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半導体洗浄液中の不純物とは？課題と対策・製品を解説

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目的・課題で絞り込む

前処理・調製

固体試料の多機能粉砕・均質化
混合・乳化の均一化
粘性液体の撹拌・処理
高圧ホモジナイザーによる均質化
液体試料の高効率ろ過・分離
ゲルろ過によるサイズ分画
高純度な蒸留・精製
超音波洗浄と分散
微量成分の固相抽出
有機溶媒の濃縮・回収
生体試料の抽出・精製
汚染物質の除去・精製
高速乾燥と熱分解
試料の凍結乾燥
低温での試料保存・管理
微生物試料の滅菌・殺菌
高圧での合成・反応
電気化学的な前処理
自動でのサンプル前処理
自動pH調整と滴定
放射性物質の安全管理
高純度ガスの供給
固体試料の多機能粉砕・均質化
混合・乳化の均一化
粘性液体の撹拌・処理

食品・農業・環境

残留農薬のスクリーニング
風味・香気成分の数値化
異物の化学組成特定
栄養成分表示のための定量
食用油の酸化度・鮮度
産地偽装の化学的判別
水・大気中の有害物質
粉体・粒子の分散性評価
食品添加物の適正使用
食品の劣化原因の解明
作物の栄養価成分分析
香料・着色料の品質
農産物の生育環境
動物飼料の栄養成分
天然物由来成分の機能性
賞味期限の科学的根拠
海洋プラの化学組成
土壌中の重金属汚染レベル
水道水の成分分析
酒類の成分分析・偽造防止
肥料の有効成分
食肉の品質評価
包装材からの溶出物質
土壌中の有用微生物
環境ホルモンの超微量検出
地下水汚染の範囲特定
VOC排出量の把握
食品素材の安全性評価
残留農薬のスクリーニング
風味・香気成分の数値化
異物の化学組成特定

医薬品・臨床・バイオ

治験薬の有効成分量保証
ロットごとの品質均一性
医薬品の分解生成物特定
長期保存安定性
投与後の薬物代謝経路
細胞培養液の成分
高分子医薬の分子量分布
副作用の予測・低減
GMP要件への適合性
DDSキャリアの評価
アミノ酸の網羅的解析
薬物動態の評価
タンパク質分解
マトリックス効果排除
ドーピング検査の信頼性
血中薬物濃度
医療機器の残留物分析
バイオマーカー探索
DNA/RNAの微量定性・定量
ウイルス抗原の同定
ペプチドの配列
未承認の微量不純物
抗体医薬の品質・構造確認
臨床検査データの信頼性
微生物の汚染管理
タンパク質の抽出・分離
バイオ燃料の品質保証
治験薬の有効成分量保証
ロットごとの品質均一性
医薬品の分解生成物特定

化学・材料・製造

異物の特定と解析
高分子材料の分子量分布
石油製品の品質規格適合
原料・中間体の純度
半導体用薬液の超高純度
製品の劣化原因
燃料電池材料の性能
超微細な結晶構造
表面処理・コーティング層
樹脂・ゴムの添加剤組成
工業用水の不純物
潤滑油の劣化状態
高圧ガス中の不純物
材料の化学組成分析
ポリマーの熱分解挙動
有機EL材料の純度・安定性
接着剤の硬化反応
半導体洗浄液中の不純物
金属材料の表面不動態層
インク・塗料の色材成分
排ガス中の微量成分
ゴム製品の添加剤組成
ナノ材料の化学修飾状態
電子部品の有害物質
樹脂の配合比率
LIBの電解液成分
爆発物残渣の化学分析
塗膜の厚さ測定
化粧品原料の機能性成分
考古学的試料の年代推定
表面・界面の評価
粒子径と分布の測定
異物の特定と解析
高分子材料の分子量分布
石油製品の品質規格適合

