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半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

半導体製造プロセスにおいて、微細回路の形成や洗浄に不可欠な薬液は、金属不純物や微粒子などのコンタミネーションを極限まで排除した超高純度であることが求められます。これは、わずかな不純物でも半導体デバイスの性能低下や歩留まりの悪化に直結するため、製造技術の根幹をなす要素です。

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【半導体品質管理向け】SPARKシリーズ

株式会社テクネ計測

半導体業界の品質管理において、製造プロセスで使用されるガスの微量な水分や不純物の測定は、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、高純度ガスを使用する工程では、微量の水分や不純物が製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。SPARKシリーズは、CRDSテクノロジーにより、高精度かつ迅速にガス中の微量成分を測定し、品質管理をサポートします。【活用シーン】・高純度ガス製造時の品質保証・ボンベ充填時のガス品質確認・バルク輸送や中継点でのガス品質管理【導入の効果】・製品の品質向上・歩留まりの改善・測定時間の短縮・生涯コストの削減

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【研究所向け】RO純水製造装置スキッド型

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所の実験用途では、精度の高い実験結果を得るために、不純物の少ない高純度水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な化学反応においては、水の質が実験結果に大きく影響します。不適切な水質は、実験の再現性を損ない、誤った結果を導く可能性があります。RO純水製造装置スキッド型は、限られたスペースを有効活用し、高純度水を安定供給することで、研究活動をサポートします。【活用シーン】・精密分析・細胞培養・試薬調製・器具洗浄【導入の効果】・実験精度の向上・実験の再現性向上・試薬コストの削減・実験スペースの有効活用

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【大学研究向け】酸・アルカリ薬品対応エア駆動ダイヤフラムポンプ

株式会社タカトテクニカ

大学の研究分野、特に実験においては、安全かつ正確な薬液の取り扱いが不可欠です。腐食性のある薬液や高粘度の液体を扱う際、液漏れやポンプの故障は実験の遅延や安全性のリスクを高めます。当社のエア駆動ダイヤフラムポンプは、これらの課題を解決するために設計されました。【活用シーン】・腐食性薬液、有機溶剤などを使用する実験・高粘度、スラリー状の液体の移送・液漏れを避けたい実験【導入の効果】・液漏れのリスクを低減し、実験の安全性を向上・多様な薬液に対応し、実験の幅を拡大・メンテナンスが容易で、実験効率を向上

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【研究機関向け】サニタリーフェルールライニングパイプ全面PTFE

株式会社アルティベイト（旧社名：東葛テクノ株式会社）

研究機関の実験環境では、流体の純度を保ち、実験結果の信頼性を確保することが重要です。特に、微量なコンタミネーションが実験結果に大きな影響を与える場合、配管材の材質選定は非常に重要になります。当社のフェルールライニングパイプは、全面接液PFA/PTFEライニングにより、流体の品質を損なうリスクを低減します。【活用シーン】・化学実験・分析実験・精密流体制御【導入の効果】・流体汚染のリスク低減・実験データの信頼性向上・配管系の耐久性向上

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【研究機関向け】電子冷却式ドライヤーユニット TKZH008

株式会社テクネ計測

研究機関における実験環境では、雰囲気ガスの水分管理が実験結果に大きく影響を与える場合があります。特に、精密な分析や反応を伴う実験においては、微量の水分が測定誤差や反応の阻害要因となる可能性があります。TKZH008は、炉内雰囲気ガス中の水分を効率的に除去し、安定した実験環境を提供します。フィルター、ポンプ、冷却装置、オートドレン装置を内蔵したオールインワンタイプで、持ち運びも容易です。【活用シーン】・ガス分析装置の保護・精密化学反応実験・半導体製造プロセス【導入の効果】・実験データの信頼性向上・装置の長寿命化・実験の再現性向上

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【研究所向け】小型RO純水装置　TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

研究所における分析業務では、精度の高い結果を得るために、純水の使用が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の分子レベルでの不純物除去能力で浄水。分析の信頼性を向上させます。【活用シーン】・各種分析業務・試薬調製・細胞培養【導入の効果】・分析結果の精度向上・実験の再現性向上・ランニングコストの削減

