半導体洗浄液中の不純物とは？課題と対策・製品を解説

研究開発の現場では、実験結果の信頼性を高めるために、環境条件の正確な把握が不可欠です。特に、微量な水分が実験結果に大きな影響を与える場合、露点温度の正確な測定が求められます。TK-100オンライン露点計は、-100～+20 ℃dpの広い測定範囲と±2 ℃dpの精度で、実験環境の水分管理をサポートします。国産メーカーであるテクネ計測が、長年の経験と技術で開発したTK-100オンライン露点計は、研究開発における実験精度向上に貢献します。

【活用シーン】
・精密測定が必要な実験
・乾燥空気やガスの露点管理
・研究開発施設

【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・再現性の高い実験環境の構築
・研究開発の効率化

半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。

【活用シーン】
・高純度ガス製造時の品質保証
・ボンベ充填時のガス品質確認
・バルク輸送や中継点でのガス品質管理

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・測定時間の短縮
・生涯コストの削減

研究機関における実験環境では、雰囲気ガスの水分管理が実験結果に大きく影響を与える場合があります。特に、精密な分析や反応を伴う実験においては、微量の水分が測定誤差や反応の阻害要因となる可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、安定した実験環境を提供します。フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵したオールインワンタイプで、持ち運びも容易です。

【活用シーン】
・ガス分析装置の保護
・精密化学反応実験
・半導体製造プロセス

【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・装置の長寿命化
・実験の再現性向上

研究機関における実験器具の洗浄では、コンタミネーションを防ぎ、正確な実験結果を得るために、高い洗浄性能が求められます。特に、微細な有機物や金属汚染物質の除去は、実験の精度を左右する重要な要素です。ラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・実験器具の洗浄
・微細部品の洗浄
・金属汚染対策

【導入の効果】
・高い洗浄力による実験精度の向上
・環境負荷の低減
・ランニングコストの削減

研究機関では、実験の再現性とデータの信頼性を確保するために、測定環境の正確な管理が不可欠です。特に、腐食性ガスを使用する実験においては、ガス中の微量な水分が実験結果に大きな影響を与える可能性があります。不純物の混入は、実験の誤差を増大させ、正確なデータ取得を妨げる要因となります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定し、実験環境の水分量を正確に把握することを可能にします。

【活用シーン】
・化学実験
・ガス分析
・半導体製造プロセス

【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・実験の再現性向上
・分析精度の向上

化学業界における精製プロセスでは、製品の品質と安全性を確保するために、高度なろ過技術が不可欠です。特に、不純物の除去は、製品の性能や信頼性に直接影響を与えるため、非常に重要です。グローバルフィルターは、幅広い化学物質に対応し、高い除去効率を実現することで、精製プロセスにおける課題を解決します。

【活用シーン】
・化学薬品の精製
・試薬の精製
・反応液からの不純物除去

【導入の効果】
・製品の品質向上
・製造プロセスの効率化
・コスト削減

クリーンケミカルでは『洗浄システムサービス』を承っております。

実際に洗浄を行った器材の清浄度を確認できる「直接判定法」をはじめ、
疑似汚染物を利用した洗浄性と適切な洗浄工程の確認ができる
「間接判定法」をご用意。

そのほか、洗浄度確認試験の記録・保管や、データロガーを用いた
測定などに対応いたします。是非お任せください。

【サービス内容(一部)】
■直接判定法：色素染色法、抽出法
■間接判定法：チャレンジテストデバイス、洗浄インジケーター
■試験報告　
■すすぎ確認
■水質確認　など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