サポート

ラボレイアウトの設計
設置と初期設定
オペレーターの操作指導
定期的なメンテナンス
定期的な校正
緊急時の修理対応
専門家への技術相談
分析のアウトソーシング
データ解析の代行
研究開発の代行
試薬・消耗品の定期供給
中古機器の売買・レンタル
法規・規格への適合支援
SOP作成の支援
ラボレイアウトの設計
設置と初期設定
オペレーターの操作指導

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科学・分析システム
その他科学・分析機器総合
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化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェハー表面の微細な汚染物質を除去するために使用される洗浄液中に含まれる、意図しない化学物質や粒子状物質のこと。これらの不純物は、半導体の性能低下や歩留まり悪化の直接的な原因となる。

各社の製品

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【化学業界向け】グローバルフィルターによる精製ソリューション

【化学業界向け】グローバルフィルターによる精製ソリューション
日本フィルトレーショングループ株式会社
化学業界における精製プロセスでは、製品の品質と安全性を確保するために、高度なろ過技術が不可欠です。特に、不純物の除去は、製品の性能や信頼性に直接影響を与えるため、非常に重要です。グローバルフィルターは、幅広い化学物質に対応し、高い除去効率を実現することで、精製プロセスにおける課題を解決します。 【活用シーン】 ・化学薬品の精製 ・試薬の精製 ・反応液からの不純物除去 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・製造プロセスの効率化 ・コスト削減
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【研究開発向け】TK-100オンライン露点計

【研究開発向け】TK-100オンライン露点計
株式会社テクネ計測
研究開発の現場では、実験結果の信頼性を高めるために、環境条件の正確な把握が不可欠です。特に、微量な水分が実験結果に大きな影響を与える場合、露点温度の正確な測定が求められます。TK-100オンライン露点計は、-100～+20 ℃dpの広い測定範囲と±2 ℃dpの精度で、実験環境の水分管理をサポートします。国産メーカーであるテクネ計測が、長年の経験と技術で開発したTK-100オンライン露点計は、研究開発における実験精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定が必要な実験 ・乾燥空気やガスの露点管理 ・研究開発施設 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・再現性の高い実験環境の構築 ・研究開発の効率化
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【研究機関向け】iTMAシリーズ 腐食性ガス中水分計

【研究機関向け】iTMAシリーズ 腐食性ガス中水分計
株式会社テクネ計測
研究機関では、実験の再現性とデータの信頼性を確保するために、測定環境の正確な管理が不可欠です。特に、腐食性ガスを使用する実験においては、ガス中の微量な水分が実験結果に大きな影響を与える可能性があります。不純物の混入は、実験の誤差を増大させ、正確なデータ取得を妨げる要因となります。iTMAシリーズは、腐食性ガス中の水分をインラインで測定し、実験環境の水分量を正確に把握することを可能にします。 【活用シーン】 ・化学実験 ・ガス分析 ・半導体製造プロセス 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・実験の再現性向上 ・分析精度の向上
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【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008

【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008
株式会社テクネ計測
研究機関における実験環境では、雰囲気ガスの水分管理が実験結果に大きく影響を与える場合があります。特に、精密な分析や反応を伴う実験においては、微量の水分が測定誤差や反応の阻害要因となる可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、安定した実験環境を提供します。フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵したオールインワンタイプで、持ち運びも容易です。 【活用シーン】 ・ガス分析装置の保護 ・精密化学反応実験 ・半導体製造プロセス 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・装置の長寿命化 ・実験の再現性向上
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【化学分野向け】洗浄ユニット『ファインジェット』

【化学分野向け】洗浄ユニット『ファインジェット』
株式会社プレテック　静岡製作所
化学分野では、反応の効率化と精度の向上が常に求められています。特に、反応容器や基板の洗浄は、反応の阻害要因となる不純物の除去において重要です。適切な洗浄が行われない場合、反応の遅延や不完全燃焼を引き起こし、最終的な製品の品質に悪影響を及ぼす可能性があります。当社洗浄ユニット『ファインジェット』は、低出力から高出力まで安定した発振を提供し、化学反応プロセスの効率化に貢献します。 【活用シーン】 ・反応容器の洗浄 ・基板の洗浄 ・試薬の調合前洗浄 【導入の効果】 ・反応効率の向上 ・製品品質の安定化 ・洗浄時間の短縮
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【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ