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【化学向け】低金属化サービス

株式会社ナード研究所

化学業界において、触媒活性を向上させるためには、材料の高純度化、特に金属不純物の低減が重要です。金属不純物は触媒反応の阻害要因となり、反応効率や選択性を低下させる可能性があります。ナード研究所の低金属化サービスは、昇華精製をはじめとする各種精製技術を駆使し、金属成分の低減（ppm～ppb）を実現することで、触媒活性の向上に貢献します。【活用シーン】・触媒材料の精製・反応効率の改善・選択性の向上【導入の効果】・触媒性能の向上・反応プロセスの最適化・製品品質の向上

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【化学分野向け】MSシリンジフィルター

大阪ケミカル株式会社

化学分野における反応制御では、サンプルの純度と正確な分析が不可欠です。不純物の混入は、反応の再現性を損ない、正確な結果を得ることを妨げます。MSシリンジフィルターは、サンプルの前処理において、不純物を効果的に除去し、信頼性の高いデータ取得を支援します。これにより、研究者はより正確な実験結果に基づいた意思決定を行うことができます。【活用シーン】・反応試薬のろ過・HPLC分析前のサンプル調整【導入の効果】・反応の再現性向上・分析精度の向上・実験効率の改善

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【大学・実験向け】小型RO純水装置 TW-020-SRO

株式会社トップウォーターシステムズ

大学の研究・実験分野では、実験結果の精度を左右する純水の品質が重要です。特に、微量な不純物やイオンが混入すると、実験データに誤差が生じ、正確な分析を妨げる可能性があります。TW-020-SROは、RO膜により90～99％の分子レベルでの不純物除去により、高品質な純水を供給し、実験の信頼性を高めます。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・試薬調製・細胞培養【導入の効果】・実験精度の向上・研究の効率化・ランニングコストの削減・省スペース化

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【大学研究向け】TOPure（トピュア）

株式会社トップウォーターシステムズ

大学研究における実験では、精度の高い分析結果を得るために、高品質な純水が不可欠です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。TOPure（トピュア）は、研究室のスペースや実験内容に合わせて、純水製造能力やサイズを自由にカスタマイズできます。これにより、実験の効率化と精度の向上に貢献します。【活用シーン】・化学実験・生物学実験・分析化学実験・細胞培養・試薬調製【導入の効果】・実験結果の信頼性向上・実験の再現性向上・ランニングコストの削減・スペースの有効活用

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【研究機関向け】ラジカル洗浄ユニット

株式会社プレテック　静岡製作所

研究機関における実験器具の洗浄では、コンタミネーションを防ぎ、正確な実験結果を得るために、高い洗浄性能が求められます。特に、微細な有機物や金属汚染物質の除去は、実験の精度を左右する重要な要素です。ラジカル洗浄ユニットは、OHラジカルを効率的に生成し、これらの課題に対応します。【活用シーン】・実験器具の洗浄・微細部品の洗浄・金属汚染対策【導入の効果】・高い洗浄力による実験精度の向上・環境負荷の低減・ランニングコストの削減

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【研究向け】作業環境測定

株式会社分析センター

研究分野では、試薬や実験材料の安全な取り扱いが不可欠です。特に、有害物質を扱う際には、作業環境の安全性が研究者の健康と研究の効率に大きく影響します。作業環境測定は、有害物質濃度を測定し、適切な改善策を講じるための基盤となります。これにより、研究者は安心して実験に集中でき、研究の質と効率が向上します。【活用シーン】・試薬の調合・実験・有害物質を取り扱う研究室・化学物質を扱う研究開発【導入の効果】・研究者の健康被害を防止・研究環境の安全性向上・研究効率と質の向上

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【電子材料向け】多検体ナノ粒子径測定システム

大塚電子株式会社

電子材料業界では、製品の性能を最大限に引き出すために、材料の粒子径制御が重要です。特に、ナノ粒子を含む材料においては、粒子径の均一性が製品の品質を左右します。不適切な粒子径分布は、材料の特性劣化や性能低下につながる可能性があります。当社の多検体ナノ粒子径測定システムは、光散乱法を採用し、0.6nm～10μmの範囲で粒子径を測定できます。最大5検体の連続測定が可能で、電子材料の品質管理と性能向上に貢献します。【活用シーン】・半導体材料の研究開発・ディスプレイ材料の品質管理・電池材料の性能評価【導入の効果】・材料の特性評価の効率化・製品の品質向上・研究開発の加速

