top of page
科学・分析機器総合

科学・分析機器総合に関連する気になるカタログにチェックを入れると、まとめてダウンロードいただけます。

半導体用薬液の超高純度とは?課題と対策・製品を解説

mushimegane.png

目的・課題で絞り込む

​カテゴリで絞り込む

科学・分析システム
その他科学・分析機器総合
nowloading.gif

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは?

半導体製造プロセスにおいて、微細回路の形成や洗浄に不可欠な薬液は、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションを極限まで排除した超高純度であることが求められます。これは、わずかな不純物でも半導体デバイスの性能低下や歩留まりの悪化に直結するため、製造技術の根幹をなす要素です。

各社の製品

絞り込み条件:

​▼チェックした製品のカタログをダウンロード

​一度にダウンロードできるカタログは20件までです。

【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ
ダウンロードお問い合わせ

半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。

【活用シーン】
・高純度ガス製造時の品質保証
・ボンベ充填時のガス品質確認
・バルク輸送や中継点でのガス品質管理

【導入の効果】
・製品の品質向上
・歩留まりの改善
・測定時間の短縮
・生涯コストの削減

【大学研究向け】酸・アルカリ薬品対応エア駆動ダイヤフラムポンプ
ダウンロードお問い合わせ

大学の研究分野、特に実験においては、安全かつ正確な薬液の取り扱いが不可欠です。腐食性のある薬液や高粘度の液体を扱う際、液漏れやポンプの故障は実験の遅延や安全性のリスクを高めます。当社のエア駆動ダイヤフラムポンプは、これらの課題を解決するために設計されました。

【活用シーン】
・腐食性薬液、有機溶剤などを使用する実験
・高粘度、スラリー状の液体の移送
・液漏れを避けたい実験

【導入の効果】
・液漏れのリスクを低減し、実験の安全性を向上
・多様な薬液に対応し、実験の幅を拡大
・メンテナンスが容易で、実験効率を向上

【研究機関向け】インド産 アンモニア水(29%)EG
ダウンロードお問い合わせ

研究機関における分析業務では、精度の高い結果を得るために、試薬の純度が重要です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。アンモニア水は、様々な分析・実験に用いられますが、不純物が多いと正確なデータが得られません。本製品は、電子・クリーンルーム用高純度仕様であり、RO+DM処理による超純水プロセスを採用しています。これにより、ppm〜ppbレベルで不純物を除去し、高水準の清浄度を実現しています。

【活用シーン】
・精密分析
・化学実験
・試薬調製

【導入の効果】
・分析結果の信頼性向上
・実験の再現性向上
・安定したデータ取得

【分析機器向け】PERFREZ 高性能O-リング
ダウンロードお問い合わせ

分析機器業界では、高精度な測定結果を得るために、シール材の信頼性が重要です。特に、微量なサンプルを扱う分析機器においては、シール材からのコンタミネーションや、耐薬品性の低いシール材の使用は、測定結果の精度を低下させる可能性があります。PERFREZは、腐食性の高い化学薬品の浸食や、高温、蒸気などに強く、長期間安定した性能を発揮するFFKM製Oリングです。安定した価格・納期で、小ロットから提供可能。設計・調達の課題解決に貢献します。

【活用シーン】
・分析機器内部のシール
・薬液供給ライン
・高温環境下でのシール

【導入の効果】
・高い耐薬品性による測定結果の信頼性向上
・長期的な安定稼働
・小ロット対応による無駄なコスト削減

【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008
ダウンロードお問い合わせ

研究機関における実験環境では、雰囲気ガスの水分管理が実験結果に大きく影響を与える場合があります。特に、精密な分析や反応を伴う実験においては、微量の水分が測定誤差や反応の阻害要因となる可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、安定した実験環境を提供します。フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵したオールインワンタイプで、持ち運びも容易です。

