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半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

半導体製造プロセスにおいて、微細回路の形成や洗浄に不可欠な薬液は、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションを極限まで排除した超高純度であることが求められます。これは、わずかな不純物でも半導体デバイスの性能低下や歩留まりの悪化に直結するため、製造技術の根幹をなす要素です。

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【研究機関向け】サニタリーフェルールライニングパイプ全面PTFE

株式会社アルティベイト（旧社名：東葛テクノ株式会社）

研究機関の実験環境では、流体の純度を保ち、実験結果の信頼性を確保することが重要です。特に、微量なコンタミネーションが実験結果に大きな影響を与える場合、配管材の材質選定は非常に重要になります。当社のフェルールライニングパイプは、全面接液PFA/PTFEライニングにより、流体の品質を損なうリスクを低減します。【活用シーン】・化学実験・分析実験・精密流体制御【導入の効果】・流体汚染のリスク低減・実験データの信頼性向上・配管系の耐久性向上

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【研究向け】作業環境測定

株式会社分析センター

研究分野では、試薬や実験材料の安全な取り扱いが不可欠です。特に、有害物質を扱う際には、作業環境の安全性が研究者の健康と研究の効率に大きく影響します。作業環境測定は、有害物質濃度を測定し、適切な改善策を講じるための基盤となります。これにより、研究者は安心して実験に集中でき、研究の質と効率が向上します。【活用シーン】・試薬の調合・実験・有害物質を取り扱う研究室・化学物質を扱う研究開発【導入の効果】・研究者の健康被害を防止・研究環境の安全性向上・研究効率と質の向上

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【分析機器向け】PERFREZ 高性能O-リング

株式会社誠和商会

分析機器業界では、高精度な測定結果を得るために、シール材の信頼性が重要です。特に、微量なサンプルを扱う分析機器においては、シール材からのコンタミネーションや、耐薬品性の低いシール材の使用は、測定結果の精度を低下させる可能性があります。PERFREZは、腐食性の高い化学薬品の浸食や、高温、蒸気などに強く、長期間安定した性能を発揮するFFKM製Oリングです。安定した価格・納期で、小ロットから提供可能。設計・調達の課題解決に貢献します。【活用シーン】・分析機器内部のシール・薬液供給ライン・高温環境下でのシール【導入の効果】・高い耐薬品性による測定結果の信頼性向上・長期的な安定稼働・小ロット対応による無駄なコスト削減

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【化学反応向け】TOPure（トピュア）

株式会社トップウォーターシステムズ

化学業界の反応プロセスでは、不純物の混入が反応の効率や結果に大きく影響を与える可能性があります。特に、精密な分析や実験においては、高純度の水が不可欠です。不適切な水質は、実験結果の信頼性を損ない、正確なデータ取得を妨げる可能性があります。TOPure（トピュア）は、お客様のニーズに合わせて純水製造能力やグレード、サイズをカスタマイズできます。【活用シーン】・化学反応実験・試薬調製・分析【導入の効果】・反応の再現性向上・実験データの信頼性向上・分析精度の向上

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【研究機関向け】インド産アンモニア水（29%）EG

興和株式会社

研究機関における分析業務では、精度の高い結果を得るために、試薬の純度が重要です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。アンモニア水は、様々な分析・実験に用いられますが、不純物が多いと正確なデータが得られません。本製品は、電子・クリーンルーム用高純度仕様であり、RO＋DM処理による超純水プロセスを採用しています。これにより、ppm〜ppbレベルで不純物を除去し、高水準の清浄度を実現しています。【活用シーン】・精密分析・化学実験・試薬調製【導入の効果】・分析結果の信頼性向上・実験の再現性向上・安定したデータ取得

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【研究向け】水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアーム

株式会社アクアス

研究分野、特にデータ分析においては、長時間のデスクワークによる疲労軽減と、作業効率の向上が求められます。限られたスペースでの作業や、複数のモニターを同時に使用する環境では、柔軟なディスプレイ配置が重要です。当社の水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアームは、壁から最大1m離れた位置での入力作業を可能にし、研究者の作業効率と快適性を向上させます。【活用シーン】・データ分析業務・研究室での情報表示・複数モニター環境での作業【導入の効果】・作業スペースの有効活用・長時間の作業における疲労軽減・柔軟なディスプレイ配置による作業効率向上

