線は、
壁の表面で97％の割合で反射されるようになります。

【特長】
■真空計のガス放出が1/7に減る
■到達真空が1桁程度良くなる
■消費電力が1/2以下に減る
■0.2%BeCu合金製（AlCuも有）
■銅表面は不動態化処理

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート＆パワフルな
真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた
自動高真空システムです。

標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。

1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで
ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。

【特長】
■新世代のターボ分子ポンプとプライマリポンプ
■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能
■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能
■AHAのサービスサポートも受けることが可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『CUBEGM-Xシリーズ』は、マスフローコントローラー・制御電源・
バルブ・ガスミキサーをオールインワンしたタッチパネル式ガス混合器です。

流量設定が簡単に行え、各ラインの流量と時間を設定することで
プログラム運転が可能。

また、各ライン基準流量の上下限設定が可能なアラーム機能を搭載し、
操作性と機能性を向上させました。

【特長】
■マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・
　ガスミキサーをオールインワン
■ラインの流量と時間を設定することでプログラム運転が可能
■万が一流量異状が発生した場合は警報音でお知らせ
■必要最小限の構成により、低価格を実現
■IN側とOUT側に配管を接続するだけで2～4種類のガスを任意の流量に
　設定・制御して、混合ガスを供給

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

独自のピラニ球を使用した低真空域もカバーするピラニゲージで、測定範囲は0.14Pa 〜2.6kPa です。
ソリッドステートサーキットを採用していますので、電源変動(90V 〜110V) に対しても極めて安定な動作を示し、信頼ある測定値を指示します。

アルミナ薄膜を使用した次世代センサーを、露点トランスミッターに搭載、
ガス中の水分濃度を -100〜+20℃露点の範囲で連続測定するオンライン計測器

【特徴】
○測定結果を 4-20mA の電流出力で伝送
○日常メンテナンスとして必要な事項は、
　 定期的な ND-TA露点トランスミッターの再校正だけ
○迅速な応答性
○チップ交換が可能
○使い方もフレキシブル

●詳細は、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

ヘリウムプラズマイオン化検出器（HPID）は極めて安定な直流放電ヘリウムプラズマをイオン化源に用いた高感度検出器です。
ヘリウムは全元素中最大の励起エネルギーを有しネオン以外の全ての試料をイオン化し高感度で検出することが可能です。

『マルチシールポート』は、特殊形状のゴムリングを使い
様々な径の真空計や配管等のシールが可能です。

接続フランジは、NW25対応。
メーカが異なる真空測定子を取り付けることが出来ます。

【特長】
■特殊形状のゴムリングを使用
■様々な径の真空計や配管等のシールが可能
■接続フランジ　NW25対応
■メーカが異なる真空測定子が取り付け可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ジェック東理社は、高真空・極低温関連システムの開発設計製作からメンテナンスまでトータルエンジニアリングサービスを提供しています。多様化するニーズにあったオリジナルシステムの構築に、最新技術の活用と70余年の実績でお応えします。

【掲載内容】
○液化窒素関連/液化ヘリウム関連
○クライオパーツ
○低温応用機器
○高圧液送用ポンプ
○真空応用機器/真空断熱配管

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

株式会社エアーテックは、主に空気・ガス精製装置などの設計・製造、
販売、据付・保守、輸出入を軸に事業を展開している会社です。

当社の各種分析装置は、大学・試験研究機関をはじめ製薬、食品、
電子、科学工業など幅広い分野で活用されております。

また、企画立案から製造までを一貫したライン体制で行うことにより、
お客様のニーズに合うカスタマイズされた製品やシステム構築に
お応え致します。

【事業内容】
■空気・ガス精製装置、空気圧縮機、冷凍機、各種空圧機器および
　関連機器、配電/操作盤、半導体装置、真空部品の設計・製造、販売、
　据付・保守、輸出入など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた
新しい構想のゲッターポンプです。

ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を
再構築しました。

当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と
組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを
発生させることができます。

【特長】
■NEGをポンプケーシングの壁面に配置
■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング
■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張
■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等）
■SUS製ICF070&114フランジに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、150℃、1.5～12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を
排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。

加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの
超高真空ポンプとして適しております。

【特長】
■完全オイルフリー
■活性化以外は電源を使用しない
■原理的に10-10Pa台まで排気可能
■無振動・無騒音
■小型軽量　など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

