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半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

半導体製造プロセスにおいて、微細回路の形成や洗浄に不可欠な薬液は、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションを極限まで排除した超高純度であることが求められます。これは、わずかな不純物でも半導体デバイスの性能低下や歩留まりの悪化に直結するため、製造技術の根幹をなす要素です。

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【電子材料向け】多検体ナノ粒子径測定システム

大塚電子株式会社

電子材料業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の粒子径制御が重要です。特に、ナノ粒子を含む材料においては、粒子径の均一性が製品の品質を左右します。不適切な粒子径分布は、材料の特性劣化や性能低下につながる可能性があります。当社の多検体ナノ粒子径測定システムは、光散乱法を採用し、0.6nm～10μmの範囲で粒子径を測定できます。最大5検体の連続測定が可能で、電子材料の品質管理と性能向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の研究開発・ディスプレイ材料の品質管理・電池材料の性能評価【導入の効果】・材料の特性評価の効率化・製品の品質向上・研究開発の加速

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【研究向け】水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアーム

株式会社アクアス

研究分野、特にデータ分析においては、長時間のデスクワークによる疲労軽減と、作業効率の向上が求められます。限られたスペースでの作業や、複数のモニターを同時に使用する環境では、柔軟なディスプレイ配置が重要です。当社の水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアームは、壁から最大1m離れた位置での入力作業を可能にし、研究者の作業効率と快適性を向上させます。【活用シーン】・データ分析業務・研究室での情報表示・複数モニター環境での作業【導入の効果】・作業スペースの有効活用・長時間の作業における疲労軽減・柔軟なディスプレイ配置による作業効率向上

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【化学分野向け】MSシリンジフィルター

大阪ケミカル株式会社

化学分野における反応制御では、サンプルの純度と正確な分析が不可欠です。不純物の混入は、反応の再現性を損ない、正確な結果を得ることを妨げます。MSシリンジフィルターは、サンプルの前処理において、不純物を効果的に除去し、信頼性の高いデータ取得を支援します。これにより、研究者はより正確な実験結果に基づいた意思決定を行うことができます。【活用シーン】・反応試薬のろ過・HPLC分析前のサンプル調整【導入の効果】・反応の再現性向上・分析精度の向上・実験効率の改善

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【半導体向け】ゼータ電位・粒子径測定によるCMPスラリー評価

大塚電子株式会社

半導体業界では、CMP（Chemical Mechanical Polishing）工程における研磨効率の向上が求められています。ウェハ表面の平坦性を高め、高品質な半導体デバイスを製造するためには、研磨スラリーの粒子分散状態を適切に制御することが不可欠です。粒子の凝集や偏りは、研磨ムラやスクラッチの原因となり、歩留まりを低下させる可能性があります。本製品は、CMPスラリーに非イオン性界面活性剤を添加し、添加前後のゼータ電位および粒子径を測定することで、スラリーの分散状態を評価し、研磨効率の最適化に貢献します。【活用シーン】・CMP工程におけるスラリーの品質管理・研磨条件の最適化・新素材スラリーの開発【導入の効果】・研磨ムラやスクラッチの低減・ウェハの歩留まり向上・研磨時間の短縮

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【化学向け】低金属化サービス

株式会社ナード研究所

化学業界において、触媒活性を向上させるためには、材料の高純度化、特に金属不純物の低減が重要です。金属不純物は触媒反応の阻害要因となり、反応効率や選択性を低下させる可能性があります。ナード研究所の低金属化サービスは、昇華精製をはじめとする各種精製技術を駆使し、金属成分の低減（ppm～ppb）を実現することで、触媒活性の向上に貢献します。【活用シーン】・触媒材料の精製・反応効率の改善・選択性の向上【導入の効果】・触媒性能の向上・反応プロセスの最適化・製品品質の向上