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【電子材料向け】多検体ナノ粒子径測定システム

大塚電子株式会社

電子材料業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の粒子径制御が重要です。特に、ナノ粒子を含む材料においては、粒子径の均一性が製品の品質を左右します。不適切な粒子径分布は、材料の特性劣化や性能低下につながる可能性があります。当社の多検体ナノ粒子径測定システムは、光散乱法を採用し、0.6nm～10μmの範囲で粒子径を測定できます。最大5検体の連続測定が可能で、電子材料の品質管理と性能向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の研究開発・ディスプレイ材料の品質管理・電池材料の性能評価【導入の効果】・材料の特性評価の効率化・製品の品質向上・研究開発の加速

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【研究所向け】小型RO純水装置　TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所における分析業務では、精度の高い結果を得るために、純水の使用が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の分子レベルでの不純物除去能力で浄水。分析の信頼性を向上させます。【活用シーン】・各種分析業務・試薬調製・細胞培養【導入の効果】・分析結果の精度向上・実験の再現性向上・ランニングコストの削減

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【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008

株式会社テクネ計測

研究機関における実験環境では、雰囲気ガスの水分管理が実験結果に大きく影響を与える場合があります。特に、精密な分析や反応を伴う実験においては、微量の水分が測定誤差や反応の阻害要因となる可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、安定した実験環境を提供します。フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵したオールインワンタイプで、持ち運びも容易です。【活用シーン】・ガス分析装置の保護・精密化学反応実験・半導体製造プロセス【導入の効果】・実験データの信頼性向上・装置の長寿命化・実験の再現性向上

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【大学・実験向け】小型RO純水装置 TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

大学の研究・実験分野では、実験結果の精度を左右する純水の品質が重要です。特に、微量な不純物やイオンが混入すると、実験データに誤差が生じ、正確な分析を妨げる可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の分子レベルでの不純物除去により、高品質な純水を供給し、実験の信頼性を高めます。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・試薬調製・細胞培養【導入の効果】・実験精度の向上・研究の効率化・ランニングコストの削減・省スペース化

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【研究所向け】RO純水製造装置スキッド型

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所の実験用途では、精度の高い実験結果を得るために、不純物の少ない高純度水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な化学反応においては、水の質が実験結果に大きく影響します。不適切な水質は、実験の再現性を損ない、誤った結果を導く可能性があります。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースを有効活用し、高純度水を安定供給することで、研究活動をサポートします。【活用シーン】・精密分析・細胞培養・試薬調製・器具洗浄【導入の効果】・実験精度の向上・実験の再現性向上・試薬コストの削減・実験スペースの有効活用

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【半導体向け】ゼータ電位・粒子径測定によるCMPスラリー評価

大塚電子株式会社

半導体業界では、CMP（Chemical Mechanical Polishing）工程における研磨効率の向上が求められています。ウェハ表面の平坦性を高め、高品質な半導体デバイスを製造するためには、研磨スラリーの粒子分散状態を適切に制御することが不可欠です。粒子の凝集や偏りは、研磨ムラやスクラッチの原因となり、歩留まりを低下させる可能性があります。本製品は、CMPスラリーに非イオン性界面活性剤を添加し、添加前後のゼータ電位および粒子径を測定することで、スラリーの分散状態を評価し、研磨効率の最適化に貢献します。【活用シーン】・CMP工程におけるスラリーの品質管理・研磨条件の最適化・新素材スラリーの開発【導入の効果】・研磨ムラやスクラッチの低減・ウェハの歩留まり向上・研磨時間の短縮

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【大学研究向け】TOPure（トピュア）

株式会社トップウォーターシステムズ

大学研究における実験では、精度の高い分析結果を得るために、高品質な純水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。TOPure（トピュア）は、研究室のスペースや実験内容に合わせて、純水製造能力やサイズを自由にカスタマイズできます。これにより、実験の効率化と精度の向上に貢献します。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・細胞培養・試薬調製【導入の効果】・実験結果の信頼性向上・実験の再現性向上・ランニングコストの削減・スペースの有効活用

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【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ

