top of page

科学・分析機器総合に関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。
半導体洗浄液中の不純物とは?課題と対策・製品を解説

目的・課題で絞り込む
食品・農業・環境
医薬品・臨床・バイオ
化学・材料・製造
カテゴリで絞り込む
科学・分析システム |
その他科学・分析機器総合 |

化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは?
半導体製造プロセスにおいて、ウェハー表面の微細な汚染物質を除去するために使用される洗浄液中に含まれる、意図しない化学物質や粒子状物質のこと。これらの不純物は、半導体の性能低下や歩留まり悪化の直接的な原因となる。
各社 の製品
絞り込み条件:
▼チェックした製品のカタログをダウンロード
一度にダウンロードできるカタログは20件までです。
【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット
【研究開発向け】TK-100オンライン露点計
研究開発の現場では、実験結果の信頼性を高めるために、環境条件の正確な把握が不可欠です。特に、微量な水分が実験結果に大きな影響を与える場合、露点温度の正確な測定が求められます。TK-100オンライン露点計は、-100~+20 ℃dpの広い測定範囲と±2 ℃dpの精度で、実験環境の水分管理をサポートします。国産メーカーであるテクネ計測が、長年の経験と技術で開発したTK-100オンライン露点計は、研究開発における実験精度向上に貢献します。
【活用シーン】
・精密測定が必要な実験
・乾燥空気やガスの露点管理
・研究開発施設
【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・再現性の高い実験環境の構築
・研究開発の効率化
【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ
【研究機関向け】iTMAシリーズ 腐食性ガス中水分計
【化学業界向け】グローバルフィルターによる精製ソリューション
【化学分野向け】洗浄ユニット『ファインジェット』
【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008
高純水供給システム『TW-150-LRO-FT100-DP』
フィルターカートリッジ『ミクロピュアフィルターカート リッジ』
『ミクロピュアフィルターカートリッジ』は、不織布濾材成形部材に
各繊維を使ったプリーツタイプのフィルターカートリッジです。
高濾過精度かつ格段に優れたダスト捕捉能力を併せ持った製品。
液体によって様々な濾材をお選びいただけます。
親水性のポリエステル不織布濾材を使用しているため、高精度濾過グレード
でも事前に浸水化処理の必要がない「MPSタイプ」をはじめ、
ポリプロピレ ン製の超微細不織布濾材を用いているため、高い濾過効率と
低圧力損失、高流量特性を同時に実現する「MPXタイプ」をご用意しております。
【特長(MPSタイプ)】
■親水性のポリエステル不織布濾材を使用
■高精度濾過グレードでも事前に浸水化処理の必要がない
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
洗浄システムサービス
超微量分析サービス
【分析事例】自家発電設備の潤滑油成分分析
磁気浮上型ターボ分子ポンプ MAG W 600
シリカ分析装置『SLIA-5000』
『SLIA-5000』は、HORIBAの長年にわたる納入実績と技術ノウハウを
結集し、従来の安定性・信頼性・メンテナンス性はそのままに、
新たに生まれ変わったシリカ分析装置です。
高速で繰り返し性の高い測定結果の取得が可能。
また、自己診断機能にて試料水・試薬の注入、校正異常、
セル内温度モニタ、光源異常などの動作異常を自己診断いたします。
【特長】
■5分測定で±2%F.S.の繰り返し性
■高感度レンジ0~10μg/Lから高濃度レンジ0~5.0mg/Lまで、測定可能
■ゼロ校正は毎回自動実行で、スパン校正も予約可能
■設定濃度以上では最短5分、設定濃度以下では長く測定周期を自動切替
■タッチパ ネルでの操作が可能なカラー液晶を採用
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ピラニー真空計『PG-3F2/PG-4F2』
「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱された
フィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。
『PG-3F2/PG-4F2』は、「PG-3F/PG-4F」にリレー接点を2点装備したモデル。
メーターと本体(アンプ)が一体型となっているので、コンパクトで
安価な上に、リレー接点も装備しているので、各種制御に適しています。
あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており
利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。
その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。
【特長】
■G-3F/PG-4Fにリレー接点を2点装備したモデル
■コンパクトで安価な上、各種制御に適している
■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない
■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示
■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
EDI型RO装置
当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。
比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。
省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。
当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコスト
メリットを提供しています。
【特長】
■高品質の純水が採水可能
■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる
■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要
■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる
■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
精密洗浄サービスの4つの柱『評価分析技術』のご紹介
複合真空計『TG301CD』
『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、
大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。
ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、
グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも
感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。
この他にも、コールドカソードタフゲージ「CCTG200C」などもご用意
しておりま す。
【特長】
■コンパクト設計
■視認性の良いシンプルなLED表示
■ピラニの自動ゼロ点調整機能付
■大気圧での精度:±5%
■最大測定圧力:1.2 x 10+5 Pa
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』
『マジックNEGポンプ』は、極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させた
新しい構想のゲッターポンプです。
ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を
再構築しました。
当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ(開放系)や小型イオンポンプ(封止切系)と
組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを
発生させることができます。
【特長】
■NEGをポンプケーシングの壁面に配置
■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング
■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張
■COに対する排気速度が大きい(H2とほぼ同等)
■SUS製ICF070&114フランジに対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
原子吸光用オイルレスコンプレッサー『YC-4SA-AA』
自動高真空システム『AHA ターボポンプ ステーション・カート』
『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート&パワフルな
真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた
自動高真空システムです。
標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。
1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで
ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。
【特長】
■新世代のターボ分子ポンプとプライマリ ポンプ
■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能
■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能
■AHAのサービスサポートも受けることが可能
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
株式会社グローブボックス・ジャパン 事業紹介
株式会社グローブボックス・ジャパンは、グローブボックス、不活性ガス
循環精製装置の専門メーカーです。
真空型グローブボックスをはじめ、フロー型グローブボックス、脱酸素装置、
脱水分装置、脱酸素水分装置等を各種取り揃えております。
お気軽にお問い合わせ下さい。
【事業内容】
■グローブボックスの販売、修理、設置工事
■ 不活性ガス循環精製装置の販売、修理、設置工事
■環境計測機器の設計、製造、販売、修理、設置工事
■科学機器の設計、製造、販売、修理、設置工事
■ガス制御装置の設計、製造、販売、修理、設置工事
■全各号に付帯する一切の業務
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
委託再生式カートリッジ純水器「 ワコンナーL 」
小型RO装置+EDI装置
研究用機器取扱ダイジェストカタログ
