【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ
株式会社テクネ計測
半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。 【活用シーン】 ・高純度ガス製造時の品質保証 ・ボンベ充填時のガス品質確認 ・バルク輸送や中継点でのガス品質管理 【導入の効果】 ・製品の品質向上 ・歩留まりの改善 ・測定時間の短縮 ・生涯コストの削減
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【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット

【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット
株式会社プレテック　静岡製作所
研究機関における実験器具の洗浄では、コンタミネーションを防ぎ、正確な実験結果を得るために、高い洗浄性能が求められます。特に、微細な有機物や金属汚染物質の除去は、実験の精度を左右する重要な要素です。ラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・実験器具の洗浄 ・微細部品の洗浄 ・金属汚染対策 【導入の効果】 ・高い洗浄力による実験精度の向上 ・環境負荷の低減 ・ランニングコストの削減
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超微量分析サービス

超微量分析サービス
株式会社UBE科学分析センター
当社では、先進的な分析機器と緻密な分析化学手法を用いた『超微量分析サービス』を 提供しております。 試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、 純度評価や超微量不純物の分析を実施します。 【分析例】 ■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析 ■高純度試薬中の微量金属の分析 ■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析 ■RoHS指令関連分析 ■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』

ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』
株式会社ヤチダ
『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた 新しい構想のゲッターポンプです。 ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を 再構築しました。 当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と 組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを 発生させることができます。 【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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株式会社グローブボックス・ジャパン　事業紹介

株式会社グローブボックス・ジャパン　事業紹介
株式会社グローブボックス・ジャパン
株式会社グローブボックス・ジャパンは、グローブボックス、不活性ガス 循環精製装置の専門メーカーです。 真空型グローブボックスをはじめ、フロー型グローブボックス、脱酸素装置、 脱水分装置、脱酸素水分装置等を各種取り揃えております。 お気軽にお問い合わせ下さい。 【事業内容】 ■グローブボックスの販売、修理、設置工事 ■不活性ガス循環精製装置の販売、修理、設置工事 ■環境計測機器の設計、製造、販売、修理、設置工事 ■科学機器の設計、製造、販売、修理、設置工事 ■ガス制御装置の設計、製造、販売、修理、設置工事 ■全各号に付帯する一切の業務 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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水素ガスの純度向上に:インライン式ガス精製器ファインピュアラー

水素ガスの純度向上に:インライン式ガス精製器ファインピュアラー
大阪ガスリキッド株式会社
水素ガス中の各種不純物（O2,CO,CO2,H2O）を１ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。
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真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』

真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』
ケーズテック合同会社
当社では、ターボ分子ポンプとロータリーポンプを搭載した真空排気装置 『KST-F08VS-RKS型』を取り扱っております。 フルレンジゲージにより、大気周辺から高真空まで切替なしで 真空度をモニター可能です。 また、横幅270ｍｍとスリムなデザインなので狭い場所にも設置可能。 移動も容易に行えます。 【特長】 ■大気周辺から高真空まで切替なしで真空度をモニター可能 ■スリムなデザイン ■狭い場所に設置可能 ■移動も容易 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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委託再生式カートリッジ純水器「 ワコンナーＬ 」

委託再生式カートリッジ純水器「 ワコンナーＬ 」
日本ワコン株式会社
小型純水器「ワコンナーＬ」は、中容量の純水用途に最適な委託再生式イオン交換樹脂の純水器です。 運転操作は簡単で、処理水は水質計が常に監視しており、水質の低下を確認できます。 イオン交換樹脂の再生設備は不要で、ワコンナーFの設置面積は畳１枚程度のスペースがあれば十分です。 純水器とイオン交換樹脂をレンタルでご利用頂けますので、僅かな初期費用でご使用いただけます。 ※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。 　価格、納期をご案内します。
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シリカ分析装置『SLIA-5000』