株式会社テクネ計測

半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。【活用シーン】・高純度ガス製造時の品質保証・ボンベ充填時のガス品質確認・バルク輸送や中継点でのガス品質管理【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・測定時間の短縮・生涯コストの削減

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【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット

株式会社プレテック　静岡製作所

研究機関における実験器具の洗浄では、コンタミネーションを防ぎ、正確な実験結果を得るために、高い洗浄性能が求められます。特に、微細な有機物や金属汚染物質の除去は、実験の精度を左右する重要な要素です。ラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、これらの課題に対応します。【活用シーン】・実験器具の洗浄・微細部品の洗浄・金属汚染対策【導入の効果】・高い洗浄力による実験精度の向上・環境負荷の低減・ランニングコストの削減

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【化学向け】低金属化サービス

株式会社ナード研究所

化学業界において、触媒活性を向上させるためには、材料の高純度化、特に金属不純物の低減が重要です。金属不純物は触媒反応の阻害要因となり、反応効率や選択性を低下させる可能性があります。ナード研究所の低金属化サービスは、昇華精製をはじめとする各種精製技術を駆使し、金属成分の低減（ppm～ppb）を実現することで、触媒活性の向上に貢献します。【活用シーン】・触媒材料の精製・反応効率の改善・選択性の向上【導入の効果】・触媒性能の向上・反応プロセスの最適化・製品品質の向上

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【大学研究向け】酸・アルカリ薬品対応エア駆動ダイヤフラムポンプ

株式会社タカトテクニカ

大学の研究分野、特に実験においては、安全かつ正確な薬液の取り扱いが不可欠です。腐食性のある薬液や高粘度の液体を扱う際、液漏れやポンプの故障は実験の遅延や安全性のリスクを高めます。当社のエア駆動ダイヤフラムポンプは、これらの課題を解決するために設計されました。【活用シーン】・腐食性薬液、有機溶剤などを使用する実験・高粘度、スラリー状の液体の移送・液漏れを避けたい実験【導入の効果】・液漏れのリスクを低減し、実験の安全性を向上・多様な薬液に対応し、実験の幅を拡大・メンテナンスが容易で、実験効率を向上

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【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC（イオンクロマトグラフ）法による評価ではSiの影響を受けることなく、TMAH濃度の定量分析が可能です。

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純水器『アクアパック』

新日本電工株式会社

『アクアパック』は、水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm 以下の高純水が得られるカートリッジ純水器です。イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な製品で、水道水中のCa、Na、SO4、 CI、SiO2等を除去して高純水を得ることが可能。また本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来るため、樹脂の飽和時期が容易に分かります。【特長】 ■手軽に高純水が得られる ■管理・操作は簡単 ■安価 ■高品質 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ

有限会社バロックインターナショナル

当社では、150℃、1.5～12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして適しております。【特長】 ■完全オイルフリー ■活性化以外は電源を使用しない ■原理的に10-10Pa台まで排気可能 ■無振動・無騒音 ■小型軽量　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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超微量分析サービス

株式会社UBE科学分析センター

当社では、先進的な分析機器と緻密な分析化学手法を用いた『超微量分析サービス』を提供しております。試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、純度評価や超微量不純物の分析を実施します。【分析例】 ■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析 ■高純度試薬中の微量金属の分析 ■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析 ■RoHS指令関連分析 ■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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オイルフリースクロールポンプ

西和産業株式会社

『オイルフリースクロールポンプ』は、排気機構に潤滑油を使用せず、清浄な真空が得られる製品です。シンプルな構造なので短時間で分解・組立が出来、オイルを使用していないので、クリーンなメンテナンス環境が得られます。また、真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。【特長】 ■クリーン排気 ■シンプル構造により短時間で分解、組立が可能 ■nXDSおよびXDSポンプは特許ベアリングシールドを採用 ■水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高精度ガラスキャピラリー

株式会社中原光電子研究所

ミクロンオーダで高精度な石英管・ロッド、断面が異形の各種石英ガラス管の試作・製造をいたします。無水、有水、溶融、合成石英、ホウケイさんガラス、BK-7など各種素材対応可能です。試作品から、短納期品等各種取りそろえています。