株式会社グローブボックス・ジャパンは、グローブボックス、不活性ガス
循環精製装置の専門メーカーです。

真空型グローブボックスをはじめ、フロー型グローブボックス、脱酸素装置、
脱水分装置、脱酸素水分装置等を各種取り揃えております。

お気軽にお問い合わせ下さい。

【事業内容】
■グローブボックスの販売、修理、設置工事
■不活性ガス循環精製装置の販売、修理、設置工事
■環境計測機器の設計、製造、販売、修理、設置工事
■科学機器の設計、製造、販売、修理、設置工事
■ガス制御装置の設計、製造、販売、修理、設置工事
■全各号に付帯する一切の業務

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート＆パワフルな
真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた
自動高真空システムです。

標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。

1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで
ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。

【特長】
■新世代のターボ分子ポンプとプライマリポンプ
■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能
■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能
■AHAのサービスサポートも受けることが可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。
マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。
ラボや装置横への設置も簡単です。
シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。

理化学実験器具の設計・製造・販売・アフターサービスを行っている会社の
研究用機器取扱ダイジェストカタログです。

耐薬品性・耐溶剤性に優れている
「キングパーフロチューブ」のシリーズや、
耐熱性・非粘着性の「キングキュート・カラーキュート」など、
幅広い製品をご紹介しております。

【掲載内容】
■チューブ類
■パッキン類
■紫外線対応製品　など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※こちらのカタログはダイジェスト版です。
　全編必要な方はお問合せください。

各種電源を一つに統合
高い安定度と低リップル
モールドされた高圧発生セクション
コロナ放電のないオペレーション
光ファイバーにて絶縁されたデジタルインターフェイス
ＣＥマーク、ＵＬ及びＳＥＭＩ準拠

『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、
大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。

ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、
グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも
感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。

この他にも、コールドカソードタフゲージ「CCTG200C」などもご用意
しております。

【特長】
■コンパクト設計
■視認性の良いシンプルなLED表示
■ピラニの自動ゼロ点調整機能付
■大気圧での精度：±5％
■最大測定圧力：1.2 x 10+5 Pa

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SLIA-5000』は、HORIBAの長年にわたる納入実績と技術ノウハウを
結集し、従来の安定性・信頼性・メンテナンス性はそのままに、
新たに生まれ変わったシリカ分析装置です。

高速で繰り返し性の高い測定結果の取得が可能。
また、自己診断機能にて試料水・試薬の注入、校正異常、
セル内温度モニタ、光源異常などの動作異常を自己診断いたします。

【特長】
■5分測定で±2%F.S.の繰り返し性
■高感度レンジ0～10μg/Lから高濃度レンジ0～5.0mg/Lまで、測定可能
■ゼロ校正は毎回自動実行で、スパン校正も予約可能
■設定濃度以上では最短5分、設定濃度以下では長く測定周期を自動切替
■タッチパネルでの操作が可能なカラー液晶を採用

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

小型純水器「ワコンナーＬ」は、中容量の純水用途に最適な委託再生式イオン交換樹脂の純水器です。

運転操作は簡単で、処理水は水質計が常に監視しており、水質の低下を確認できます。
イオン交換樹脂の再生設備は不要で、ワコンナーFの設置面積は畳１枚程度のスペースがあれば十分です。

純水器とイオン交換樹脂をレンタルでご利用頂けますので、僅かな初期費用でご使用いただけます。

※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。
　価格、納期をご案内します。

『ミクロピュアフィルターカートリッジ』は、不織布濾材成形部材に
各繊維を使ったプリーツタイプのフィルターカートリッジです。

高濾過精度かつ格段に優れたダスト捕捉能力を併せ持った製品。
液体によって様々な濾材をお選びいただけます。

親水性のポリエステル不織布濾材を使用しているため、高精度濾過グレード
でも事前に浸水化処理の必要がない「MPSタイプ」をはじめ、
ポリプロピレン製の超微細不織布濾材を用いているため、高い濾過効率と
低圧力損失、高流量特性を同時に実現する「MPXタイプ」をご用意しております。

【特長（MPSタイプ）】
■親水性のポリエステル不織布濾材を使用
■高精度濾過グレードでも事前に浸水化処理の必要がない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、先進的な分析機器と緻密な分析化学手法を用いた『超微量分析サービス』を
提供しております。

