半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

大学の研究分野、特に実験においては、安全かつ正確な薬液の取り扱いが不可欠です。腐食性のある薬液や高粘度の液体を扱う際、液漏れやポンプの故障は実験の遅延や安全性のリスクを高めます。当社のエア駆動ダイヤフラムポンプは、これらの課題を解決するために設計されました。

【活用シーン】
・腐食性薬液、有機溶剤などを使用する実験
・高粘度、スラリー状の液体の移送
・液漏れを避けたい実験

【導入の効果】
・液漏れのリスクを低減し、実験の安全性を向上
・多様な薬液に対応し、実験の幅を拡大
・メンテナンスが容易で、実験効率を向上

『LMT-S-700シリーズ』は、当社の顕微鏡用サーモコントローラの
豊富な技術と実績により、広範囲な温度制御を正確に行うことができる
特注型 微小電流測定用サーモコントローラーです。

半導体パッケージ、液晶、ベアチップ、プリント基板、医薬品等各種素材の
熱変形、電気特性、光学特性を顕微鏡下による観察、測定、計測が可能です。

【特長】
■幅広い温度範囲での正確な温度制御
■均一な表面温度
■幅広い適応性
■高品質で低価格
■特注品の製作

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

株式会社合同資源は、創業以来、高品質かつコストパフォーマンスの
高いヨウ素製品とクリーンな天然ガスを供給してきた会社です。

ブローアウト法で高品質なヨウ素を製造している「ヨウ素事業」や、
無機・有機の各種ヨウ素化合物製品を製造している「ヨウ素化合物事業」、
「天然ガス事業」、「研究開発」の4つの事業を柱として事業を展開。

「ヨウ素」の事なら、当社にお問合せください。

【事業内容】
■ヨウ素、ヨウ素化合物の製造および販売
■天然ガスの開発、生産および販売

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒
二元式超低温冷凍機です。

一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。

独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の
冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを
瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用）

【特長】
■生産性を30％向上
■高品質の成膜を保証
■高温成膜装置に好適
■液体窒素トラップは不要

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

・高安定度高圧電源(温度変動50ppm/℃)搭載。
・電流、温度制御の時定数設定可能。
・高電圧高速スイッチ(2KV-pp / 40ns)搭載。
・各電源を機能別にモジュール化。
・各電源の電圧、電流、温度モニタ機能。
・負荷短絡時の保護機能。
・5KVフローティング回路へ80W電力供給、SPI信号通信。

株式会社ANSeeNにて取り扱う小型プリアンプ『CSP04シリーズ』について、
ご紹介いたします。

CdTe検出器等の半導体検出器用のプリアンプで、3cm×3cm×9cm(突起部除く)と
小さな筐体のため、狭い空間に設置可能。

また、接続にRJ45ケーブルを採用し、10m超の遠隔地から測定を行えます。
帰還容量やバイアス抵抗、バッファ利得は検出器に合わせたカスタムとなります。

【仕様(一部)】
■電源：＋/-12V(RJ45コネクタ)
■検出器接続端子：BNCコネクタ
■検出器バイアス入力：内蔵またはRJ45コネクタ
■出力端子：RJ45コネクタ(50Ω終端)
■テストパルス入力端子：なし

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

湖北工業オリジナル製法による高純度石英ガラス製品を提供します。石英ガラスを常温下で金型成形した後焼結します。従来熟練作業に頼っていた精密形状も、超精密金型により形成することができるため、安定した品質で量産提供いたします。

高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。
マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。

【特長】
◇ 高精度・高安定度
◇ 出力電圧：DC50kV
◇ 出力電力：12.5W
◇ 連続出力短絡保護回路
◇ 出力電圧・電流モニタ付き
◇ 低リップル＝5ppm以下 (250mVp-ｐ@50kV)
◇ 安定度は15ppm/1h以下
◇ 温度係数は10ppm/℃以下