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石油系溶剤「試薬リグロイン」【サンプル進呈中！】

株式会社ソニックス

☆サンプルご希望の方は下記お問い合わせよりご住所、ご連絡先を明記の上、ご連絡下さい！！・試薬リグロインは、特に厳選した原料に高度な精製、精密な蒸留を行い生み出された、非常に純度の高い石油系溶剤です。・ＪＩＳＫ８９３７による厳しい規格に合格している揮発油の最高峰です。また、特有の留分（揮発性）を持っており、各方面に広く使用され好評を頂いております。・精製度が極めて高いため、乾燥後の残存がほとんどありません。・精密機器、医学機器などの洗浄に不向きな物質を厳しく除去しています。・試薬リグロインによる腐食、錆の心配はありません。・油性の汚れをしっかり落とす適度な溶解性を持っています。

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ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』

株式会社ヤチダ

『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた新しい構想のゲッターポンプです。ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を再構築しました。当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを発生させることができます。【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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一体型　ガス循環精製装置　BX 5000

株式会社UNICO

露点-80℃のウルトラ・ドライ　“ppbの世界”を実現する異次元モデルの一体型　ガス循環精製装置です。【特　長】 BX 5000 正面パネル循環運転・再生運転の状態を正面パネルにてご確認頂けます。使用頻度の少ないバルブ類を背面に設置しスッキリとしたデザインに仕上げました。 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

日邦プレシジョン株式会社

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により不透明な材料の測定に適しています。 4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の周波数依存性を得ることができます。【特長】 ■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定 ■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能 ■液体試料も測定可能 ■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載 ■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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山形科学薬品株式会社　事業紹介

山形科学薬品株式会社

山形科学薬品株式会社は、お客様である、大手半導体関連企業・各種試験研究機関へ電子工業用薬品・高純度試薬及び理化学機器の販売を通して、今日の科学技術の発展に、微力ながら貢献いたしております。主に試験用薬品や半導体用薬品、理化学機器や電子工業用装置などを取扱。一商社に甘んずることなく、お客様の本来のニーズに合った製品をご提供いたします。【事業内容】 ■試験研究用薬品・電子工業用薬品・化学工業用薬品・高純度化学薬品・　理化学機械・理化学器材・販売並びにこれに付帯する事業 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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各種溶剤精製加工サービス

小松川化学株式会社

当社は、各種溶剤の精製加工サービスを行っております。トリチルアミン、メタノールなどの一般溶剤をはじめ、感光性樹脂架橋剤、TAFなどのファインケミカルズなど多数の製品を取り扱っております。また、吸収式冷凍機用冷媒（LiBr）の再製・調整も行っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【製造品目】 ■一般溶剤　・トリエチルアミン、その他アミン類　・メタノール、IPA、ブタノール、その他アルコール類　・ヘキサン、トルエン、キシレン、その他炭化水素類　・アセトン、MEK、MIBK、シクロヘキサノン、その他ケトン類　・酢酸エチル、酢酸ブチル、その他エステル類　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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試験研究用試薬・電子工業用薬品

中国ケミー株式会社

当社は、試薬において、産業や研究開発を支える汎用試薬から、特定用途別試薬・生化学試薬まで、豊富に取り揃えております。また電子工業用薬品においては、高品質・高機能製品の安定供給で、エレクトロニクス産業をサポートしています。【取扱製品】 ■一般分析試薬 ■クロマトグラフィー用試薬、カラム ■環境分析用試薬、各種標準品 ■特殊分析用試薬 ■合成用試薬　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。

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LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』

有限会社テク

『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。 LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。【特長】 ■サンプル挿入時の待ち時間を短縮 ■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要 ■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と　窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能 ■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能 ■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能　 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『ドライエアージェネレーター』

株式会社エアーテック

本製品は、スイッチを入れるだけで露点温度（大気圧下）-10～-40℃ 以下のドライガスを最大7～40Lまで安定供給します。不便で危険なボンベは不要。また、オイルフリーコンプレッサー採用により、油分の無いクリーンなエアーを供給します。さらにメンテナンス間隔は長く、手入れの必要がほとんど無いのが特長で、小型化・低騒音の実現にも成功しました。【特長】 ■低騒音 ■小型 ■オイルフリーコンプレッサー採用 ■手入れの必要ほぼ無し ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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XWP-プリーツフィルター