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【分析機器向け】PERFREZ 高性能O-リング

株式会社誠和商会

分析機器業界では、高精度な測定結果を得るために、シール材の信頼性が重要です。特に、微量なサンプルを扱う分析機器においては、シール材からのコンタミネーションや、耐薬品性の低いシール材の使用は、測定結果の精度を低下させる可能性があります。PERFREZは、腐食性の高い化学薬品の浸食や、高温、蒸気などに強く、長期間安定した性能を発揮するFFKM製Oリングです。安定した価格・納期で、小ロットから提供可能。設計・調達の課題解決に貢献します。【活用シーン】・分析機器内部のシール・薬液供給ライン・高温環境下でのシール【導入の効果】・高い耐薬品性による測定結果の信頼性向上・長期的な安定稼働・小ロット対応による無駄なコスト削減

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【研究機関向け】インド産アンモニア水（29%）EG

興和株式会社

研究機関における分析業務では、精度の高い結果を得るために、試薬の純度が重要です。特に、微量成分の分析や精密な実験においては、不純物の混入が結果に大きな影響を与える可能性があります。アンモニア水は、様々な分析・実験に用いられますが、不純物が多いと正確なデータが得られません。本製品は、電子・クリーンルーム用高純度仕様であり、RO＋DM処理による超純水プロセスを採用しています。これにより、ppm〜ppbレベルで不純物を除去し、高水準の清浄度を実現しています。【活用シーン】・精密分析・化学実験・試薬調製【導入の効果】・分析結果の信頼性向上・実験の再現性向上・安定したデータ取得

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【化学反応向け】TOPure（トピュア）

株式会社トップウォーターシステムズ

化学業界の反応プロセスでは、不純物の混入が反応の効率や結果に大きく影響を与える可能性があります。特に、精密な分析や実験においては、高純度の水が不可欠です。不適切な水質は、実験結果の信頼性を損ない、正確なデータ取得を妨げる可能性があります。TOPure（トピュア）は、お客様のニーズに合わせて純水製造能力やグレード、サイズをカスタマイズできます。【活用シーン】・化学反応実験・試薬調製・分析【導入の効果】・反応の再現性向上・実験データの信頼性向上・分析精度の向上

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【研究向け】水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアーム

株式会社アクアス

研究分野、特にデータ分析においては、長時間のデスクワークによる疲労軽減と、作業効率の向上が求められます。限られたスペースでの作業や、複数のモニターを同時に使用する環境では、柔軟なディスプレイ配置が重要です。当社の水平可動式ディスプレイキーボード搭載用ロングアームは、壁から最大1m離れた位置での入力作業を可能にし、研究者の作業効率と快適性を向上させます。【活用シーン】・データ分析業務・研究室での情報表示・複数モニター環境での作業【導入の効果】・作業スペースの有効活用・長時間の作業における疲労軽減・柔軟なディスプレイ配置による作業効率向上

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【半導体向け】ゼータ電位・粒子径測定によるCMPスラリー評価

大塚電子株式会社

半導体業界では、CMP（Chemical Mechanical Polishing）工程における研磨効率の向上が求められています。ウェハ表面の平坦性を高め、高品質な半導体デバイスを製造するためには、研磨スラリーの粒子分散状態を適切に制御することが不可欠です。粒子の凝集や偏りは、研磨ムラやスクラッチの原因となり、歩留まりを低下させる可能性があります。本製品は、CMPスラリーに非イオン性界面活性剤を添加し、添加前後のゼータ電位および粒子径を測定することで、スラリーの分散状態を評価し、研磨効率の最適化に貢献します。【活用シーン】・CMP工程におけるスラリーの品質管理・研磨条件の最適化・新素材スラリーの開発【導入の効果】・研磨ムラやスクラッチの低減・ウェハの歩留まり向上・研磨時間の短縮

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超微量分析サービス

株式会社DNP科学分析センター

当社では、先進的な分析機器と緻密な分析化学手法を用いた『超微量分析サービス』を提供しております。試料に含まれるきわめて微量の元素やイオンの種類・濃度を調べ、純度評価や超微量不純物の分析を実施します。【分析例】 ■シリコンウエハ表面の微量金属および陰イオンの分析 ■高純度試薬中の微量金属の分析 ■セラミックスの中の微量特定有害金属の分析 ■RoHS指令関連分析 ■クリーンルーム中の金属元素および陰イオンの分析　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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純水器『アクアパック』

