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半導体洗浄液中の不純物とは?課題と対策・製品を解説

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化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは?
半導体製造プロセスにおいて、ウェハー表面の微細な汚染物質を除去するために使用される洗浄液中に含まれる、意図しない化学物質や粒子状物質のこと。これらの不純物は、半導体の性能低下や歩留まり悪化の直接的な原因となる。
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【研究開発向け】TK-100オンライン露点計
研究開発の現場では、実験結果の信頼性を高めるために、環境条件の正確な把握が不可欠です。特に、微量な水分が実験結果に大きな影響を与える場合、露点温度の正確な測定が求められます。TK-100オンライン露点計は、-100~+20 ℃dpの広い測定範囲と±2 ℃dpの精度で、実験環境の水分管理をサポートします。国産メーカーであるテクネ計測が、長年の経験と技術で開発したTK-100オンライン露点計は、研究開発における実験精度向上に貢献します。
【活用シーン】
・精密測定が必要な実験
・乾燥空気やガスの露点管理
・研究開発施設
【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・再現性の高い実験環境の構築
・研究開発の効率化
【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット
【研究機関向け】iTMAシリーズ 腐食性ガス中水分計
【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ
【化学分野向け】洗浄ユニット『ファインジェット』
【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008
【化学業界向け】グローバルフィルターによる精製ソリューション
株式会社グローブボックス・ジャパン 事業紹介
株式会社グローブボックス・ジャパンは、グローブボックス、不活性ガス
循環精製装置の専門メーカーです。
真空型グローブボックスをはじめ、フロー型グローブボックス、脱酸素装置、
脱水分装置、脱酸素水分装置等を各種取り揃えております。
お気軽にお問い合わせ下さい。
【事業内容】
■グローブボックスの販売、修理、設置工事
■不活性ガス循環精製装置の販売、修理、設置工事
■環境計測機器の設計、製造、販売、修理、設置工事
■科学機器の設計、製造、販売、修理、設置工事
■ガス制御装置の設計、製造、販売、修理、設置工事
■全各号に付帯する一切の業務
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
自動高真空システム『AHA ターボポンプ ステーション・カート』
『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート&パワフルな
真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた
自動高真空システムです。
標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。
1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで
ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。
【特長】
■新世代のターボ分子ポンプとプライマリ ポンプ
■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能
■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能
■AHAのサービスサポートも受けることが可能
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低リップルノイズ高圧電源『FLR503 series』
高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。
マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側(負荷側)の放電波形等を確認することが可能です。
【特長】
◇ 高精度・高安定度
◇ 出力電圧:DC50kV
◇ 出力電力:12.5W
◇ 連続出力短絡保護回路
◇ 出力電圧・電流モニタ付き
◇ 低リップル=5ppm以下 (250mVp-p@50kV)
◇ 安定度は15ppm/1h以下
◇ 温度係数は10ppm/℃以下
※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。