【活用シーン】
・ガス分析装置の保護
・精密化学反応実験
・半導体製造プロセス

【導入の効果】
・実験データの信頼性向上
・装置の長寿命化
・実験の再現性向上

【電子材料向け】多検体ナノ粒子径測定システム
ダウンロードお問い合わせ

電子材料業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の粒子径制御が重要です。特に、ナノ粒子を含む材料においては、粒子径の均一性が製品の品質を左右します。不適切な粒子径分布は、材料の特性劣化や性能低下につながる可能性があります。当社の多検体ナノ粒子径測定システムは、光散乱法を採用し、0.6nm~10μmの範囲で粒子径を測定できます。最大5検体の連続測定が可能で、電子材料の品質管理と性能向上に貢献します。

【活用シーン】
・半導体材料の研究開発
・ディスプレイ材料の品質管理
・電池材料の性能評価

【導入の効果】
・材料の特性評価の効率化
・製品の品質向上
・研究開発の加速

【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット
ダウンロードお問い合わせ

研究機関における実験器具の洗浄では、コンタミネーションを防ぎ、正確な実験結果を得るために、高い洗浄性能が求められます。特に、微細な有機物や金属汚染物質の除去は、実験の精度を左右する重要な要素です。ラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、これらの課題に対応します。

【活用シーン】
・実験器具の洗浄
・微細部品の洗浄
・金属汚染対策

【導入の効果】
・高い洗浄力による実験精度の向上
・環境負荷の低減
・ランニングコストの削減

【研究向け】水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアーム
ダウンロードお問い合わせ

研究分野、特にデータ分析においては、長時間のデスクワークによる疲労軽減と、作業効率の向上が求められます。限られたスペースでの作業や、複数のモニターを同時に使用する環境では、柔軟なディスプレイ配置が重要です。当社の水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアームは、壁から最大1m離れた位置での入力作業を可能にし、研究者の作業効率と快適性を向上させます。

【活用シーン】
・データ分析業務
・研究室での情報表示
・複数モニター環境での作業

【導入の効果】
・作業スペースの有効活用
・長時間の作業における疲労軽減
・柔軟なディスプレイ配置による作業効率向上

研究機関の実験環境では、流体の純度を保ち、実験結果の信頼性を確保することが重要です。特に、微量なコンタミネーションが実験結果に大きな影響を与える場合、配管材の材質選定は非常に重要になります。当社のフェルールライニングパイプは、全面接液PFA/PTFEライニングにより、流体の品質を損なうリスクを低減します。

【活用シーン】
・化学実験
・分析実験
・精密流体制御

【導入の効果】
・流体汚染のリスク低減
・実験データの信頼性向上
・配管系の耐久性向上

ジルコニア式酸素濃度計『LC-450A』
ダウンロードお問い合わせ

『LC-450A』は、低濃度から100%の酸素濃度を1台で測定できる高性能な
酸素濃度計です。

独自の超小型ジルコニアセンサを搭載し、長時間にわたって安定かつ
高精度な測定を実現。

酸素センサに特殊加工を施すことで耐久性も向上しています。
また、操作が簡単でかつ小型化しており、半導体・液晶装置をはじめ
各種装置に組込みに最適です。

【特長】
■幅広い濃度域での測定
■センサの耐久性を向上
■ACワイド電源
■コンパクトで設置が容易
■RoHS指令対応品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

LC/MS用オンライン脱塩カートリッジ ソルナック カートリッジ
ダウンロードお問い合わせ

当製品は、HPLCとMSの間に繋ぐだけで、リン酸塩緩衝液でもLC/MSが
測定することが可能な、LC/MS用オンライン脱塩カートリッジです。

リン酸塩緩衝液のオンラインLC/MS測定やリン酸、リン酸アンモニウム
溶離液のオンラインLC/MS測定、トリフルオロ酢酸によるイオン化抑制の改善
などが可能。

使用可能溶離液はアセトニトリル、メタノール、水となっております。

【概要】
■CFAN (アニオン交換+カチオン交換)
・リン酸塩緩衝液のオンラインLC/MS測定
■ CFOO (アニオン交換)
・リン酸、リン酸アンモニウム溶離液のオンラインLC/MS測定
・トリフルオロ酢酸によるイオン化抑制の改善
■OOAN (カチオン交換)
・Na, Kなどの付加イオンの削減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