新日本電工株式会社

『アクアパック』は、水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm 以下の高純水が得られるカートリッジ純水器です。イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な製品で、水道水中のCa、Na、SO4、 CI、SiO2等を除去して高純水を得ることが可能。また本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来るため、樹脂の飽和時期が容易に分かります。【特長】 ■手軽に高純水が得られる ■管理・操作は簡単 ■安価 ■高品質 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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セミオートプローバー『AP-150／AP-200』

株式会社アポロウエーブ　

『AP-150／AP-200』は、それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応したセミオートプローバーです。コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能。ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。また、画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。【特長】 ■20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応 ■それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応 ■コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能 ■オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト ■自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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半導体検出器用プリアンプ『CSP02』

株式会社ANSeeN

株式会社ANSeeNにて取り扱う半導体検出器用プリアンプ『CSP02』について、ご紹介いたします。 CdTe検出器等の低漏洩電流、低容量用検出器用のプリアンプで、AC結合の電荷有感型前置増幅器で構成。波形解析装置の100MHzサンプリングに対応する高速仕様(立ち上がり10ns以下)で、半導体検出器内の電荷移動の解析にもお使いいただけます。【主な性能】 ■雑音：350 electrons FWHM at 0pF ■ゲイン：1 V/pC ■立ち上がり時間：6ns at 0pF ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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低騒音・低露点除湿システム

株式会社セイロアジアネット

当社では、低騒音オイルレスコンプレッサ「OF300シリーズ」(JUN-AIR)を駆動源とし、各種分析・医歯科分野・光学実験研究者向けとして各ユニットを準オーダーメードにて組付け各種ニーズにお応えいたします。革新的なWIP圧縮原理により耐摩耗性に優れるほか、低振動および低騒音・省スペースを実現。実験レベルに応じた安定した低露点空気を供給します。さらに、「膜式ドライヤSK」などの選定付属品もご紹介しております。【特長】 ■革新的なWIP圧縮原理により耐摩耗性に優れる ■低振動および低騒音・省スペース ■実験レベルに応じた安定した低露点空気を供給 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ピラニー真空計『PG-3F2/PG-4F2』

若井田理学株式会社

「ピラニー真空計」は、熱伝導型真空計で、真空中で加熱されたフィラメントの電気抵抗が、圧力によって変化する事を利用した真空計です。『PG-3F2/PG-4F2』は、「PG-3F/PG-4F」にリレー接点を2点装備したモデル。メーターと本体（アンプ）が一体型となっているので、コンパクトで安価な上に、リレー接点も装備しているので、各種制御に適しています。あらゆる真空装置の粗引系並びに装置の圧力計測に適しており利用頻度が高く、又自動装置の要として幅広くご使用いただけます。その他、お客様のご要望に応じて改良も可能です。【特長】 ■G-3F/PG-4Fにリレー接点を2点装備したモデル ■コンパクトで安価な上、各種制御に適している ■長時間の連続使用にも経年変化等がほとんどない ■独自の特殊ピラニー球を採用し、安定した動作で信頼ある測定値を指示 ■取扱いが簡単で幅広く手軽に真空度を計ることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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株式会社合同資源事業紹介

株式会社合同資源

株式会社合同資源は、創業以来、高品質かつコストパフォーマンスの高いヨウ素製品とクリーンな天然ガスを供給してきた会社です。ブローアウト法で高品質なヨウ素を製造している「ヨウ素事業」や、無機・有機の各種ヨウ素化合物製品を製造している「ヨウ素化合物事業」、「天然ガス事業」、「研究開発」の4つの事業を柱として事業を展開。「ヨウ素」の事なら、当社にお問合せください。【事業内容】 ■ヨウ素、ヨウ素化合物の製造および販売 ■天然ガスの開発、生産および販売 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高感度ガス分析装置『FLEX-MSシリーズ』