株式会社デオボス

・特長 ●強酸、強アルカリ及び多くの有機溶媒にも使用可能。 ●自動化製造、プリーツフィルタの低価格を実現。 ●ユースポイントで委託製造、短期納品も可能。 ●ろ材はポリプロピレン/PES/テフロンなど選択可能。

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水素ガスの純度向上に:インライン式ガス精製器ファインピュアラー

大阪ガスリキッド株式会社

水素ガス中の各種不純物（O2,CO,CO2,H2O）を１ppb以下へ純化します。流量範囲は〜300NL/minです。 0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。

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真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』

ケーズテック合同会社

当社では、ターボ分子ポンプとロータリーポンプを搭載した真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』を取り扱っております。フルレンジゲージにより、大気周辺から高真空まで切替なしで真空度をモニター可能です。また、横幅270ｍｍとスリムなデザインなので狭い場所にも設置可能。移動も容易に行えます。【特長】 ■大気周辺から高真空まで切替なしで真空度をモニター可能 ■スリムなデザイン ■狭い場所に設置可能 ■移動も容易 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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委託再生式カートリッジ純水器「ワコンナーＬ」

日本ワコン株式会社

小型純水器「ワコンナーＬ」は、中容量の純水用途に最適な委託再生式イオン交換樹脂の純水器です。運転操作は簡単で、処理水は水質計が常に監視しており、水質の低下を確認できます。イオン交換樹脂の再生設備は不要で、ワコンナーFの設置面積は畳１枚程度のスペースがあれば十分です。純水器とイオン交換樹脂をレンタルでご利用頂けますので、僅かな初期費用でご使用いただけます。 ※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。　価格、納期をご案内します。

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８９００型シリーズ　脱気装置

株式会社ＡＱＵＡＴＨ

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。よって、ローボリューム（480マイクロL）ですが当社の真空ポンプの性能との組合せで、マイクロ送液からセミ分取まで幅広い対応が可能です。 OEM対応においては、メンテナンス時にはLCD表示にて各ポイントの状態・検査を確認することできます。その際に分析中でも実験を中止することはありません。また、OEM仕様・特殊溶媒送液仕様によっては、ご希望の真空値に制御設定ができます。

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超高真空搬送システム『PML-100/PML-200』

PVR

本システムは、市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載した超高真空可搬型搬送システムです。情報通信研究機構（NICT）にて開発され、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を標準装備。本システムを装備することにより、遠方に試料を汚染することなく宅急便で送ることも可能です。【特長】 ■乾電池で動作するモバイルオンポンプを搭載 ■超高真空に試料を保ったまま送ることが可能 ■スーツケースに収納することにより宅急便での輸送が可能 ■試料搬送機能付 ■輸送機構のないシステムへの接続、試料交換が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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小型プリアンプ『CSP04シリーズ』

株式会社ANSeeN

株式会社ANSeeNにて取り扱う小型プリアンプ『CSP04シリーズ』について、ご紹介いたします。 CdTe検出器等の半導体検出器用のプリアンプで、3cm×3cm×9cm(突起部除く)と小さな筐体のため、狭い空間に設置可能。また、接続にRJ45ケーブルを採用し、10m超の遠隔地から測定を行えます。帰還容量やバイアス抵抗、バッファ利得は検出器に合わせたカスタムとなります。【仕様(一部)】 ■電源：＋/-12V(RJ45コネクタ) ■検出器接続端子：BNCコネクタ ■検出器バイアス入力：内蔵またはRJ45コネクタ ■出力端子：RJ45コネクタ(50Ω終端) ■テストパルス入力端子：なし ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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イオンポンプバックアップ電源『AIP-38』

株式会社アプコ

『AIP-38』は、二次電池を備えたイオンポンプ制御電源です。停電時、長期休暇時や輸送時に高真空を維持し、故障や排気時間のロスを回避する事ができます。対応機種(コネクタ形状)の変更、出力電圧の変更(-4kV,-3kV等)、排気継続時間(バッテリー容量)の変更など特殊仕様のご相談にも応じます。【特長】 ■最大7日間連続運転可能 ■最大３台のポンプを同時に駆動可能 ■トリクル充電機能 ■キャスター装備で移動が容易 ■瞬間停電にも対応 ■電圧・電流モニター ■高圧出力の安全回路 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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簡易不活性ガス循環精製装置『GBJPWN0』

