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低温での試料保存・管理とは?課題と対策・製品を解説
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前処理・調製における低温での試料保存・管理とは?
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『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒
二元式超低温冷凍機です。
一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。
独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の
冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを
瞬時に発揮できます。(コールドトラップによる排気作用)
【特長】
■生産性を30%向上
■高品質の成膜を保証
■高温成膜装置に好適
■液体窒素トラップは不要
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』
『FPSC モジュール&ユニット』は、FPSC冷凍機を使って製品を開発する方向けのパーツです。冷凍能力は可変(0~100%)で、温度調節器との組合せで、幅広い温度制御が可能。配管などの接続は不要で、装置への取込がスムーズです。また、連続運転が可能なほか冷媒の交換も不要。地球温暖化係数がゼロの自然媒体であるヘリウムガスを使用しています。当社では、冷凍機とファン、マウントケース、駆動基板を一体化したモジュールや冷凍機に駆動基板が付属されたユニット等を取り揃えております。
【特長】
■精密な温度制御が可能
■装置への取込がスムーズ
■連続運転可能
■冷媒の交換が不要
■ノンフロン
※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
『FPSC モジュール&ユニット』
『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル
及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。
LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと
組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等
に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。
【特長】
■サンプル挿入時の待ち時間を短縮
■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要
■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と
窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能
■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能
■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』
本システムは、市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載した
超高真空可搬型搬送システムです。
情報通信研究機構(NICT)にて開発され、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を標準装備。
本システムを装備することにより、遠方に試料を汚染することなく宅急便で
送ることも可能です。
【特長】
■乾電池で動作するモバイルオンポンプを搭載
■超高真空に試料を保ったまま送ることが 可能
■スーツケースに収納することにより宅急便での輸送が可能
■試料搬送機能付
■輸送機構のないシステムへの接続、試料交換が可能
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
超高真空搬送システム『PML-100/PML-200』