株式会社日本エイピーアイ

『FLEX-MSシリーズ』は、大気圧イオン化質量分析方式(API方式)を使用した高感度ガス分析装置です。高純度ガス中の不純物(質量数3～400)をppbレベルで測定可能。不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測できます。尚、電源はAC100Vで動作します。【特長】 ■測定対象ガスを直接導入できる ■不純物は、10ppb～0.1ppbの範囲で計測可能 ■登録した検量線により、濃度表示で時間変化計測ができる ■可搬タイプの為、ユースポイントで計測ができる ■電源はAC100Vで動作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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微小電流測定用サーモコントローラー『LMT-S-700シリーズ』

コレット工業株式会社

『LMT-S-700シリーズ』は、当社の顕微鏡用サーモコントローラの豊富な技術と実績により、広範囲な温度制御を正確に行うことができる特注型微小電流測定用サーモコントローラーです。半導体パッケージ、液晶、ベアチップ、プリント基板、医薬品等各種素材の熱変形、電気特性、光学特性を顕微鏡下による観察、測定、計測が可能です。【特長】 ■幅広い温度範囲での正確な温度制御 ■均一な表面温度 ■幅広い適応性 ■高品質で低価格 ■特注品の製作 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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株式会社エアーテック　事業紹介

株式会社エアーテック

株式会社エアーテックは、主に空気・ガス精製装置などの設計・製造、販売、据付・保守、輸出入を軸に事業を展開している会社です。当社の各種分析装置は、大学・試験研究機関をはじめ製薬、食品、電子、科学工業など幅広い分野で活用されております。また、企画立案から製造までを一貫したライン体制で行うことにより、お客様のニーズに合うカスタマイズされた製品やシステム構築にお応え致します。【事業内容】 ■空気・ガス精製装置、空気圧縮機、冷凍機、各種空圧機器および　関連機器、配電/操作盤、半導体装置、真空部品の設計・製造、販売、　据付・保守、輸出入など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』

株式会社ヤチダ

『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた新しい構想のゲッターポンプです。ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を再構築しました。当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを発生させることができます。【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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超微量水分計『Falcon Trace』

ボールウェーブ株式会社

『Falcon Trace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、センサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能。また、センサーの出力を水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの平均分子量を示す出力値に分離することができるため、バックグラウンドガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある場合も同時に検知ができます。【特長】 ■応答速度が極めて早い ■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【イオンクロマトグラフ】H2O2中トリメチルアミンと標準陽イオン

メトロームジャパン株式会社

当資料では、イオンクロマトグラフィーにより、30％の過酸化水素（H2O2）中のトリメチルアミン（TMA）および標準陽イオンの測定を行った結果をご紹介しております。分析にはマトリックス除去を伴うインライン濃縮（MiPCT-ME）を用いて、陽イオンの連続サプレッション後電気電導度検出器により測定。「分析方法」や「分析パラメータ」、「装置構成」などを掲載しています。【掲載内容】 ■カラム ■溶液 ■分析方法 ■分析パラメータ ■装置構成

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純水精製機

新日本電工株式会社

イオン交換樹脂を充てんした簡便・手軽な純水器で、水道水中のCa、Na、CO4、Cl、SiO2等を除去して高純水を得ることが出来ます【特長】 ◆お客様で使用したい純水量とご予算に応じて、AP-10〜AP-70まで4タイプの中から選定することが出来ます ◆水道蛇口に直結するだけで手軽に電気伝導率1μS/cm以下高純水が得られます ◆本体には水質計がついており、常時水質の管理が出来、樹脂の飽和時期が容易に分かります ◆飽和した樹脂の再生は厳格な品質管理のもと、当社の専門工場で行います ◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用頂けます ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝

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ターボ排気ユニット『T-Station75』

西和産業株式会社

『T-Station75』は、エドワーズ社が新しく開発したボタン1つでシステムの始動と停止を行うことができるターボ排気ユニットです。エドワーズのアクティブゲージとベントバルブの制御が可能で、ゲージ装着時には時間または圧力に応じてターボポンプの遅延始動を制御できるため、研究室での一般的なニーズに適しています。【特長】 ■ボタン1つでシステムの始動と停止を行うことが可能 ■エドワーズのアクティブゲージとベントバルブの制御が可能 ■ゲージ装着時には時間または圧力に応じてターボポンプの遅延始動を制御 ■研究室での一般的なニーズに適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【分析事例】溶液中の金属量分析