シリカ分析装置『SLIA-5000』
株式会社堀場アドバンスドテクノ
『SLIA-5000』は、HORIBAの長年にわたる納入実績と技術ノウハウを 結集し、従来の安定性・信頼性・メンテナンス性はそのままに、 新たに生まれ変わったシリカ分析装置です。 高速で繰り返し性の高い測定結果の取得が可能。 また、自己診断機能にて試料水・試薬の注入、校正異常、 セル内温度モニタ、光源異常などの動作異常を自己診断いたします。 【特長】 ■5分測定で±2%F.S.の繰り返し性 ■高感度レンジ0～10μg/Lから高濃度レンジ0～5.0mg/Lまで、測定可能 ■ゼロ校正は毎回自動実行で、スパン校正も予約可能 ■設定濃度以上では最短5分、設定濃度以下では長く測定周期を自動切替 ■タッチパネルでの操作が可能なカラー液晶を採用 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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室内中のコンタミ分析サービス

室内中のコンタミ分析サービス
株式会社環境アシスト
生産現場ではさまざまな化学物質が使用されていますが、これらから 発生するガスや粒子状物質などは製品品質の高精度化・高純度化が進む 現在において汚染物質(コンタミ)として悪影響を及ぼすことがあります。 当社では、これらのコンタミ物質の高感度分析を提供します。 有機ガスなど、ご要望に合わせたコンタミ物質の評価方法をご提案。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【試験対象物質】 ＜試験項目：対象成分＞ ■金属元素：Na、K、Al、Si、Ca、Fe、Cu、Ni、Zn など ■酸性ガス：F-、Cl-、NO3-、NO2-、SO42-など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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精密洗浄サービスの4つの柱『評価分析技術』のご紹介

精密洗浄サービスの4つの柱『評価分析技術』のご紹介
クリテックサービス株式会社
高度な洗浄度が求められる装置部品を洗浄し、 お客様の生産性向上をサポートしているクリテックサービス株式会社の 『評価分析技術』をご紹介します。 三重事業所、伊賀事業所に研究拠点を設け、液晶・半導体産業を始めとする 高い清浄度を要求される不純物除去技術、仕上げ洗浄、評価分析技術を 組合せることにより、お客様要求度を満足した技術開発を行っております。 【評価分析技術】 ■各種分析機器を用いて母材保護に適した洗浄方法を選定 ■洗浄後の仕上がり評価を行う ■お客様のご要望に応じて、各種部材の汚染状況、劣化状況の解析も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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低リップルノイズ高圧電源『FLR503 series』

低リップルノイズ高圧電源『FLR503 series』
フューテックス株式会社
高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。 マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。 【特長】 ◇ 高精度・高安定度 ◇ 出力電圧：DC50kV ◇ 出力電力：12.5W ◇ 連続出力短絡保護回路 ◇ 出力電圧・電流モニタ付き ◇ 低リップル＝5ppm以下 (250mVp-ｐ@50kV) ◇ 安定度は15ppm/1h以下 ◇ 温度係数は10ppm/℃以下 ※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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【分析事例】自家発電設備の潤滑油成分分析

【分析事例】自家発電設備の潤滑油成分分析
株式会社モレスコテクノ
潤滑油の成分を分析し、劣化の程度を確認した事例をご紹介します。 動粘度、水分、塩基価、燃料希釈、元素分析、不溶解分、引火点の それぞれ7つの分析項目を掲載。 株式会社モレスコテクノでは、潤滑油/石油製品の分析・評価・診断を 行っております。お困りの方はお気軽にご相談ください。 【分析概要】 ■目的：潤滑油の成分を分析し、劣化の程度を確認する ■対象：オイルパン等から抜き取った潤滑油 ■分析項目：動粘度、水分、塩基価、燃料希釈 　　　　　　元素分析、不溶解分、引火点 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ピラニー真空計『PG-3F2/PG-4F2』