一体型 ガス循環精製装置 BX 5000
ダウンロードお問い合わせ

露点-80℃のウルトラ・ドライ “ppbの世界”を実現する異次元モデルの一体型 ガス循環精製装置です。

【特 長】
BX 5000 正面パネル循環運転・再生運転の状態を正面パネルにてご確認頂けます。
使用頻度の少ないバルブ類を背面に設置しスッキリとしたデザインに仕上げました。

※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

石英マイクロチューブ
ダウンロードお問い合わせ

湖北工業オリジナル製法による高純度石英ガラス製のキャピラリチューブです。外径は0.1mm以上そして内径は0.001mm以上の形状についてカスタムに対応いたします。また複数の孔をチューブ内に配列することも可能です。

理化学ガラス 製造サービス
ダウンロードお問い合わせ

当社では、理化学ガラスの製造を取り扱っております。

半導体関連部品をはじめ、様々なガラス製品を取り扱っており、常に安定した
優れた技術で、理化学ガラスからオーダーメイドの製品まで幅広く対応。

また、アート的な加工品も、贈答品として取り扱いをしており、
ガラスに関することなら何でも承ります。
ご要望等がございましたら、お気軽にご相談ください。

【選ばれる理由】
■安定した優れた技術力
■早い納期とより良い品質
■お客様のご要望にしっかりと応える
■若手技術者の育成で未来に貢献

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ガスクロマトグラフガス分析アプリケーション(ヘリウム精製器)
ダウンロードお問い合わせ

『FPI-1GTR』は、不純物を極限まで除去できるガスクロマトグラフです。

電源BOXを標準装備し、構造をシンプル化。
1週間で納品可能です。※複数台ご発注の場合はご相談下さい。

【特長】
■不純物を極限まで除去(除去対象:CH4など)
■電源BOX一体型
■1週間で納品可能 ※複数台ご発注の場合はご相談下さい。
■国内生産
■安全機能、過昇温防止機能
■RoAS対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

使用場所での再生業務が不要!カートリッジ純水器『NSシリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

当社では、カートリッジ純水器の販売と、ブレークした樹脂を回収し
再生済みの樹脂との入替えサービスを行っています。

設置スペースが小さく、使用場所での再生業務が不要のため、
再生薬品と排泄設備が不要です。

研究室、少量製造用、逆浸透膜装置の後段ポリッシャーなど、
用途は多様です。

【特長】
■再生業務が不要(再生薬品が不要)
■排水設備が不要
■設置スペースが現地再生タイプに比べ小さい

※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

小型プリアンプ『CSP04シリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

株式会社ANSeeNにて取り扱う小型プリアンプ『CSP04シリーズ』について、
ご紹介いたします。

CdTe検出器等の半導体検出器用のプリアンプで、3cm×3cm×9cm(突起部除く)と
小さな筐体のため、狭い空間に設置可能。

また、接続にRJ45ケーブルを採用し、10m超の遠隔地から測定を行えます。
帰還容量やバイアス抵抗、バッファ利得は検出器に合わせたカスタムとなります。

【仕様(一部)】
■電源:+/-12V(RJ45コネクタ)
■検出器接続端子:BNCコネクタ
■検出器バイアス入力:内蔵またはRJ45コネクタ
■出力端子:RJ45コネクタ(50Ω終端)
■テストパルス入力端子:なし

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

磁気浮上型ターボ分子ポンプ MAG W 600
ダウンロードお問い合わせ

日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。

○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立
○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム
○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現
○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要
○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合
○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応
○コンパクトで場所を取らない設計
○システムを容易に統合可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