※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。

『純水くん』は、カーボンフィルター・イオン交換樹脂・レジンキャッチャー
が、全てセットになっているのにコンパクトなシェル型カートリッジ純水器です。

蛇口の圧力配管につないで蛇口をひねるだけで簡単に純水が得られるため、
面倒な設置工事やポンプは不要。

ランプ表示の水質計で、純度劣化が一目で分かり、25型と50型は本体架台部分に
キャスターがついているので、楽に移動させることが出来ます。

【特長】
■コンパクト
■カーボンフィルター・イオン交換樹脂・レジンキャッチャーが全てセット
■蛇口の圧力配管につないで蛇口をひねるだけで簡単に純水が得られる
■ランプ表示の水質計で、純度劣化が一目で分かる
■本体架台部分にキャスターがついており、楽に移動が出来る（25型・50型）
■イオン交換樹脂筒が2本の状態で使用することで、
　純水採集量・流量を上げることが出来る

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『T-Station75』は、エドワーズ社が新しく開発したボタン1つで
システムの始動と停止を行うことができるターボ排気ユニットです。

エドワーズのアクティブゲージとベントバルブの制御が可能で、
ゲージ装着時には時間または圧力に応じてターボポンプの遅延始動を
制御できるため、研究室での一般的なニーズに適しています。

【特長】
■ボタン1つでシステムの始動と停止を行うことが可能
■エドワーズのアクティブゲージとベントバルブの制御が可能
■ゲージ装着時には時間または圧力に応じてターボポンプの遅延始動を制御
■研究室での一般的なニーズに適合

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『EddyCus(R) TF lab 4040SR-OT-OR-H』は、導電性薄膜の
シート抵抗(Ohm/sq)と光透過性と反射の正確な測定ができる
非接触シート抵抗&光伝送測定器です。

使いやすいソフトウエアによる手動マッピング。
光電池や半導体、透明帯電防止導板などの測定に用いられます。

導電性薄膜、自立構造やグリッド・ワイヤー構造などの
精密な測定が可能です。

【特長】
■非接触測定
■リアルタイム測定
■精密な測定
■使いやすいソフトウェア
■手動マッピング

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。

比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。

省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。
当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコスト
メリットを提供しています。

【特長】
■高品質の純水が採水可能
■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる
■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要
■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる
■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体産業では、超高純度試薬が必要とされます。イオン性不純物が含まれていると製品の品質を損なう可能性があります。
このアプリケーションでは、28%の半導体グレードの水酸化アンモニウム溶液中の陰イオン不純物の測定結果を示します。
マトリックスの影響を避けるために、インライン中和とマトリックス除去を伴う濃縮テクニックを用いて測定を行ないました。

イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な純水器で、水道水中のCa、Na、CO4、Cl、SiO2等を除去して高純水を得ることが出来ます

【特長】

◆お客様で使用したい純水量とご予算に応じて、AP-10〜AP-70まで4タイプの中から選定することが出来ます

◆水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm以下高純水が得られます

◆本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来、樹脂の飽和時期が容易に分かります

◆飽和した樹脂の再生は厳格な品質管理のもと、当社の専門工場で行います

◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用頂けます

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＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝

露点-80℃のウルトラ・ドライ　“ppbの世界”を実現する異次元モデルの一体型　ガス循環精製装置です。

【特　長】
BX 5000 正面パネル循環運転・再生運転の状態を正面パネルにてご確認頂けます。
使用頻度の少ないバルブ類を背面に設置しスッキリとしたデザインに仕上げました。

※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、
ご紹介いたします。

CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の
電荷有感型前置増幅器で構成。

波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、
半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。

【主な性能】
■雑音：350 electrons FWHM at 0pF
■ゲイン：1 V/pC
■立ち上がり時間：6ns at 0pF

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル
及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。

LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと
組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等
に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。

【特長】
■サンプル挿入時の待ち時間を短縮
■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要
■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と
　窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能
■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能
■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能
　
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及び
その関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタント
を行っている会社です。

当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、
台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。

また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

【営業品目】
■ファインケミカルの研究開発
■ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売
■ファインケミカルに関するコンサルタント
■化学物質の製造・販売及び分析

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『UP-100』は、1測定あたり500μL（Lの100万分の1）という
極めて微量なサンプリング量で測定が可能なpHモニタです。