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【研究機関向け】インド産アンモニア水（29%）EG

興和株式会社

研究機関における分析業務では、精度の高い結果を得るために、試薬の純度が重要です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。アンモニア水は、様々な分析・実験に用いられますが、不純物が多いと正確なデータが得られません。本製品は、電子・クリーンルーム用高純度仕様であり、RO＋DM処理による超純水プロセスを採用しています。これにより、ppm〜ppbレベルで不純物を除去し、高水準の清浄度を実現しています。【活用シーン】・精密分析・化学実験・試薬調製【導入の効果】・分析結果の信頼性向上・実験の再現性向上・安定したデータ取得

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【研究機関向け】サニタリーフェルールライニングパイプ全面PTFE

株式会社アルティベイト（旧社名：東葛テクノ株式会社）

研究機関の実験環境では、流体の純度を保ち、実験結果の信頼性を確保することが重要です。特に、微量なコンタミネーションが実験結果に大きな影響を与える場合、配管材の材質選定は非常に重要になります。当社のフェルールライニングパイプは、全面接液PFA/PTFEライニングにより、流体の品質を損なうリスクを低減します。【活用シーン】・化学実験・分析実験・精密流体制御【導入の効果】・流体汚染のリスク低減・実験データの信頼性向上・配管系の耐久性向上

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【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット

株式会社プレテック　静岡製作所

研究機関における実験器具の洗浄では、コンタミネーションを防ぎ、正確な実験結果を得るために、高い洗浄性能が求められます。特に、微細な有機物や金属汚染物質の除去は、実験の精度を左右する重要な要素です。ラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、これらの課題に対応します。【活用シーン】・実験器具の洗浄・微細部品の洗浄・金属汚染対策【導入の効果】・高い洗浄力による実験精度の向上・環境負荷の低減・ランニングコストの削減

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【大学・実験向け】小型RO純水装置 TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

大学の研究・実験分野では、実験結果の精度を左右する純水の品質が重要です。特に、微量な不純物やイオンが混入すると、実験データに誤差が生じ、正確な分析を妨げる可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の分子レベルでの不純物除去により、高品質な純水を供給し、実験の信頼性を高めます。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・試薬調製・細胞培養【導入の効果】・実験精度の向上・研究の効率化・ランニングコストの削減・省スペース化

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【分析機器向け】PERFREZ 高性能O-リング

株式会社誠和商会

分析機器業界では、高精度な測定結果を得るために、シール材の信頼性が重要です。特に、微量なサンプルを扱う分析機器においては、シール材からのコンタミネーションや、耐薬品性の低いシール材の使用は、測定結果の精度を低下させる可能性があります。PERFREZは、腐食性の高い化学薬品の浸食や、高温、蒸気などに強く、長期間安定した性能を発揮するFFKM製Oリングです。安定した価格・納期で、小ロットから提供可能。設計・調達の課題解決に貢献します。【活用シーン】・分析機器内部のシール・薬液供給ライン・高温環境下でのシール【導入の効果】・高い耐薬品性による測定結果の信頼性向上・長期的な安定稼働・小ロット対応による無駄なコスト削減

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【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008

株式会社テクネ計測

研究機関における実験環境では、雰囲気ガスの水分管理が実験結果に大きく影響を与える場合があります。特に、精密な分析や反応を伴う実験においては、微量の水分が測定誤差や反応の阻害要因となる可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、安定した実験環境を提供します。フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵したオールインワンタイプで、持ち運びも容易です。【活用シーン】・ガス分析装置の保護・精密化学反応実験・半導体製造プロセス【導入の効果】・実験データの信頼性向上・装置の長寿命化・実験の再現性向上

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【大学研究向け】TOPure（トピュア）

株式会社トップウォーターシステムズ

大学研究における実験では、精度の高い分析結果を得るために、高品質な純水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。TOPure（トピュア）は、研究室のスペースや実験内容に合わせて、純水製造能力やサイズを自由にカスタマイズできます。これにより、実験の効率化と精度の向上に貢献します。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・細胞培養・試薬調製【導入の効果】・実験結果の信頼性向上・実験の再現性向上・ランニングコストの削減・スペースの有効活用