ピラニー真空計『PG-3F2/PG-4F2』
若井田理学株式会社
「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱された フィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。 『PG-3F2/PG-4F2』は、「PG-3F/PG-4F」にリレー接点を2点装備したモデル。 メーターと本体（アンプ）が一体型となっているので、コンパクトで 安価な上に、リレー接点も装備しているので、各種制御に適しています。 あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており 利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。 その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。 【特長】 ■G-3F/PG-4Fにリレー接点を2点装備したモデル ■コンパクトで安価な上、各種制御に適している ■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない ■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示 ■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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複合真空計『TG301CD』

複合真空計『TG301CD』
株式会社ミラプロ
『TG301CD』は、B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、 大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能な複合真空計です。 ピラニフィラメントには耐腐食性の材料を使用しており、B-Aゲージ領域では、 グリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも 感度低下が少なく高精度で測定することが可能です。 この他にも、コールドカソードタフゲージ「CCTG200C」などもご用意 しております。 【特長】 ■コンパクト設計 ■視認性の良いシンプルなLED表示 ■ピラニの自動ゼロ点調整機能付 ■大気圧での精度：±5％ ■最大測定圧力：1.2 x 10+5 Pa ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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小型RO装置＋EDI装置

小型RO装置＋EDI装置
株式会社オー イー エス
当製品は、比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる装置です。 電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要。再生排水は 処理の必要がなく、そのまま排水できます。 1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑えており、UV装置や UF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保できます。 【特長】 ■高品質の純水が採水可能 ■薬品による再生工程はない ■省スペース設計 ■当社の中国工場で製造した装置を輸入 ■各種装置と組み合わせ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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高純水供給システム『TW-150-LRO-FT100-DP』

高純水供給システム『TW-150-LRO-FT100-DP』
株式会社Es1
『TW-150-LRO-FT100-DP』は、中型・大型ラボに毎時150L、A3グレードの 高純水を多目的に供給する、水道直結型セントラル式高純水供給システムです。 ヒーター加熱による蒸留方式に比べ、熱源を使用しない逆浸透膜（RO）方式は 電気代が10分の1以下。冷却水を必要とせず、生産水回収率50％の設計は 水道代も軽減します。 また、自社による設計・製作・保守管理まで、トータルでご提供する事で、 高いコストパフォーマンスを実現しました。 【特長】 ■大容量 ■省コスト ■省エネルギー ■省スペース ■表示パネル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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フィルターカートリッジ『ミクロピュアフィルターカートリッジ』

フィルターカートリッジ『ミクロピュアフィルターカートリッジ』
共伸テクノ株式会社
『ミクロピュアフィルターカートリッジ』は、不織布濾材成形部材に 各繊維を使ったプリーツタイプのフィルターカートリッジです。 高濾過精度かつ格段に優れたダスト捕捉能力を併せ持った製品。 液体によって様々な濾材をお選びいただけます。 親水性のポリエステル不織布濾材を使用しているため、高精度濾過グレード でも事前に浸水化処理の必要がない「MPSタイプ」をはじめ、 ポリプロピレン製の超微細不織布濾材を用いているため、高い濾過効率と 低圧力損失、高流量特性を同時に実現する「MPXタイプ」をご用意しております。 【特長（MPSタイプ）】 ■親水性のポリエステル不織布濾材を使用 ■高精度濾過グレードでも事前に浸水化処理の必要がない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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高速・高電圧パルスジェネレータ

高速・高電圧パルスジェネレータ
株式会社サイエンスラボラトリーズ
Kentech Instruments社の技術力により、他に類を見ない世界最高レベルの高性能パルスジェネレータの製作が可能です。グリッドパルサ、チョッピングパルサ、ポッケルセルドライバ等の分野で高い性能評価を得ています。また、抜群の信頼性を誇っております。
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半導体検出器用プリアンプ『CSP02』

半導体検出器用プリアンプ『CSP02』
株式会社ANSeeN
株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、 ご紹介いたします。 CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の 電荷有感型前置増幅器で構成。 波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、 半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。 【主な性能】 ■雑音：350 electrons FWHM at 0pF ■ゲイン：1 V/pC ■立ち上がり時間：6ns at 0pF ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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EDI型RO装置