半導体洗浄・エッチング工程、食品製造工程、製薬工程、
バイオプロセスなどpHの連続監視が必要な幅広いプロセスに
ご活用いただけます。

【特長】
■微量サンプリング
　・500μL/測定
　・最大30mL/1時間の消費量
■リアルタイム測定
　・最短測定間隔：1分
■メンテナンス周期大幅低減
　・半年に一度のメンテナンス※ご使用条件によります。
　・自動校正、自動KCl補充

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

本システムは、市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載した
超高真空可搬型搬送システムです。

情報通信研究機構（NICT）にて開発され、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を標準装備。

本システムを装備することにより、遠方に試料を汚染することなく宅急便で
送ることも可能です。

【特長】
■乾電池で動作するモバイルオンポンプを搭載
■超高真空に試料を保ったまま送ることが可能
■スーツケースに収納することにより宅急便での輸送が可能
■試料搬送機能付
■輸送機構のないシステムへの接続、試料交換が可能

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

『グローブボックス』は、ご要求により多様な設計製作が可能な
ガス循環精製装置です。

雰囲気ガスとして主に空気、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガス
などを使用される場合のグローブボックス。グローブボックス内の
雰囲気ガスの置換方式は大気圧置換、真空置換などを採用しています。

【特長】
■ガス循環方式は摺胴部動部の無いブロワーを採用しているため
　低騒音・長寿命
■空冷式のため冷却水が不要
■装置内の配管及び各種弁はSUS材を使用
■空圧弁及び手動弁はベローズ式またはダイアフラム式を
　採用しているため精製ガス純度が高い

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。

『グローブボックス』（弊社製品名「ピュアボックス」）は、気密性の高いステンレス製の容器にグローブを取付け、空気中で扱えない試料をグローブを使用して取扱い、作業することができる製品です。

グローブボックス・ガス循環精製装置の「製作」による環境提供はもちろん、日々装置の進化を目指し『独自の開発』に取り組んでおります。
例えば、装置自身の振動・騒音を抑えてほしいとのお客様の声より、サイレンサの独自開発を行い製品化し、お客様の装置に取付けて評価を頂いております。

他にも、音声認識機能が付いており、グローブから手を抜かずに音声で操作が可能です。音声を認識し、運転・停止ができ、操作内容・異常内容などを音声にてお知らせします。（※音声操作は、一定の操作に限ります。）

【特長】
■会話が可能な音声認識機能つきの環境機器
■音声を認識し、運転・停止ができる
■操作内容・異常内容などを音声にてお知らせ
■グローブから手を抜くことなく音声で操作できる
■起動内容をお知らせするので、装置の状態が離れた位置でもわかる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ミクロンオーダで高精度な石英管・ロッド、断面が異形の各種石英ガラス管の試作・製造をいたします。無水、有水、溶融、合成石英、ホウケイさんガラス、BK-7など各種素材対応可能です。
試作品から、短納期品等各種取りそろえています。

『QDシリーズ』は、二筒交互吸着式の超低露点エアードライヤーです。

大気圧露点-60℃、-75℃の乾燥エアーを連続供給することが可能で、
クリーンドライエアー(CDA)が必要な際に好適。

手軽に高乾燥度のドライエアーが得られますので窒素ガスの代用としての
使用も可能です。コンパクトなので研究室や実験室での使用に適しています。

【特長】
■自己再生方式でメンテナンスフリー
■乾燥剤・吸着剤の交換は不要
■油分やゴミ用のミストクリーナーやクリーンフィルター付き
■露点計量証明書付き
■標準タイプの他に大型機種として50L/min以上も製作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。
FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたします。

日本エリコンライボルト株式会社より「MAG W 600」のご案内です。

○高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立
○新型の5軸磁気ベアリングおよび駆動システム
○あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現
○一体型最新コンバータにより卓上コントローラ装置や相互接続ケーブルが不要
○通信モジュールを使用した画期的な通信方法により最新の規格に適合
○お客様の装置に容易に組み込めるよう将来の傾向対応
○コンパクトで場所を取らない設計
○システムを容易に統合可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