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度領域はpptオーダーから主成分レベルまで幅広く対応することが可能です。本資料では市販されている各溶液に含まれる金属量を調査した事例をご紹介します。

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気相成長株式会社　事業紹介

気相成長株式会社

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタントを行っている会社です。当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。【営業品目】 ■ファインケミカルの研究開発 ■ファインケミカル及びその関連部品・関連装置の製作・販売 ■ファインケミカルに関するコンサルタント ■化学物質の製造・販売及び分析 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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研究用機器取扱ダイジェストカタログ

株式会社キング製作所

理化学実験器具の設計・製造・販売・アフターサービスを行っている会社の研究用機器取扱ダイジェストカタログです。耐薬品性・耐溶剤性に優れている「キングパーフロチューブ」のシリーズや、耐熱性・非粘着性の「キングキュート・カラーキュート」など、幅広い製品をご紹介しております。【掲載内容】 ■チューブ類 ■パッキン類 ■紫外線対応製品　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※こちらのカタログはダイジェスト版です。　全編必要な方はお問合せください。

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『ドライエアージェネレーター』

株式会社エアーテック

本製品は、スイッチを入れるだけで露点温度（大気圧下）-10～-40℃ 以下のドライガスを最大7～40Lまで安定供給します。不便で危険なボンベは不要。また、オイルフリーコンプレッサー採用により、油分の無いクリーンなエアーを供給します。さらにメンテナンス間隔は長く、手入れの必要がほとんど無いのが特長で、小型化・低騒音の実現にも成功しました。【特長】 ■低騒音 ■小型 ■オイルフリーコンプレッサー採用 ■手入れの必要ほぼ無し ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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超低露点エアードライヤー『QDシリーズ』

アイ・エイ・シー株式会社

『QDシリーズ』は、二筒交互吸着式の超低露点エアードライヤーです。大気圧露点-60℃、-75℃の乾燥エアーを連続供給することが可能で、クリーンドライエアー(CDA)が必要な際に好適。手軽に高乾燥度のドライエアーが得られますので窒素ガスの代用としての使用も可能です。コンパクトなので研究室や実験室での使用に適しています。【特長】 ■自己再生方式でメンテナンスフリー ■乾燥剤・吸着剤の交換は不要 ■油分やゴミ用のミストクリーナーやクリーンフィルター付き ■露点計量証明書付き ■標準タイプの他に大型機種として50L/min以上も製作可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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集束イオンビーム装置（ＦＩB)用　多出力高圧電源　FIBXシリーズ

スペルマンハイ・ボルテージエレクトロニクスコーポレーション

各種電源を一つに統合高い安定度と低リップルモールドされた高圧発生セクションコロナ放電のないオペレーション光ファイバーにて絶縁されたデジタルインターフェイスＣＥマーク、ＵＬ及びＳＥＭＩ準拠

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各種溶剤精製加工サービス

小松川化学株式会社

当社は、各種溶剤の精製加工サービスを行っております。トリチルアミン、メタノールなどの一般溶剤をはじめ、感光性樹脂架橋剤、TAFなどのファインケミカルズなど多数の製品を取り扱っております。また、吸収式冷凍機用冷媒（LiBr）の再製・調整も行っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【製造品目】 ■一般溶剤　・トリエチルアミン、その他アミン類　・メタノール、IPA、ブタノール、その他アルコール類　・ヘキサン、トルエン、キシレン、その他炭化水素類　・アセトン、MEK、MIBK、シクロヘキサノン、その他ケトン類　・酢酸エチル、酢酸ブチル、その他エステル類　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高精度ガラスキャピラリー

株式会社中原光電子研究所

ミクロンオーダで高精度な石英管・ロッド、断面が異形の各種石英ガラス管の試作・製造をいたします。無水、有水、溶融、合成石英、ホウケイさんガラス、BK-7など各種素材対応可能です。試作品から、短納期品等各種取りそろえています。