株式会社グローブボックス・ジャパン

『GBJPWN0』は、グローブボックスと接続し、循環精製運転することによりグローブボックス本体内部の不活性ガス及びボックス内から発生する水分等を吸着剤により除去する装置です。吸着剤カラムは、2塔直列に用意されていますので、前段に活性炭、後段にモレキュラーシーブスという様な構成で使用することもできます。また、吸着剤は交換可能です。酸素のみ、水分のみ、酸素水分両方、さまざまな用途に対応します。【特長】 ■様々な用途に対応 ■吸着剤の交換ができる ■オプションにて露点計センサーを取付可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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グローブボックス『ピュアボックス』製品カタログ内資料

株式会社ヤマト

『グローブボックス』（弊社製品名「ピュアボックス」）は、気密性の高いステンレス製の容器にグローブを取付け、空気中で扱えない試料をグローブを使用して取扱い、作業することができる製品です。グローブボックス・ガス循環精製装置の「製作」による環境提供はもちろん、日々装置の進化を目指し『独自の開発』に取り組んでおります。例えば、装置自身の振動・騒音を抑えてほしいとのお客様の声より、サイレンサの独自開発を行い製品化し、お客様の装置に取付けて評価を頂いております。他にも、音声認識機能が付いており、グローブから手を抜かずに音声で操作が可能です。音声を認識し、運転・停止ができ、操作内容・異常内容などを音声にてお知らせします。（※音声操作は、一定の操作に限ります。）【特長】 ■会話が可能な音声認識機能つきの環境機器 ■音声を認識し、運転・停止ができる ■操作内容・異常内容などを音声にてお知らせ ■グローブから手を抜くことなく音声で操作できる ■起動内容をお知らせするので、装置の状態が離れた位置でもわかる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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水素ガス発生装置『HK-Plusシリーズ』

株式会社エアーテック

『HK-Plusシリーズ』は、純度99.999％以上の水素ガスを安定供給し、燃焼用ガスとして最適な高純度水素ガス発生装置です。コンパクトサイズ、メンテナンスフリーのドライヤーシステム、手軽に、安全に高純度水素を発生させることが可能です。 HC 0.1ppm以下の高純度水素ガスを発生させるため、本装置で作られた GCのベースラインは非常に低く安定しています。【特長】 ■コンパクト ■乾燥剤の交換不要 ■純水のご用意のみで長期わたる使用が可能 ■認定サービスマンが全国対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ガス循環精製装置『グローブボックス』

東京高圧山崎株式会社

『グローブボックス』は、ご要求により多様な設計製作が可能なガス循環精製装置です。雰囲気ガスとして主に空気、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどを使用される場合のグローブボックス。グローブボックス内の雰囲気ガスの置換方式は大気圧置換、真空置換などを採用しています。【特長】 ■ガス循環方式は摺胴部動部の無いブロワーを採用しているため　低騒音・長寿命 ■空冷式のため冷却水が不要 ■装置内の配管及び各種弁はSUS材を使用 ■空圧弁及び手動弁はベローズ式またはダイアフラム式を　採用しているため精製ガス純度が高い ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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富山薬品工業株式会社　取扱製品カタログ

富山薬品工業株式会社

当カタログは、主に高純度化学薬品の開発・製造・販売を行っている富山薬品工業株式会社の製品カタログです。アンモニウム塩類をはじめ、カリウム塩類やナトリウム塩類など、様々な高純度薬品を多数掲載しています。豊富な種類を取り揃えていますので、用途に応じた製品をお選びいただけます。【掲載内容】 ■アンモニウム塩類 ■カリウム塩類 ■ナトリウム塩類 ■硝酸塩類 ■酢酸塩類　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【イオンクロマトグラフ】H2O2中トリメチルアミンと標準陽イオン

メトロームジャパン株式会社

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30％の過酸化水素（H2O2）中のトリメチルアミン（TMA）および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮（MiPCT-ME）を用いて、陽イオンの連続サプレッション後電気電導度検出器により測定。「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。【掲載内容】 ■カラム ■溶液 ■分析方法 ■分析パラメータ ■装置構成