当資料では、多くの優れた特性をあわせ持つ材料の、
石英ガラスの特性をご紹介します。

半導体製造装置の容器や管などの治具類に、
また理化学用の器具などに広く利用可能。

高度の精製技術で安定的に高純度を維持している「化学的純度」や、
石英管の耐熱性向上が重要な問題の「耐熱形状安定性」などを
掲載しておりますので、ぜひご一読ください。

【掲載内容(抜粋)】
■化学的純度
■耐熱形状安定性
■結晶化
■機械的性質
■熱的性質

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社では、150℃、1.5～12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を
排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。

加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの
超高真空ポンプとして適しております。

【特長】
■完全オイルフリー
■活性化以外は電源を使用しない
■原理的に10-10Pa台まで排気可能
■無振動・無騒音
■小型軽量　など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

『FLEX-MSシリーズ』は、大気圧イオン化質量分析方式(API方式)を
使用した高感度ガス分析装置です。

高純度ガス中の不純物(質量数3～400)をppbレベルで測定可能。
不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測できます。

尚、電源はAC100Vで動作します。

【特長】
■測定対象ガスを直接導入できる
■不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測可能
■登録した検量線により、濃度表示で時間変化計測ができる
■可搬タイプの為、ユースポイントで計測ができる
■電源はAC100Vで動作可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『LC-450A』は、低濃度から100%の酸素濃度を1台で測定できる高性能な
酸素濃度計です。

独自の超小型ジルコニアセンサを搭載し、長時間にわたって安定かつ
高精度な測定を実現。

酸素センサに特殊加工を施すことで耐久性も向上しています。
また、操作が簡単でかつ小型化しており、半導体・液晶装置をはじめ
各種装置に組込みに最適です。

【特長】
■幅広い濃度域での測定
■センサの耐久性を向上
■ACワイド電源
■コンパクトで設置が容易
■RoHS指令対応品

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『ミニピュアシリーズ S-100JSP』は、市水中の不純物を取り除き
簡単に純水、超純水を供給するパッケージ型純水装置です。

複雑な設定が不要で、設置後すぐに利用できます。

オーダータイプの装置に比べ、短工期、低価格、省スペースなど
様々な面でコストパフォーマンスに優れています。

半導体を始め、FPD（フラットパネルディスプレイ）基板や、
電子基板の洗浄用として十分に対応可能な純水、超純水を供給します。

【特長】
■内臓のカートリッジフィルターにより原水中の微粒子が除去
■不純物イオンはNCC（ノムラ・カートリッジ・カラム）で除去
■NCCの寿命はランプでお知らせ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、低騒音オイルレスコンプレッサ「OF300シリーズ」(JUN-AIR)を
駆動源とし、各種分析・医歯科分野・光学実験研究者向けとして
各ユニットを準オーダーメードにて組付け各種ニーズにお応えいたします。

革新的なWIP圧縮原理により耐摩耗性に優れるほか、低振動および低騒音・
省スペースを実現。実験レベルに応じた安定した低露点空気を供給します。

さらに、「膜式ドライヤSK」などの選定付属品もご紹介しております。

【特長】
■革新的なWIP圧縮原理により耐摩耗性に優れる
■低振動および低騒音・省スペース
■実験レベルに応じた安定した低露点空気を供給

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『FPI-1GTR』は、不純物を極限まで除去できるガスクロマトグラフです。

電源BOXを標準装備し、構造をシンプル化。
1週間で納品可能です。※複数台ご発注の場合はご相談下さい。

【特長】
■不純物を極限まで除去（除去対象：CH4など）
■電源BOX一体型
■1週間で納品可能　※複数台ご発注の場合はご相談下さい。
■国内生産
■安全機能、過昇温防止機能
■RoAS対応可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当カタログは、主に高純度化学薬品の開発・製造・販売を行っている
富山薬品工業株式会社の製品カタログです。

