top of page

科学・分析機器総合に関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。
半導体洗浄液中の不純物とは?課題と対策・製品を解説

目的・課題で絞り込む
食品・農業・環境
医薬品・臨床・バイオ
化学・材料・製造
カテゴリで絞り込む
科学・分析システム |
その他科学・分析機器総合 |

化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは?
半導体製造プロセスにおいて、ウェハー表面の微細な汚染物質を除去するために使用される洗浄液中に含まれる、意図しない化学物質や粒子状物質のこと。これらの不純物は、半導体の性能低下や歩留まり悪化の直接的な原因となる。
各社 の製品
絞り込み条件:
▼チェックした製品のカタログをダウンロード
一度にダウンロードできるカタログは20件までです。
【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット
【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ
【研究機関向け】iTMAシリーズ 腐食性ガス中水分計
【化学業界向け】グローバルフィルターによる精製ソリューション
【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008
【化学分野向け】洗浄ユニット『ファインジェット』
【研究開発向け】TK-100オンライン露点計
研究開発の現場では、実験結果の信頼性を高めるために、環境条件の正確な把握が不可欠です。特に、微量な水分が実験結果に大きな影響を与える場合、露点温度の正確な測定が求められます。TK-100オンライン露点計は、-100~+20 ℃dpの広い測定範囲と±2 ℃dpの精度で、実験環境の水分管理をサポートします。国産メーカーであるテクネ計測が、長年の経験と技術で開発したTK-100オンライン露点計は、研究開発における実験精度向上に貢献します。
【活用シーン】
・精密測定が必要な実験
・乾燥空気やガスの露点管理
・研究開発施設
【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・再現性の高い実験環境の構築
・研究開発の効率化
精密洗浄サービスの4つの柱『評価分析技術』のご紹介
洗浄システムサービス
少量純水の循環用途に最適な小型純水器!【事例集を無料進呈中】
EDI型RO装置
当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。
比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。
省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。
当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコスト
メリットを提供しています。
【特長】
■高品質の純水が採水可能
■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる
■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要
■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる
■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
原子吸光用オイルレスコンプレッサー『YC-4SA-AA』
高純水供給システム『TW-150-LRO-FT100-DP』
複合真空計『TG301CD』
『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、
大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。
ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、
グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも
感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。
この他にも、コールドカソードタフゲージ「CCTG200C」などもご用意
しております。
【特長】
■コンパクト設計
■視認性の良いシンプルなLED表示
■ピラニの自動ゼロ点調整機能付
■大気圧での精度:±5%
■最大測定圧力:1.2 x 10+5 Pa
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速・高電圧パルスジェネレータ
ウェーハ表面パーティクルスキャナ YPI-MN
低リップルノイズ高圧電源『FLR503 series』
高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。
マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側(負荷側)の放電波形等を確認することが可能です。
【特長】
◇ 高精度・高安定度
◇ 出力電圧:DC50kV
◇ 出力電力:12.5W
◇ 連続出力短絡保護回路
◇ 出力電圧・電流モニタ付き
◇ 低リップル=5ppm以下 (250mVp-p@50kV)
◇ 安定度は15ppm/1h以下
◇ 温度係数は10ppm/℃以下
※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。
真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』

