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気相成長株式会社　事業紹介

気相成長株式会社

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタントを行っている会社です。当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。【営業品目】 ■ファインケミカルの研究開発 ■ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売 ■ファインケミカルに関するコンサルタント ■化学物質の製造・販売及び分析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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低リップルノイズ高圧電源『FLR503 series』

フューテックス株式会社

高精度を要求される電子源、イオン源、静電レンズ等の荷電粒子ビームアプリケーションの研究開発や、初期実験に最適な仕様となっております。マニュアル操作はもとより、各種リモート制御・モニタ機能を標準装備致しました。またリップルモニタ端子を標準装備しており、電源自体の整流リップルや、高圧出力側（負荷側）の放電波形等を確認することが可能です。【特長】 ◇ 高精度・高安定度 ◇ 出力電圧：DC50kV ◇ 出力電力：12.5W ◇ 連続出力短絡保護回路 ◇ 出力電圧・電流モニタ付き ◇ 低リップル＝5ppm以下 (250mVp-ｐ@50kV) ◇ 安定度は15ppm/1h以下 ◇ 温度係数は10ppm/℃以下 ※詳細はカタログをダウンロードしてご覧になって下さい。もしくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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石英マイクロチューブ

湖北工業株式会社

湖北工業オリジナル製法による高純度石英ガラス製のキャピラリチューブです。外径は0.1mm以上そして内径は0.001mm以上の形状についてカスタムに対応いたします。また複数の孔をチューブ内に配列することも可能です。

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HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』

株式会社マック

『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒二元式超低温冷凍機です。一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用）【特長】 ■生産性を30％向上 ■高品質の成膜を保証 ■高温成膜装置に好適 ■液体窒素トラップは不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

課題

微量金属不純物の混入リスク

製造設備や配管、容器など、薬液が触れるあらゆる箇所からの微量金属不純物の溶出や混入が、半導体性能に致命的な影響を与えます。

微粒子の除去困難性

ナノメートルオーダーの微粒子でさえ、回路パターンに付着し欠陥の原因となるため、その完全な除去は高度な技術を要します。

品質管理の高度化要求

ppb（10億分の1）レベル、さらにはppt（1兆分の1）レベルでの不純物管理が求められ、従来の分析・管理手法では対応が困難になっています。

サプライチェーン全体での品質維持

原料調達から製造、輸送、使用に至るまで、サプライチェーン全体で一貫した超高純度を維持するための管理体制構築が課題です。

対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

不純物溶出の少ない特殊なフッ素樹脂やセラミックス素材などを採用し、コンタミネーション源を徹底的に排除します。

高度なろ過・精製技術の導入

多段階の精密ろ過やイオン交換、蒸留などの技術を組み合わせ、微粒子や金属不純物を極限まで除去します。

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

製造プロセス中に薬液の純度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知・対応できるシステムを導入します。

厳格な品質保証体制の構築

原料受け入れから最終製品出荷まで、各工程で徹底した品質検査とトレーサビリティを確保し、品質の一貫性を保証します。

対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

薬液の貯蔵、移送、供給プロセス全体でコンタミネーションを最小限に抑えるための特殊素材製タンク、配管、ポンプ、バルブなどを統合したシステムです。

精密微粒子除去フィルター

ナノメートルオーダーの微粒子を効率的に捕捉し、薬液の清浄度を飛躍的に向上させる高性能フィルターです。

オンライン不純物分析装置

薬液中の微量金属不純物やイオン性不純物をリアルタイムで高感度に測定し、品質管理を支援する分析機器です。

特殊洗浄用高純度溶剤

半導体ウェハー表面の有機物や無機物を効率的に除去し、後工程への影響を最小限に抑えるための超高純度溶剤です。

⭐今週のピックアップ

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半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

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食品・農業・環境

医薬品・臨床・バイオ

化学・材料・製造

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

各社の製品

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

​課題

微量金属不純物の混入リスク

微粒子の除去困難性

品質管理の高度化要求

サプライチェーン全体での品質維持

​対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

高度なろ過・精製技術の導入

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

厳格な品質保証体制の構築

​対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

精密微粒子除去フィルター

オンライン不純物分析装置

特殊洗浄用高純度溶剤

課題

対策

対策に役立つ製品例