アンモニウム塩類をはじめ、カリウム塩類やナトリウム塩類など、
様々な高純度薬品を多数掲載しています。

豊富な種類を取り揃えていますので、用途に応じた製品をお選び
いただけます。

【掲載内容】
■アンモニウム塩類
■カリウム塩類
■ナトリウム塩類
■硝酸塩類
■酢酸塩類　など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『SV-3シリーズ』は、耐薬品性、耐熱性に優れたオールふっ素樹脂
PTFE2方向電磁弁です。

接液部は全てふっ素樹脂PTFEを使用しており、ソレノイドは信頼性の
高いH種コイルを使用しています。

クロマトグラフや、高純度システムなどに用いられる製品です。

【特長】
■耐薬品性
■耐熱性
■接液部は全てふっ素樹脂PTFE
■ソレノイドはH種コイル

※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

株式会社エアーテックは、主に空気・ガス精製装置などの設計・製造、
販売、据付・保守、輸出入を軸に事業を展開している会社です。

当社の各種分析装置は、大学・試験研究機関をはじめ製薬、食品、
電子、科学工業など幅広い分野で活用されております。

また、企画立案から製造までを一貫したライン体制で行うことにより、
お客様のニーズに合うカスタマイズされた製品やシステム構築に
お応え致します。

【事業内容】
■空気・ガス精製装置、空気圧縮機、冷凍機、各種空圧機器および
　関連機器、配電/操作盤、半導体装置、真空部品の設計・製造、販売、
　据付・保守、輸出入など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

逆浸透膜（RO）とイオン交換樹脂塔をユニット内に納め、一体化した純水製造装置です

【特長】

◆無機イオンはもとより、溶解性、非溶解性を問わず無機成分、有機成分を同時に効率よく除去することが出来ます

◆前処理の設備、ＲＯ、イオン交換塔を一つのユニットにコンパクトに！
設置スペースは最小限ですみ、メンテナンスの手間も掛りません

◆全自動連続運転方式で、タッチパネルを採用していますので、運転管理が容易で特別な運転要員は必要ありません

◆お客様で使用したい純水量・用途に応じて、C-350〜F-10000まで各種タイプの中から選定することが出来ます

◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用いただけます。アフターサービスも万全です

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＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝

『IRIシリーズ』は、手軽に水道水から純水精製ができるカートリッジ純水器です。
新品のイオン交換樹脂を使用しながら、樹脂再生と遜色ない低コストでの提供を実現しています。

タンクヘッドの取り外し不要で樹脂交換も簡単。
小型タイプも充実し、各種洗浄の用途でご使用いただけます。

【特長】
■樹脂交換もラクラク！タンクヘッドの取り外し不要
■ホースの取外しはワンタッチでOK！
■10インチや5インチの小型タイプもラインナップ
■純水のレベルやご使用量に応じたご提案も可能

既にご使用中の純水カートリッジの再生(新品樹脂交換)も承っております。
詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

『Falcon Trace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや
天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。

ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、
センサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が
極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能。

また、センサーの出力を水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの
平均分子量を示す出力値に分離することができるため、バックグラウンド
ガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある
場合も同時に検知ができます。

【特長】
■応答速度が極めて早い
■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

山形科学薬品株式会社は、お客様である、大手半導体関連企業・各種試験
研究機関へ電子工業用薬品・高純度試薬及び理化学機器の販売を通して、
今日の科学技術の発展に、微力ながら貢献いたしております。

主に試験用薬品や半導体用薬品、理化学機器や電子工業用装置などを取扱。

一商社に甘んずることなく、お客様の本来のニーズに合った
製品をご提供いたします。

【事業内容】
■試験研究用薬品・電子工業用薬品・化学工業用薬品・高純度化学薬品・
　理化学機械・理化学器材・販売並びにこれに付帯する事業

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱された
フィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。

『PG-3F2/PG-4F2』は、「PG-3F/PG-4F」にリレー接点を2点装備したモデル。
メーターと本体（アンプ）が一体型となっているので、コンパクトで
安価な上に、リレー接点も装備しているので、各種制御に適しています。

あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており
利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。
その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。