シェル型カートリッジ純水器『純水くん』
ダウンロードお問い合わせ

『純水くん』は、カーボンフィルター・イオン交換樹脂・レジンキャッチャー
が、全てセットになっているのにコンパクトなシェル型カートリッジ純水器です。

蛇口の圧力配管につないで蛇口をひねるだけで簡単に純水が得られるため、
面倒な設置工事やポンプは不要。

ランプ表示の水質計で、純度劣化が一目で分かり、25型と50型は本体架台部分に
キャスターがついているので、楽に移動させることが出来ます。

【特長】
■コンパクト
■カーボンフィルター・イオン交換樹脂・レジンキャッチャーが全てセット
■蛇口の圧力配管につないで蛇口をひねるだけで簡単に純水が得られる
■ランプ表示の水質計で、純度劣化が一目で分かる
■本体架台部分にキャスターがついており、楽に移動が出来る(25型・50型)
■イオン交換樹脂筒が2本の状態で使用することで、
 純水採集量・流量を上げることが出来る

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

XWP-プリーツフィルター
ダウンロードお問い合わせ

・特長
●強酸、強アルカリ及び多くの有機溶媒にも使用可能。
●自動化製造、プリーツフィルタの低価格を実現。
●ユースポイントで委託製造、短期納品も可能。
●ろ材はポリプロピレン/PES/テフロンなど選択可能。

超低露点エアードライヤー『QDシリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

『QDシリーズ』は、二筒交互吸着式の超低露点エアードライヤーです。

大気圧露点-60℃、-75℃の乾燥エアーを連続供給することが可能で、
クリーンドライエアー(CDA)が必要な際に好適。

手軽に高乾燥度のドライエアーが得られますので窒素ガスの代用としての
使用も可能です。コンパクトなので研究室や実験室での使用に適しています。

【特長】
■自己再生方式でメンテナンスフリー
■乾燥剤・吸着剤の交換は不要
■油分やゴミ用のミストクリーナーやクリーンフィルター付き
■露点計量証明書付き
■標準タイプの他に大型機種として50L/min以上も製作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超微量水分計『Falcon Trace』
ダウンロードお問い合わせ

『Falcon Trace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや
天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。

ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、
センサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が
極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能。

また、センサーの出力を水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの
平均分子量を示す出力値に分離することができるため、バックグラウンド
ガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある
場合も同時に検知ができます。

【特長】
■応答速度が極めて早い
■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

委託再生式カートリッジ純水器「 ワコンナーL 」
ダウンロードお問い合わせ

小型純水器「ワコンナーL」は、中容量の純水用途に最適な委託再生式イオン交換樹脂の純水器です。

運転操作は簡単で、処理水は水質計が常に監視しており、水質の低下を確認できます。
イオン交換樹脂の再生設備は不要で、ワコンナーFの設置面積は畳1枚程度のスペースがあれば十分です。

純水器とイオン交換樹脂をレンタルでご利用頂けますので、僅かな初期費用でご使用いただけます。

※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。
 価格、納期をご案内します。

各種溶剤精製加工サービス
ダウンロードお問い合わせ

当社は、各種溶剤の精製加工サービスを行っております。

トリチルアミン、メタノールなどの一般溶剤をはじめ、
感光性樹脂架橋剤、TAFなどのファインケミカルズなど多数の製品を
取り扱っております。

また、吸収式冷凍機用冷媒(LiBr)の再製・調整も行っております。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【製造品目】
■一般溶剤
 ・トリエチルアミン、その他アミン類
 ・メタノール、IPA、ブタノール、その他アルコール類
 ・ヘキサン、トルエン、キシレン、その他炭化水素類
 ・アセトン、MEK、MIBK、シクロヘキサノン、その他ケトン類
 ・酢酸エチル、酢酸ブチル、その他エステル類 など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

セミオートプローバー『AP-150/AP-200』
ダウンロードお問い合わせ

『AP-150/AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応した
セミオートプローバーです。

コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。
ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も
結露しません。