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【化学反応向け】TOPure（トピュア）

株式会社トップウォーターシステムズ

化学業界の反応プロセスでは、不純物の混入が反応の効率や結果に大きく影響を与える可能性があります。特に、精密な分析や実験においては、高純度の水が不可欠です。不適切な水質は、実験結果の信頼性を損ない、正確なデータ取得を妨げる可能性があります。TOPure（トピュア）は、お客様のニーズに合わせて純水製造能力やグレード、サイズをカスタマイズできます。【活用シーン】・化学反応実験・試薬調製・分析【導入の効果】・反応の再現性向上・実験データの信頼性向上・分析精度の向上

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【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ

株式会社テクネ計測

半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。【活用シーン】・高純度ガス製造時の品質保証・ボンベ充填時のガス品質確認・バルク輸送や中継点でのガス品質管理【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・測定時間の短縮・生涯コストの削減

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【研究所向け】小型RO純水装置　TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所における分析業務では、精度の高い結果を得るために、純水の使用が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の分子レベルでの不純物除去能力で浄水。分析の信頼性を向上させます。【活用シーン】・各種分析業務・試薬調製・細胞培養【導入の効果】・分析結果の精度向上・実験の再現性向上・ランニングコストの削減

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【大学研究向け】酸・アルカリ薬品対応エア駆動ダイヤフラムポンプ

株式会社タカトテクニカ

大学の研究分野、特に実験においては、安全かつ正確な薬液の取り扱いが不可欠です。腐食性のある薬液や高粘度の液体を扱う際、液漏れやポンプの故障は実験の遅延や安全性のリスクを高めます。当社のエア駆動ダイヤフラムポンプは、これらの課題を解決するために設計されました。【活用シーン】・腐食性薬液、有機溶剤などを使用する実験・高粘度、スラリー状の液体の移送・液漏れを避けたい実験【導入の効果】・液漏れのリスクを低減し、実験の安全性を向上・多様な薬液に対応し、実験の幅を拡大・メンテナンスが容易で、実験効率を向上

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【研究向け】作業環境測定

株式会社分析センター

研究分野では、試薬や実験材料の安全な取り扱いが不可欠です。特に、有害物質を扱う際には、作業環境の安全性が研究者の健康と研究の効率に大きく影響します。作業環境測定は、有害物質濃度を測定し、適切な改善策を講じるための基盤となります。これにより、研究者は安心して実験に集中でき、研究の質と効率が向上します。【活用シーン】・試薬の調合・実験・有害物質を取り扱う研究室・化学物質を扱う研究開発【導入の効果】・研究者の健康被害を防止・研究環境の安全性向上・研究効率と質の向上

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【研究所向け】RO純水製造装置スキッド型

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所の実験用途では、精度の高い実験結果を得るために、不純物の少ない高純度水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な化学反応においては、水の質が実験結果に大きく影響します。不適切な水質は、実験の再現性を損ない、誤った結果を導く可能性があります。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースを有効活用し、高純度水を安定供給することで、研究活動をサポートします。【活用シーン】・精密分析・細胞培養・試薬調製・器具洗浄【導入の効果】・実験精度の向上・実験の再現性向上・試薬コストの削減・実験スペースの有効活用

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EDI型RO装置

株式会社オーイーエス

当製品は、各種装置と組み合わせ可能な大型RO装置です。比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られ薬品による再生工程はありません。省スペース設計で、1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑制。当社の台湾又は中国工場で製造した装置を輸入することで、お客様にコストメリットを提供しています。【特長】 ■高品質の純水が採水可能 ■比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる ■電気再生式のEDIを使用しているため薬品の使用は不要 ■再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できる ■UV装置やUF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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オイルロータリーポンプ『W2Vシリーズ』