EDI型RO装置
株式会社オー イー エス
当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。 比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。 省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。 当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコスト メリットを提供しています。 【特長】 ■高品質の純水が採水可能 ■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる ■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要 ■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる ■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＮ

ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＮ
株式会社山梨技術工房
ノンパターンウェーハ・基板表面パーティクル検査装置です。 マニュアル搬送の卓上検査装置でスペースを取りません。 ラボや装置横への設置も簡単です。 シリコンだけでなくガラス素材も測定可能です。
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自動高真空システム『AHA ターボポンプ ステーション・カート』

自動高真空システム『AHA ターボポンプ ステーション・カート』
有限会社フォーユー
『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート＆パワフルな 真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた 自動高真空システムです。 標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。 1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。 【特長】 ■新世代のターボ分子ポンプとプライマリポンプ ■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能 ■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能 ■AHAのサービスサポートも受けることが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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集束イオンビーム装置（ＦＩB)用　多出力高圧電源　FIBXシリーズ

集束イオンビーム装置（ＦＩB)用　多出力高圧電源　FIBXシリーズ
スペルマンハイ・ボルテージエレクトロニクスコーポレーション
各種電源を一つに統合 高い安定度と低リップル モールドされた高圧発生セクション コロナ放電のないオペレーション 光ファイバーにて絶縁されたデジタルインターフェイス ＣＥマーク、ＵＬ及びＳＥＭＩ準拠
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研究用機器取扱ダイジェストカタログ

研究用機器取扱ダイジェストカタログ
株式会社キング製作所
理化学実験器具の設計・製造・販売・アフターサービスを行っている会社の 研究用機器取扱ダイジェストカタログです。 耐薬品性・耐溶剤性に優れている 「キングパーフロチューブ」のシリーズや、 耐熱性・非粘着性の「キングキュート・カラーキュート」など、 幅広い製品をご紹介しております。 【掲載内容】 ■チューブ類 ■パッキン類 ■紫外線対応製品　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※こちらのカタログはダイジェスト版です。 　全編必要な方はお問合せください。
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原子吸光用オイルレスコンプレッサー『YC-4SA-AA』

原子吸光用オイルレスコンプレッサー『YC-4SA-AA』
アイ・エイ・シー株式会社
『YC-4SA-AA』は、原子吸光分光光度計での使用を目的とした超低騒音の 原子吸光用オイルレスコンプレッサーです。 冷却用ファンで内部の強制空冷を行うので連続運転が可能。 本体付属のエアーフィルターの他に、オートドレン付きのフィルターが 付属しており、機器の中に水分が入るのを未然に防止します。 【特長】 ■安全性と低騒音(48dB)を実現 ■オイルレス ■連続運転が可能 ■機器の中に水分が入るのを未然に防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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少量純水の循環用途に最適な小型純水器！【事例集を無料進呈中】

少量純水の循環用途に最適な小型純水器！【事例集を無料進呈中】
日本ワコン株式会社
ほとんど純水の水を捨てるのは勿体なくないですか？ 少量純水を循環利用できる純水器をお探しではないですか？ 少量純水の循環用途へのご要望にお応えする WACONの小型純水器『ワコンナーＦ』事例集を無料進呈致します！ ※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。 　価格、納期をご案内します。
製品を詳しく見るダウンロードお問い合わせ

洗浄システムサービス

洗浄システムサービス
クリーンケミカル株式会社
クリーンケミカルでは『洗浄システムサービス』を承っております。 実際に洗浄を行った器材の清浄度を確認できる「直接判定法」をはじめ、 疑似汚染物を利用した洗浄性と適切な洗浄工程の確認ができる 「間接判定法」をご用意。 そのほか、洗浄度確認試験の記録・保管や、データロガーを用いた 測定などに対応いたします。是非お任せください。 【サービス内容(一部)】 ■直接判定法：色素染色法、抽出法 ■間接判定法：チャレンジテストデバイス、洗浄インジケーター ■試験報告　 ■すすぎ確認 ■水質確認　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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磁気浮上型ターボ分子ポンプ　MAG W 600