また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップ
アライメント等を搭載できます。

【特長】
■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応
■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応
■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能
■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト
■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

超微量分析サービス
ダウンロードお問い合わせ

当社では、先進的な分析機器と緻密な分析化学手法を用いた『超微量分析サービス』を
提供しております。

試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、
純度評価や超微量不純物の分析を実施します。

【分析例】
■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析
■高純度試薬中の微量金属の分析
■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析
■RoHS指令関連分析
■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析 など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

微小電流測定用サーモコントローラー『LMT-S-700シリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

『LMT-S-700シリーズ』は、当社の顕微鏡用サーモコントローラの
豊富な技術と実績により、広範囲な温度制御を正確に行うことができる
特注型 微小電流測定用サーモコントローラーです。

半導体パッケージ、液晶、ベアチップ、プリント基板、医薬品等各種素材の
熱変形、電気特性、光学特性を顕微鏡下による観察、測定、計測が可能です。

【特長】
■幅広い温度範囲での正確な温度制御
■均一な表面温度
■幅広い適応性
■高品質で低価格
■特注品の製作

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

山形科学薬品株式会社 事業紹介
ダウンロードお問い合わせ

山形科学薬品株式会社は、お客様である、大手半導体関連企業・各種試験
研究機関へ電子工業用薬品・高純度試薬及び理化学機器の販売を通して、
今日の科学技術の発展に、微力ながら貢献いたしております。

主に試験用薬品や半導体用薬品、理化学機器や電子工業用装置などを取扱。

一商社に甘んずることなく、お客様の本来のニーズに合った
製品をご提供いたします。

【事業内容】
■試験研究用薬品・電子工業用薬品・化学工業用薬品・高純度化学薬品・
 理化学機械・理化学器材・販売並びにこれに付帯する事業

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

自動高真空システム『AHA ターボポンプ ステーション・カート』
ダウンロードお問い合わせ

『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート&パワフルな
真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた
自動高真空システムです。

標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。

1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで
ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。

【特長】
■新世代のターボ分子ポンプとプライマリポンプ
■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能
■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能
■AHAのサービスサポートも受けることが可能

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

静電容量式露点計
ダウンロードお問い合わせ

アルミナ薄膜を使用した次世代センサーを、露点トランスミッターに搭載、
ガス中の水分濃度を -100〜+20℃露点の範囲で連続測定するオンライン計測器

【特徴】
○測定結果を 4-20mA の電流出力で伝送
○日常メンテナンスとして必要な事項は、
  定期的な ND-TA露点トランスミッターの再校正だけ
○迅速な応答性
○チップ交換が可能
○使い方もフレキシブル

●詳細は、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

小型RO装置+EDI装置
ダウンロードお問い合わせ

当製品は、比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる装置です。

電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要。再生排水は
処理の必要がなく、そのまま排水できます。

1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑えており、UV装置や
UF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保できます。

【特長】
■高品質の純水が採水可能
■薬品による再生工程はない
■省スペース設計
■当社の中国工場で製造した装置を輸入
■各種装置と組み合わせ可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

純水器『アクアパック』
ダウンロードお問い合わせ

『アクアパック』は、水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm
以下の高純水が得られるカートリッジ純水器です。

イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な製品で、水道水中のCa、Na、SO4、
CI、SiO2等を除去して高純水を得ることが可能。

また本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来るため、樹脂の
飽和時期が容易に分かります。

【特長】
■手軽に高純水が得られる
■管理・操作は簡単
■安価
■高品質

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

EDI型RO装置
ダウンロードお問い合わせ

当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。

比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。

省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。
当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコスト
メリットを提供しています。

【特長】
■高品質の純水が採水可能
■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる
■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要
■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる
■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社エアーテック 事業紹介
ダウンロードお問い合わせ