試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、
純度評価や超微量不純物の分析を実施します。

【分析例】
■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析
■高純度試薬中の微量金属の分析
■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析
■RoHS指令関連分析
■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析　など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ほとんど純水の水を捨てるのは勿体なくないですか？
少量純水を循環利用できる純水器をお探しではないですか？

少量純水の循環用途へのご要望にお応えする
WACONの小型純水器『ワコンナーＦ』事例集を無料進呈致します！

※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。
　価格、納期をご案内します。

Kentech Instruments社の技術力により、他に類を見ない世界最高レベルの高性能パルスジェネレータの製作が可能です。グリッドパルサ、チョッピングパルサ、ポッケルセルドライバ等の分野で高い性能評価を得ています。また、抜群の信頼性を誇っております。

「ＳＪＫフィルター」は酸からアルカリ溶液まで幅広く使用でき繊維の脱落がほとんどありません。 両端のキャップはポリエチレン製でシール性も強化した高性度な精密ろ過材です。めっき液、酸・アルカリ溶液、化学薬品などラボ用ろ過機で使用される様々な液に適しています。

【特長】
■材質はポリプロピレン（不織布）と発泡ポリエチレン （キャップ）
■めっき液、酸・アルカリ溶液、化学薬品などに

※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。

『YC-4SA-AA』は、原子吸光分光光度計での使用を目的とした超低騒音の
原子吸光用オイルレスコンプレッサーです。

冷却用ファンで内部の強制空冷を行うので連続運転が可能。

本体付属のエアーフィルターの他に、オートドレン付きのフィルターが
付属しており、機器の中に水分が入るのを未然に防止します。

【特長】
■安全性と低騒音(48dB)を実現
■オイルレス
■連続運転が可能
■機器の中に水分が入るのを未然に防止

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱された
フィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。

『PG-3F2/PG-4F2』は、「PG-3F/PG-4F」にリレー接点を2点装備したモデル。
メーターと本体（アンプ）が一体型となっているので、コンパクトで
安価な上に、リレー接点も装備しているので、各種制御に適しています。

あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており
利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。
その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。

【特長】
■G-3F/PG-4Fにリレー接点を2点装備したモデル
■コンパクトで安価な上、各種制御に適している
■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない
■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示
■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

水素ガス中の各種不純物（O2,CO,CO2,H2O）を１ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。

0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。

『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた
新しい構想のゲッターポンプです。

ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を
再構築しました。

当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と
組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを
発生させることができます。

【特長】
■NEGをポンプケーシングの壁面に配置
■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング
■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張
■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等）
■SUS製ICF070&114フランジに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、ターボ分子ポンプとロータリーポンプを搭載した真空排気装置
『KST-F08VS-RKS型』を取り扱っております。

フルレンジゲージにより、大気周辺から高真空まで切替なしで
真空度をモニター可能です。

また、横幅270ｍｍとスリムなデザインなので狭い場所にも設置可能。
移動も容易に行えます。

【特長】
■大気周辺から高真空まで切替なしで真空度をモニター可能
■スリムなデザイン
■狭い場所に設置可能
■移動も容易

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる装置です。

電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要。再生排水は
処理の必要がなく、そのまま排水できます。

1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑えており、UV装置や
UF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保できます。

【特長】
■高品質の純水が採水可能
■薬品による再生工程はない
■省スペース設計
■当社の中国工場で製造した装置を輸入
■各種装置と組み合わせ可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。

○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立
○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム
○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現
○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要
○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合
○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応
○コンパクトで場所を取らない設計
○システムを容易に統合可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

生産現場ではさまざまな化学物質が使用されていますが、これらから
発生するガスや粒子状物質などは製品品質の高精度化・高純度化が進む
現在において汚染物質(コンタミ)として悪影響を及ぼすことがあります。