株式会社コスモファクトリー

『W2Vシリーズ』は、20年以上トップレベルの企業での使用実績を持つ WSA社製のオイルロータリーポンプです。産業及び研究分野の様々な分野で活躍。主に電子顕微鏡などのバックポンプや真空乾燥機器、凍結乾燥機器などに使用されております。【特長】 ■高性能 ■軽量・コンパクト ■低騒音・低振動 ■シンプル構造 ■オイル逆流構造内蔵 ■ガスバラストバルブ内蔵 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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超低露点エアードライヤー『QDシリーズ』

アイ・エイ・シー株式会社

『QDシリーズ』は、二筒交互吸着式の超低露点エアードライヤーです。大気圧露点-60℃、-75℃の乾燥エアーを連続供給することが可能で、クリーンドライエアー(CDA)が必要な際に好適。手軽に高乾燥度のドライエアーが得られますので窒素ガスの代用としての使用も可能です。コンパクトなので研究室や実験室での使用に適しています。【特長】 ■自己再生方式でメンテナンスフリー ■乾燥剤・吸着剤の交換は不要 ■油分やゴミ用のミストクリーナーやクリーンフィルター付き ■露点計量証明書付き ■標準タイプの他に大型機種として50L/min以上も製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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山形科学薬品株式会社　事業紹介

山形科学薬品株式会社

山形科学薬品株式会社は、お客様である、大手半導体関連企業・各種試験研究機関へ電子工業用薬品・高純度試薬及び理化学機器の販売を通して、今日の科学技術の発展に、微力ながら貢献いたしております。主に試験用薬品や半導体用薬品、理化学機器や電子工業用装置などを取扱。一商社に甘んずることなく、お客様の本来のニーズに合った製品をご提供いたします。【事業内容】 ■試験研究用薬品・電子工業用薬品・化学工業用薬品・高純度化学薬品・　理化学機械・理化学器材・販売並びにこれに付帯する事業 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ガスクロマトグラフガス分析アプリケーション（ヘリウム精製器）

大阪ガスリキッド株式会社

『FPI-1GTR』は、不純物を極限まで除去できるガスクロマトグラフです。電源BOXを標準装備し、構造をシンプル化。 1週間で納品可能です。※複数台ご発注の場合はご相談下さい。【特長】 ■不純物を極限まで除去（除去対象：CH4など） ■電源BOX一体型 ■1週間で納品可能　※複数台ご発注の場合はご相談下さい。 ■国内生産 ■安全機能、過昇温防止機能 ■RoAS対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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電磁弁『SV-3シリーズ』

株式会社ハルナ

『SV-3シリーズ』は、耐薬品性、耐熱性に優れたオールふっ素樹脂 PTFE2方向電磁弁です。接液部は全てふっ素樹脂PTFEを使用しており、ソレノイドは信頼性の高いH種コイルを使用しています。クロマトグラフや、高純度システムなどに用いられる製品です。【特長】 ■耐薬品性 ■耐熱性 ■接液部は全てふっ素樹脂PTFE ■ソレノイドはH種コイル ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

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蛇口に接続するだけで水道水から純水を精製可能！カートリッジ純水器

フィーブリケミカル株式会社

『IRIシリーズ』は、手軽に水道水から純水精製ができるカートリッジ純水器です。新品のイオン交換樹脂を使用しながら、樹脂再生と遜色ない低コストでの提供を実現しています。タンクヘッドの取り外し不要で樹脂交換も簡単。小型タイプも充実し、各種洗浄の用途でご使用いただけます。【特長】 ■樹脂交換もラクラク！タンクヘッドの取り外し不要 ■ホースの取外しはワンタッチでOK！ ■10インチや5インチの小型タイプもラインナップ ■純水のレベルやご使用量に応じたご提案も可能既にご使用中の純水カートリッジの再生(新品樹脂交換)も承っております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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ジルコニア式酸素濃度計『LC-450A』