株式会社エアーテックは、主に空気・ガス精製装置などの設計・製造、
販売、据付・保守、輸出入を軸に事業を展開している会社です。

当社の各種分析装置は、大学・試験研究機関をはじめ製薬、食品、
電子、科学工業など幅広い分野で活用されております。

また、企画立案から製造までを一貫したライン体制で行うことにより、
お客様のニーズに合うカスタマイズされた製品やシステム構築に
お応え致します。

【事業内容】
■空気・ガス精製装置、空気圧縮機、冷凍機、各種空圧機器および
 関連機器、配電/操作盤、半導体装置、真空部品の設計・製造、販売、
 据付・保守、輸出入など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』
ダウンロードお問い合わせ

『マジックNEGポンプ』は、極高真空(XHV)領域まで排気能力を拡張させた
新しい構想のゲッターポンプです。

ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を
再構築しました。

当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ(開放系)や小型イオンポンプ(封止切系)と
組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを
発生させることができます。

【特長】
■NEGをポンプケーシングの壁面に配置
■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング
■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張
■COに対する排気速度が大きい(H2とほぼ同等)
■SUS製ICF070&114フランジに対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

オイルフリースクロールポンプ
ダウンロードお問い合わせ

『オイルフリースクロールポンプ』は、排気機構に潤滑油を使用せず、
清浄な真空が得られる製品です。

シンプルな構造なので短時間で分解・組立が出来、オイルを使用していないので、
クリーンなメンテナンス環境が得られます。

また、真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの
劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。

【特長】
■クリーン排気
■シンプル構造により短時間で分解、組立が可能
■nXDSおよびXDSポンプは特許ベアリングシールドを採用
■水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

オイルロータリーポンプ『W2Vシリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

『W2Vシリーズ』は、20年以上トップレベルの企業での使用実績を持つ
WSA社製のオイルロータリーポンプです。

産業及び研究分野の様々な分野で活躍。
主に電子顕微鏡などのバックポンプや真空乾燥機器、凍結乾燥機器などに
使用されております。

【特長】
■高性能
■軽量・コンパクト
■低騒音・低振動
■シンプル構造
■オイル逆流構造内蔵
■ガスバラストバルブ内蔵

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

気相成長株式会社 事業紹介
ダウンロードお問い合わせ

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及び
その関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタント
を行っている会社です。

当社は気相成長技術(CVD法)に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、
台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。

また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

【営業品目】
■ファインケミカルの研究開発
■ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売
■ファインケミカルに関するコンサルタント
■化学物質の製造・販売及び分析

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

超高真空搬送システム『PML-100/PML-200』
ダウンロードお問い合わせ

本システムは、市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載した
超高真空可搬型搬送システムです。

情報通信研究機構(NICT)にて開発され、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を標準装備。

本システムを装備することにより、遠方に試料を汚染することなく宅急便で
送ることも可能です。

【特長】
■乾電池で動作するモバイルオンポンプを搭載
■超高真空に試料を保ったまま送ることが可能
■スーツケースに収納することにより宅急便での輸送が可能
■試料搬送機能付
■輸送機構のないシステムへの接続、試料交換が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

株式会社合同資源  事業紹介
ダウンロードお問い合わせ

株式会社合同資源は、創業以来、高品質かつコストパフォーマンスの
高いヨウ素製品とクリーンな天然ガスを供給してきた会社です。

ブローアウト法で高品質なヨウ素を製造している「ヨウ素事業」や、
無機・有機の各種ヨウ素化合物製品を製造している「ヨウ素化合物事業」、
「天然ガス事業」、「研究開発」の4つの事業を柱として事業を展開。

「ヨウ素」の事なら、当社にお問合せください。

【事業内容】
■ヨウ素、ヨウ素化合物の製造および販売
■天然ガスの開発、生産および販売

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

石油系溶剤「試薬リグロイン」【サンプル進呈中!】
ダウンロードお問い合わせ

☆サンプルご希望の方は下記お問い合わせよりご住所、ご連絡先を明記の上、ご連絡下さい!!