当社では、これらのコンタミ物質の高感度分析を提供します。

有機ガスなど、ご要望に合わせたコンタミ物質の評価方法をご提案。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【試験対象物質】
＜試験項目：対象成分＞
■金属元素：Na、K、Al、Si、Ca、Fe、Cu、Ni、Zn など
■酸性ガス：F-、Cl-、NO3-、NO2-、SO42-など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、
ご紹介いたします。

CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の
電荷有感型前置増幅器で構成。

波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、
半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。

【主な性能】
■雑音：350 electrons FWHM at 0pF
■ゲイン：1 V/pC
■立ち上がり時間：6ns at 0pF

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。
マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。

【特長】
◇ 高精度・高安定度
◇ 出力電圧：DC50kV
◇ 出力電力：12.5W
◇ 連続出力短絡保護回路
◇ 出力電圧・電流モニタ付き
◇ 低リップル＝5ppm以下 (250mVp-ｐ@50kV)
◇ 安定度は15ppm/1h以下
◇ 温度係数は10ppm/℃以下

※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。

『TW-150-LRO-FT100-DP』は、中型・大型ラボに毎時150L、A3グレードの
高純水を多目的に供給する、水道直結型セントラル式高純水供給システムです。

ヒーター加熱による蒸留方式に比べ、熱源を使用しない逆浸透膜（RO）方式は
電気代が10分の1以下。冷却水を必要とせず、生産水回収率50％の設計は
水道代も軽減します。

また、自社による設計・製作・保守管理まで、トータルでご提供する事で、
高いコストパフォーマンスを実現しました。

【特長】
■大容量
■省コスト
■省エネルギー
■省スペース
■表示パネル

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

潤滑油の成分を分析し、劣化の程度を確認した事例をご紹介します。

動粘度、水分、塩基価、燃料希釈、元素分析、不溶解分、引火点の
それぞれ7つの分析項目を掲載。

株式会社モレスコテクノでは、潤滑油/石油製品の分析・評価・診断を
行っております。お困りの方はお気軽にご相談ください。

【分析概要】
■目的：潤滑油の成分を分析し、劣化の程度を確認する
■対象：オイルパン等から抜き取った潤滑油
■分析項目：動粘度、水分、塩基価、燃料希釈
　　　　　　元素分析、不溶解分、引火点

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高度な洗浄度が求められる装置部品を洗浄し、
お客様の生産性向上をサポートしているクリテックサービス株式会社の
『評価分析技術』をご紹介します。

三重事業所、伊賀事業所に研究拠点を設け、液晶・半導体産業を始めとする
高い清浄度を要求される不純物除去技術、仕上げ洗浄、評価分析技術を
組合せることにより、お客様要求度を満足した技術開発を行っております。

【評価分析技術】
■各種分析機器を用いて母材保護に適した洗浄方法を選定
■洗浄後の仕上がり評価を行う
■お客様のご要望に応じて、各種部材の汚染状況、劣化状況の解析も可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。

比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。

省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。
当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコスト
メリットを提供しています。

【特長】
■高品質の純水が採水可能
■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる
■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要
■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる
■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

逆浸透膜（RO）とイオン交換樹脂塔をユニット内に納め、一体化した純水製造装置です

【特長】

◆無機イオンはもとより、溶解性、非溶解性を問わず無機成分、有機成分を同時に効率よく除去することが出来ます

◆前処理の設備、ＲＯ、イオン交換塔を一つのユニットにコンパクトに！
設置スペースは最小限ですみ、メンテナンスの手間も掛りません

◆全自動連続運転方式で、タッチパネルを採用していますので、運転管理が容易で特別な運転要員は必要ありません

◆お客様で使用したい純水量・用途に応じて、C-350〜F-10000まで各種タイプの中から選定することが出来ます

◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用いただけます。アフターサービスも万全です

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＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