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　MAG W 600
ライボルト株式会社
日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。 ○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立 ○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム ○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現 ○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要 ○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合 ○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応 ○コンパクトで場所を取らない設計 ○システムを容易に統合可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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純水製造装置

純水製造装置
新日本電工株式会社
逆浸透膜（RO）とイオン交換樹脂塔をユニット内に納め、一体化した純水製造装置です 【特長】 ◆無機イオンはもとより、溶解性、非溶解性を問わず無機成分、有機成分を同時に効率よく除去することが出来ます ◆前処理の設備、ＲＯ、イオン交換塔を一つのユニットにコンパクトに！ 設置スペースは最小限ですみ、メンテナンスの手間も掛りません ◆全自動連続運転方式で、タッチパネルを採用していますので、運転管理が容易で特別な運転要員は必要ありません ◆お客様で使用したい純水量・用途に応じて、C-350〜F-10000まで各種タイプの中から選定することが出来ます ◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用いただけます。アフターサービスも万全です ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝
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積層タイプの精密立体ろ過材　SＪＫフィルター

積層タイプの精密立体ろ過材　SＪＫフィルター
キザイ株式会社
「ＳＪＫフィルター」は酸からアルカリ溶液まで幅広く使用でき繊維の脱落がほとんどありません。 両端のキャップはポリエチレン製でシール性も強化した高性度な精密ろ過材です。めっき液、酸・アルカリ溶液、化学薬品などラボ用ろ過機で使用される様々な液に適しています。 【特長】 ■材質はポリプロピレン（不織布）と発泡ポリエチレン （キャップ） ■めっき液、酸・アルカリ溶液、化学薬品などに ※詳しくはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物

化学・材料・製造における半導体洗浄液中の不純物とは？

半導体製造プロセスにおいて、ウェハー表面の微細な汚染物質を除去するために使用される洗浄液中に含まれる、意図しない化学物質や粒子状物質のこと。これらの不純物は、半導体の性能低下や歩留まり悪化の直接的な原因となる。

​課題

微細不純物の検出困難性

ナノメートルオーダーの微細な不純物は、従来の分析手法では検出が難しく、原因究明に時間を要する。

不純物混入経路の特定

洗浄液の製造段階、保管、移送、使用環境など、不純物が混入する可能性のある経路が多岐にわたり、特定が困難。

洗浄液性能への影響

微量の不純物であっても、洗浄液の本来の性能を低下させ、洗浄ムラや残留汚染を引き起こす可能性がある。

コスト増加と歩留まり低下

不純物による不良発生は、再洗浄や廃棄によるコスト増加、そして最終的な製品歩留まりの低下に直結する。

​対策

高感度分析技術の導入

レーザー誘起プラズマ発光分光法や質量分析法などの高感度分析技術を用いて、微量不純物を高精度に検出・定量する。

厳格な品質管理体制の構築

洗浄液の原材料受け入れから製造、出荷、使用に至るまで、各段階での不純物混入リスクを評価し、管理基準を設定・遵守する。

不純物低減型洗浄液の開発

不純物の混入を極限まで抑えた高純度洗浄液や、不純物の付着・凝集を抑制する添加剤を含む洗浄液を開発・採用する。

リアルタイムモニタリングシステムの活用

洗浄液中の不純物濃度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知して対応することで、不良発生を未然に防ぐ。

​対策に役立つ製品例

超高純度分析装置

微量金属や有機物などの不純物をppbレベル以下で高精度に検出・定量し、洗浄液の品質管理を支援する。

クリーンルーム用フィルターシステム

製造・保管環境からの粒子状不純物の混入を防ぎ、洗浄液の清浄度を維持する。

特殊高純度洗浄液

不純物含有量を極限まで低減し、半導体製造プロセスにおける要求される清浄度を満たす。

オンライン不純物センサー

洗浄液ラインに設置し、リアルタイムで不純物濃度を監視・記録することで、異常発生時の迅速な対応を可能にする。

⭐今週のピックアップ

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