『DVLS3 Simply Smart Sensor』は、GCオーブン内の水素濃度を
絶えず監視し、不活性ガスに自動的に切り替えることで、GC分析における
水素使用の安全性を保証するスマートセンサーです。

ユニークな設計により、ひとつのコントローラーで、最大4つのセンサーを
組み合わせることができます。

【特長】
■水素漏れを常時監視する安全な技術
■センサーとユーザーごとのアラーム設定を制御するオプションのソフトウェア
■動作記録機能は、報告されたアラームと設定の記録を作成
■水素から窒素への自動キャリアガス切り替え
■漏れ検出は、分析が損なわれたことを示す

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『MSU101』は、1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフロー
コントローラをプログラムコントロールできます。

堀場エステック社製マスフローコントローラ（MFC）をコントロールし、
最大で6台まで同時に制御することが可能。

電源内蔵なので別電源を用意する必要がありません。
また、デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の
制御ユニットがあります。

【特長】
■1台の制御ユニットで複数のデジタル型マスフローコントローラを
　プログラムコントロールできる
■お望みの混合ガスを手軽に生成できる
■最大で6台まで同時に制御可能
■電源内蔵なので別電源を用意する必要がない
■デジタルタイプとアナログ/デジタル共用タイプの2種類の制御ユニットをご用意

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『FLEX-MSシリーズ』は、大気圧イオン化質量分析方式(API方式)を
使用した高感度ガス分析装置です。

高純度ガス中の不純物(質量数3～400)をppbレベルで測定可能。
不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測できます。

尚、電源はAC100Vで動作します。

【特長】
■測定対象ガスを直接導入できる
■不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測可能
■登録した検量線により、濃度表示で時間変化計測ができる
■可搬タイプの為、ユースポイントで計測ができる
■電源はAC100Vで動作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『SG701シリーズ』は、各真空計コンポーネントを分離して装置への
組み込みを簡素化した装置組込み型の真空計です。

B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、
大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。

また、グリッド・コレクタを常時、通電加熱した計測（タフモード）を
オプションとしてご用意しており、汚染劣化・コレクタの感度低下を
低減いたします。

【特長】
■小型設計
■容易に取付け可能
■高機能
■大気圧での精度：±5％
■一枚のボード型コントローラで最大4式の測定子を接続可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

気体採取器を用いて検知管内に対象気体を吸引すると、化学反応によって検知管内の薬剤が変色します。変色層の先端の目盛によって対象気体の濃度を読み取ることができます。

レーザー式ガス分析計 GM700型は、高い精度でガス濃度測定が可能であることから、工程のガス濃度管理に大変効果的です。
ガスを吸引して測定するのではなく、煙道やダクトに直接取り付ける（In―situ）ためにガス成分が変化することなく測定でき、かつ高速対応が可能です。
広いレンジの応用範囲に対応が可能。クロスダクトタイプおよびプロ―ブタイプを備えており、さまざまなアプリケーションにも対応できます。
駆動部が無いので、非常に安定したシステムオペレーションが可能です。

【特徴】
○高いスペクトル分解能
○高い測定精度
○短い応答時間
○測定ポイント周辺の過酷な条件でも設置可能
○少ないメンテナンス作業

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

・高安定度高圧電源(温度変動50ppm/℃)搭載。
・電流、温度制御の時定数設定可能。
・高電圧高速スイッチ(2KV-pp / 40ns)搭載。
・各電源を機能別にモジュール化。
・各電源の電圧、電流、温度モニタ機能。
・負荷短絡時の保護機能。
・5KVフローティング回路へ80W電力供給、SPI信号通信。

『SKI-85047B』は、高周波加速装置の位相や周波数の制御を
安定に行うためにフィードバックを適正にコントロールするための
モジュールです。

REFIN、FBIN、AUXILIN、OFFSETIN の4信号をアンプし、サミング。
位相保証用のルーブフィルタを有していて、
その伝達特性をパネル面から調整可能です。

【特長】
■出力信号のリミッタを有していて、出力信号を任意のレベルでクリップ可能
■外部からの信号で、本器の出力をON/OFF
■入出力信号のモニタを有していてパネル面、
　及び外部コンピュータでモニタ可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。