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微量サンプリングpHモニタ『UP-100』

株式会社堀場アドバンスドテクノ

『UP-100』は、1測定あたり500μL（Lの100万分の1）という極めて微量なサンプリング量で測定が可能なpHモニタです。半導体洗浄・エッチング工程、食品製造工程、製薬工程、バイオプロセスなどpHの連続監視が必要な幅広いプロセスにご活用いただけます。【特長】 ■微量サンプリング　・500μL/測定　・最大30mL/1時間の消費量 ■リアルタイム測定　・最短測定間隔：1分 ■メンテナンス周期大幅低減　・半年に一度のメンテナンス※ご使用条件によります。　・自動校正、自動KCl補充 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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オールインドライエアー発生装置『SC22-LABOi』

エアープロ株式会社

『SC22-LABOi』は、インバータ制御オイルフリースクロール圧縮機搭載のオールインドライエアー発生装置です。湿度検知機能により、出口空気への水分混入を未然に防止。圧縮機の温度異常検知機能によりオーバーヒートトラブルも防止します。また、防音材、配線材に自己消炎性材料を使用しております。【特長】 ■独自機構の湿度検知機能搭載 ■インバータ制御の有用性 ■異常時強制停止モード搭載 ■トップランナーモータ搭載 ■オイルフリースクロール圧縮機搭載　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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純水製造装置

新日本電工株式会社

逆浸透膜（RO）とイオン交換樹脂塔をユニット内に納め、一体化した純水製造装置です【特長】 ◆無機イオンはもとより、溶解性、非溶解性を問わず無機成分、有機成分を同時に効率よく除去することが出来ます ◆前処理の設備、ＲＯ、イオン交換塔を一つのユニットにコンパクトに！設置スペースは最小限ですみ、メンテナンスの手間も掛りません ◆全自動連続運転方式で、タッチパネルを採用していますので、運転管理が容易で特別な運転要員は必要ありません ◆お客様で使用したい純水量・用途に応じて、C-350〜F-10000まで各種タイプの中から選定することが出来ます ◆装置及び樹脂の再生とも、高品質で安価なものをご使用いただけます。アフターサービスも万全です ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせください＝＝＝＝＝

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高純水供給システム『TW-150-LRO-FT100-DP』

株式会社Es1

『TW-150-LRO-FT100-DP』は、中型・大型ラボに毎時150L、A3グレードの高純水を多目的に供給する、水道直結型セントラル式高純水供給システムです。ヒーター加熱による蒸留方式に比べ、熱源を使用しない逆浸透膜（RO）方式は電気代が10分の1以下。冷却水を必要とせず、生産水回収率50％の設計は水道代も軽減します。また、自社による設計・製作・保守管理まで、トータルでご提供する事で、高いコストパフォーマンスを実現しました。【特長】 ■大容量 ■省コスト ■省エネルギー ■省スペース ■表示パネル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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無酸素Pd/Tiコート非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプ

有限会社バロックインターナショナル

当社では、150℃、1.5～12時間のベーキングで水素や一酸化炭素を排出する非蒸発型ゲッターポンプを取り扱っております。加速器、放射光ビームライン、電子顕微鏡、表面研究装置などの超高真空ポンプとして適しております。【特長】 ■完全オイルフリー ■活性化以外は電源を使用しない ■原理的に10-10Pa台まで排気可能 ■無振動・無騒音 ■小型軽量　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

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簡易不活性ガス循環精製装置『GBJPWN0』

株式会社グローブボックス・ジャパン

『GBJPWN0』は、グローブボックスと接続し、循環精製運転することによりグローブボックス本体内部の不活性ガス及びボックス内から発生する水分等を吸着剤により除去する装置です。吸着剤カラムは、2塔直列に用意されていますので、前段に活性炭、後段にモレキュラーシーブスという様な構成で使用することもできます。また、吸着剤は交換可能です。酸素のみ、水分のみ、酸素水分両方、さまざまな用途に対応します。【特長】 ■様々な用途に対応 ■吸着剤の交換ができる ■オプションにて露点計センサーを取付可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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テラヘルツ分光装置『Tera Evaluator』

日邦プレシジョン株式会社

『Tera Evaluator』は、エリプソメトリの技術を導入した新しいテラヘルツ分光装置です。反射光学系の採用により不透明な材料の測定に適しています。 4インチ、6インチウェーハ測定用のマッピングステージを標準搭載し、半導体ウェーハの非接触・非破壊検査を実現しました。電磁波パルスの電場強度の時間波形を計測することで、電場強度と共に位相情報も同時に計測。リファレンスとサンプルでの時間波形の違いを解析することにより、サンプルの複素誘電率（複素屈折率）の周波数依存性を得ることができます。【特長】 ■キャリア濃度・移動度を非破壊・非接触で測定 ■テラヘルツ領域の複素誘電率を計測可能 ■液体試料も測定可能 ■解析用ソフトウェア：THz Analysisを標準搭載 ■レーザーの外部入力が可能なシステムを構築 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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８９００型シリーズ　脱気装置