東レエンジニアリングDソリューションズ株式会社

『LC-450A』は、低濃度から100%の酸素濃度を1台で測定できる高性能な酸素濃度計です。独自の超小型ジルコニアセンサを搭載し、長時間にわたって安定かつ高精度な測定を実現。酸素センサに特殊加工を施すことで耐久性も向上しています。また、操作が簡単でかつ小型化しており、半導体・液晶装置をはじめ各種装置に組込みに最適です。【特長】 ■幅広い濃度域での測定 ■センサの耐久性を向上 ■ACワイド電源 ■コンパクトで設置が容易 ■RoHS指令対応品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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富山薬品工業株式会社　取扱製品カタログ

富山薬品工業株式会社

当カタログは、主に高純度化学薬品の開発・製造・販売を行っている富山薬品工業株式会社の製品カタログです。アンモニウム塩類をはじめ、カリウム塩類やナトリウム塩類など、様々な高純度薬品を多数掲載しています。豊富な種類を取り揃えていますので、用途に応じた製品をお選びいただけます。【掲載内容】 ■アンモニウム塩類 ■カリウム塩類 ■ナトリウム塩類 ■硝酸塩類 ■酢酸塩類　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【イオンクロマトグラフ】H2O2中トリメチルアミンと標準陽イオン

メトロームジャパン株式会社

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30％の過酸化水素（H2O2）中のトリメチルアミン（TMA）および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮（MiPCT-ME）を用いて、陽イオンの連続サプレッション後電気電導度検出器により測定。「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。【掲載内容】 ■カラム ■溶液 ■分析方法 ■分析パラメータ ■装置構成

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高精度ガラスキャピラリー

株式会社中原光電子研究所

ミクロンオーダで高精度な石英管・ロッド、断面が異形の各種石英ガラス管の試作・製造をいたします。無水、有水、溶融、合成石英、ホウケイさんガラス、BK-7など各種素材対応可能です。試作品から、短納期品等各種取りそろえています。

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マルイチ藤井　MFPFA細口ボトル01

株式会社マルイチ藤井

PFAは、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）の優れた特性と従来の熱可塑性樹脂の加工のし易さを兼ね備えています。PFA製品は、260℃（500゜F）までの高温や薬品耐性、非粘着性、円滑性を提供します。

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高電圧パルス発生器

株式会社Ａ・Ｒ・Ｐ

・高安定度高圧電源(温度変動50ppm/℃)搭載。・電流、温度制御の時定数設定可能。・高電圧高速スイッチ(2KV-pp / 40ns)搭載。・各電源を機能別にモジュール化。・各電源の電圧、電流、温度モニタ機能。・負荷短絡時の保護機能。・5KVフローティング回路へ80W電力供給、SPI信号通信。

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気相成長株式会社　事業紹介

気相成長株式会社

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタントを行っている会社です。当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。【営業品目】 ■ファインケミカルの研究開発 ■ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売 ■ファインケミカルに関するコンサルタント ■化学物質の製造・販売及び分析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社エアーテック　事業紹介

株式会社エアーテック

株式会社エアーテックは、主に空気・ガス精製装置などの設計・製造、販売、据付・保守、輸出入を軸に事業を展開している会社です。当社の各種分析装置は、大学・試験研究機関をはじめ製薬、食品、電子、科学工業など幅広い分野で活用されております。また、企画立案から製造までを一貫したライン体制で行うことにより、お客様のニーズに合うカスタマイズされた製品やシステム構築にお応え致します。【事業内容】 ■空気・ガス精製装置、空気圧縮機、冷凍機、各種空圧機器および　関連機器、配電/操作盤、半導体装置、真空部品の設計・製造、販売、　据付・保守、輸出入など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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LN2フローUHVブースター『CTH40(WT)』