・試薬リグロインは、特に厳選した原料に高度な精製、精密な蒸留を行い生み出された、非常に純度の高い石油系溶剤です。
・JIS K8937による厳しい規格に合格している揮発油の最高峰です。また、特有の留分(揮発性)を持っており、各方面に広く使用され好評を頂いております。
・精製度が極めて高いため、乾燥後の残存がほとんどありません。
・精密機器、医学機器などの洗浄に不向きな物質を厳しく除去しています。
・試薬リグロインによる腐食、錆の心配はありません。
・油性の汚れをしっかり落とす適度な溶解性を持っています。

無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ
ダウンロードお問い合わせ

当社では、150℃、1.5~12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を
排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。

加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの
超高真空ポンプとして適しております。

【特長】
■完全オイルフリー
■活性化以外は電源を使用しない
■原理的に10-10Pa台まで排気可能
■無振動・無騒音
■小型軽量 など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

研究用機器取扱ダイジェストカタログ
ダウンロードお問い合わせ

理化学実験器具の設計・製造・販売・アフターサービスを行っている会社の
研究用機器取扱ダイジェストカタログです。

耐薬品性・耐溶剤性に優れている
「キングパーフロチューブ」のシリーズや、
耐熱性・非粘着性の「キングキュート・カラーキュート」など、
幅広い製品をご紹介しております。

【掲載内容】
■チューブ類
■パッキン類
■紫外線対応製品 など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※こちらのカタログはダイジェスト版です。
 全編必要な方はお問合せください。

テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』
ダウンロードお問い合わせ

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。

4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。

電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率(複素屈折率)の
周波数依存性を得ることができます。

【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア:THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

蛇口に接続するだけで水道水から純水を精製可能!カートリッジ純水器
ダウンロードお問い合わせ

『IRIシリーズ』は、手軽に水道水から純水精製ができるカートリッジ純水器です。
新品のイオン交換樹脂を使用しながら、樹脂再生と遜色ない低コストでの提供を実現しています。

タンクヘッドの取り外し不要で樹脂交換も簡単。
小型タイプも充実し、各種洗浄の用途でご使用いただけます。

【特長】
■樹脂交換もラクラク!タンクヘッドの取り外し不要
■ホースの取外しはワンタッチでOK!
■10インチや5インチの小型タイプもラインナップ
■純水のレベルやご使用量に応じたご提案も可能

既にご使用中の純水カートリッジの再生(新品樹脂交換)も承っております。
詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

富山薬品工業株式会社 取扱製品カタログ
ダウンロードお問い合わせ

当カタログは、主に高純度化学薬品の開発・製造・販売を行っている
富山薬品工業株式会社の製品カタログです。

アンモニウム塩類をはじめ、カリウム塩類やナトリウム塩類など、
様々な高純度薬品を多数掲載しています。

豊富な種類を取り揃えていますので、用途に応じた製品をお選び
いただけます。

【掲載内容】
■アンモニウム塩類
■カリウム塩類
■ナトリウム塩類
■硝酸塩類
■酢酸塩類 など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【イオンクロマトグラフ】H2O2中トリメチルアミンと標準陽イオン
ダウンロードお問い合わせ

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30%の過酸化水素(H2O2)中のトリメチルアミン(TMA)および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。
分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮(MiPCT-ME)を用いて、
陽イオンの連続サプレッション後電気電導度検出器により測定。
「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。
【掲載内容】
■カラム
■溶液
■分析方法
■分析パラメータ
■装置構成

高純水供給システム『TW-150-LRO-FT100-DP』
ダウンロードお問い合わせ

『TW-150-LRO-FT100-DP』は、中型・大型ラボに毎時150L、A3グレードの
高純水を多目的に供給する、水道直結型セントラル式高純水供給システムです。

ヒーター加熱による蒸留方式に比べ、熱源を使用しない逆浸透膜(RO)方式は
電気代が10分の1以下。冷却水を必要とせず、生産水回収率50%の設計は
水道代も軽減します。