株式会社ＡＱＵＡＴＨ

大きな真空変動もなく、安定した溶存酸素を取り除いた溶媒を、送液ポンプに供給する高性能な脱気装置を開発しました。パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。よって、ローボリューム（480マイクロL）ですが当社の真空ポンプの性能との組合せで、マイクロ送液からセミ分取まで幅広い対応が可能です。 OEM対応においては、メンテナンス時にはLCD表示にて各ポイントの状態・検査を確認することできます。その際に分析中でも実験を中止することはありません。また、OEM仕様・特殊溶媒送液仕様によっては、ご希望の真空値に制御設定ができます。

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XWP-プリーツフィルター

株式会社デオボス

・特長 ●強酸、強アルカリ及び多くの有機溶媒にも使用可能。 ●自動化製造、プリーツフィルタの低価格を実現。 ●ユースポイントで委託製造、短期納品も可能。 ●ろ材はポリプロピレン/PES/テフロンなど選択可能。

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

課題

微量金属不純物の混入リスク

製造設備や配管、容器など、薬液が触れるあらゆる箇所からの微量金属不純物の溶出や混入が、半導体性能に致命的な影響を与えます。

微粒子の除去困難性

ナノメートルオーダーの微粒子でさえ、回路パターンに付着し欠陥の原因となるため、その完全な除去は高度な技術を要します。

品質管理の高度化要求

ppb（10億分の1）レベル、さらにはppt（1兆分の1）レベルでの不純物管理が求められ、従来の分析・管理手法では対応が困難になっています。

サプライチェーン全体での品質維持

原料調達から製造、輸送、使用に至るまで、サプライチェーン全体で一貫した超高純度を維持するための管理体制構築が課題です。

対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

不純物溶出の少ない特殊なフッ素樹脂やセラミックス素材などを採用し、コンタミネーション源を徹底的に排除します。

高度なろ過・精製技術の導入

多段階の精密ろ過やイオン交換、蒸留などの技術を組み合わせ、微粒子や金属不純物を極限まで除去します。

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

製造プロセス中に薬液の純度をリアルタイムで監視し、異常を早期に検知・対応できるシステムを導入します。

厳格な品質保証体制の構築

原料受け入れから最終製品出荷まで、各工程で徹底した品質検査とトレーサビリティを確保し、品質の一貫性を保証します。

対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

薬液の貯蔵、移送、供給プロセス全体でコンタミネーションを最小限に抑えるための特殊素材製タンク、配管、ポンプ、バルブなどを統合したシステムです。

精密微粒子除去フィルター

ナノメートルオーダーの微粒子を効率的に捕捉し、薬液の清浄度を飛躍的に向上させる高性能フィルターです。

オンライン不純物分析装置

薬液中の微量金属不純物やイオン性不純物をリアルタイムで高感度に測定し、品質管理を支援する分析機器です。

特殊洗浄用高純度溶剤

半導体ウェハー表面の有機物や無機物を効率的に除去し、後工程への影響を最小限に抑えるための超高純度溶剤です。

⭐今週のピックアップ

読み込み中

半導体用薬液の超高純度とは？課題と対策・製品を解説

前処理・調製

食品・農業・環境

医薬品・臨床・バイオ

化学・材料・製造

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化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

各社の製品

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度

化学・材料・製造における半導体用薬液の超高純度とは？

​課題

微量金属不純物の混入リスク

微粒子の除去困難性

品質管理の高度化要求

サプライチェーン全体での品質維持

​対策

特殊素材による製造設備・配管の採用

高度なろ過・精製技術の導入

リアルタイム分析・モニタリングシステムの活用

厳格な品質保証体制の構築

​対策に役立つ製品例

超高純度薬液供給システム

精密微粒子除去フィルター

オンライン不純物分析装置

特殊洗浄用高純度溶剤

課題

対策

対策に役立つ製品例