有限会社テク

『CTH40(WT)』は、より迅速で効率的な作業を実現するヒーターコイル及び温度センサーが搭載されたLN2フローUHVブースターです。 LN2フローバージョンのコールドトラップでターボ分子ポンプと組み合わせてUHVシステムのロードロック又は小さな搬送用チャンバー等に組み込んでクライオポンプのように使うことができます。【特長】 ■サンプル挿入時の待ち時間を短縮 ■排気時間が大幅に短縮され、付加的なベークアウトが不要 ■フローバージョンは、加圧液体窒素デュワーまたは熱交換器と　窒素ガスを用いた冷却装置に取付可能 ■内蔵のPT100センサーを介して温度を常時監視可能 ■VSCT40コンパクトドッキングチャンバーに組み込んで使用可能　 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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水素ガス発生装置『HK-Plusシリーズ』

株式会社エアーテック

『HK-Plusシリーズ』は、純度99.999％以上の水素ガスを安定供給し、燃焼用ガスとして最適な高純度水素ガス発生装置です。コンパクトサイズ、メンテナンスフリーのドライヤーシステム、手軽に、安全に高純度水素を発生させることが可能です。 HC 0.1ppm以下の高純度水素ガスを発生させるため、本装置で作られた GCのベースラインは非常に低く安定しています。【特長】 ■コンパクト ■乾燥剤の交換不要 ■純水のご用意のみで長期わたる使用が可能 ■認定サービスマンが全国対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』

株式会社ヤチダ

『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた新しい構想のゲッターポンプです。ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を再構築しました。当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを発生させることができます。【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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オイルフリースクロールポンプ

西和産業株式会社

『オイルフリースクロールポンプ』は、排気機構に潤滑油を使用せず、清浄な真空が得られる製品です。シンプルな構造なので短時間で分解・組立が出来、オイルを使用していないので、クリーンなメンテナンス環境が得られます。また、真空環境からベアリングを完全に遮断。水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止し、よりクリーンな真空が得られます。【特長】 ■クリーン排気 ■シンプル構造により短時間で分解、組立が可能 ■nXDSおよびXDSポンプは特許ベアリングシールドを採用 ■水蒸気によるベアリンググリースの劣化を防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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HFC混合冷媒二元式超低温冷凍機『マック・クライオ』

株式会社マック

『マック・クライオ』は、真空補助ポンプとして必需なHFC混合冷媒二元式超低温冷凍機です。一元式混合冷媒冷凍機システムを利用して-70℃の冷却器を内蔵。独立した冷凍回路を持つ二元目の冷凍機は、一元式混合冷媒冷凍機の冷却能力によって自由に起動が可能で、-125℃の超低温クライオパネルを瞬時に発揮できます。（コールドトラップによる排気作用）【特長】 ■生産性を30％向上 ■高品質の成膜を保証 ■高温成膜装置に好適 ■液体窒素トラップは不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ガス循環精製装置『グローブボックス』

東京高圧山崎株式会社

『グローブボックス』は、ご要求により多様な設計製作が可能なガス循環精製装置です。雰囲気ガスとして主に空気、アルゴンガス、ヘリウムガス、窒素ガスなどを使用される場合のグローブボックス。グローブボックス内の雰囲気ガスの置換方式は大気圧置換、真空置換などを採用しています。【特長】 ■ガス循環方式は摺胴部動部の無いブロワーを採用しているため　低騒音・長寿命 ■空冷式のため冷却水が不要 ■装置内の配管及び各種弁はSUS材を使用 ■空圧弁及び手動弁はベローズ式またはダイアフラム式を　採用しているため精製ガス純度が高い ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせください。

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高精度・フレキシブル抵抗率測定システム『VR300DSE-2P』

株式会社国際電気セミコンダクターサービス

『VR300DSE-2P』は、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの四探針測定器です。また当社では、全機能搭載モデルの「VR300DSE」や、卓上型モデル「VR300DE」「VR250」などもご用意しております。【特長】 ■プローブ駆動をレシピにてセットアップ可能 ■高スループット化によるCoOの低減 ■2ロードポート対応 ■プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載 ■抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【分析事例】溶液中の金属量分析