また、自社による設計・製作・保守管理まで、トータルでご提供する事で、
高いコストパフォーマンスを実現しました。

【特長】
■大容量
■省コスト
■省エネルギー
■省スペース
■表示パネル

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高感度ガス分析装置『FLEX-MSシリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

『FLEX-MSシリーズ』は、大気圧イオン化質量分析方式(API方式)を
使用した高感度ガス分析装置です。

高純度ガス中の不純物(質量数3~400)をppbレベルで測定可能。
不純物は、10ppb~0.1ppbの範囲で計測できます。

尚、電源はAC100Vで動作します。

【特長】
■測定対象ガスを直接導入できる
■不純物は、10ppb~0.1ppbの範囲で計測可能
■登録した検量線により、濃度表示で時間変化計測ができる
■可搬タイプの為、ユースポイントで計測ができる
■電源はAC100Vで動作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

ヌード型複合真空計『SG701シリーズ』
ダウンロードお問い合わせ

『SG701シリーズ』は、各真空計コンポーネントを分離して装置への
組み込みを簡素化した装置組込み型の真空計です。

B-Aゲージ測定子内にピラニフィラメントと温度センサーを設け、
大気から超高真空領域までの広範囲の測定・制御が可能です。

また、グリッド・コレクタを常時、通電加熱した計測(タフモード)を
オプションとしてご用意しており、汚染劣化・コレクタの感度低下を
低減いたします。

【特長】
■小型設計
■容易に取付け可能
■高機能
■大気圧での精度:±5%
■一枚のボード型コントローラで最大4式の測定子を接続可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

nowloading.gif

​お探しの製品は見つかりませんでした。

1 / 2

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは?

半導体製造プロセスにおいて、微細回路の形成や洗浄に不可欠な薬液は、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションを極限まで排除した超高純度であることが求められます。これは、わずかな不純物でも半導体デバイスの性能低下や歩留まりの悪化に直結するため、製造技術の根幹をなす要素です。

​課題

微量金属不純物の混入リスク

製造設備や配管、容器など、薬液が触れるあらゆる箇所からの微量金属不純物の溶出や混入が、半導体性能に致命的な影響を与えます。

微粒子の除去困難性

ナノメートルオーダーの微粒子でさえ、回路パターンに付着し欠陥の原因となるため、その完全な除去は高度な技術を要します。

品質管理の高度化要求

ppb(10億分の1)レベル、さらにはppt(1兆分の1)レベルでの不純物管理が求められ、従来の分析・管理手法では対応が困難になっています。

サプライチェーン全体での品質維持

原料調達から製造、輸送、使用に至るまで、サプライチェーン全体で一貫した超高純度を維持するための管理体制構築が課題です。

​対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

不純物溶出の少ない特殊なフッ素樹脂やセラミックス素材などを採用し、コンタミネーション源を徹底的に排除します。

高度なろ過・精製技術の導入

多段階の精密ろ過やイオン交換、蒸留などの技術を組み合わせ、微粒子や金属不純物を極限まで除去します。

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

製造プロセス中に薬液の純度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知・対応できるシステムを導入します。

厳格な品質保証体制の構築

原料受け入れから最終製品出荷まで、各工程で徹底した品質検査とトレーサビリティを確保し、品質の一貫性を保証します。

​対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

薬液の貯蔵、移送、供給プロセス全体でコンタミネーションを最小限に抑えるための特殊素材製タンク、配管、ポンプ、バルブなどを統合したシステムです。

精密微粒子除去フィルター

ナノメートルオーダーの微粒子を効率的に捕捉し、薬液の清浄度を飛躍的に向上させる高性能フィルターです。

オンライン不純物分析装置

薬液中の微量金属不純物やイオン性不純物をリアルタイムで高感度に測定し、品質管理を支援する分析機器です。

特殊洗浄用高純度溶剤

半導体ウェハー表面の有機物や無機物を効率的に除去し、後工程への影響を最小限に抑えるための超高純度溶剤です。

ikkatsu_maru_flat_shadow.png
bottom of page