【特長】
■G-3F/PG-4Fにリレー接点を2点装備したモデル
■コンパクトで安価な上、各種制御に適している
■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない
■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示
■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

理化学実験器具の設計・製造・販売・アフターサービスを行っている会社の
研究用機器取扱ダイジェストカタログです。

耐薬品性・耐溶剤性に優れている
「キングパーフロチューブ」のシリーズや、
耐熱性・非粘着性の「キングキュート・カラーキュート」など、
幅広い製品をご紹介しております。

【掲載内容】
■チューブ類
■パッキン類
■紫外線対応製品　など

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※こちらのカタログはダイジェスト版です。
　全編必要な方はお問合せください。

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30％の過酸化水素（H2O2）中のトリメチルアミン（TMA）および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。
分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮（MiPCT-ME）を用いて、
陽イオンの連続サプレッション後電気電導度検出器により測定。
「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。
【掲載内容】
■カラム
■溶液
■分析方法
■分析パラメータ
■装置構成

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した
新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により
不透明な材料の測定に適しています。

4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、
半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。

電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に
位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを
解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の
周波数依存性を得ることができます。

【特長】
■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定
■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能
■液体試料も測定可能
■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載
■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロール
システムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、
シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの
四探針測定器です。

また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル
「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。

【特長】
■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
■高スループット化によるCoOの低減
■2ロードポート対応
■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載
■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『アクアパック』は、水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm
以下の高純水が得られるカートリッジ純水器です。

イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な製品で、水道水中のCa、Na、SO4、
CI、SiO2等を除去して高純水を得ることが可能。

また本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来るため、樹脂の
飽和時期が容易に分かります。

【特長】
■手軽に高純水が得られる
■管理・操作は簡単
■安価
■高品質

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『HK-Plusシリーズ』は、純度99.999％以上の水素ガスを安定供給し、
燃焼用ガスとして最適な高純度水素ガス発生装置です。

コンパクトサイズ、メンテナンスフリーのドライヤーシステム、手軽に、
安全に高純度水素を発生させることが可能です。

HC 0.1ppm以下の高純度水素ガスを発生させるため、本装置で作られた
GCのベースラインは非常に低く安定しています。

【特長】
■コンパクト
■乾燥剤の交換不要
■純水のご用意のみで長期わたる使用が可能
■認定サービスマンが全国対応

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

☆サンプルご希望の方は下記お問い合わせよりご住所、ご連絡先を明記の上、ご連絡下さい！！

・試薬リグロインは、特に厳選した原料に高度な精製、精密な蒸留を行い生み出された、非常に純度の高い石油系溶剤です。
・ＪＩＳ Ｋ８９３７による厳しい規格に合格している揮発油の最高峰です。また、特有の留分（揮発性）を持っており、各方面に広く使用され好評を頂いております。
・精製度が極めて高いため、乾燥後の残存がほとんどありません。
・精密機器、医学機器などの洗浄に不向きな物質を厳しく除去しています。
・試薬リグロインによる腐食、錆の心配はありません。
・油性の汚れをしっかり落とす適度な溶解性を持っています。

当社では、カートリッジ純水器の販売と、ブレークした樹脂を回収し
再生済みの樹脂との入替えサービスを行っています。

設置スペースが小さく、使用場所での再生業務が不要のため、
再生薬品と排泄設備が不要です。

研究室、少量製造用、逆浸透膜装置の後段ポリッシャーなど、
用途は多様です。

【特長】
■再生業務が不要(再生薬品が不要)
■排水設備が不要
■設置スペースが現地再生タイプに比べ小さい

※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

当社は、試薬において、産業や研究開発を支える汎用試薬から、
特定用途別試薬・生化学試薬まで、豊富に取り揃えております。

また電子工業用薬品においては、高品質・高機能製品の安定供給で、
エレクトロニクス産業をサポートしています。

【取扱製品】
■一般分析試薬
■クロマトグラフィー用試薬、カラム
■環境分析用試薬、各種標準品
■特殊分析用試薬
■合成用試薬　など

※詳しくはお気軽にお問い合わせください。