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度領域はpptオーダーから主成分レベルまで幅広く対応することが可能です。本資料では市販されている各溶液に含まれる金属量を調査した事例をご紹介します。

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小型逆浸透膜RO装置『RL型』

日本ワコン株式会社

『RL型』は、コンセントの接続とホースの接続のみで、簡単にRO水を得ることができる小型逆浸透膜RO装置です。組立から最終調整まで全て自社内で行ない、高品質な製品をお安く御提案することができます。初期費用を抑えたいお客様へ、レンタル機を御提案することもできます。【特長】 ■シンプルな作りのため、故障も少ない　・仮に故障した場合も早急に対応可能 ■操作はカンタン、電源を入れるだけ ■ROメンブレンフィルタ使用 ※詳しくは見積依頼書をダウンロードしてお問い合わせ下さい。　価格、納期をご案内します。

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純水製造装置

新日本電工株式会社

逆浸透膜（RO）とイオン交換樹脂塔をユニット内に納め、一体化した純水製造装置です【特長】 ◆無機イオンはもとより、溶解性、非溶解性を問わず無機成分、有機成分を同時に効率よく除去することが出来ます ◆前処理の設備、ＲＯ、イオン交換塔を一つのユニットにコンパクトに！設置スペースは最小限ですみ、メンテナンスの手間も掛りません ◆全自動連続運転方式で、タッチパネルを採用していますので、運転管理が容易で特別な運転要員は必要ありません ◆お客様で使用したい純水量・用途に応じて、C-350〜F-10000まで各種タイプの中から選定することが出来ます ◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用いただけます。アフターサービスも万全です ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝

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石英マイクロチューブ

湖北工業株式会社

湖北工業オリジナル製法による高純度石英ガラス製のキャピラリチューブです。外径は0.1mm以上そして内径は0.001mm以上の形状についてカスタムに対応いたします。また複数の孔をチューブ内に配列することも可能です。

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グローブボックス『ピュアボックス』製品カタログ内資料

株式会社ヤマト

『グローブボックス』（弊社製品名「ピュアボックス」）は、気密性の高いステンレス製の容器にグローブを取付け、空気中で扱えない試料をグローブを使用して取扱い、作業することができる製品です。グローブボックス・ガス循環精製装置の「製作」による環境提供はもちろん、日々装置の進化を目指し『独自の開発』に取り組んでおります。例えば、装置自身の振動・騒音を抑えてほしいとのお客様の声より、サイレンサの独自開発を行い製品化し、お客様の装置に取付けて評価を頂いております。他にも、音声認識機能が付いており、グローブから手を抜かずに音声で操作が可能です。音声を認識し、運転・停止ができ、操作内容・異常内容などを音声にてお知らせします。（※音声操作は、一定の操作に限ります。）【特長】 ■会話が可能な音声認識機能つきの環境機器 ■音声を認識し、運転・停止ができる ■操作内容・異常内容などを音声にてお知らせ ■グローブから手を抜くことなく音声で操作できる ■起動内容をお知らせするので、装置の状態が離れた位置でもわかる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体検出器用プリアンプ『CSP02』

株式会社ANSeeN

株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、ご紹介いたします。 CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の電荷有感型前置増幅器で構成。波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。【主な性能】 ■雑音：350 electrons FWHM at 0pF ■ゲイン：1 V/pC ■立ち上がり時間：6ns at 0pF ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

日邦プレシジョン株式会社

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により不透明な材料の測定に適しています。 4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の周波数依存性を得ることができます。【特長】 ■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定 ■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能 ■液体試料も測定可能 ■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載 ■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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静電容量式露点計

永野電機産業株式会社

アルミナ薄膜を使用した次世代センサーを、露点トランスミッターに搭載、ガス中の水分濃度を -100〜+20℃露点の範囲で連続測定するオンライン計測器【特徴】 ○測定結果を 4-20mA の電流出力で伝送 ○日常メンテナンスとして必要な事項は、　定期的な ND-TA露点トランスミッターの再校正だけ ○迅速な応答性 ○チップ交換が可能 ○使い方もフレキシブル ●詳細は、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。

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純水器『アクアパック』

新日本電工株式会社

『アクアパック』は、水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm 以下の高純水が得られるカートリッジ純水器です。イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な製品で、水道水中のCa、Na、SO4、 CI、SiO2等を除去して高純水を得ることが可能。また本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来るため、樹脂の飽和時期が容易に分かります。【特長】 ■手軽に高純水が得られる ■管理・操作は簡単 ■安価 ■高品質 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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小型RO装置＋EDI装置

株式会社オーイーエス

当製品は、比抵抗で15MΩ・cmの純水が得られる装置です。電気再生式のEDIを使用していますので薬品の使用は不要。再生排水は処理の必要がなく、そのまま排水できます。 1つのスキッド上に収納して設置スペースを好適に抑えており、UV装置や UF膜ろ過装置等を組み合わせることで超純水の水質が確保できます。【特長】 ■高品質の純水が採水可能 ■薬品による再生工程はない ■省スペース設計 ■当社の中国工場で製造した装置を輸入 ■各種装置と組み合わせ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

課題

微量金属不純物の混入リスク

製造設備や配管、容器など、薬液が触れるあらゆる箇所からの微量金属不純物の溶出や混入が、半導体性能に致命的な影響を与えます。

微粒子の除去困難性

ナノメートルオーダーの微粒子でさえ、回路パターンに付着し欠陥の原因となるため、その完全な除去は高度な技術を要します。

品質管理の高度化要求

ppb（10億分の1）レベル、さらにはppt（1兆分の1）レベルでの不純物管理が求められ、従来の分析・管理手法では対応が困難になっています。

サプライチェーン全体での品質維持

原料調達から製造、輸送、使用に至るまで、サプライチェーン全体で一貫した超高純度を維持するための管理体制構築が課題です。

対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

不純物溶出の少ない特殊なフッ素樹脂やセラミックス素材などを採用し、コンタミネーション源を徹底的に排除します。

高度なろ過・精製技術の導入

多段階の精密ろ過やイオン交換、蒸留などの技術を組み合わせ、微粒子や金属不純物を極限まで除去します。

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

製造プロセス中に薬液の純度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知・対応できるシステムを導入します。

厳格な品質保証体制の構築

原料受け入れから最終製品出荷まで、各工程で徹底した品質検査とトレーサビリティを確保し、品質の一貫性を保証します。

対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

薬液の貯蔵、移送、供給プロセス全体でコンタミネーションを最小限に抑えるための特殊素材製タンク、配管、ポンプ、バルブなどを統合したシステムです。

精密微粒子除去フィルター

ナノメートルオーダーの微粒子を効率的に捕捉し、薬液の清浄度を飛躍的に向上させる高性能フィルターです。

オンライン不純物分析装置

薬液中の微量金属不純物やイオン性不純物をリアルタイムで高感度に測定し、品質管理を支援する分析機器です。

特殊洗浄用高純度溶剤

半導体ウェハー表面の有機物や無機物を効率的に除去し、後工程への影響を最小限に抑えるための超高純度溶剤です。

⭐今週のピックアップ

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半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

前処理・調製

食品・農業・環境

医薬品・臨床・バイオ

化学・材料・製造

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

​課題

微量金属不純物の混入リスク

微粒子の除去困難性

品質管理の高度化要求

サプライチェーン全体での品質維持

​対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

高度なろ過・精製技術の導入

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

厳格な品質保証体制の構築

​対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

精密微粒子除去フィルター

オンライン不純物分析装置

特殊洗浄用高純度溶剤

課題

対策

対策に役立つ製品例